JPS6231283B2 - - Google Patents

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JPS6231283B2
JPS6231283B2 JP6754379A JP6754379A JPS6231283B2 JP S6231283 B2 JPS6231283 B2 JP S6231283B2 JP 6754379 A JP6754379 A JP 6754379A JP 6754379 A JP6754379 A JP 6754379A JP S6231283 B2 JPS6231283 B2 JP S6231283B2
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optical
signal
transducer
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component
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Adorufuson Moogan
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ASEA AB
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Publication date
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Publication of JPS6231283B2 publication Critical patent/JPS6231283B2/ja
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
    • G01H9/004—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors
    • G01H9/006—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means using fibre optic sensors the vibrations causing a variation in the relative position of the end of a fibre and another element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01D5/342—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells the sensed object being the obturating part
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/093—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up

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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はアナログ光学フアイバ変換器を用いて
測定する時に、発光ダイオード、ホトダイオー
ド、光電流増幅器、発光ダイオードエレクトロニ
クス、フアイバ、フアイバ接触子、フアイバホル
ダー、変換器機械装置、その他における不安定性
を補償する装置を備えた安定光学のフアイバ測定
装置に関するものである。
（発明の要約） 本発明による測定装置は位置、加速度、力、圧
力、伸び、温度、その他、などのさまざまな物理
量の光学フアイバ測定に使用するものである。こ
の測定装置の主な特徴は変換器からの光を少なく
とも２つの成分に分割し１つの測定成分は測定信
号及び電子工学上の両方の状態に関する情報を備
えており、また少なくとも１つの安定化成分は測
定装置の構成上の状態すなわち電子工学上の状態
にのみ関し測定値には影響されない情報を備えて
いるようにすることである。この測定成分と安定
化成分は測定装置の光検出器に連結されている電
子フイルターによつて分離されており、さらに安
定化成分の復調の後に信号が得られ、この信号は
補償信号と呼称されて、測定信号が測定装置の上
述の不安定性へ依存することを抑制するのに利用
される。測定信号はこのように測定成分と補償信
号との間の商の形成によつて、あるいはもし補償
信号が測定装置の光源への駆動電力における調整
器かあるいは測定装置の検出器増幅器の増幅を制
御するならば直接測定成分として得ることができ
る。本発明の別の点での特徴は特許請求の範囲か
ら明らかとなろう。
（実施例） この測定装置を添付図面を参照しながら説明す
ることにする。
第１図は動的測定量の測定装置を図示してお
り、この装置において発光ダイオード１は光を導
入する光学フアイバの中へと一定の光を放射する
ようになつている。このフアイバの出力端と光を
伝導するフアイバ７の入力端との間にはエアギヤ
ツプがあり、そこでは全体としてＳで示されてい
る変換器のスクリーンが動かせるようになつてい
る。この変換器は機械装置４を備えており、これ
によつて測定量５が前記エアギヤツプに在るスク
リーン３の動作に移されるようになつている。こ
の装置４は特定の周波数領域内で作動しまたエア
ギヤツプにおけるスクリーン３の動作は光を伝導
するフアイバ７に入りこむ光の強さを変調する。
スクリーン３の動作の振幅とフアイバ７における
光の振幅との間に線型関係を持たせるために、線
型化「ギヤツプ」６がエアギヤツプに置かれてい
る。この「ギヤツプ」は光線の方形ビームが得ら
れるように構成し、例えばその断面積が「ギヤツ
プ」の１部がスクリーンによつてどの位おおわれ
ているかによつて決定されるようにするとよい。
光を伝導するフアイバ７からの光はホトダイオー
ド８によつて検出されてから増幅器９において適
切なレベルに増幅される。発光ダイオード１から
のフアイバ２における光の１部は斜めの接合個所
３９によつて外へ伝導されてホトダイオード４０
へと連結され、この光電流は増幅器４１において
増幅される。電子ユニツト４２において、増幅器
４１の出力における雑音と増幅器９の出力におけ
る雑音との相関がとられることによつて、電子ユ
ニツト４２からの出力信号が、発光ダイオード１
からの雑音が相関によつて除去された後の、検出
信号から成るようにする。この相関を実行する最
も簡単な方法は増幅器４１の出力信号を増幅器９
の出力信号から引くこと、及び差の信号において
最小雑音が得られるまで増幅器４１の増幅を制御
することから成つており、この時この差の信号は
電子ユニツト４２からの出力信号を構成してい
る。電子ユニツト４２からのこの出力信号は低域
フイルタ１２と帯域フイルタ１４とのいずれにも
供給され、またフイルタ１４の通過周波数領域
は、装置４の周波数領域内である。これは、フア
イバ７内の出力信号がこのフイルタ１４を通過す
ることができるようにするためである。フイルタ
１４からの出力信号Ｕ（ｔ）は測定装置の測定信
号を構成する。低減フイルタからの出力信号は加
算装置１１において基準信号Ｖrefと比較されこ
の装置からの出力信号によつて調整器１３は制御
されて発光ダイオード１の駆動電子工学装置１０
が調整されフイルタ１２からの出力信号がＶref
に等しくなるようになる。このようにして電子工
学装置１０、発光ダイオード１、フアイバ２、フ
アイバ７、ホトダイオード８、及び増幅器９にお
けるパラメータの変化における補償が得られる。
調整器１３から増幅器９への点線は調整器１３が
前記増幅器の増幅も制御でき、その時電子工学ユ
ニツト１０は不変信号によつて制御されるという
方法を図示している。
第１図における構成は光検出器の零位点ドリフ
トに対しては補償していない。もしこのような補
償が必要ならば、第２図における測定成分と調整
成分とのいずれもに交番光線を使用する。部品１
〜１０は第１図のものと同一である。発光ダイオ
ードにおける駆動装置１０は調節可能増幅器１７
を通して発振器１８からの周波数０の交流電圧
によつて電力が供給される。増幅器９の出力は通
過周波数０の帯域フイルタ１５に接続されてい
る。フイルタ通過信号は整流器１６において整流
されてから低域フイルタ１２を通して加算装置１
１に供給され、ここでこの信号は基準信号Ｖref
と比較される。装置１１からの出力信号は誤差信
号として調整器１３に供給され調整器１３は増幅
器１７を調節し、増幅器１７の出力信号は駆動電
子ユニツト１０に供給される。発光ダイオード１
は低域フイルタ１２からの信号がＶrefと等しく
保持されるように調節される。増幅器１７は発振
器１８によつて発せられる交流信号の振幅を制御
する。この最も簡単な形式では調節可能増幅器１
７は乗算回路すなわち電界効果トランジスタを備
えた調節可能分圧器を備えていてその電圧が調整
器１３によつて調節されるようにしてもよい。発
振器１８の周波数０は標本化定理を満たすため
に測定信号の最高発生周波数の少なくとも２倍以
上の周波数であるものとする。測定信号は増幅器
９からの出力信号のフイルタ１４における復調に
よつて得られる。周波数０は測定測置の搬送周
波数と呼ぶことができ、また搬送波は変換器にお
けるスクリーン３の動作によつて変調される振幅
であると言える。
第２ａ図は測定信号が電気信号のみから成るこ
とが可能なことを図示している。発光ダイオード
１からの光はフアイバ２を通過して変換器に設け
られているダイオード３５へと伝導され、このホ
トダイオードの光電流は増幅器３６で増幅されて
その後制御信号として調節可能増幅器３７へ供給
される。測定電圧は増幅器３７で増幅されさらに
発光ダイオード３８を駆動して光を伝導するフア
イバ７の中を通してホトダイオード８へと光を供
給させる。測定信号を発生させて発光ダイオード
１を調整する電子工学装置は第２図に図示されて
いるものと同一である。フアイバ７を通る信号の
変調はこの場合、前に図示したように機械的にで
はなく、電気的になされている。
第３図は第２図に図示されているものよりはい
くらか簡単な電子工学装置を備えた測定装置を図
示している。もし搬送波がアナログスイツチ２０
の出力から得られる方形波２８から成るならばこ
のようにすることができる。感知器によつて変調
された方形波２９の振幅はこの時光電流増幅器９
から得られる。この方形波は高域フイルタ２１を
通して増幅器２２に供給され、ここにおいてフイ
ルタ２１からの出力信号は方形波発振器２３から
の出力信号３０によつて乗算される。この測定信
号は帯域フイルタ２４を通して取り出されるが、
一方電気光学上の状態は低域フイルタ２５を通し
た後で得られる。このフイルタの最高周波数は測
定信号の最低周波数よりも低く選択されている。
低域フイルタ２５からの出力信号及び基準信号Ｖ
refは加算装置２７で比較され、こうして得られ
た差の信号は積分器２６に供給され積分器２６は
駆動電子工学ユニツト１０への方形波の振幅を制
御してフイルタ２５からの出力信号がＶrefと等
しくなるようにする。このようにして光学回路の
パラメータ変化に対する補償が確実となる。発振
器２３からの信号３０はスイツチ２０を制御する
のに使用され、また周波数０は発生している最
高測定周波数の２倍以上に選択しなければならな
い。
前述の装置は変換器と発光及びホトダイオード
との間にただ１つのフアイバを備えている光学フ
アイバ測定装置に代えても好都合である。この装
置は第４図に図示されている。発光ダイオード１
からの光はフアイバ２を通してフアイバ３１に伝
導されフアイバ３１はこの光を変換器へ伝導す
る。この変換器はスクリーン３が移動するエアギ
ヤツプに線型化コラム６を備えており、またミラ
ー３２を備えて照射光の１部をフアイバ３１へと
反射して戻すようになつている。このため、反射
光の１部はフアイバ７を通つてその後ホトダイオ
ード８へと伝導される。このダイオードからの光
電流は増幅器９で増幅されてからフイルタ１４及
び１２によつて測定成分と安定化成分とにそれぞ
れ分割される。この２つのフイルタからの出力信
号は商形成器１９に供給され、この出力信号は―
前記２成分間の商から成るが―測定信号Ｕ（ｔ）
を構成する。この商形成は電気光学及びフアイバ
光学における不安定性における測定信号を補償す
ることとなる。フアイバ２，７及び３１における
光学的Ｙ結合が図示されているがこれの代りに第
４ａ図による発光ダイオード及びホトダイオード
構成を使用することが可能であり、このようにす
ると光の損失が少なくてすむ。発光ダイオード１
はフアイバ３１の端面の中心へと光を送り、一方
この発光ダイオードの周囲に同中心に位置する環
状ホトダイオード９はミラー３２によつてフアイ
バ３１へと反射された光を吸収するようになつて
いる。
第５図は第４図における光学変換器の修正した
１実施例である。この図においてフアイバ３１は
変換器ハウジング３３に取り付けられており、ま
た変換器の内側に位置するフアイバの部分３４は
取付け部で回転するようになつており、これによ
つてフアイバ部分３４の端面は部分的にミラー４
３の前で動くようになつている。図においてこの
端面が上方に動く時、フアイバへ反射される光は
少なくなり、またこの端面が下方に動く時にはフ
アイバへ反射して戻る光はより多くなることとな
る。これに反して変換器は紙面に垂直な動きには
感応しない。フアイバ端は第２次的機械発振装置
として動作するので、変換器は光学加速装置を構
成する。
幾何光学変換器の感度及び同時に線型性を増す
ために、第６図及び第７図における格子構成を使
用することができる。第６図によると、フアイバ
３１からの光は指数整合材料４４を通してガラス
かあるいは石英から成る光伝導板４５に伝導され
る。この光伝導板は基底部を、例えば真空蒸着法
によつて、薄い反射格子４６で被覆してある。こ
の格子を通して光の１部は指数整合材料４７及び
別の格子５０を通つて光伝導板４８へ伝導され
る。この光伝導板は端面を反射層４９によつてお
おわれており、この反射層４９によつて光が材料
４７を通つて光伝導板４５へさらにフアイバ３１
の中へと反射して戻ることになる。フアイバ３１
へと送り戻される光の量は光伝導板４５及び４８
の結合によつて決定され、さらにこれらの結合は
格子４６及び５０の相対位置によつて決定され
る。光伝導板４８は変換器ハウジング５１の基底
に固定されており、また光伝導板４５は可動コン
パウンド５２に固定されている。このコンパウン
ドはばね５３によつて下方へ押されており格子４
６と格子５０との間の距離を最小にしている。コ
ンパウンド５２は横方向にはばね５４によつて保
持されている。図示しかつ説明してきた変換器は
矢印５５の方向に敏感な加速度計として動作する
ものとし、重力コンパウンド５２及びばね定数は
ばねによつて、さらにどうしても指数整合材料４
７によつて決定されるものである。選択的に、光
をフアイバ３１から下方の光伝導板４８へと伝導
することができ、この時上方の光伝導板４５は反
射短絡面を設ける。
第７図はフアイバ３１からの光が光伝導板４５
及び４８の表面に垂直な格子へ伝導されることを
図示している。光は指数整合材料４４を通つて光
伝導板４５を通過しさらに格子４６、材料４７、
格子５０、光伝導板４８を通過し、光伝導板４８
の背面における反射面５６で反射され、さらに格
子を通つて戻りこうして反射光の１部はフアイバ
３１へ伝導して戻されることとなる。この変換器
はひずみ計として動作することとなる。光伝導板
４８は下方端が点５８においてロードセル（負荷
箱）５７に取り付けられている。一方光伝導板４
５は上端がクランプ５９によつてロードセル５７
に取り付けられている。力（Ｆ）がロードセル５
７にかかると、ロードセルは圧縮され、これによ
つて格子４６及び５０は相対的に移動してフアイ
バ３１から伝導されてきた光の変調を起こさせる
こととなる。２つの格子間の距離を最小にするた
めに、ばね６０が変換器ハウジング５１と光伝導
板４５との間に取り付けられている。
第８図は光学薄膜変調器７６及び７７を備えた
測定装置を図示している。これらは薄膜光伝導体
８６における光を薄膜支持層８５において変調す
る。駆動装置７３から駆動される半導体レーザ７
４からの光は、モノモードフアイバ（単一モード
フアイバ）７５へと伝導され、このモノモードフ
アイバは前記光伝導体８６に接続されている。光
伝導体８６は例えばチタン拡散酸化ニオブリチウ
ム結晶（Ti―diffused LiNbo3 crystal）である
とよい。この光は電気光学変調器７６及び７７に
よつて変調されてからフアイバ７８へ伝導され、
フアイバ７８は変調光を光検出器７９に伝導し、
この光電流は増幅器８０において増幅される。変
調器７７は測定信号Ｕioによつて制御され、一方
もう１つの変調器７６は電流電圧変換器７２を通
してホトダイオード７１によつて制御される。ホ
トダイオード７１は変調光をフアイバ７０を通し
て発光ダイオードすなわちレーザ６９から受ける
がこれは駆動装置６８及び周波数０の発振器６
７から駆動されるものである。増幅器８０の出力
に生じる入力信号は２つの帯域フイルタ８１及び
８２によつて測定成分及び安定化成分にそれぞれ
分割される。復調器８３における安定化成分０
の復調及び測定成分ｆnと、復調された安定化成
分０に対応する安定化信号との商形成の後、測
定信号が商形成器８４の出力において得られ、こ
の測定信号は、商形成を通して電気光学及びフア
イバ光学における不安定性に対して補償すること
となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は無周期信号を伴う光源の調整を示した
図である。第２図は周期信号を伴う光源の調整を
示した図である。第２ａ図は電気変調を備えた別
の構成を示した図である。第３図は方形波を伴う
光源の調整を示した図である。第４図は１つのフ
アイバを備えた変換器及び商形成を示した図であ
る。第４ａ図は発光ダイオード及びホトダイオー
ドの別の構成を示した図である。第５図はフアイ
バ及び半分のミラーを備えた変換器を示した図で
ある。第６図はフアイバ及び相対的に可動な２つ
の格子を備えた変換器を示した図である。第７図
はフアイバ及び相対的に可動な２つの格子を備え
た別の変換器を示した図である。第８図は光学薄
膜変調器を備えた変換器を示した図である。 参照符号の説明、Ｓ……変換器、Ｘio……測定
量、Ｕ（ｔ）……測定信号、０……安定化成
分、ｆn……測定成分、１……発光ダイオード、
２，７……光学フアイバ、８……ホトダイオー
ド、１０……駆動電子工学装置、１２，１４……
電子フイルタ、１３……調整器、１８……発振
器、３１……フアイバ、３３……変換器ハウジン
グ、３４……フアイバ端、４０……ホトダイオー
ド、４２……電子工学ユニツト、４３……ミラ
ー、４４……指数整合材料、４５，４８……光伝
導板、４６，５０……格子、４９……反射層、７
１……ホトダイオード、７６，７７……電気光学
変調器、８１，８２……帯域フイルタ、８３……
復調器、８４……商形成器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 物理量における動的変量を測定する安定光学
    フアイバ測定装置であつて、測定すべき物理量の
    作用を受ける変換器Ｓ、と前記変換器への光学入
    力信号を発生しかつこれに対応する変換器からの
    光学出力信号を処理する装置、を備えさらに少な
    くとも１つの光源及び少なくとも１つの光検波器
    と、変換器と光学信号を発生しかつ処理する前記
    装置との間に前記光学入出力信号を伝達する少な
    くとも１つの光学フアイバ、とを備え前記変換器
    は変換器への光学入力信号の少なくとも１部を変
    調する装置を備えており前記光学出力信号が被測
    定量を表わす少なくとも１つの測定成分と該測定
    量に対しては、前記測定成分よりも依存しにくい
    少なくとも１つの安定化成分とを備えるように
    し、光学信号を発生しかつ処理する前記装置は前
    記測定成分と前記安定化成分とを互いに分割する
    装置、とこれらの成分から測定信号及び補償信号
    を発生させる装置、と同様に前記補償信号を使用
    して測定信号の測定装置における不安定性への依
    存を減少させる装置、とを備えているものにおい
    て、 変換器に備えられている前記信号変調装置は変
    換器への光学入力信号及び変換器からの光学出力
    信号における伝達の減少を測定量に依存して起こ
    すようになつており、また、 前記光学入出力信号を発生させ処理する装置は
    フイルタ、位相制御増幅器、及び相関器あるいは
    これらのうちのいずれか１つであるような電子回
    路を備えて周波数において測定成分と安定化成分
    とを分離し、測定成分の周波数領域は測定量の変
    化の周波数領域によつて決定し、安定化成分の周
    波数領域は使用している光源の変調周波数によつ
    て決定するようにしたこと、を特徴とする安定光
    学フアイバ測定装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記安定化
    成分の復調及び前記補償信号の形成装置８２，８
    ３と測定成分と補償信号との商を形成することに
    よる前記測定信号形成装置８４とを備えていると
    したことを特徴とする光学測定装置。 ３ 特許請求の範囲第１項において、補償信号は
    調整器１３に供給されて前記光源１の駆動電子工
    学装置への駆動電力を制御しさらに検出器８の出
    力信号の増幅を制御するかあるいはこれらのうち
    のいずれか一方をなすようにしたことを特徴とす
    る光学測定装置。 ４ 特許請求の範囲第１項において、前記光源１
    は発振器１８，６７からの信号によつて変調さ
    れ、この周波数０は、周波数が０であつて、被
    測定量の周波数領域の外側に在るものであるとし
    たこと、安定化成分は光検出器８に接続しており
    かつ前記発振器周波数に同調されている電子フイ
    ルタ１２によつて発生されるとしたこと、及び測
    定成分は前記検出器に接続している別の電子フイ
    ルタ１４によつて形成され、前記フイルタは安定
    化成分を削除しているとしたことを特徴とした光
    学測定装置。 ５ 特許請求の範囲第１項において、変換器にお
    ける前記信号変調装置は前記光源の照射スペクト
    ルの少なくとも１部における光の吸収が被測定量
    に依存するような材料を備えているとしたことを
    特徴とする光学測定装置。 ６ 特許請求の範囲第１項において、変換器にお
    ける信号変調装置は相対的に可動な格子を備えて
    おり、前記格子の相対的動作は被測定量に依存し
    ていることとし、格子４６，５０は相互に部分的
    に重複するようになつていること、格子間の空間
    は指数整合材料４４で満たされていること、及び
    前記格子は前記指数整合材料の厚さを最小にする
    よう相互に押し合つているとしたこと、とを特徴
    とする光学測定装置。 ７ 特許請求の範囲第１項において、光変調装置
    は電子回路を備えており、該電子回路は一方では
    光学入力信号を被測定量の作用を受ける電気信号
    に変換する光検出器７１を備えており、他方では
    電気信号を光学出力信号に変換する装置を備えて
    いるとしたことを特徴とする光学測定装置。 ８ 特許請求の範囲第１項において、光源１から
    の光学信号の１部は直接に光検出器４０に伝導さ
    れるとしたこと、及び前記光検出器からの出力信
    号は電子光学ユニツト４２において変換器の出力
    信号における測定成分と統合されるとしたこと、
    及び前記電子工学ユニツトからの出力信号は測定
    成分に含まれている光源１及びその駆動装置１０
    から発出する雑音を抑圧するのに使用されるとし
    たことを特徴とする光学測定装置。 ９ 特許請求の範囲第６項において、格子４６，
    ５０は光伝導材料から成る板４５，４８の上に構
    成されているとしたこと、及び光を変換器の中に
    伝導しかつ外へ導き出す少なくとも１つのフアイ
    バ３１は前記光伝導材料板の少なくとも１つの表
    面に接続されているとしたことを特徴とする光学
    測定装置。 １０ 特許請求の範囲第１項において、１つであ
    りかつ同一のフアイバ３１は入力信号及び出力信
    号のいずれもにおいて使用され、前記フアイバは
    変換器ハウジング３３の中へと通されておりまた
    変換器ハウジングに貫通している間は変換器ハウ
    ジングの内側に位置するフアイバ端３４が取付け
    部の周囲で振動することができるように取り付け
    られており、前記変換器ハウジングはまた自由フ
    アイバ端の１部の前方に反射面４３を支持してい
    るとしたことを特徴とする光学測定装置。 １１ 特許請求の範囲第１項において、変換器に
    おける光変調装置は光学薄膜変調器７６，７７を
    備えているとしたことを特徴とする光学測定装
    置。
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