Изобретение относитс к контроль но-измерительной технике и может быть использовано в оптической инте ферометрии дл измерени малых медленных изменений длины оптического пути, обусловленных как перемещением отражающей поверхности, так и изменением показател преломлени среды внесенной в измерительное плечо интерферометра , в частности, устройст может быть использовано дл исследовани и измерени скорости роста кристаллов, в зтом случае отражающе поверхностью будет вл тьс растуща грань кристалла. Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство дл измерени м лых медленных изменений оптической длины измерительного плеча интерферометра , содержащее источник излучени , интерферометр, опорное зеркало которого укреплено на пьезокерамическом элементе, установленный на выходе интерферометра фотоприемник, схему обработки сигнала, генератор переменного напр жени , соединенный с пьезокерамическим элементом, и регистратор l , Однако известное устройство дл измерени малых медленных изменений оптической длины (например, в резуль тате изменени геометрических параметров объекта) обладает недостаточной чувствительностью, что обусловлено самим принципом измерени , осно ванньм на регистрации временных интервалов (минимальна зарегистрированна и устойчиво воспроизводима величина микронеровностей составл ет 50 А) . Цель изобретени - повышение точности измерений. Поставленна цель достигаетс тем, что в устройстве дл измерени малых медленных изменений оптической длины измерительного плеча интерферометра , содержащем источник излучени , интерферометр, опорное зеркало которого укреплено на пьезокерамичес ком элементе, фотоприемник, установленный на выходе интерферометра, схе му обработки сигнала, генератор переменного напр жени , соединенный с пьезокерамическим элементом, и регистратор , схема обработки сигнала выполнена в, виде соединенных последо вательно усилител переменного напр жени , соединенного с фотоприемником фазового детектора и усилител посто нного тока, выход которого соединен с пьезокерамическим элементом, второй вход фазового детектора соеди нен с генератором переменного напр жени ,, а ввлход - с регистратором. На чертеже приведена схема устройства . Устройство содержит источник 1 излучени , интерферометр, измеритель ное плечо которого образовано рассто нием от делительной полупрозрачной пластины 2 до отражател 3, а опорное плечо образовано рассто нием от пластины 2 до опорного зеркала 4 (отражатель 3 и зеркало 4 расположены так, что на выходе интерферометра образуетс интерференционна картина отражатель 3 представл ет собой либо зеркало измерительного плеча, в котором установлена исследуема среда с переменным показателем преломлени , либо вл етс отражающей поверхностью перемещающегос объекта), пьезокерамический элемент 5, генератор 6 переменного напр жени , соединенный с последним, фотоприемник 7, установленный на выходе интерферометра,схему обработки сигнала, выполненную в виде соединенных последовательно усилител 8 переменного напр жени , фазового детектора 9 и усилител 10 посто нного тока, соединенного с пьезокерамическим элементом 5, и регистратор 11, соединенный с выходом фазового детектора 9. Устройство работает следующим образом. Излучение источника 1 (лазера) полупрозрачной пластиной 2 делитс на опорное и измерительное, при этом пластина 2 направл ет измерительное излучение на отражатель 3, а опорное излучение на зеркало 4. Зеркало 4 под действием напр жени частоты F, подаваемого на пьезокерамический элемент 5, модулирует длину опорного плеча с частотой F. Тем самым с частотой F модулируетс фаза колебаний опорного излучени . В то же врем изменение оптической длины измерительного плеча приводит к изменению фазы колебаний измерительного излучени . На выходе интерферометра интерферируют два колебани : измерительного с фазой j, линейно завис щей от оптической длины измерительного плеча Е СО5 (оо,-су) , и опорное (cot-Фсоа2 1 Ft)/ „здесь W - оптическй частота,, а ф-111, где 7( ft . длина волны; 6 - амплитуда колебаний зеркала 4 (пор док величины F« 5-10 кГll:}t| 5-10%). В результате на ВЕлходе фотоприемника 7 содержитс сигнал ,пропорциональный E4Ei3,(9)s(nt(i cos 2ftPt, где - функци Бессел первого пор дка. Этот сигнал усиливаетс усилителем 8 и подаетс на первый вход фазового детектора 9, на второй вход которого поступает опорное напр жение частоты F. На выходе фазового детектора 9 напр жение равно и ), где А - амплитуда , определ ема интенсивност ми интерферирующих лучей и коэффициентами усилени и преобразовани в схее обработки сигнала. Напр жение U усиливаетс усилителем 10 псх;то нног тока и подаетс на пьеэокерамический элемент 5 зеркала 4 дл автоматической подстройки оптической длины опор ного плеча в соответствии с измен ющейс оптической длиной измерительного плеча (с точностью до целого числа длин волн, не вли ющего на результат интерференции). Выравнивание оптических длин плеч приводит к значительному уменьшению разности фаз 9 между интерферирующими колебани ми в результате чего ((( заменитс на (f-ktcU, где к - коэффициент усилени усилител Юг о - коэффициент, харак теризующий чувствительность пьезркерамического элемента 5. При этом напр жение и на выходе фазового детектора 9, вл ющеес сигналом ошибки , равно и (Cf-kei-U)«((-ыи), откуда следует . , .Таким образом, устройство позвол ет при выборе параметров Д,к и оС в соответствии с соотношением AkoC 1 получить линейную зависимость между изменением фазы измерительного излучени и сигналом ошибки и на выходе фазового детектора. Поскольку изме нение фазы ср линейно зависит от изменени оптической длины измерительного плеча, то при соответствующей калибровке регистратора им регистрируетс искомое изменение оптической длины. При наблюдении изменений оптической длины измерительного плеча, происход щих с низкой частотой (20-200 Гц), на лабораторнсм макете , зафиксировано пороговое значение чувствительности устройства пор дка сотой доли ангстр а при полосе при ема 6 Гц. При этом даже существенные изменени интенсивности излучени в измерительном плече, вызванные изменением коэффициента отражени от отражател 3, слабо вли ют на результат измерени г поскольку, как видно из соотношени (1), сигнал ошибки и слабо зависит от величины А, пропорциональной корню квгщратному от интенсивности излучени , отраженного от отражател 3. Дл компенсации флуктуации интенсивности опорного и измерительного излучений интерферометра (например, из-за флуктуации излучени лазера) в устройстве может быть использован второй фотоприемник, при этом, он должен быть оптически св зан с вторым выходом интерферометра, а выход фотоприемника должен быть подключен в противофазе с первым фотоприемником к входу усилител переменного напр жени .