JPS623314A - 電気油圧式サーボ駆動系の変位制御装置 - Google Patents

電気油圧式サーボ駆動系の変位制御装置

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JPS623314A
JPS623314A JP14357185A JP14357185A JPS623314A JP S623314 A JPS623314 A JP S623314A JP 14357185 A JP14357185 A JP 14357185A JP 14357185 A JP14357185 A JP 14357185A JP S623314 A JPS623314 A JP S623314A
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JP
Japan
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displacement
actuator
coil
minute
control system
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JP14357185A
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Terutsugu Matsubara
輝次 松原
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は電気油圧式サーボ駆動系の変位制御方式に関し
、例えば、コンクリート構造物の強度試験を行なう構造
物ジヤツキシステムに用いられるものである。
(ロ)従来技術 第2図は構造物ジヤツキシステム等に用いられる電気油
圧式サーボ駆動系の従来例を示す。サーボアンプ31は
変位設定器32の設定値と変位アンプ33からの変位フ
ィードバックとの偏差に応じた出力をサーボ弁34に与
え、サーボ弁34はこの入力に応じて油圧源35からア
クチュエータ36に供給される油圧油の流量と方向を制
御する。
アクチュエータ36のピストン37の変位量は、変位計
38により検出されて変位アンプ33へ与えられる。
この電気油圧式サーボ駆動系において、例えば±200
 璽重のストロークでアクチュエータ36を制御する場
合、変位アンプ33のレンジを±200鶴のフルスケー
ルに設定し、この状態で10μ単位にてピストン37の
変位を制御しようとすると、変位アンプ33自体に10
/200000=1 /20000の分解能が要求され
る0通常においては、この量はノイズレベルあるいは制
御誤差程度になり、したがって、10μの分解能ではア
クチュエータ36を動作させることができない。
(ハ)発明の目的 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的は、広範囲且つ高分解能で変位制御が可能な電気油圧
式サーボ駆動系の変位制御方式を提供することである。
(ニ)発明の構成 本発明による電気油圧式サーボ駆動系の変位制御方式は
、アクチュエータの目標となる変位に対応して上記アク
チュエータの微少変位を検出する微少変位検出手段の位
置を制御する第1の閉ループ制御系と、上記微少変位検
出手段の位置に対応して上記アクチュエータの変位を制
御する第2の閉ループ制御系とを有することを特徴とす
る。
(ホ)実施例 以下一本発明の一実施例について説明する。
第1図に示すように、アクチェエータlにはサーボ弁2
を介して油圧源3から油圧油が供給され、サーボ弁2に
より油圧油の流量と方向が制御されてアクチュエータ1
のピストン4が矢印方向へ駆動される。
微少変位計コイル5は、支持部材6に設置され、この微
少変位計コイル5を貫通自在である鉄心7はピストン4
の一端に支持部材8を介して支持される。支持部材6は
ネジ9の回転により矢印方向aへ移動自在であり、ネジ
9はモータ10により回転駆動される。ネジ9は両端部
が支持部材11゜12により回転自在に支持され、支持
部材11゜12はアクチュエータ1を形成するシリンダ
13に固設される。
マグネスケール14は、その両端部が支持部材11.1
2により支持され、ネジ9と並行方向にシリンダ13に
支持される。マグネスケール13のへラド15は、支持
部材6に設置される。
変位設定部16のデジタル設定部17、サーボアンプ1
B、モータ10.ボールネジ9、マグネスケール14、
ヘッド15並びにロングストローク変位検出器19は、
微少変位計コイル5の位置制御を行なう閉ループ制御系
20を構成する。さらに、変位設定部16のアナログ設
定部21、サーボアンプ22、サーボ弁2、アクチュエ
ータ1、鉄心7、微少変位針コイル5並びに微少変位ア
ンプ23は、アクチェエータ1の変位制御を行なう閉ル
ープ制御系24を構成する。
ロングストローク変位検出器19は、マグネスケール1
4のへラド15からの信号により微少変位計コイル5の
位置を検出する。変位設定部16のデジタル設定部17
は、アクチュエータ1の変位の目標値をデジタル値で出
力する。サーボアンプ18は、デジタル設定部17から
の目標値とロングストローク変位検出器19からの微少
変位計コイル5の位置検出値との偏差に応じてモータ1
0を制御する。したがって、微少変位計コイル5は、ア
クチェエータlの変位の目標値に対応して位置制御され
る。
微少変位アンプ23は、微少変位計コイル5からの信号
を受けて、ピストン4の微少変位を表わす信号を出力す
る。変位設定部16のアナログ設定部21は、アクチュ
エータ1の変位の目標値をアナログ値で出力する。サー
ボアンプ22は、アナログ設定部21からの目標値と微
少変位アンプ23からの変位検出値との偏差に応じてサ
ーボ弁2を制御する。したがって、アクチェエータlは
、微少変位計コイル5の位置に対応して変位制御される
この電気油圧式サーボ駆動系においては、先ず、変位設
定部16からのアクチュエータlの変位・の目標値と微
少コイル5の現在位置との偏差に応じてサーボアンプ1
8の出力信号によりモータ10が駆動され、微少変位計
コイル5がアクチュエータ1の目標変位の方向へ駆動さ
れる。微少変位針コイル5の移動により、鉄心7と微少
変位計コイル5との相対位置が変化し、この位置変化に
応してサーボアンプ22からの信号がサーボ弁2に与え
られてアクチュエータ1が駆動される。微少変位計コイ
ル5が目標位置に到達するとモータ1゜は停止し、さら
に、鉄心7が微少変位針コイル5に対して所定の位置に
到達するとサーボ弁2が閉じ、アクチュエータ1は停止
する。微少変位針コイル5の移動は閉ループ制御系24
の外乱となり、閉ループ制御系24は入カ一定として動
作するため、ピストン4は微少変位計コイル5と同じ動
きを行なう。
いま、ピストン4の変位量をXs、微少変位計コイル5
による変位検出値をXo、マグネスケール14による変
位検出値をXMとすると、X5=Xo+XM となる。微少変位針コイル5は、検出ストロークが±5
 xm程度で分解能は5μ程度である。マグネスケール
14は、I食出ストロークが±200m園ないし±40
01程度で分解能は1μ程度である。
この電気油圧式サーボ駆動系の変位制御方式を構造物ジ
ヤツキシステムに通用した場合、小変位量の動的及び静
的な試験は微少変位のアナログ制御でj子ない、大変位
量の静的な試験はマグネスケールを用いたデジタル制御
により行なう。
(へ〉発明の詳細 な説明したように、本発明においては、アクチュエータ
の目標となる変位に対応して微少変位検出手段を位置制
御し、この微少変位検出手段の位置に対応してアクチュ
エータ、の変位を制御するようにしたので、広い制御範
囲で且つ高分解能で変位制御が可能になり、例えば構造
物の強度試験においてコンクリート等の剛性の高い供試
体の弾性域から破壊状態までの試験を高精度で行なうこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明実施例のブロック構成を示す図、第2図
は従来例のブロック構成を示す図である。 1・・・アクチュエータ  2・・・サーボ弁5・・・
微少変位計コイル 7・・・鉄心10・・・モータ  
   14・・・マグネスケール16・・・変位設定部
   17・・・デジタル設定部18.22・・・サー
ボアンプ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)アクチュエータの目標となる変位に対して上記ア
    クチュエータの微少変位を検出する微少変位検出手段の
    位置を制御する第1の閉ループ制御系と、上記微少変位
    検出手段の位置に対応して上記アクチュエータの変位を
    制御する第2の閉ループ制御系とを有することを特徴と
    する電気油圧式サーボ駆動系の変位制御方式。
  2. (2)上記第1の閉ループ制御系は上記微少変位検出手
    段の位置を検出する位置検出手段と上記変位検出手段を
    駆動する駆動手段とを備えたデジタル制御系であり、上
    記第2の閉ループ制御系は上記アクチュエータと上記微
    少変位検出手段との位置の偏差に応じて上記アクチュエ
    ータへ供給する油圧油の流量と方向を制御するサーボ弁
    を備えたアナログ制御系である特許請求の範囲第1項記
    載の電気油圧式サーボ駆動系の変位制御方式。
JP60143571A 1985-06-28 1985-06-28 電気油圧式サーボ駆動系の変位制御装置 Expired - Fee Related JPH06100933B2 (ja)

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JPH06100933B2 JPH06100933B2 (ja) 1994-12-12

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110242635A (zh) * 2019-07-19 2019-09-17 湖北万测试验设备有限公司 一种油缸微小移动控制系统

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5810110U (ja) * 1981-07-06 1983-01-22 株式会社横河電機製作所 サ−ボ機構

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CN110242635A (zh) * 2019-07-19 2019-09-17 湖北万测试验设备有限公司 一种油缸微小移动控制系统
CN110242635B (zh) * 2019-07-19 2024-05-24 湖北万测试验设备有限公司 一种油缸微小移动控制系统

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