JPS6231379A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPS6231379A JPS6231379A JP60169520A JP16952085A JPS6231379A JP S6231379 A JPS6231379 A JP S6231379A JP 60169520 A JP60169520 A JP 60169520A JP 16952085 A JP16952085 A JP 16952085A JP S6231379 A JPS6231379 A JP S6231379A
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- JP
- Japan
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- stator
- rotor
- center
- surface wave
- wave motor
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は超音波振動を利用した表面波モータに関するも
のである。
のである。
（発明の背景）
超音波振動を利用した表面波モータは、その駆動原理上
、表面波を発生する固定子と表面波によって駆動される
回転子は、その接触面で摩擦力を得るために加圧されて
いるやそして、高いトルりを得るためには固定子と回転
子との加圧力を高める必要がある。しかしながら、高い
トルクを得るために加圧力を高めると固定子と回転子と
る接触面はその摩擦力によって摩耗し、その摩耗により
生じたごみが固定子及び回転子に付着したり、固定子及
び回転子の接触面の面状態が悪化するなど、表面波モー
タの寿命を短くし且つ得られるトルクも低下させてしま
うという欠点があった。
、表面波を発生する固定子と表面波によって駆動される
回転子は、その接触面で摩擦力を得るために加圧されて
いるやそして、高いトルりを得るためには固定子と回転
子との加圧力を高める必要がある。しかしながら、高い
トルクを得るために加圧力を高めると固定子と回転子と
る接触面はその摩擦力によって摩耗し、その摩耗により
生じたごみが固定子及び回転子に付着したり、固定子及
び回転子の接触面の面状態が悪化するなど、表面波モー
タの寿命を短くし且つ得られるトルクも低下させてしま
うという欠点があった。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を解決し、高いトルクを得るため
に固定子と回転子との加圧力を高めても長寿命で且つ安
定して高いトルクの得られる表面波モータを提供するこ
とを目的とする。
に固定子と回転子との加圧力を高めても長寿命で且つ安
定して高いトルクの得られる表面波モータを提供するこ
とを目的とする。
（発明の概要）
本発明は、固定子の中心を回転中心とする回転子の回動
に伴って、前記固定子と前記回転子との接触面に垂直で
且つ前記固定子の中心を通る断面にて、前記固定子と前
記回転子との接触部分の径方向位置及びその接触長の少
なくとも一方が変化するようにしたことを技術的要点と
している。
に伴って、前記固定子と前記回転子との接触面に垂直で
且つ前記固定子の中心を通る断面にて、前記固定子と前
記回転子との接触部分の径方向位置及びその接触長の少
なくとも一方が変化するようにしたことを技術的要点と
している。
（実施例）
第１図（Ａ）は本発明の実施例である表面波モータの平
面図、第１図（Ｂ）は前記表面波モータの断面図、第２
図は前記表面波モータをユニット化した時の断面図、第
３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）は前記表面波モータの回転
子の形状を示す構造図、第４図は前記表面波モータの駆
動原理を示す説明図、第５図は前記表面波モータの入力
周波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。
面図、第１図（Ｂ）は前記表面波モータの断面図、第２
図は前記表面波モータをユニット化した時の断面図、第
３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）は前記表面波モータの回転
子の形状を示す構造図、第４図は前記表面波モータの駆
動原理を示す説明図、第５図は前記表面波モータの入力
周波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。
第１図（Ａ）及び第１図（Ｂ）に示すように、固定子Ｓ
は圧電素子２とその圧電素子２に励振され進行波（表面
波）を生じる弾性体１とからなり、この固定子Ｓ上に弾
性体１と圧接するリング状回転子３が設置され、この固
定子Ｓとリング状回転子３とから表面波モータが構成さ
れている。このリング状回転子３は、幅が一定の円環で
あり、その中心０′が固定子Ｓの中心Ｏに対して偏心す
るように設けられ、このリング状回転子３は固定子Ｓの
中心０を回転中心として回動されるように配置されてい
る。この時、このリング状回転子３は、固定された固定
子Ｓ上を回動するが、固定子Ｓに対して任意の偏心量δ
でふれまわることになる。
は圧電素子２とその圧電素子２に励振され進行波（表面
波）を生じる弾性体１とからなり、この固定子Ｓ上に弾
性体１と圧接するリング状回転子３が設置され、この固
定子Ｓとリング状回転子３とから表面波モータが構成さ
れている。このリング状回転子３は、幅が一定の円環で
あり、その中心０′が固定子Ｓの中心Ｏに対して偏心す
るように設けられ、このリング状回転子３は固定子Ｓの
中心０を回転中心として回動されるように配置されてい
る。この時、このリング状回転子３は、固定された固定
子Ｓ上を回動するが、固定子Ｓに対して任意の偏心量δ
でふれまわることになる。
このように、回転子３の中心と固定子Ｓの中心とを偏心
させ回転子３を回動させると、第１図（Ｂ）に示す断面
図において、固定子Ｓの表面１ａ上を固定子Ｓと回転子
３との接触部１ｂが、回転子３の回動に伴って回転中心
Ｏに対して偏心量δの片振幅で単振動することになり、
すなわち、固定子Ｓの表面ｌａ上で回転子３が接触して
いる摩擦接触面が、回転子３の回動により表面ｌａ上を
径方向に偏心量δの範囲で移動して時々刻々と固定子Ｓ
との接触面が変化していることになる。
させ回転子３を回動させると、第１図（Ｂ）に示す断面
図において、固定子Ｓの表面１ａ上を固定子Ｓと回転子
３との接触部１ｂが、回転子３の回動に伴って回転中心
Ｏに対して偏心量δの片振幅で単振動することになり、
すなわち、固定子Ｓの表面ｌａ上で回転子３が接触して
いる摩擦接触面が、回転子３の回動により表面ｌａ上を
径方向に偏心量δの範囲で移動して時々刻々と固定子Ｓ
との接触面が変化していることになる。
従って、従来のように、回転子３と固定子Ｓとの接触面
が常に変わらずに摩擦接触されているのとは違い、固定
子３の表面１ａ上を回転子３の接触面が時々刻々と移動
するので、固定子Ｓの一ケ所が摩耗により削られること
がなく、固定子Ｓの表面１ａ全体を効率良く使うことが
できるようになっている。この偏心量δは次に述べる条
件を満足する範囲で任意に決定される。
が常に変わらずに摩擦接触されているのとは違い、固定
子３の表面１ａ上を回転子３の接触面が時々刻々と移動
するので、固定子Ｓの一ケ所が摩耗により削られること
がなく、固定子Ｓの表面１ａ全体を効率良く使うことが
できるようになっている。この偏心量δは次に述べる条
件を満足する範囲で任意に決定される。
この条件とは、回転子３が偏心して回動した場合に、常
に固定子Ｓの表面上を回転子３のリングがはみ出ずに回
動するように設定することである。
に固定子Ｓの表面上を回転子３のリングがはみ出ずに回
動するように設定することである。
ここで、固定子Ｓの外径をＤ、内径をｄとし、回転子３
の外径をＤ′、内径をｄ′とし、固定子Ｓのリング幅を
ａ、リング状回転子３のリング幅をｂとすると、条件と
しては ａ＞’ｌδ＋ｂ。
の外径をＤ′、内径をｄ′とし、固定子Ｓのリング幅を
ａ、リング状回転子３のリング幅をｂとすると、条件と
しては ａ＞’ｌδ＋ｂ。
δ＜ （Ｄ−Ｄ’）／２゜
δ＜ （ｄ ’ −ｄ） ／２
であるように偏心量δを設定する。
第２図は第１図の表面波モータをユニットに構成した構
造図である０表面波モータは筒状のケース１０ａ及び１
０ｂ内に収められており、ケース１０ａの底に付勢手段
（例えばゴム等の弾性部材）６を、その付勢手段の上に
付勢手段６の付勢力を均等に伝えるための円板５を、そ
の円板５の上に表面波モータの固定子Ｓの振動を吸振す
る保護用緩衝材４ａを固設し、この保護用緩衝材４ａ上
に表面波モータの固定子Ｓを配設している。この固定子
Ｓの回転中心はケース１０ａ及び１０ｂの中心と一致す
るように配設されている。この固定子Ｓの内径側には、
ケースｌＯａの内筒に固設されても表面波モータの振動
をケース１０ａに伝播させないように構成された支持部
７を有している。この支持部７は、固定子Ｓの内側から
突出し、第２図に示すようにケース１０ａの内筒に嵌合
するように筒状に形成され、ケースｌＯａに対して固定
子３を位置決めすると共に固定支持するものであり、固
定子Ｓと一体に形成されあるいは別部材で形成されてい
ても良い。
造図である０表面波モータは筒状のケース１０ａ及び１
０ｂ内に収められており、ケース１０ａの底に付勢手段
（例えばゴム等の弾性部材）６を、その付勢手段の上に
付勢手段６の付勢力を均等に伝えるための円板５を、そ
の円板５の上に表面波モータの固定子Ｓの振動を吸振す
る保護用緩衝材４ａを固設し、この保護用緩衝材４ａ上
に表面波モータの固定子Ｓを配設している。この固定子
Ｓの回転中心はケース１０ａ及び１０ｂの中心と一致す
るように配設されている。この固定子Ｓの内径側には、
ケースｌＯａの内筒に固設されても表面波モータの振動
をケース１０ａに伝播させないように構成された支持部
７を有している。この支持部７は、固定子Ｓの内側から
突出し、第２図に示すようにケース１０ａの内筒に嵌合
するように筒状に形成され、ケースｌＯａに対して固定
子３を位置決めすると共に固定支持するものであり、固
定子Ｓと一体に形成されあるいは別部材で形成されてい
ても良い。
この固定子Ｓ上には中心が偏心量δだけ偏心している回
転子３が配設され、回転子３上にはその振動を吸収する
緩衝材４ｂが、更にその緩衝材４ｂ上にリング部材８が
固設されている。リング部材８は、回転子３の回転をス
ムースに行わせる為のボールレース９を介してケース１
０ｂに配設されている。このリング部材８は、ケース１
０ａ及びｌｏｂの中心が回転中心となるように、ケース
１０ｂの中心と同心に設けされたガイド溝を有し、その
ガイド溝にケースｔａｂの中心にして配設されたボール
レース９がはまりこみ回転自在に構成されている。即ち
、このリング部材８の形状は、回転子３に固設される側
が偏心しており、ケース１０ｂと当接する側が固定子Ｓ
の中心と一致する偏心リングとなっている。
転子３が配設され、回転子３上にはその振動を吸収する
緩衝材４ｂが、更にその緩衝材４ｂ上にリング部材８が
固設されている。リング部材８は、回転子３の回転をス
ムースに行わせる為のボールレース９を介してケース１
０ｂに配設されている。このリング部材８は、ケース１
０ａ及びｌｏｂの中心が回転中心となるように、ケース
１０ｂの中心と同心に設けされたガイド溝を有し、その
ガイド溝にケースｔａｂの中心にして配設されたボール
レース９がはまりこみ回転自在に構成されている。即ち
、このリング部材８の形状は、回転子３に固設される側
が偏心しており、ケース１０ｂと当接する側が固定子Ｓ
の中心と一致する偏心リングとなっている。
従って、このユニット化された表面波モータから動力を
取り出すには、表面波モータにより回動されるリング部
材８の動力を、このユニットを使う機器に応じて適宜取
り出せばよい、例えば、このユニットをカメラの撮影レ
ンズ鏡筒に使えば絞り羽根の駆動やレンズの駆動等に使
える。
取り出すには、表面波モータにより回動されるリング部
材８の動力を、このユニットを使う機器に応じて適宜取
り出せばよい、例えば、このユニットをカメラの撮影レ
ンズ鏡筒に使えば絞り羽根の駆動やレンズの駆動等に使
える。
以上は本発明の一実施例として回転子３の中心を固定子
Ｓの中心に対して偏心させた場合について述べたが、こ
れ以外にも第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）に示すリング
状回転子が考えられる。第３図（Ａ）に示すように、リ
ング状回転子３１は、外径と内径との中心を偏心させた
リング状に構成しても良い。また、第３図（Ｂ）に示す
ように、リング状回転子３２は、楕円形状に構成しても
良い。
Ｓの中心に対して偏心させた場合について述べたが、こ
れ以外にも第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）に示すリング
状回転子が考えられる。第３図（Ａ）に示すように、リ
ング状回転子３１は、外径と内径との中心を偏心させた
リング状に構成しても良い。また、第３図（Ｂ）に示す
ように、リング状回転子３２は、楕円形状に構成しても
良い。
第４図は固定子Ｓと回転子３との動作原理を示したもの
で、固定子Ｓは圧電素子２によって屈曲振動を起こし、
表面に進行波を生じている。この時、固定子Ｓの進行波
は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は楕円運動をし
ている。この固定子Ｓに回転子３を圧接した場合、回転
子３は固定子Ｓによって表面波を生じ、その進行方向は
矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は同様に楕円運
動を行う。ここで、固定子Ｓ及び回転子３はその材質及
び形状により表面波を発生させる振動の振幅が変化し、
固定子及び回転子の振幅を次の３つの場合について考え
る。− 第一に、固定子Ｓの振幅Ａ、が回転子３の振幅Ａ、より
大きい場合は、即ち第４図の状態では固定子Ｓと回転子
３との接触は、固定子Ｓの波の山と回転子３の波の谷と
になる。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱｌの運動が反対方向
となり、表面波モータの駆動力は大きくなる。
で、固定子Ｓは圧電素子２によって屈曲振動を起こし、
表面に進行波を生じている。この時、固定子Ｓの進行波
は矢印Ｐの方向へ進み、表面の粒子Ｐ１は楕円運動をし
ている。この固定子Ｓに回転子３を圧接した場合、回転
子３は固定子Ｓによって表面波を生じ、その進行方向は
矢印Ｑ方向となり、その表面の粒子Ｑ１は同様に楕円運
動を行う。ここで、固定子Ｓ及び回転子３はその材質及
び形状により表面波を発生させる振動の振幅が変化し、
固定子及び回転子の振幅を次の３つの場合について考え
る。− 第一に、固定子Ｓの振幅Ａ、が回転子３の振幅Ａ、より
大きい場合は、即ち第４図の状態では固定子Ｓと回転子
３との接触は、固定子Ｓの波の山と回転子３の波の谷と
になる。この場合は、固定子Ｓと回転子３との接触点に
おいてはそれぞれの粒子Ｐ１及びＱｌの運動が反対方向
となり、表面波モータの駆動力は大きくなる。
第二に、固定子Ｓの振幅Ａ、と回転子３の振幅Ａ、とが
等しい場合は、固定子Ｓと回転子３とが全面で接触する
ことになる。この場合は、固定子Ｓの波の山と谷とで粒
子の運動が反対となるので駆動する力は打ち消し合って
しまう。
等しい場合は、固定子Ｓと回転子３とが全面で接触する
ことになる。この場合は、固定子Ｓの波の山と谷とで粒
子の運動が反対となるので駆動する力は打ち消し合って
しまう。
第三に、固定子Ｓの振幅Ａ、が回転子３の振幅Ａ、より
小さい場合は、固定子Ｓと回転子３との接触は、固定子
Ｓの波の谷と回転子３の波の山とになる。この場合は、
固定子Ｓと回転子３との接触点においてはそれぞれの粒
子Ｐ１及びＱｌの運動が反対方向となり、表面波モータ
の駆動力は大きくなり、第４図の運動方向とは逆方向と
なる。
小さい場合は、固定子Ｓと回転子３との接触は、固定子
Ｓの波の谷と回転子３の波の山とになる。この場合は、
固定子Ｓと回転子３との接触点においてはそれぞれの粒
子Ｐ１及びＱｌの運動が反対方向となり、表面波モータ
の駆動力は大きくなり、第４図の運動方向とは逆方向と
なる。
固定子Ｓと回転子３との防振を考えた場合、回転子３は
その回転を外部機構へ伝えなければならず、固定子Ｓに
比べて防振を行ないずら（なっている。従って、前述し
た駆動力が太き（なる第一の場合と第三の場合との何方
を選択するかを考えると、回転子３の振幅Ａ３が固定子
Ｓの振幅Ａ。
その回転を外部機構へ伝えなければならず、固定子Ｓに
比べて防振を行ないずら（なっている。従って、前述し
た駆動力が太き（なる第一の場合と第三の場合との何方
を選択するかを考えると、回転子３の振幅Ａ３が固定子
Ｓの振幅Ａ。
より小さくなる第一の場合の方がより良いことになる。
そこで、回転子３の振幅Ａ、が固定子Ｓの振幅Ａ、より
小さする方法を以下に示す。
小さする方法を以下に示す。
第５図は、固定子Ｓの共振周波数をｆｓ、回転子３の共
振周波数をｆ３とすると、それぞれの振動数と振幅との
関係を示している。ただし、共振点における固定子Ｓと
回転子３との振幅は同一振幅であると仮定する。固定子
Ｓの共振周波数丁。
振周波数をｆ３とすると、それぞれの振動数と振幅との
関係を示している。ただし、共振点における固定子Ｓと
回転子３との振幅は同一振幅であると仮定する。固定子
Ｓの共振周波数丁。
で回転子３が振動させられる状態では回転子３の振幅Ａ
、が固定子Ｓの振幅Ａ、より小さくなる。
、が固定子Ｓの振幅Ａ、より小さくなる。
従って、固定子Ｓの振幅を１とした場合に、回転子３の
振幅Ａ３が所望される大きさ１／Ｘとなるように、回転
子３の共振周波数ｆ、を決定するように設計すれば良い
。
振幅Ａ３が所望される大きさ１／Ｘとなるように、回転
子３の共振周波数ｆ、を決定するように設計すれば良い
。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、回転子の接触面がその回
動により摩擦接触される固定子の表面を径方向に移動す
るので、固定子の一ケ所のみ回転子により摩耗されるこ
とがなくなり、そして固定子と回転子との加圧力を高め
ても長寿命で安定した高いトルクが得られるという効果
がある。
動により摩擦接触される固定子の表面を径方向に移動す
るので、固定子の一ケ所のみ回転子により摩耗されるこ
とがなくなり、そして固定子と回転子との加圧力を高め
ても長寿命で安定した高いトルクが得られるという効果
がある。
第１図（Ａ）は本発明の実施例である表面波モータの平
面図、第１図（Ｂ）は前記表面波モーフの断面図、第２
図は前記表面波モータをユニット化した時の断面図、第
３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）は前記表面波モータの回転
子の形状を示す構造図、第４図は前記表面波モータの駆
動原理を示す説明図、第５図は前記表面波モータの入力
周波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。 （符号の簡単な説明） １・・・弾性体、 ２・・・圧電素子３．３１．３
２・・・回転子 Ｓ・・・固定子
面図、第１図（Ｂ）は前記表面波モーフの断面図、第２
図は前記表面波モータをユニット化した時の断面図、第
３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）は前記表面波モータの回転
子の形状を示す構造図、第４図は前記表面波モータの駆
動原理を示す説明図、第５図は前記表面波モータの入力
周波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。 （符号の簡単な説明） １・・・弾性体、 ２・・・圧電素子３．３１．３
２・・・回転子 Ｓ・・・固定子
Claims (3)
- （１）圧電素子及び該圧電素子によって励振されるリン
グ状弾性体からなる固定子と、該固定子に圧接され、該
固定子に生じる表面進行波によって該固定子面上を該固
定子の中心を回転中心として回動するリング状回転子と
からなる超音波振動を利用した表面波モータにおいて、 前記固定子と前記回転子との接触面に垂直で且つ前記固
定子の中心を通る断面にて、前記固定子と前記回転子と
の接触部分の径方向位置及びその接触長の少なくとも一
方が前記回転子の回動に伴って変化することを特徴とす
る超音波振動を利用した表面波モータ。 - （２）前記固定子と前記回転子との接触面に垂直で且つ
前記固定子の中心を通る断面にて、前記固定子と前記回
転子との接触部分の径方向位置を前記回転子の回動に伴
って変化させる為に、前記回転子の中心と前記固定子の
中心とが偏心して配置したことを特徴とする特許請求の
範囲第（１）項記載の超音波振動を利用した表面波モー
タ。 - （３）前記固定子と前記回転子との接触面に垂直で且つ
前記固定子の中心を通る断面にて、前記固定子と前記回
転子との接触長を前記回転子の回動に伴って変化させる
為に、前記回転子を、楕円状、あるいは内径と外径との
中心が偏心したリング状に形成したことを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項記載の超音波振動を利用した表
面波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169520A JPH0744849B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169520A JPH0744849B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 超音波モータ |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6286612A Division JP2760297B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
| JP6286611A Division JP2808573B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
| JP6286610A Division JPH07308081A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231379A true JPS6231379A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH0744849B2 JPH0744849B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=15888025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169520A Expired - Lifetime JPH0744849B2 (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744849B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227769A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-09-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | データ処理システム |
| WO2012063823A1 (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | Negishi Hirokazu | 振動波モータ及び同モータを駆動源とする発音装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101958436B1 (ko) * | 2017-06-16 | 2019-03-15 | 중앙대학교 산학협력단 | 미세버블 생성 장치 및 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160386A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-08-21 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS61227681A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP60169520A patent/JPH0744849B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160386A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-08-21 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS61227681A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227769A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-09-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | データ処理システム |
| WO2012063823A1 (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-18 | Negishi Hirokazu | 振動波モータ及び同モータを駆動源とする発音装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0744849B2 (ja) | 1995-05-15 |
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