JPH01227669A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ

Info

Publication number
JPH01227669A
JPH01227669A JP63052147A JP5214788A JPH01227669A JP H01227669 A JPH01227669 A JP H01227669A JP 63052147 A JP63052147 A JP 63052147A JP 5214788 A JP5214788 A JP 5214788A JP H01227669 A JPH01227669 A JP H01227669A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
rotor
vibration
vibration wave
annular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63052147A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoru Segawa
哲 瀬川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP63052147A priority Critical patent/JPH01227669A/ja
Publication of JPH01227669A publication Critical patent/JPH01227669A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は振動波モータに関し、特に超音波を駆動源とし
几振動波モータに関するものである。
〔従来の技術〕
はじめに一般的な振動波モータの原理について説明する
。第2図は進行波によるステータの振動のようすを示す
説明図、第6図は従来のカロ圧機構を有する振動波モー
タの一例を示す部分断面を含む正面図、第7図は従来例
の振動波モータを2個使用した場合の駆動状況全示す構
成図である。
第6図に示す従来の振動波モータは、進行波回転型また
は円環型と叶ばれるもので、円環状の弾性振動板(ステ
ータ1)の裏面に前記のステータ1と同様な形状の円環
状の圧電素子2を接着し、一体化している。そしてステ
ータ1の面に同じ円環状の動体(ロータ9)が圧縮ばね
5等の手段によって所定の圧力で押し付けられている。
そのロータ9の摺動面には耐摩耗性のある材料、例えば
′芳香族ポリアミド繊維を光填材とし、ポリウレタン樹
脂をマトリックスとした複合プラスチック材料で形成さ
れたライニ/グ面10會設けることによシJ・ステータ
゛1とあ磨耗全防止する。圧電素子2に振動波モータす
る電気信号金入力しバイメタル効果によシステータlに
進行波のtわみ振動を発生させる。ステータ1上の進行
波は、第2図の説明図に示すように、ステータ1の表面
上の1つの点CK着目すると、その点Cは楕円状の軌跡
を描く。ライニング面10はステータ1の進行波の頂点
に接触しているので、ロータ9は楕円の頂点部分りの軌
跡の方向への摩擦による移動がきくため、ロータ9は進
行波の進行方向とは逆に矢印F方向に進む。従って、ロ
ータ9はステータ1上の進行波の進行方向とは逆に回転
し、その回転速度は楕円状の軌跡の速度に関係する。
ところで、複数個の振動波モータを同時に駆動する場合
を考えると、従来は振動波モータの数だけ駆動装置金偏
えていた。このことは次に示す理由による。
ステータ1に発生するたわみ振動は、進行波の周波数が
ステータ1の共振周波数に等しいかまたはこれに近い場
合にしか発生せず、そのため入力する電気信号め周波数
はステータ1に固有の共振周波数としなければならない
。そしてこの共振周波数に影響する要因として次の2つ
のことが掲げられる。1つはステータ1の形状寸法であ
シ、もう一つはステータ1とロータ9との加圧力である
しかし各振動波モータのステータ1は、モータを製造す
る際の加工誤差によシ形状寸法がまっ九く同じものを作
ることは困難である。
また、先の第6図において従来のステータ1とロータ9
を加圧接触させる機構について注目すると、加圧機構は
固定軸8′、ステータ1.加圧のための圧縮ばね5.そ
して圧縮ばね5の長さ全制限するばね座金6′から構成
されている。圧縮ばね5の長さはばね座金6′が固定軸
8′に固定されているために設計時に決定されており、
従ってステータlとロータ9の加圧力の大きさも変える
ことができない。
以上の2点から、共振周波数を複数個の振動波モータの
ステータ1について同一にすることは困難である。その
ために第7図の構成図に示すように、従来の振動波モー
タを駆動する駆動装置A3゜B3は、複数個の振動波モ
ータA、HのステータAlt”1に固有な共振周波数を
発生させる発振器A4.B4を夫々もち、したがって複
数個の振動波モータを用いた装置は振動波モータの数だ
け駆動装置が必要であった。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述したように、従来、複数個の振動波モータを有する
装置においては、ステータの共振周波数が各振動波モー
タで同じではない。このため、2個以上の振動波モータ
を駆動するためには、振動波モータの入力電気信号を発
生する駆動装置を振動波モータに入力する周波数の種類
だけ用意しなければならない。したがってコストが高く
、・スペースも多く必要とするなどの欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の振動波モータは、振動波形を有する電気振動を
機械振動に変換する振動子と円環状共振子とを接着した
構造の円環状ステータと円環状ロータとを加圧接触はせ
、前記円環状ロータを軸上に固定しまた前記円環状ステ
ータを前記円環状ロータと隣接しつつ軸方向に移動可能
に嵌着し且つ端部におねじ部を有する固定軸と、前記お
ねじ部に螺合するめねじ部を有して前記固定軸に螺着す
るばね座金と、前記円環状ステータと前記ばね座金との
間に設けられた圧縮ばねとを有して前記円環状ステータ
に対する加圧力を調整可能な加圧機構とを備えている。
〔作 用〕
第3図はステータ、ロータ間の加圧力とステータの共振
周波数との関係の実験結果を示すグラフ、第4図は2個
の振動波モータにおけるステータ。
ロータ間の加圧力とステータの共振周波数との関係を示
す説明図、第5図は′2つの振動波モータを1つの駆動
装置で駆動する状況を示す構成図であるO ステータ1とロータ9を加圧接触させる構成において、
ステータの共振周波数Pは第3図の実験6一 み5mm、ロータはその摺動面にはアラミド系のエンジ
ニアリングプラスチフスを設けたものを用いている。従
ってばね座金6の位置をねじによシ変え、加圧力を変化
させることによりステータ1の共振周波数をステータ1
の形状寸法を変更することなしに調整できる。
いま、第4図の説明図に示す振動波モータAとBのステ
ータ共振周波数特性α、βについて考える。同一の加圧
力Mにおいて振動波モータAのステータ共振周波数Sの
ほうが振動波モータBのステータ共振周波数Qよりも周
波数が小さい。この場合にはばね座金6の位置を変えて
圧縮ばね5の長さ?:調整して振動波モータAのステー
タ1とロータ9の加圧力を加圧力Nまで増加させ、振動
波モータBの加圧力を加圧力りまで減少することにより
、共振周波数を同じくすることができる。
従って第5図の構成図に示すように、A、B。
2個の振動波モータを同一の周波敷金発生させる駆動装
置C3によシ駆動することが実現できる。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例の部分断面を含む正面図、第
5図は本実施例による2つの振動波モータを1つの駆動
装置で駆動する状況を示す構成図である。
第5図において、円筒型金したローラ12の左右両端面
をロータ9とし、この両端面にステータAl、Blj−
加圧接触させる。固定軸8はローラ12の内側を貫通し
ておシ、ローラ12はこの固定軸8の周1回転できるよ
うになっている。
第1図の本実施例の基本構成を示す正面図は第5図に示
し友ローラ12の両側部分の詳細図になっておp、両端
部にねじ部7を螺設しt固定軸8にステータAI、Bl
i取シ付ける。さらにステータAl、Blがロータ9を
加圧するための圧縮ばね5を設け、固定軸8のねじ部7
に螺合するように内側にめねじ部分を有するばね座金6
を取p付け、この位置kfえることによシ圧縮ばね5の
加圧力’kW化させる。第1図において具体的な数値を
示すと、ステータ1は弾性を有する部材、燐青銅で構成
され元外径29mrrL%内径21 mm、厚さ5mm
の円環状のステータであり、ステータ1の端面に接着さ
れた厚さQ、5mmの圧電素子2に電気振動信号、例え
ば51KHz170Vp pの超f波1rX71してス
テータlに屈曲進行波を励振する。第2図の説明図に示
すようにステータIK屈曲進行波が生ずることによp楕
円軌道21をもつ振動が生ずる。この振動を、ロータ9
を圧接する前述の加圧構造をとることにより、ロータ9
の回転運動に変換する。ロータ9において、ステーク1
と接触する部分であるライニング面10については、耐
摩耗性に優れたエンジニアリングプラスチックス部材を
用い、表面粗さ08Sの加工方法を施こす。
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、振動波形を有する電気振
動を機械振動に変換する振動子と円環状共振子とを接着
した構造の円環状ステータと円環状ロータとを加圧接触
させ、加圧力が調整可能な加圧機構を設けることによシ
、複数個の振動波モ一タを用いた装置において、振動波
モータの入力電気信号を発生する駆動装置全撮動波モー
タに入力する周波数の種類だけ用意することなしに、複
数個の振動波モータを同一の周波数を発生させる1駆動
装置によフ駆動することができ、駆動装置の軽減分だけ
コストが安く、小型化に効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の部分断面?含む正面図、第
2図は進行波によるステータの振動のようすを示す説明
図、第3図はステータ、ロータ間の加圧力とステータの
共振周波数との関係の実験結果を示すグラフ、第4図は
2個の振動波モータにおけるステータ、ロータ間のカロ
圧力とステータの共振周波数との関係を示す説明図、第
5図は本実施例による2つの振動波モータを1つの駆動
装置で累勤する状況を示す構成図、第6図は従来の加圧
機構を有する振動波モータの一例を示す部分断面を含む
正面図、第7図は従来例の振動波モータ全2個使用しt
場合の駆動状況會示す構成図で一1〇− ある。 1.la、lb・・・・・・ステータ、2・・・・・・
圧電素子、3・・・・・・クツション、4・・・・・・
ステータ基板、5・・・・・・圧縮ばね、6,6′・・
・・・・ばね座金、7・・・・・・ねじ部、8.8′・
・・・・・固定軸、9・・・・・・ロータ、10・・・
・・・ライニング面、11・・・・・・軸受、12・・
・・・・ロー2.13・・・・・・筐体、21・・・・
・・楕円軌道、C,D・・・・・・ステータ表面上の一
点、P・・・・・・ステータの共振周波数特性、Q、R
,、S・・・・・・ステータの共振周波数、L。 M、N・・・・・・ステータとロータの加圧力、a・・
・・・・振動波モータAの共振周波数特性、β・・・・
・・振動波モータBの共振周波数特性、14a、14b
、14c・・・・・・駆動装置、15a、15b、15
C・・・・・・発振器。 代理人 弁理士  内 原   晋 第 1 面 $ 2 閃 $ 3 図 第 4 図 第 5 M 茅 乙 閉 $ 7 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 振動波形を有する電気振動を機械振動に変換する振動子
    と円環状共振子とを接着した構造の円環状ステータと円
    環状ロータとを加圧接触させる振動波モータにおいて、
    前記円環状ロータ軸上に固定しまた前記円環状ステータ
    を前記円環状ロータと隣接しつつ軸方向に移動可能に嵌
    着し且つ端部におねじ部を有する固定軸と、前記おねじ
    部に螺合するめねじ部を有して前記固定軸に螺着するば
    ね座金と、前記円環状ステータと前記ばね座金との間に
    設けられた圧縮ばねとを有して前記円環状ステータに対
    する加圧力を調整可能な加圧機構とを備えることを特徴
    とする振動波モータ。
JP63052147A 1988-03-04 1988-03-04 振動波モータ Pending JPH01227669A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63052147A JPH01227669A (ja) 1988-03-04 1988-03-04 振動波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63052147A JPH01227669A (ja) 1988-03-04 1988-03-04 振動波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01227669A true JPH01227669A (ja) 1989-09-11

Family

ID=12906762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63052147A Pending JPH01227669A (ja) 1988-03-04 1988-03-04 振動波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01227669A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04138079A (ja) * 1990-09-27 1992-05-12 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータ
JPH04190683A (ja) * 1990-11-22 1992-07-09 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータ駆動装置
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
US8559120B2 (en) 2010-06-09 2013-10-15 Canon Kabushiki Kaisha Control apparatus and adjustment method for vibratory actuator using a plurality of vibrators, vibratory actuator, and lens unit and optical apparatus using the vibratory actuator
JP2013233066A (ja) * 2012-04-03 2013-11-14 Ricoh Co Ltd 回転駆動伝達装置及びこれを用いた画像形成装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04138079A (ja) * 1990-09-27 1992-05-12 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータ
JPH04190683A (ja) * 1990-11-22 1992-07-09 Nissan Motor Co Ltd 超音波モータ駆動装置
US5939847A (en) * 1992-08-07 1999-08-17 Nikon Corporation Drive control device for ultrasonic motors
US8559120B2 (en) 2010-06-09 2013-10-15 Canon Kabushiki Kaisha Control apparatus and adjustment method for vibratory actuator using a plurality of vibrators, vibratory actuator, and lens unit and optical apparatus using the vibratory actuator
JP2013233066A (ja) * 2012-04-03 2013-11-14 Ricoh Co Ltd 回転駆動伝達装置及びこれを用いた画像形成装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7215063B2 (en) Vibration element and vibration wave driving apparatus
US4947076A (en) Piezo electric motor
US5646469A (en) Vibration driven motor including a vibration member having an elastic contact portion and a contact member having an elastic contact portion
US5274295A (en) Vibration driven motor
US6147436A (en) Piezoactive motor based on independent stator modules
JPS6022479A (ja) 超音波モータ
JPS59188381A (ja) 超音波モータ
KR100485882B1 (ko) 진동소자 및 진동파구동장치
JPH01227669A (ja) 振動波モータ
JPS59110388A (ja) 振動波モ−タ
JPH02311184A (ja) 超音波モータ
JPH01291675A (ja) 振動波モータ
JP3133202B2 (ja) 振動波モータ及び該モータを有する装置
JPS6231379A (ja) 超音波モータ
JP2683587B2 (ja) 超音波モータ
JP2903629B2 (ja) 超音波モータ
JPH01206880A (ja) 超音波モータ
JPH01177878A (ja) 振動波モータ
JPS61102177A (ja) 表面波駆動モ−タ−
JPS62107688A (ja) 小型アクチユエ−タ
JPS6359776A (ja) 超音波モ−タの回転子/移動子
JP2002369559A (ja) 振動波モータ
JP3575569B2 (ja) ロータ浮揚式超音波モータ
JPH07322656A (ja) 超音波モータ
JPH01177876A (ja) 振動波モータ