JPS62294487A - アルカリ溶解型感光性ドライフイルム現像廃液の処理方法 - Google Patents
アルカリ溶解型感光性ドライフイルム現像廃液の処理方法Info
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- JPS62294487A JPS62294487A JP13569686A JP13569686A JPS62294487A JP S62294487 A JPS62294487 A JP S62294487A JP 13569686 A JP13569686 A JP 13569686A JP 13569686 A JP13569686 A JP 13569686A JP S62294487 A JPS62294487 A JP S62294487A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/3092—Recovery of material; Waste processing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
産業上の利用分野
本発明は、プリント配線板又は半導体集積回路の回路形
成に用いるアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現像廃
液からドライフィルム樹脂を遊離し、連続的に分離処理
するアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現像廃液の処
理方法に関するものである。
成に用いるアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現像廃
液からドライフィルム樹脂を遊離し、連続的に分離処理
するアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現像廃液の処
理方法に関するものである。
従来の技術
アルカリ溶解型感光性ドライフィルムは未露光２ ペー
／ 部分の感光性樹脂が、数組量パーセントの炭酸ソーダ水
溶液で溶解する性質を有する３、これは未露光樹脂の一
〇Ｈ基が炭酸ソーダのＮａと置換反応し−ＯＮ＆となり
水溶性となるためである。この反応は可逆反応であり、
ドライフィルム樹脂の溶解した水溶液を酸性側に傾ける
と一０Ｎａが一〇Ｈの不溶性の形となり水溶液から遊離
」−る。
／ 部分の感光性樹脂が、数組量パーセントの炭酸ソーダ水
溶液で溶解する性質を有する３、これは未露光樹脂の一
〇Ｈ基が炭酸ソーダのＮａと置換反応し−ＯＮ＆となり
水溶性となるためである。この反応は可逆反応であり、
ドライフィルム樹脂の溶解した水溶液を酸性側に傾ける
と一０Ｎａが一〇Ｈの不溶性の形となり水溶液から遊離
」−る。
通常、酸性にするためには硫酸を用いており、この硫酸
はドライフィルム樹脂を不溶性の形にすると共に炭酸ソ
ーダと反応して炭酸ガスを生成するため不溶性のドライ
フィルムはスポンジ状の粘着性を有するかた１りとなっ
て浮遊することになり、廃液処理するものであった。
はドライフィルム樹脂を不溶性の形にすると共に炭酸ソ
ーダと反応して炭酸ガスを生成するため不溶性のドライ
フィルムはスポンジ状の粘着性を有するかた１りとなっ
て浮遊することになり、廃液処理するものであった。
以下、従来の廃液処理方法を図面第２図を用いて説明す
ると、現像機１の現像廃液２をポンプＰ。
ると、現像機１の現像廃液２をポンプＰ。
により処理タンク６に移し、硫酸タンク３より硫酸を注
入し、スポンジ状の粘着性を有するドライフィルム４と
炭酸ガスを生成して処理していた。
入し、スポンジ状の粘着性を有するドライフィルム４と
炭酸ガスを生成して処理していた。
発明が解決しようとする問題点
この状態では下記（１）式で示すように反応して、３
ベーン ２ＲＣＯＯＨはスポンジ状のため含水量が多く、かつ粘
着質であるため設備上連続処理が不可能でありどうして
も人間に頼らざるを得なかった。
ベーン ２ＲＣＯＯＨはスポンジ状のため含水量が多く、かつ粘
着質であるため設備上連続処理が不可能でありどうして
も人間に頼らざるを得なかった。
又、人間で処理するにしても、著るしい労力が必要であ
りかつ処理する量も限られるものであった。
りかつ処理する量も限られるものであった。
２ Ｒ（１’ ＯＯＮ ａ 十Ｎ ａ ２００ ｓ ＋
２ Ｈ２Ｓ Ｏ４→２ＲＣ００Ｈ＋２Ｎａ２Ｓｏ４＋Ｈ
２０＋Ｃｊ０２↑ ・・・・・・（１）本発明は上述の
ような従来の欠点を除去し、溶解しているドライフィル
ム樹脂を粘着性のない粒状の状態にし設備的に連続除去
できるアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現象廃液゛
の処理方法を提供するものである。
２ Ｈ２Ｓ Ｏ４→２ＲＣ００Ｈ＋２Ｎａ２Ｓｏ４＋Ｈ
２０＋Ｃｊ０２↑ ・・・・・・（１）本発明は上述の
ような従来の欠点を除去し、溶解しているドライフィル
ム樹脂を粘着性のない粒状の状態にし設備的に連続除去
できるアルカリ溶解型感光性ドライフィルム現象廃液゛
の処理方法を提供するものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明は硫酸の代りにアル
カリ土類金属の塩を用いてドライフィルムと反応させる
ことを特徴とするものである。
カリ土類金属の塩を用いてドライフィルムと反応させる
ことを特徴とするものである。
作用
上記方法を採用することにより、ドライフィルム樹脂の
粘着性をなくシ、炭酸ガスの発生をなくすため粒状の状
態にして廃液からの分離回収を容易にするものである。
粘着性をなくシ、炭酸ガスの発生をなくすため粒状の状
態にして廃液からの分離回収を容易にするものである。
実施例
以下、本発明の一実施例である廃液処理方法を図面を用
いて説明する。
いて説明する。
第１図においてコンベア式スプレータイプの現像機６の
現像液７をポンプＰ、を用いてストックタンク８に移し
、ストックタンク８より一定量の現像液７をポンプＰ、
により反応タンク９に移す。
現像液７をポンプＰ、を用いてストックタンク８に移し
、ストックタンク８より一定量の現像液７をポンプＰ、
により反応タンク９に移す。
この反応タンク９内で現像液７をカクノ・ン機１０を動
作させて塩化カルシ−ラムタンク１１よシ塩化カルシュ
ウムを注入又は添加する。
作させて塩化カルシ−ラムタンク１１よシ塩化カルシュ
ウムを注入又は添加する。
２Ｒ−Ｃ０ＯＮａ＋２ＣａＣ７ｉ２＋Ｎａ２Ｇｏ３−＋
２Ｒ−Ｃ００（ｊａ−１−２Ｎａｃ７！＋ＣａＣＯ３↓
・＝・（２）上記（２）式から反応に見合う一定量の
塩化カルシュラムを注入又は添加する。
２Ｒ−Ｃ００（ｊａ−１−２Ｎａｃ７！＋ＣａＣＯ３↓
・＝・（２）上記（２）式から反応に見合う一定量の
塩化カルシュラムを注入又は添加する。
一定時間反応後分離装置内のベルト状の沢過フィルター
１２へ送られドライフィルム１３と水１４とを分離し粒
状のドライフィルム１３はベルト状の沢過フィルター１
２よりドクター１６等で６ ベーン ドライフイルム樹脂層受１７に落され、ｒ過フィルター
１２を通った水１４はオーバーフロータンク１６へ入り
一部が反応効率を高めるために反応タンク９へ廻される
。
１２へ送られドライフィルム１３と水１４とを分離し粒
状のドライフィルム１３はベルト状の沢過フィルター１
２よりドクター１６等で６ ベーン ドライフイルム樹脂層受１７に落され、ｒ過フィルター
１２を通った水１４はオーバーフロータンク１６へ入り
一部が反応効率を高めるために反応タンク９へ廻される
。
このザイクルの繰り返えしにより連続的に現像廃液を処
理することができる。
理することができる。
ここでは塩化力ルシュウムを用いだが塩化バリウム、塩
化マグネシュウムでも同じ効果が得られる。溶解したド
ライフィルムのＮａイオンと塩化力ルシュウムのカルシ
ュラムイオンとが置換することにより粘着性のないドラ
イフィルム２ｕｃｏｏｃａが生成しかつ未反応の炭酸ソ
ーダと反応して炭酸カルシコウムに変化する。これは過
剰の塩化力ルシュウムを加えることで炭酸カルシュラム
の沈殿が生成することで確認できる。アルカリ土類金属
の炭酸塩は溶解度が小さいため結晶化して沈殿するため
である、このことにより炭酸ガスの発生はなくなり、ス
ポンジ状のドライフィルムの生成はない。
化マグネシュウムでも同じ効果が得られる。溶解したド
ライフィルムのＮａイオンと塩化力ルシュウムのカルシ
ュラムイオンとが置換することにより粘着性のないドラ
イフィルム２ｕｃｏｏｃａが生成しかつ未反応の炭酸ソ
ーダと反応して炭酸カルシコウムに変化する。これは過
剰の塩化力ルシュウムを加えることで炭酸カルシュラム
の沈殿が生成することで確認できる。アルカリ土類金属
の炭酸塩は溶解度が小さいため結晶化して沈殿するため
である、このことにより炭酸ガスの発生はなくなり、ス
ポンジ状のドライフィルムの生成はない。
発明の効果
６ ベージ
以上のように本発明のアルカリ溶解型感光性ドライフィ
ルム現像廃液の処理方法はドライフィルムの現像廃液の
処理にアルカリ土類金属塩を用いることによりドライフ
ィルムに粘着性をなくし、粒状の状態にすることにより
連続処理が困難であったものが短時間に連続的に廃液処
理が可能となり、産業的価値の大なるものである。
ルム現像廃液の処理方法はドライフィルムの現像廃液の
処理にアルカリ土類金属塩を用いることによりドライフ
ィルムに粘着性をなくし、粒状の状態にすることにより
連続処理が困難であったものが短時間に連続的に廃液処
理が可能となり、産業的価値の大なるものである。
第１図は本発明のアルカリ溶解型感光性ドライフィルム
現像廃液の処理方法の一実施例を示す概略説明図、第２
図は従来例の概略説明図である。 ６・・・・・・コンベア式スプレータイプの現像機、７
・・・・・・現像液、８・・・・・・ストックタンク、
９・・・・・・反応タンク、１０・・・・・・カクハン
機、１１・・・・・・塩化カルシュラムタンク、１２・
・・・・・ベルト状のｒ過フィルタ、１３・・・・・・
ドライフィルム、１４・・・・・・水、１５・・・・・
・ドクター、１６・・・・・・オーバーフロータンク。
現像廃液の処理方法の一実施例を示す概略説明図、第２
図は従来例の概略説明図である。 ６・・・・・・コンベア式スプレータイプの現像機、７
・・・・・・現像液、８・・・・・・ストックタンク、
９・・・・・・反応タンク、１０・・・・・・カクハン
機、１１・・・・・・塩化カルシュラムタンク、１２・
・・・・・ベルト状のｒ過フィルタ、１３・・・・・・
ドライフィルム、１４・・・・・・水、１５・・・・・
・ドクター、１６・・・・・・オーバーフロータンク。
Claims (1)
- アルカリ溶解型感光性ドライフィルムの溶解したアル
カリ水溶液の中に、Ｃａ、Ｂａ等のアルカリ土類金属の
塩化物を用いてドライフィルム樹脂を遊離凝集させ、連
続的に分離処理するアルカリ溶解型ドライフィルムの現
像廃液の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13569686A JPS62294487A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | アルカリ溶解型感光性ドライフイルム現像廃液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13569686A JPS62294487A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | アルカリ溶解型感光性ドライフイルム現像廃液の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62294487A true JPS62294487A (ja) | 1987-12-21 |
Family
ID=15157769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13569686A Pending JPS62294487A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | アルカリ溶解型感光性ドライフイルム現像廃液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62294487A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0624828A1 (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-17 | Nippon Paint Co., Ltd. | Developer circulating method in flexographic plate making step and apparatus for practicing the same |
| US5712022A (en) * | 1992-09-14 | 1998-01-27 | Yoshino Kogyosho Co., Ltd. | Printed thermoplastic resin products and method for printing such products |
| JP2008161732A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 廃液の処理装置及び処理方法 |
| CN102053507A (zh) * | 2010-10-18 | 2011-05-11 | 东莞市威迪膜科技有限公司 | 显影液循环处理设备的清洗系统及其清洗方法 |
| GB2509986A (en) * | 2013-01-22 | 2014-07-23 | Dantex Graphics Ltd | Filter unit for filtering washout liquid from a plate processor system |
| CN104418414A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 欣兴电子股份有限公司 | 废液处理方法、废液处理系统及其设备 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP13569686A patent/JPS62294487A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5712022A (en) * | 1992-09-14 | 1998-01-27 | Yoshino Kogyosho Co., Ltd. | Printed thermoplastic resin products and method for printing such products |
| EP0624828A1 (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-17 | Nippon Paint Co., Ltd. | Developer circulating method in flexographic plate making step and apparatus for practicing the same |
| EP0624828A4 (en) * | 1992-10-30 | 1995-11-22 | Nippon Paint Co Ltd | DEVELOPER CIRCULATION PROCESS DURING THE PRODUCTION OF FLEXO PRINTING PLATES AND APPARATUS THEREFOR. |
| JP2008161732A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 廃液の処理装置及び処理方法 |
| CN102053507A (zh) * | 2010-10-18 | 2011-05-11 | 东莞市威迪膜科技有限公司 | 显影液循环处理设备的清洗系统及其清洗方法 |
| GB2509986A (en) * | 2013-01-22 | 2014-07-23 | Dantex Graphics Ltd | Filter unit for filtering washout liquid from a plate processor system |
| GB2509986B (en) * | 2013-01-22 | 2018-01-10 | Dantex Graphics Ltd | Processing waste washout liquid |
| CN104418414A (zh) * | 2013-08-21 | 2015-03-18 | 欣兴电子股份有限公司 | 废液处理方法、废液处理系统及其设备 |
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