JPS62287426A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の詳細な説明 「産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体およびその製造方法に係り、特
に非磁性基板上にコバルトを主成分とする強磁性金属層
を設けた磁気記録媒体およびその製造方法に関するもの
である。

〔従来の技術〕

プラスチックフィルムなどの非磁性基板上にコバルトあ
るいはコバルト合金などの強磁性金属層を形成した磁気
記録媒体は、高密度記録特性に優れている。しかしその
反面、表面に金属が露出しているから耐食性に劣り、そ
のために磁気特性が低下したり、また腐食生成物の成長
によって磁気記録媒体の走行不良を生じるなどの欠点が
ある。

従来、走行性を改善するため、種々の潤滑剤からなる保
護層を設けることが提案されているが、一般に強磁性金
属層の上に直接潤滑剤からなる保護層を設けた磁気テー
プをカセットに組込んだ状態で４０℃、８０％λ、Ｈ１
の条件下で実用テストを行なうと、数時間後には走行子
ａを起してしまう。この原因を調べた結果、摩擦係数が
増大し。

大きいものでは摩擦係数が１．０以上になっており、潤
滑剤の効果がなくなり、摩擦係数が経時的に増大してい
ることが分かった。

また従来、磁気記録媒体の耐摩耗性、耐食性を改善する
ため、強磁性金属層の表面を加熱してＣｏ　ｓ　Ｏａ　
、　Ｃｏ　ｘ　ＯＮおよびＣｏｏを形成する方法（特公
昭４９−２１３４４５号公報）１強磁性金属層を適当な
温度と湿度の雰囲気中で処理してＣｏ　ｓ　Ｏ４を表面
に形成する方法（特公昭４２−２００２５号公報）、さ
らには強磁性金属層の表面に１００℃以上の水酒気を吹
き付けて表面に結晶性のＣｏｏ（ＯＨ）を形成する方法
（特開昭５７−１２３５３３号公報）などが提案さ九て
いる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところがこれらの方法では、磁気記録媒体の耐摩耗性を
向上することができず、また腐食生成物による摩擦係数
の経時的な増大を防止することはできない。

本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を解消し、耐
食性ならびに耐摩耗性に優れた磁気記録媒体を提供する
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

前述の目的を達成するため１本発明は、コバルトを主成
分どする例えばコバルト−ニッケル合金などの強磁性金
属の蒸発源と円筒、状キャンとの間に防着板を配置し、
前記蒸発源から蒸発した強磁性金属の蒸気流を円筒状キ
ャンの周面に沿って高入射角部側から低入射角部側へ移
動する非磁性基板に対して斜めに入射して蒸着すること
によって。

前記非磁性基板上にコバルトを主成分とする強磁性金属
層を形成せしめる磁気記録媒体の製造方法において。

前記防着板の先端部寄り上側から例えば酸素ガスなどの
酸化性ガスを最低入射角部を通過する非磁性基板に直射
するように吹きつけ、しかる後に少なくとも酸素と水分
の存在下において熱処理することにより、前記強磁性金
属層が柱状粒子の集合体からなり、 その強磁性金属層のうちの表面層のＸ線光電子分光分析
におけるＧｏ＝ｐスペクトルの結合エネルギー７８０　
、０”３ａ　Ｖ（２Ｐ３／２）と７９５．６”’ｅＶ（
２Ｐ１／２）の両ピークの低結合エネルギー側立上がり
点を通ってスペクトルに接するように直線でバックグラ
ンドを引いたとき、前記７８０．０°”　ｅ　Ｖのピー
クの高さを１００とした７　８５　、９！ｏ”ｅ　Ｖの
ピークの高さが４０以下であって、 かつその０１ｓスペクトルの結合エネルギー５３０　、
５”　ｅ　ｖｔ、ｖる複合したピークの低結合エネルギ
ー側立上がり点と高結合エネルギー側立上がり点を通っ
てスペクトルに接するように直線でバックグランドを引
いたとき、この複合したピークの低結合エネルギー側ピ
ークと高結合エネルギー側ピークの高さの比率が１００
対１１０〜５０の範囲に規制され、 強磁性Ｈ最表面から１００人内にむける平均酸素含有濃
度が約２０〜５０原子％の範囲に規制されていることを
特徴とするものである。

前述の目的を達成するため、さらにまた本発明は、コバ
ルトを主成分とする例えばコバルト−ニッケル合金など
からなる強磁性金属の蒸発源と円筒状キャンとの間に防
着板を配置し、前記蒸発源から蒸発した強磁性金属の蒸
気流を円筒状キャンの周面に沿って高入射角部側から低
入射角部側へ移動する非磁性基板に対して斜めに入射し
て蒸着することによって、前記非磁性基板上にコバルト
を主成分とする強磁性金属層を形成せしめる磁気記録媒
体の製造方法において、 前記防着板の先端部寄り上側から例えば！２素ガスなど
の酸化性ガスを最低入射角部を通過する非磁性基板に直
射するように吹きつけ、しかる後に少なくとも酸素と水
分の存在下において熱処理することにより、前記強磁性
金属層が柱状粒子の集合体からなり。

その表面層のＸ線光電子分光分析におけるＣｏ２Ｐスペ
クトルの結合エネルギー７８０．０″０°１ｅＶ（２Ｐ
３／２）ドア　９５　、６″”　ｅ　Ｖ　（２ＰＩ／２
）ノｉ’Ｌｊピークの低結合エネルギー側立上がり点を
通ってスペクトルに接するように直線でバックグランド
を引いたとき、前記７８０．０”！ｅＶのピークの高さ
を１００とした７８５．９±０．３ｅＶのピークの高さ
が４０以下であって。

かつその０１ｓスペクトルの結合エネルギー５３０．５
”ｅＶにある複合したピークの低結合エネルギー側立上
がり点と高結合エネルギー側立上がり点を通ってスペク
トルに接するように直線でバックグランドを引いたとき
、この複合したピークの低結合エネルギー側ピークと高
結合エネルギー側ピークの高さの比率が１００対１１０
〜５０の範囲に規制され、 強磁性層最表面から１００人内における平均酸素含有濃
度が約２０〜５０原子％の範囲に規制されており、 そしてその強磁性金属層の上に１例えば脂肪酸系有機化
合物やフッ素系有機化合物などからなる潤滑剤層を設け
たことを特徴とするものである。

〔実施例〕

本発明において前記非磁性基板としては１例えばポリエ
チレンテレフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエス
テル樹脂などのプラスチックシート、プラスチック與基
板の中に例えば炭素繊維や銅などの無機物を混入した複
合材料の基板、あるいはアルミニウムなどの非磁性金属
板、またはガラスなどが用いられる。

本発明において前記コバルトを主成分とする強磁性金属
としては１例えばコバルト単体、あるいはコバルト−ニ
ッケル合金、コバルト−クロム合金、コバルト−鉄合金
、コバルト−リン合金、コバルト−ニッケルーリン合金
などのコバ用１〜合金が用いられる。前記コバルト−ニ
ッケル合金ならびにコバルト−ニッケルーリン合金の場
合は、ニッケルの含有率は約４０重量％以下が望ましい
。

またコバルト−クロム合金、コバルト−鉄合金、ならび
にコバルト−リン合金などの場合は、クロム、鉄ならび
にリンの含有率は約３０重量％以下が望ましい。

また本発明において、前記潤滑剤としては、例えば脂肪
酸系有機化合物、フッ素系有機化合物ならびにシリコン
系有機化合物などが用いられる。

前記脂肪酸系潤滑剤としては、例えば脂肪酸。

脂肪酸の金属塩、脂肪酸エステルならびに脂肪酸アミド
などが使用される。前記脂肪酸の具体例としては１例え
ばミリスチン酸、パルミチン酸、オレイン酸、ステアリ
ン酸、ベヘン酸などがある。

またこれらの金属塩としては、例えばリチウム塩、ナト
リウム塩、カルシウム塩、マグネシウム塩、アルミニウ
ム塩、鉄塩、コバルト塩、亜鉛塩、バリウム塩ならびに
鉛塩などがある。

前記脂肪酸エステルとしては１例えばステアリン酸ブチ
ル、ステアリン酸モノグリセリド、パルミチン酸モノグ
リセリド、オレイン酸モノグリセリド、ペンタエリスリ
トールテトラステアレートなどがある。

脂肪酸アミドとしては、例えばカプロン酸アミド、カプ
リン酸アミド、ラウリン酸アミド、パルミチン酸アミド
、ベヘン酸アミド、オレイン酸アミド、リノール酸アミ
ド、メチレンビスステアリン酸アミドなどがある。

またフッ素系潤滑剤としては、例えばトリクロロフルオ
ロエチレン、パーフルオロポリエーテル、パーフルオロ
アルキルポリエーテルなどがある。

市版品の具体例としては、ダイキン社製ダイフロン＃２
０．デュポン社製クライトツクスＭ、クライトツクス１
１などが挙られる。さらにシリコン系潤滑剤としてはシ
リコンオイルがある。

なお前記？！８！ｌ滑剤層は、前述のような潤滑剤のみ
で構成する場合もあるし、また潤滑剤中に例えば流動パ
ラフィンや防錆剤の如き添加剤を混在させて、潤滑剤層
の耐食性などを向上することもできる。

次に本発明の具体的な実施例について図とともに説明す
る。第１図は実施例に係る真空蒸着装置の概略構成図、
第２図は本発明の方法によって製造された磁気記録媒体
の断面図、第３図ならびに第４図はその磁気記録媒体に
おける強磁性金属層の拡大概念図である。

厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムか
らなるベースフィルム１の原反ロール２を、真空蒸着槽
３内にセットする。原反ロール２から繰出したベースフ
ィルム１は、ガイドローラ４を介して真空蒸着槽３の中
央に配置された円筒状キャン５の周面に巻き掛けられた
のち、ガイドローラ４を介して巻取りロール６に巻き取
られる。

前記キャン５の下方には蒸発源るつぼ７が配置され、そ
の中にニッケルを２０重量％含有するコバルト−ニッケ
ル合金からなる強磁性金属８がセットされている。キャ
ン５と蒸発源るつぼ７との間には防着板９が設けられて
いる。

真空蒸着槽３に付設された減圧手段１０により槽内を５
．ＯＸＩ　Ｏ−”　　ｈ−ルまで減圧したのち。

酸素ガス供給管１１から酸素ガスを槽内に流量１８０　
ｍ　ｌ　／分で導入する。このような状態において前記
キャン５の周面に沿って移動するベースフィルム１に向
けて強磁性金属８を斜めに入射するよう蒸着して、ＷＡ
厚１５００人のコバルト−ニッケル合金からなる強磁性
金属Ｊｌｌ！１２が形成さ九。

連続的に巻取ロール６に巻き取られる。このようにして
形成された前記強磁性金Ｊｉｌｉ［１２の磁気特性を測
定したところ、保磁力はｔ　ｏｏｏエルステッド、角型
比は０．７であった。また、オージェ電子分光分析の結
果１表面層から深さ１００人の範囲の平均酸素含有濃度
は約３２ｆｉ子％であった。

前述のように強磁性金属８を斜めに入射するように蒸着
することにより、第３図ならびに第４図に示すように柱
状粒子１３が傾斜した状態で生成する。前述のように酸
素ガスの存在下で蒸着するため、柱状粒子１３の周囲に
中間層１４が形成される。この中間層１４中の酸素含有
濃度は、酸素導入量を調整することによって制御するこ
とができる。なお、真空蒸着槽内での酸素ガスの吹きつ
け方法については後で詳しく説明する。

前述のようにしてベースフィルム１の表面に所定の厚さ
を有する強磁性金ＩｙＬ層１２を形成したのち、これを
真空蒸着槽３から取り出し、少なくとも酸素ガスと水分
の存在下で加熱処理する。この処理により後で詳細に説
明するように、中間層１４の表面がＸ線光電子分光分析
におけるＣｏｔｏ、３ ２Ｐスペクトルの結合エネルギー７８０．Ｏｅｖ（２Ｐ
％）ドア　９５　、６″″’ｅ　Ｖ　（２Ｐ３）　＋７
）　ＷＱ　ピークの低結合エネルギー側立上がり点を通
ってスペクトルに接するように直線でバックグランドを
引いたとき、７８０．０±±０．３ｅＶのピークの高さ
を１００とした７８５．９±”ｅ　Ｖのピークの高さが
４０以下であった。

またその０１ｓスペクトルの結合エネルギー５３０　、
５”−’ｅＶにある複合したピークの低結合エネルギー
側立上がり点と高結合エネルギー側立上がり点を逼って
スペクトルに接するように直線でバックグランドを引い
たとき、この複合したピークの低結合エネルギー側ピー
クと高結合エネルギー側ピークの高さの比率が１００対
１１０〜５０の範囲であるような表面層１５に変成され
る（第３図ならびに第４図参照）。

この表面ＪＩ１１５の形成状態は、該表面層１５を生成
する際の加熱処理条件などにより、第３図に示すように
柱状粒子１３の周囲の全体に形成されたり、あるいは第
４図に示すように柱状粒子１３の表面側部分にのみ形成
されることがある。

加熱処理が終了すると次に潤滑剤塗布工程に運ばれ、第
２図に示すように強磁性金属ｆｉ１２の表面にｆ４滑剤
層１６が設けられる。なお、この潤滑剤Ｊｉ＃１６の膜
厚は３０〜１０００人程度、が適当で。

３０人より薄いと長期間にわたって潤滑効果を発揮する
ことが難しく、一方、１０００人より厚くなると電磁変
換特性が低下するため、潤滑剤層１６の膜厚は前述の範
囲に規制する方が望ましい。

本発明者らは、斜め大斜蒸着時における酸素ガスなどの
酸化性ガスの導入方法について検討した。

その結果、酸化性ガスを強磁性金属の蒸気流に向けて吹
きつけたのでは、酸化性ガスと蒸気流とが衝突して散乱
が生じ、ベースフィルムに対する蒸気流の大斜角がばら
ばらになるため、十分な磁気特性が得られない、これに
対して強磁性金属の蒸気流と交叉しないように、最低大
斜角部を通過するベースフィルムに向けて酸化性ガスを
吹きつければ、前述のような問題が解消することを見い
出した。

本発明の酸化性ガスの導入方法は、このような１ｌｎ５
！Ｌに基づいたものである。すなわち１円筒状キャンの
周面に沿って高入斜角部から紙入斜角部へと移動するベ
ースフィルムに対して、強磁性金属の蒸気流を斜めに入
射して蒸着する際１円筒状キャンの下方に配置した防着
板の先端部寄りの上側から、酸化性ガスを少なくとも最
低大斜角部を通過しているベースフィルムに直射するよ
うに吹きつける。そして、この最低大斜角部に入射する
酸化性ガスと強磁性金属の蒸気流との交じわり角度が約
３０度を越えず、かつ酸化性ガスの直射範囲が、最低入
射角部から高入射角の方向に円筒状キャンの回転中心を
基点とした角度で約１０度を越えないようにする。

このようにすることにより、斜め入射蒸着によって形成
さ九る柱状粒子の柱状粒子本体と表面層との中間層に確
実に酸素原子を導入することができ、前記中間層におけ
る酸素含有濃度のコントロールが容易である。

なお１本明細書で記述する柱状粒子の表面層とは、有機
物系の酸素や空気中の酸素などが結合または付着したよ
うな表面の汚染層を除いて１強磁性金属と酸素が結合し
た表面の部分をいう。

次にこの酸化性ガスの吹きつけについて１図とともに説
明する。

第１図ならびに第５図に示すように、酸化性ガス（酸素
ガス）を導入する供給管１１は防着板９の先端部内側に
設置されている。そして第５図に示すように、供給管１
１のガス吹き出し口１１ａからベースフィルム１の最低
入射角部Ａまでの距離りが１５１以内で、最低入射角θ
で差し向けられる強磁性金属の蒸気流Ｂとのなす角度α
が約３０度以内となる位置に前記供給管１１の吹き出し
口１１ａが設けられている。そしてその吹き出し口１１
ｉ＋から吹きつけられる酸化性ガスが、最低入射角部Ａ
から高入射角の方向に円筒状キャン５の回転中心０を基
点とした角度βで１０度を越えない範囲Ｅ内に直射する
ように吹きつけるのが好ましい。

このような条件で酸化性ガスを少なくとも最低入射角部
Ａを通過するベースフィルム１に直射するように吹きつ
けると、最低入射角部Ａの近傍で酸化性ガスが最も多い
、それと同時に、ｉ＆高入射角部Ｃの近傍ではベースフ
ィルム１上での強磁性金属の析出速度が遅いため、酸化
性ガスがとりこまれ易くなる。その結果、最高入射角部
Ｃ近傍のベースフィルム１上で強磁性粒子の核が生成す
る際、酸素原子を含有した十分に小さい粒子が生成する
。そして、ベースフィルム１が最低入射角部Ａを通過す
るときに多量の酸化性ガスによって前記粒子が良好に成
長する。

酸化性ガスとしては、酸素ガスが好適であるが。

この他に酸素ガスと他のガスとを混合したものも使用可
能である。

強磁性金属を斜め入射蒸着する際の入射角θは。

約６５度より大きくすると蒸着効率が悪くなり、量産に
適さないため、入射角θは６５度以下にする方が好まし
い。

第１図に示した真空蒸着装置を用い、厚さ１２μｍのポ
リエチレンテレフタレートからなるベースフィルム１を
、原反ロール２よりガイドローラ４を介して直径６００
１の円筒状キャン５の周面に沿って移動させ、ガイドロ
ーラ４を介して巻取りロール６に巻き取るようにセット
するとともに。

蒸発源るつぼ７内にニッケルを２０重量％含有するコバ
ルト−ニッケル合金からなる強磁性金属８をセットした
。

そして減圧手段１０により槽内を５．０Ｘ１０−６　ト
ールまで減圧し１強磁性金属８を加熱蒸発せしめ、最低
入射角度５０度、蒸着速度８００人／秒で斜め入射蒸着
を開始すると同時に、供給管１１から最低入射角部Ａを
通過するベースフィルム１に酸素ガスをガス流量を種々
変えて吹きつけ、ベースフィルムｌ上にコバルト−ニッ
ケル合金からなる強磁性金属層を形成した。

なお、前記供給管１１は、そのガス吹き出し口１１ａか
ら円筒状キャン５の周面に巻きつけられたベースフィル
ム１までの距離が５印となるようにし、かつ最低入射角
で差し向けられる蒸気流とのなす角度αが２０度になる
ように配置した。また、供給管１１のガス吹き出し口１
２ａから吹き出される酸素ガスはｉ低入射角部Ａから高
入射角の方向に円筒状キャン５の回転中心を基点とした
角度βが１０度で直射されるようにした。

このようにして斜め入射蒸着をした磁気記録媒体を真空
蒸着装置から取り出して、大気圧に保た九た熱処理槽に
おいて処理温度６０°Ｃ１相対湿度１５％で１００時間
加熱処理して、その後に所定の幅に裁断して磁気テープ
を作った。

前述のように、ベースフィルム１に強磁性金属層１２を
形成する際に流量を変えて酸素ガスを吹きつけ各種試料
の磁気テープをつくり、それら各ｆｆ！磁気テープにお
ける中間層の酸素含有濃度と耐摩耗性との関係について
試験を行ない、その結果を次の表に示す。

なお、磁気テープにおける最表面から１００人内の平均
酸素含有濃度は、エツチングによって磁気テープの表面
から１００人の深さまで除去し、ながら酸素原子濃度を
オージェ電子分光計で測定し、表面から１００人まで平
均化した。

また、前記磁気テープの耐摩耗性試験は、１／２インチ
ＶＨ８方式ＶＴＲを用いて、スチル時間を調べた。

表 この表から明らかなように、中間層における酸素含有濃
度が２０原子％より少ないと耐久性が劣り、一方、５０
原子％より酸素含有濃度が高くなると耐摩耗性が低下す
る６従って磁気記録媒体の製造工程中において酸素ガス
などの酸化性ガスの供給量をコントロールして、最表面
から１００人内の平均ａ素含有濃度を２０〜５ｏ原子％
の範囲に規制することにより、耐摩耗性を有する磁気記
録媒体が得られる。

次に本発明の具体的な実施例について説明する。

実施例１ 前述のようにして、ポリエチレンテレフタレートからな
るベースフィルム１の表面に、コバルトを８０重量％と
ニッケルを２０重量％含有し、表面層から１００人深い
所までの平均酸素濃度が３２７７ｉ子％である強磁性金
属層１２を形成する。

このようにして強磁性金属を斜め入射蒸着したベースフ
ィルムｌを真空蒸着槽３から取り出して。

大気圧に保たれた熱処理槽において処理温度６゜℃、相
対湿度１５％で、１００時間加熱処理し。

処理後に所定の幅に裁断して磁気テープを作った一実施
例２ 処理時間を２００時間にした以外は、前記実施例１と同
様にして磁気テープを作った・実施例３ 処理時間を５００時間にした以外は、前記実施例１と同
様にして磁気テープを作った。

実施例４ 処理温度を４０℃、相対湿度を４０％にした以外は、前
記実施例３と同様にして磁気テープを作った。

実施例５ 処理温度を９０℃、相対湿度を１５％、処理時間を５０
時間にした以外は、前記実施例１と同様にして磁気テー
プを作った。

実施例６ 加熱処理後に強磁性金属層の上に脂肪酸の１種であるス
テアリン酸の潤滑剤層を約５０入庫に形成した以外は、
前記実施例１．と同様にして磁気テープを作った・ 実施例７ 加熱処理後に強磁性金属層の上にステアリン酸の潤滑剤
層を約５０入庫に形成した以外は、前記実施例４と同様
にして磁気テープを作った。

実施例８ 加熱処理後に強磁性金属層の上にステアリン酸の潤滑剤
層を約５０入庫に形成した以外は、前記実施例５と同様
にして磁気テープを作った。

実施例９ 加熱処理後に強磁性金属層の上にフッ素系有機化合物の
１種であるパーフルオロアルキルポリエーテル（デュポ
ン社製　製品名クライックスＨ）の潤滑剤層を約５０入
庫に形成した以外は、前記実施例１と同様にして磁気テ
ープを作った。

実施例１０ 加熱処理後に強磁性金属層の上にパーフルオロアルキル
ポリエーテル（デュポン社製　製品名クラ・（ト・ツク
スＨ）の潤滑剤層を約５０入庫に形成した以外は、前記
実施例４と同様にして磁気テープを作った。

実施例１１ 加熱処理後に強磁性金属層の上にパーフルオロアルキル
ポリエーテル（デュポン社製製品名フライ１−ラクスＩ
（）の潤滑剤パを約５０ム厚に形成した以外は、前記実
施例５と同様にし°〔磁気テープを作った６ 比較例１ 加熱処理を省略した以外は、前記実施例１と同様にして
磁気テープを作った。

比較例２ 加熱処理を省略し、ステアリン酸の潤滑剤層を約５０ム
厚に形成した以外は、前記比較ｆｓ！と同様にして磁気
テープを作った。

比較例３ 加熱処理を６０℃、９０％Ｒ，Ｈ，下で５０時間行なっ
た以外は、前記実施例１と同様にして磁気テープを作っ
た。

比較例４ 加熱処理後に強磁性金属層の上にステアリン酸の潤滑剤
層を約５０ム厚に形成した以外は、前記比較例３と同様
にし、て磁気テｉブを作った。

比較例５ 真空蒸着槽内において、ベースフィルム上にコバルト（
８０重量％）−ニッケル（２０重量％）合金を斜め入射
蒸着して強磁性金属層を形成する。

その後に真空蒸着槽より取り出して、１００°Ｃ以上の
加熱水蒸気を前記強磁性金属層の表面に吹きつけて処理
した磁気テープを作った。

第６図は、前記各実施例ならびに各比較例によって得ら
れた磁気テープの摩擦係数の経時変化を示す図である。

この摩擦係数の測定は、摺動式動摩擦係数測定機を用い
、初期の摩擦係数と、各磁気テープを６０℃、９０％Ｒ
，Ｈ，の高温、高温雰囲気中で１週間保存した後の摩擦
係数を測定した。なお１図中の線Ａは実施例１〜５によ
って得られた磁気テープ、線Ｂは実施例６〜８によって
得られた磁気テープ、ｍｃは実施例９〜１１によって得
られた磁気テープ、線りは比較例１によって得られた磁
気テープ、ＭＥは比較例２によって得られた磁気テープ
、線Ｆは比較例３によって得ら九た磁気テープ、線Ｇは
比較例４によって得られた磁気テープ、＃ＩＨは比較例
５によって得られた磁気テープの特性曲線である。

この図から明らかなように、比較例１．２，３゜４．５
のものは高温、高湿の雰囲気下に長時間保存すると＊ｔ
Ｑ係数は急激に増大する傾向にある。

これに対して本発明に係る磁気記録媒体はいずれのもの
も１１！擦係数の経時変化がほとんどなく、常に安定し
た低い１１！擦係数を有しているために走行性が非常に
良好である。また、前記最表面から１００人内の平均酸
素含有濃度を２０〜５０原子％の範囲に規制しているた
め、高温、高湿の雰囲気下で保存しても初期の耐摩耗性
を保持している。

次に前記実施ｔｙｖｔによって得られた磁気テープの強
磁性金属層の表面のＸＰＳ分析を行なった。

ｘｐｓ分析にはＶ　Ｇ　　Ｓ　ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　Ｌ
　１ｍ１ｔｅｄ社製製品名ＥＳＣＡＬＡＢ５の分析機器
を使用し、Ｘ線出力がｌ０ＫＶ、２０　ｍ−Ａで、Ｃ１
ｓピーク値を２８４．６ｅＶにセットし、現出角を零度
にして分析した。

第７図は前記ｘｐｓ分析に基づ＜　Ｃｏ　：　ｐ３／２
のスペクトル図、第８図は０１ｓのスペクトル図、第９
図は第８図スペクトル図からバックグラランドを引いて
２つのピークを波形分離したスペクトル図である。

これらの図から明らかなように、前記実施例１によって
得られた磁気記録媒体の場合、１７１ａｔ性金＃ｘ居の
うちの表面層のＸ線光電子分光分析におけるＣｏｘｐス
ペクトルの結合エネルギー７８０．０”’ａ　Ｖ　（２
Ｐ　３／２）と７９５　、５”　ｅ　Ｖ（２ＰＩ／２）
の両ピークの低結合エネルギー側立上がり点を通ってス
ペクトルに接するように直線でバックグランドＢ、Ｇを
引いたとき（第７図参照）、メインピー’）Ｃ７８０、
０”’　ｅ　Ｖ）（７）ヒ−’）（１）ＫすＨ１ヲ１０
０としたサテライトピーク（７８５，９″０．３８Ｖ）
のピークの高さＨ２が約２５となる。

また第８図に示すように、Ｏｘｓスペクトルの結合エネ
ルギー５３０　ｅ　５”“Ｓａｖにある複仝したピーク
の低結合側立上がり点と高結合エネルギー倒立上がり点
を通ってスペクトルに接するように直線でバックグラン
ドＢ、Ｇを引いたとき、第９図に示すようにこの複合し
たピークの低結合エネルギー側ピークと高結合エネルギ
ー側ピークの高さの比率（８３対）１４）が、１００対
約７１となる。

前述のピーク高さト１１を１００とした場合のサテライ
トピークのピーク高さＨｌが４０より大きいと、耐食性
が不十分であり、高温高湿の走行性が経時的に劣化する
傾向があるため、メインピー！０．３ り（７８０，ＯｅＶ）のピーク高さＨｌを１００とした
サテライトピーク（７８５，９″ｏ、３　ｅｖ、のピー
ク高さＨｌは４０以下に抑える必要がある。

さらに０１ｓスペクトルにおいて低結合エネルギー側ピ
ーク（酸化物の酸素に帰席）のピークの高さとＨ３高結
合エネルギー側ピーク（水酸基の酸素に帰属）トＩ４の
比率が１００／１１０より大きい場合は１例え前述のＣ
ｏ　２　Ｐ３／２スペクトルが前記の範囲内にあっても
走行耐久性に欠ける。この原因は十分に解明されていな
いが、コバル１−が粘性の高い水酸化物に近い状態で存
在しているためであろうと考えられる。

一方、Ｈ３／Ｈ４の比率が１００１５０より小さい領域
では２表面層の形成が一種の脱水過程を経ると見ら才し
ることから、長期間の処理が必要となり生＆性の点で問
題がある。

第７図ないし第９図は実施例１の磁気記り媒体のスペク
トル図を示し、たが、他の実施例に係る磁気記録媒体に
おいても、Ｘ線光電子分光分析での前記８１対Ｈ２の比
率が１００対４０以下、Ｈ３対Ｈ４の比率が１００対５
０〜１１０の範囲に入っていることは前述の分析によっ
て確認されている。

本発明の磁気記録媒体において１表面層の耐食性には水
酸基を含有することが本質的に重要であると考えられる
。これは表面層が水酸基を含む非晶質的なネットワーク
構造をとることによって、カチオンの拡散を防いでいる
と見られるからである。従って本発明シこおいては、コ
バルトならびに酸素のスペクトル特性が前述の範囲にあ
ることが必要であり、これによって優れた耐久性と耐食
性とが兼備される。

〔発明の効果〕

本発明は前述のような構成になっており、耐食性ならび
に耐摩耗性の両方に優れた磁気記録媒体を提供すること
ができる。

また本発明の製造方法によ九ば、ｎ単な処理により１Ｍ
擦係数の経時変化のない安定した走行性を有する信頼性
の高い磁気記録媒体を構造することができる。

さらに強磁性金属層上に潤滑剤層を形成するものにおい
ては、潤滑剤塗布による強磁性金属層への化学的な影響
を考慮する必要がなく、潤滑剤の選択範囲が拡張できる
。すなわち従来の磁気記録媒体で脂肪酸などのような弱
有機酸の潤滑剤を使用した場合は、強磁性金属層が有機
酸の化学的な影響を受けて摩擦、係数の経時的な増大が
著しくなる。そのために、潤滑剤の使用可能な種類に制
限を受ける。これに対して本発明の磁気記録媒体は。

強磁性金属層の表面側部分に弱酸に対して抗力を有する
表面層が存在しているから、従来のものに比較して潤滑
剤の選択範囲が拡張できるという特長を有している。

【図面の簡単な説明】

図はすべて本発明を説明するためのもので、第１図は実
施例で用いる真空蒸着装置の概略構成図、第２図は磁気
記録媒体の拡大断面図、第３図ならびに第４図は強磁性
金属層の拡大概念図、第５図第７図、第８図ならびに第
９図は表面層のＸＰＳ分析によるスペクトル図である。 ｌ・・・・・ベースフィルム、３・・・・・・真空蒸着
槽、８・・・・・・強磁性金屑、１１・・・・・・酸素
ガス供給管、１２・・・・・・強磁性金属層、１３・・
・・・・柱吠粒子、１４・・・・・・中間層、１５・・
・、・・・表面層、１６・・・・・・潤滑剤層。 第１図 第２図 第３図 第４因 第５図 第６図

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）コバルトを主成分とする強磁性金属の蒸発源と円
   筒状キヤンとの間に防着板を配置し、前記蒸発源から蒸
   発した強磁性金属の蒸気流を円筒状キヤンの周面に沿つ
   て高入射角部側から低入射角部側へ移動する非磁性基板
   に対して斜めに入射して蒸着することによつて、前記非
   磁性基板上にコバルトを主成分とする強磁性金属層を形
   成せしめる磁気記録媒体の製造方法において、 前記防着板の先端部寄り上側から酸化性ガスを最低入射
   角部を通過する非磁性基板に直射するように吹きつけ、
   しかる後に少なくとも酸素と水分の存在下において熱処
   理することにより、前記強磁性金属層が柱状粒子の集合
   体からなり、 その強磁性金属層のうちの表面層のＸ線光電子分光分析
   におけるＣｏ＿２＿ｐスペクトルの結合エネルギー７８
   ０．０＾±＾０＾．＾３ｅＶ（２Ｐ３／２）と７９５．
   ６＾±＾０＾．＾３ｅＶ（２Ｐ１／２）の両ピークの低
   結合エネルギー側立上がり点を通つてスペクトルに接す
   るように直線でバックグランドを引いたとき、前記７８
   ０．０＾±＾０＾．＾３ｅＶのピークの高さを１００と
   した７８５．９＾±＾０＾．＾３ｅＶのピークの高さが
   ４０以下であつて、 かつそのＯ＿１＿ｓスペクトルの結合エネルギー５３０
   ．５＾±＾２＾．＾５ｅＶにある複合したピークの低結
   合エネルギー側立上がり点と高結合エネルギー側立上が
   り点を通ってスペクトルに接するように直線でバックグ
   ランドを引いたとき、この複合したピークの低結合エネ
   ルギー側ピークと高結合エネルギー側ピークの高さの比
   率が１００対１１０〜５０の範囲に規制され、 強磁性層最表面から１００Å内における平均酸素含有濃
   度が約２０〜５０原子％の範囲に規制されていることを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
2. （２）特許請求の範囲第（１）項記載において、前記酸
   化性ガスが酸素ガスであることを特徴とする磁気記録媒
   体の製造方法。
3. （３）特許請求の範囲第（１）項記載において、前記強
   磁性金属層を構成する強磁性金属が、コバルトを主成分
   としたコバルトとニッケルの合金であることを特徴とす
   る磁気記録媒体の製造方法。
4. （４）コバルトを主成分とする強磁性金属の蒸発源と円
   筒状キヤンとの間に防着板を配置し、前記蒸発源から蒸
   発した強磁性金属の蒸気流を円筒状キヤンの周面に沿つ
   て高入射角部側から低入射角部側へ移動する非磁性基板
   に対して斜めに入射して蒸着することによつて、前記非
   磁性基板上にコバルトを主成分とする強磁性金属層を形
   成せしめる磁気記録媒体の製造方法において、 前記防着板の先端部寄り上側から酸化性ガスを最低入射
   角部を通過する非磁性基板に直射するように吹きつけ、
   しかる後に少なくとも酸素と水分の存在下において熱処
   理することにより、前記強磁性金属層が柱状粒子の集合
   体からなり、 その表面層のＸ線光電子分光分析におけるＣｏ＿２＿ｐ
   スペクトルの結合エネルギー７８０．０＾±＾０＾．＾
   ３ｅＶ（２Ｐ３／２）と７９５．６＾±＾０＾．＾３ｅ
   Ｖ（２Ｐ１／２）の両ピークの低結合エネルギー側立上
   がり点を通ってスペクトルに接するように直線でバック
   グランドを引いたとき、前記７８０．０＾±＾０＾．＾
   ３ｅＶのピークの高さを１００とした７８５．９＾±＾
   ０＾．＾３ｅＶのピークの高さが４０以下であつて、 かつそのＯ＿１＿ｓスペクトルの結合エネルギー５３０
   ．５＾±＾２＾．＾５ｅＶにある複合したピークの低結
   合エネルギー側立上がり点と高結合エネルギー側立上が
   り点を通ってスペクトルに接するように直線でバックグ
   ランドを引いたとき、この複合したピークの低結合エネ
   ルギー側ピークと高結合エネルギー側ピークの高さの比
   率が１００対１１０〜５０の範囲に規制され、 強磁性層最表面から１００Å内における平均酸素含有濃
   度が約２０〜５０原子％の範囲に規制されたており、 その強磁性金属層の上に潤滑剤層を設けたことを特徴と
   する磁気記録媒体の製造方法。
5. （５）特許請求の範囲第（４）項記載において、前記強
   磁性金属層を構成する強磁性金属が、コバルトを主成分
   としたコバルトとニッケルの合金であることを特徴とす
   る磁気記録媒体の製造方法。
6. （６）特許請求の範囲第（４）項記載において、前記酸
   化性ガスが酸素ガスであることを特徴とする磁気記録媒
   体の製造方法。
7. （７）特許請求の範囲第（４）項記載において、前記潤
   滑剤層が少なくとも１種類の脂肪酸系有機化合物を含む
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
8. （８）特許請求の範囲第（４）項記載において、前記潤
   滑剤層が少なくとも１種類のフッ素系有機化合物を含む
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。