JPS62296519A - スピンナ−装置の制御システム - Google Patents

スピンナ−装置の制御システム

Info

Publication number
JPS62296519A
JPS62296519A JP14212186A JP14212186A JPS62296519A JP S62296519 A JPS62296519 A JP S62296519A JP 14212186 A JP14212186 A JP 14212186A JP 14212186 A JP14212186 A JP 14212186A JP S62296519 A JPS62296519 A JP S62296519A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
processor
processors
wafer
unit control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14212186A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Tanaka
康博 田中
Yasuhiro Mizohata
溝畑 保広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority to JP14212186A priority Critical patent/JPS62296519A/ja
Publication of JPS62296519A publication Critical patent/JPS62296519A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、半導体ウェハを回転さI!つつ薬液の塗布
を行なう回転塗布ユニット(以下スピンナーユニットと
いう)を含む複数のウェハ処理ユニットから成るスピン
ナー装置の制御システムに関する。
(従来の技術とその問題点) 半導体集積回路(IC)の製造T稈において繰返し使用
される基本的なIC製造技術として、ホトリソグラフィ
がある。ホトリソグラフィは周知のように、半導体ウェ
ハ上のボ1〜レジスI・膜にICパターンを転写するた
めの技術であるが、従来これは例えばスピンナー装置と
露光If!(ステッパーなど)とを用いて実現されてい
た。スピンナー装置はホトリソグラフィの各■稈をそれ
ぞれ実行するための複数のウェハ処理ユニットが直列接
続されて構成され、入口から供給されたウェハは各ユニ
ット内においてそれぞれ所定の処理が順に施されて、出
口から排出される。つ■ハ処理コニツ]−はウェハを回
転させつつ薬液の塗布を行なうためのスピンナーユニッ
トを含み、スピンナーユニットにはホトレジスト液をウ
ェハにコーティングするためのスピンコータ、露光機に
J:る露光流のウェハに現i液を塗布して不要レジス1
〜を溶解除去するためのスピンディベロツバ−および、
洗浄液を噴射してウェハの洗浄を行なうためのスピンス
クラバーなどがある。ウェハ処理ユニットはさらに、ス
ピンナー装置の入口においてカセット内にセットされた
ウェハを1枚ずつ送り出すためのローダユニット、スピ
ンナー装置の出口においてホトリソグラフィ処理済のつ
Iハをカセット内に収納するためのアンローダユニット
、後工程ユニッ]への状況に応じて処理途中のウェハを
一時的にストックするためのバッファユニットおよび、
ウェハを加熱処理するためのベークユニットなどを含ん
でいる。
スピンナー装置はこれらのつ■ハ処理ユニットの多数の
集合体であり、各処理プロセスおよびユニット間の動作
を精密に制御するためには膨大なデータ処理を要する。
またウェハ処理ユニットのライン構成は、ウェハの処理
tdや条f′1等にあわ1!てユーザが自在に拡張・変
更可能であることが好Jjシい。このためスピンナー装
置の制御fl+システムとしては従来、各つTハ処即コ
ニツ1〜ごどにユニッ1〜制御ブロセツリを内蔵し、そ
れぞれのユニットにおける処理プロセスをそれぞれの:
1ニット制御プロl?ツ1ノーが管即し、更にイれを上
位の主プロ1′!ツ号が統轄制御する分散処理・集中制
御方式が採用されている。
第5図はこのようなスピンナー装置の制御システムにお
ける伝送ラインの系統図であり、第5図(a)は機能的
、電気的に見た接続形態を示し、第5)図(b)は物理
的1機械的に見た接続形態を示J。
MPは主プロセッサ、UP1〜UPoはn個のユニット
制御プロセッサである。第5図(a)において主プロセ
ッサMPと各ユニット制御ブ[lセッサUP1〜UPo
とは電気的に8本の線から成る接続ライン1を介して接
続され、その終端は抵抗2を介して接地されている。ま
た隣接するユニット制御プロセッサUP1〜UP0間は
、電気的に16本の線から成る接続ライン3を介して接
続されている。このような接続は現実には、第5図(b
)に示すように、多芯ケーブル4ど]ネクタ5どを用い
て、主プロセツ(t M Pおよびユニツ]・制御ブロ
セッyvp、間、ならびに隣接する各ユニット制御プロ
セッサUP1〜LJPo間をユニット番号順に接続する
ことにより実現される。多芯ケーブル4には例えば直径
12m、芯線28本の丸形多芯ケーブルを用い、]ネク
タ5には例えば36ビンコネクタを用いる。6は終端抵
抗コネクタである。
従来のスピンナー装置の制御システムにおける伝送ライ
ンは以」二のように構成されているので、■太いケーブ
ルが各つ■ハ処理ユニットごとに2本付加されるためス
ペースをとる、■接点数が多いため信頼性が低くなる、
■主プロセッサと]ニット制御プロセッサ間および隣接
する2つのユニット制御プロセッサ間が同時に通信して
いる時があるため、近端漏話が発生して伝送エラーを引
き起こす可能性がある、■太いケーブルをユニット−4
一 番号順に接続しなければならないが、プロはツサが物理
的スペースの関係ににリユニット番号順に配置できない
場合には、第6図に示すようにケーブルが往復する形と
なり配線が複軸になる、等の多くの問題を含んでいる。
ざらにユニット制御プロセッサ(JP1〜UP。
間では、隣接するものを除いて直接に情報伝達するアク
セスパスが無いため、その必要が生じた場合には主プロ
セッサMPを一旦介在させなlればならず、処理手順が
複雑になり、処理速度も遅い」−1あるユニット制御プ
ロセッサから同時に他の多数のユニット制御プロセッサ
に同一情報を知らせることはできないという問題もある
。特にユニット制御プロセッサのある特定の事象により
他の全てのまたはいくつかのユニット制御プロセッサが
直ちにある定まった処理をしなりればならないとき(例
えばウェハ処理ユニットの処理内容の瞬時変更や緊急停
止トなどのとき)には、この問題は中太となる。
(発明の目的) そこでこの発明の目的は、上記従来技術の種々の問題点
を解消し、主プロセッサおよびユニット制御プロセッサ
間の配線を簡便にかつ信頼性よく行なうことができ、し
かも主プロセッサおよび]−ニット制御プo tツJu
Iの情報伝達を迅速に行なうことができるスピンナー装
置の制御システムを捉供することである。
(目的を達成するための手段) 上記目的を達成するため、この発明によるスピンナー装
置の制御システムにおいては、複数のウェハ処理ユニッ
トの各々ごとに設置Jられ、それぞれのユニットの動作
を制御するユニット制御プロセッサと、このユニット制
御プロセッサの上位に位置し、各ユニット制御プロセッ
サの動作を制御する主プロセッサとを、共通のシリアル
バスを介して並列接続してLAN (ローカルエリアネ
ットワーク)を構築し、このIANににり任意のプロセ
ッサ間のデータ伝送を行なうにうにしている。
(実施例) 第1図はこの発明によるスピンナー装置の制御システム
の一実施例を示すブロック図であり、この実施例にかか
る制御システムは第2図のスピンナー装置に適用したも
のである。
第2図において、スピンナー装置7は15個のウェハ処
理ユニツl−u 1〜【」15がライン状に接続されて
構成されており、そのライン途中には、ボ1〜レジスト
がコーティングされたつ■凸表面にICパターンを露光
するための露光機8および、ホ]〜リソグラフィ処理が
終了したつIハを検査するための検査装置9が挿入され
ている。
Ll、L2の信号が付されたウェハ処理コ、ニットu 
、11 はローダユニットであり、10ット単位で図示
しないカセット内に収納されたつTハを1枚ずつスピン
ナー装置7の処理ラインに送り出すためのものである。
ULl、jJ L2の記号が付されたウェハ処理ユニッ
トu14”15はアンローダユニットであり、スピンナ
ー装置7の処理ラインを経てホトリソグラフィ処理が完
了したウェハを順に図示しないカセツ]へ内に収納する
ためのものである。13f  −Bf5の記号が付され
たつ一/− エバ処理ユニットLj 3. tJ−t〜u1o、u1
3はバッフ7ユニツトであり、後工程ユニツ]−の状況
に応じて処理途中のウェハを一時的にストックして、ウ
ェハの流れを時間的、物理的に調整、緩衝するためのも
のである。ローダユニットLJ1.u2、バッファユニ
ットu 、u 〜U  、U  、およびアンローダユ
ニットU  、U  は機構的には同一構造であり、動
作条件および機能を決定するソフトウェア、すなわちプ
ログラムが異なるだけである。そのプログラムは予め4
種類(ローダ、バッファ、スルー、アンローダ)が準備
されかつ登録されていて、外部からそのモードを指定す
ることにより切り替わるようになっている。、スルーモ
ードとはバッフ7ユニツトにおいて調整J緩衝の機能を
無くしたもので、単なる搬送]ンベアのようなものであ
る。
op+cpの記号が付されたウェハ処理ユニットu4.
LJ6およびD P +D Pの記号が付されたウェハ
処理ユニットu12はいずれもベークユニットであり、
ウェハを加熱処理してその表面を化学−〇   − 一  8 − 的安定状態にしたり乾燥さ1!たりするためのものであ
り、加熱用ダイレクトホットプレー1〜(1)P)や冷
却用クーリングプレート(CP)が記号に示すように組
合せられて構成されている。SCWの記号が付されたウ
ェハ処理ユニット115はスピンコータユニットであり
、ウェハを回転さI!つつぞの土面にレジスト液を塗布
して]−ティングするためのものである。またSDRの
記号が付されたウェハ処理ユニットu11はスピンディ
ベロツパーユニットであり、露光118によりICパタ
ーンを露光部のウェハを回転させつつその上面に現像液
を塗布して、例えばポジタイプのものであれば露光部分
のレジストを溶解除去するだめのものである。
第1図において、UP 〜UP15は上述したつ1ハ処
理ユニツト11 〜’15にそれぞれ個別に設置 けられたユニット制御プロセッサであり、イれぞれのウ
ェハ処理ユニットにおGJる処理プロセスを個別に管理
するためのものである。またMPは1:プロセッサであ
り、これらの]ニニラへ制御プ1]セッサLJP1〜U
P15の十位に位胃1ハこれらの1ニツト制御プロセツ
4ノU r) 1〜tJP1.、の動作を統轄管理して
、スピンナー装置全体の動作を制御づるためのものであ
る。主プロセッサ−MPおよびユニット制御プロセッサ
ーJP  〜UP15はシリアルバス10を介して並列
接続されて1−八N(ローカルエリアネットワーク)が
構築され、このL A N回線を介して任意のプロセッ
サ間でデータ伝送が行なわれる。多重アクセス方式は通
信制御の簡易性を考慮してC8MA/CD (キ11リ
ア検出多重アクセス/衝突検知)方式を採用してもよく
、また伝送方式はIANの規模おにび特性を考慮すれば
ベースバンド伝送方式が経済的である。
シリアルバス10は例えば同軸ケーブルから成り、この
同軸ケーブルと各プロセッサからの同軸ケーブルとの接
続はT型同軸ケーブルコネクター1を用いて行なわれる
。このような構成をとることにより、各ユニット制御プ
ロセッサUP1〜UP15に対しては細い(直径約7 
# f!i!度の)同軸ケーブルが1本人るだけでよく
、スペース的に有利であり、接点は2点だけである(信
号線とシールド線)ため信頼性が高く、構造上強固であ
る。加えて1本の同軸ケーブルを介してデータ伝送を行
なうため近端漏話が発生ずることはなく、さらに隣接ウ
ェハ処理ユニット間の通信線を廃したことから必ずしも
つ■ハ処理ユニットの番号順にユニット制御プロセッサ
を接続し/工くてもよいので、ケーブル配線が非常にシ
ンプルなものとrrる。
第3図は第1図のLAN回線を介したデータ伝送の一例
を示すシーケンス図であり、縮方向は時間、横方向はつ
■ハ処理ユニット1J  〜1115のうインに沿った
ウェハ物流およびユニツ]−制御プ[1けツ’J−U 
P 1〜UP15のメツセージ空間を表わしている。図
中、” RE A D Y ”おJ:び″“11 LJ
 S Y ”はそれぞれのウェハ処理ユニットu1〜」
」15のステータスを表わす。ここで用いられているメ
ツ[−ジは次のとおりである。
l−RQ (1−ine Ready 0ues目on
)θ−ダニニットtJ1.LI2の排出制ηUのために
ライン下流のウェハ処理ユニットの状態を見るためのメ
ツセージである。
L RA (line Ready Answer)L
RQメツセージに対する返答メツセージである。L R
Qメツセージを受信したウェハ処理ユニットが’ RL
J S Y ”であれば、l−RQメツセージの発信元
のウェハ処理ユニツ!・にこのメツセージを発信する。
“’RFADY”であれば自分自身は” B U S 
Y ”になり、下流のウェハ処理ユニットにLRQメツ
セージを伝達する。
E  X  R([xhaust  Request)
ローダユニットu1.u2において、ウェハ排出の要求
およびタイミング的に今ウェハを排出1ノでもよいかど
うかの問い合せメツセージである。
E X S (Exhaust 5tart)ローダユ
ニットU、U、、におけるウェハ排出の開始を制御する
メツセージである。
RE Q (ReqlleSt) ライン上流のウェハ処理ユニットからライン下流のウェ
ハ処理ユニットにウェハを送り出したい意向のメツセー
ジである。
RD Y (Ready) ウェハ受入れ可能を示すメツセージである。
影娼1u堕徂 RDYメツセージを受信したことによりウェハの送り出
しを開始したことを示すメツセージである。
F< CV (Receive ウェハの受取りを終了したことを示すメツセージである
M D S (Mode Data 5et)所要のウ
ェハ処理ユニットにモードデータをセラ1〜して、それ
らのユニットのモードを一斉に同一モードに切り替える
ためのメツセージである。
いま時刻T1において、10ッ1〜分のウェハを収納し
たカセットがローダユニット【」1にセットされたとす
る。このときバッフアユニットLJaよりも下流では、
前ロットのウェハが流れている。
ローダユニット01はLRQメツセージを発信し、この
メツセージは“’ RE A D Y ”のつ■ハ処理
ユニットU 〜【」7を伝播して(このとき各ウェハ処
理ユニットLJ 2〜LJ 7ハ” B U S Y 
” ニなる)′″F3 u s y ”のバッフ7ユニ
ツト【J8に達し、そこからLRAメツセージがローダ
1ニツト」」1に返送されてくる。続いてローダユニッ
トu1はFXRメツセージをローダユニットu2に発信
し、EXSメツセージを受信する。ここからウェハの受
渡しが開始され、1回(ウーハ一枚)の受渡しシーケン
スは上流側ウェハ処理ユニットから見た場合、REQメ
ツセージの発信→RDYメツし=ジの受信→SNDメツ
セージの発信→RCVメツセージの受信により完了する
。このようにして各ユニット制御プロセッサーJP1〜
UP15により各ウェハ処理ユニットu1〜u15にお
【ノるそれぞれのウェハ処理プロセスが管理されつつ、
つ■ハが上流ユニットから下流ユニットへと流通され、
ホトリックラフィ処理が行われる。
このような通常処理途中に、例えば時刻T2において、
バッファユニットu7への外的または内的条件トリガに
より、瞬間的にバッファユニット’8 ” 9 ’  
10” 13の処理機能をバッファモ−ドからスルーモ
ードに変更してその機能を一定時間維持しなければなら
ないことがあるとする。
このような状況は例えば、時刻T1においてセラ]・さ
れたロットの先頭ウェハがバッファユニットU1に達し
たときに、その先頭つIハのみを早くライン最後まで送
ってそのロットに対するホトリソグラフィ結果をテスト
したいという要求がある場合などに生じる。
このときバッファユニットu1は下流のバッフ1ユニッ
トu8.u9.ulo、u13にMDSメツセージを発
信し、これらのバッファユニットのモードを同時かつ瞬
時にバッファモードからスルーモードに切り替える。こ
れにより第4図に示すように、バッファユニット(18
→バツフアユニツトu9および、ベークユニット112
→バツフアユニツトL113に受渡しされているウェハ
W1.W2があるとき、バッファユニットu1で前記ト
リガが発生した瞬間にバックアユニットLJ、U9.L
J1o、u13の機能はバッファからスルーに切り替っ
て、ウェハW 、W2は矢符サム方向(カセット内への
バッファ方向)へは行かずに矢符号8方向へ行くことに
なる。つまり前ロットのウェハでバッファされていない
ものは迅速にライン最後まで送られるとどもに、テスト
したいロットの先頭ウェハはバッファされることなく迅
速にライン最後まで送られてそのホトリソグラフィ結果
がテストされる。
なお、上)本のバッファ動作からスルー動作への変更な
どのように、瞬時にメツセージやある量のデータを伝送
して所要ウェハ処理ユニットの処理条件、111能を変
更しなければならないような状況は、この他に例えばウ
ェハ1枚ごとに多量の処理条件データを伝送して処理プ
ロセスを変更するいわゆるウェハ枚葉管理の場合や、ス
ピンコータユニット(」5における処理結果を露光1f
i8にフィードフォワードして露光条件を変更する場合
などにも生ずるものであり、このような場合にも本発明
は効果を発揮する。
本発明におけるLANにおいて、データリンクプ0トコ
ロルは標準的な)−I D L C(旧gh 1eve
l Data 1.ink Control)手順を採
用することができる。
HD L C手順によれば、伝送効率および信頼+1が
高く、トランスペアレンジ−であり、システムの拡張性
、柔軟性に優れているといった種々の利点が得られる。
一方、一部のユニット制御プロセッサに同一メツセージ
を伝送したいどきは順次直列伝送どなるが、同軸ケーブ
ルを用いた高速(−例として48に−BPS)のデータ
伝送が可能であるので、マクロ的に見た場合には多重制
御と同等である。
(発明の効果) 以上説明したように、この発明によれば、主プロセッサ
およびユニット制御プロセッサu!1の配線を簡便にか
つ信頼性よく行なうことができ、しかも主プロセッサお
よびユニット制御プロセッサ間の情報伝達を迅速に行な
うことができるスピンナー装置の制御システムを実現す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
は第1図の実施例が適用されているスピンナー装圃の構
成説明図、第3図はL A N回線を介したデータ伝送
の一例を示すシーケンス図、第4図はウェハ物流の説明
図、第5図は従来のスピンナー装置の制御システムにお
【ノる伝送ラインの系統図、第6図はウェハ処即ユニツ
1へ間配線の説明図である。 7・・・スピンナー装置 10・・・シリアルバス (1〜(」15・・・つxハ処理ユニットMP・・・主
プロセツ号 (JP1〜【]P15・・・コ、ニット制御プロセッサ
代即人 弁理士 吉田茂明

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)半導体ウェハを回転させつつ薬液の塗布を行なう
    回転塗布ユニットを含む複数のウェハ処理ユニットから
    成るスピンナー装置の制御システムであつて、各ユニッ
    トごとに設けられ、それぞれのユニットの動作を制御す
    るユニット制御プロセッサと、このユニット制御プロセ
    ッサの上位に位置し、各ユニット制御プロセッサの動作
    を制御する主プロセッサとを備え、前記ユニット制御プ
    ロセッサおよび主プロセッサを共通のシリアルバスを介
    して並列接続したLANにより任意のプロセッサ間のデ
    ータ伝送を行なうようにしたことを特徴とするスピンナ
    ー装置の制御システム。
  2. (2)シリアルバスは同軸ケーブルから成る、特許請求
    の範囲第1項記載のスピンナー装置の制御システム。
JP14212186A 1986-06-17 1986-06-17 スピンナ−装置の制御システム Pending JPS62296519A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14212186A JPS62296519A (ja) 1986-06-17 1986-06-17 スピンナ−装置の制御システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14212186A JPS62296519A (ja) 1986-06-17 1986-06-17 スピンナ−装置の制御システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62296519A true JPS62296519A (ja) 1987-12-23

Family

ID=15307885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14212186A Pending JPS62296519A (ja) 1986-06-17 1986-06-17 スピンナ−装置の制御システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62296519A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03163818A (ja) * 1989-11-22 1991-07-15 Canon Inc ウエハ搬送装置
JPH0562873A (ja) * 1991-09-03 1993-03-12 Canon Inc 半導体製造装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55153004A (en) * 1979-05-08 1980-11-28 Rodenhuis & Verloop Bv Control system
JPS5762407A (en) * 1980-10-03 1982-04-15 Toshiba Corp Process controlling method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55153004A (en) * 1979-05-08 1980-11-28 Rodenhuis & Verloop Bv Control system
JPS5762407A (en) * 1980-10-03 1982-04-15 Toshiba Corp Process controlling method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03163818A (ja) * 1989-11-22 1991-07-15 Canon Inc ウエハ搬送装置
JPH0562873A (ja) * 1991-09-03 1993-03-12 Canon Inc 半導体製造装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3271669B2 (ja) フェイル・オーバー・スイッチング・システム
JP2770936B2 (ja) 通信ネットワークおよび通信チャンネルをつくる方法
KR950002712B1 (ko) 네트워크 인터페이스 장치
CA1263759A (en) Arrangement for on-line diagnostic testing of an off- line standby processor in a duplicated processor configuration
US4760571A (en) Ring network for communication between one chip processors
EP0472835B1 (en) Notification and verification of state changes in a data processing input/output system
JPS5923142B2 (ja) デ−タ通信システム用アダプタ
KR100238251B1 (ko) 하나의 도포 및 현상을 수행하는 장치에 복수의 정렬 및 노광장치를 병렬적으로 인-라인시킨 포토리쏘그래피장치
JPS62296519A (ja) スピンナ−装置の制御システム
CZ280707B6 (cs) Komunikační systém
US4962378A (en) Multi-user serial bus system
WO2002033561A2 (en) Switching unit for connecting arbitrated loop
JP2877998B2 (ja) 半導体製造装置
JP3789155B2 (ja) ネットワークの初期化方法
CN110213402A (zh) 电子数据分配控制设备和用于运行这种控制设备的方法
JP3591383B2 (ja) 共有バス障害診断装置及び方法
KR930004909B1 (ko) 지역 네트워크 콘트롤러 시스템
KR100954899B1 (ko) 인 라인 접속 설정 방법 및 장치 및 그리고 기판 처리 장치및 기판 처리 시스템
US5710893A (en) Method and apparatus for replicating digital signals
CN109936518B (zh) 交换芯片通道故障的检测方法和分布式机架交换机
KR100286225B1 (ko) 전전자교환기의 프로세서간 통신 메시지 처리 방법
JPH0191547A (ja) 共通バスシステム
JPH01229541A (ja) 同一通信パスにおける端末からのアクセス方式
CA1146631A (en) Signal distributor test arrangement
JPH11313072A (ja) 光加入者線伝送システムおよび端局装置の切り替え方法