JPS62288913A - 試料台制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は試料台に係り、特に試料台の円滑な動きと機構
系の残留応力の解放を簡単な回路で行うのに好適な試料
台制御装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の試料台制御装置は、一定加速度での加速および減
速を行っていた。ここで、加速はランプ関数電圧でモー
タを駆動するため、実際上には起動時の試料台に加わる
加速度が大きくなり、それが試料台の振動の原因となっ
ていた。又、減速においては、停止時に機構系に応力が
残り、これが解放されることによって停止後の試料台の
微少位置移動が発生していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、起動時の試料台に加わる大きな加速と
停止時の機構系に残る応力について配慮がされておらず
、振動と停止後の微少位置変動の発生という問題があっ
た。

本発明の目的は、従来技術の問題点を簡単な制御回路を
追加することにより、振動と停止後の微〔問題点を解決
するための手段〕 上記目的は、試料台の移動を行うモータに与える電圧波
形に可変振幅・可変周波数の正弦波を加えることにより
、達成される。

〔作用〕

本発明での試料台制御装置は、加速時には加速時間を１
周期とする正弦周電圧をランプ関数電圧に加えて軟加速
を行う。又、減速では、減速時間を１周期とする正弦波
電圧を加えて、移動終了直前の速度を小さくする。そし
て、停止直前には、減衰振幅の高周波数の正弦波を加え
て、残留応力の解放を図る。それによって、試料台の振
動と停止後の微少位置変動の発生が防止できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。

第１図で、指令電圧発生回路１からの指令電圧Ｅ１に、
正弦波発生回路２からの正弦波電圧Ｅ２を加えて、駆動
源３に最終指令電圧ＥＩＳとして与える。それによって
、試料台４を移動する。

第２図に前記各電圧波形を示す。最終指令電圧波形Ｅ８
において、加速の始めでは指令電圧がゆっくりと増加す
るため、試料台の加速度が小さい。

そのために試料台の振動が小さくなる。又、減速におい
ては、停止近くでの試料台の加速度が小さくなるため振
動も少なく、機構系への残留応力も少なくなる。停止直
前で、減衰正弦波を加えることにより残留応力の解放を
図る。

本実施例によれば、試料台に加わる加速度が小さくなり
、振動を低減する効果がある。又、残留応力の解放が図
れるので、停止後の試料台微少位置変動の発生を抑える
効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、モータに与える電圧波形に可変振幅・
可変周波数の正弦波を加えることで、試料台に加わる加
速度を小さくでき、残留応力の解放ができるので、試料
台の振動を抑制でき、停止後の微少位置変動発生を防止
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック線図、第２図は各
指令電圧波形図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料を搭載する試料台、本試料台の位置を測長する
   測長システム、前記試料台を駆動するモータ等の駆動源
   を有するものにおいて、前記試料台の移動パターン、即
   ち前記モータに与える電圧波形に可変振幅・可変周波数
   の正弦波を加えることを特徴とする試料台制御装置。