JPS62277744A - ウエハ搬送ア−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分針〕 この発明は、ウェハ搬送用のアームに係り、特にアーム
収容部からの半導体ウェハのはみ出しを検知することを
可能にしたウェハ搬送アームに関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来のウェハ搬送アームを示す斜視図であり、
図において、１はアーム本体、２は半導体ウェハである
。３はアーム１において半導体ウェハ２の径よりわずか
に大きく形成した内径の周縁部、４はこの周縁部３に囲
まれた収容部、５は周縁部３と収容部４にかけて形成さ
れた開口部、６は周縁部３の外周にそって形成している
外周部である。

第４図は断面図であり、半導体ウェハ２が収容部４より
はみだし、外周部６にのり上げた状態を示す。この状態
でウェハを搬送した場合、搬送途中でのウェハが落下し
たり、搬送先の収容部に入らず、はみだした状態で収容
されるという不具合が生じる。例又は、ドライエツチン
グ装置の処理室にこの様な状態で収容された場合、正常
なエツチング処理ができず、著しく製品に悪影響を与え
ろものである。

この発明は上記のような欠点を除去するために成された
もので、簡単な構成にてウェハのはみだしを検知できる
ウェハ搬送アームを提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るウェハ搬送アームＬよ、アームの周縁部
の外周部の周りに複数個のウェハはみ出し検知用の孔を
設け、この孔の両側に対向して一対のフォトセンサーを
配置したものである。

〔作用〕

この発明では、ウェハが検知用孔を塞ぐようにして載せ
られると、直ちにフォトセンサーの働きにより信号を発
して検知し得るものとなる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、１〜
６は従来のものと同一部分を示す。７は外周部６の周り
に複数個配設された孔、８．９はこの孔７の中心線上に
配置されたフォトセンサーで、フォトセンサー８の投光
部よりでた光をフォトセンサー９の受光部で受け、光が
遮断された場合信号がでろようになされている。なおこ
のフォトセンサー８．９は孔７と同数設けられており、
通常光は孔７を通り遮断されな・い。

第２図は断面図であり、半導体ウェハ２が収容部４より
はみだし外周部６にのり上げた状態を示す。この状態の
時、半導体ウェハ２は孔７を覆うので、該当部分のフォ
トセンサー８．９間の光は遮断され、フォトセンサー８
．９より出る信号を検知することにより、例えばアーム
の搬送動作の停止、又はアラーム等により第２図の状態
での搬送を防ぐことができる。また外周部６の周りに均
等に複数個の孔７およびフォトセンサー８．９を配置す
ることで、あらゆる方向のはみ出しを検知することがで
きる。

〔発明の効果〕

思上のようにこの発明によれば、極めて簡単な構成にて
ウェハのはみ出しを検知することができ、ウェハの適正
な搬送に大いに役立つものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示す斜視図と
断面図、第３図及び第４図（ま従来のウェハ搬送アーム
を示す斜視図と断面図である。 図中、１はアーム本体、２ば半導体ウェハ、３は周縁部
、４は収容部、５は開口部、６は外周部、７は孔、８．
９はフォトセンサーである。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体ウェハの径にほぼ等しい内径の周縁部と、
   この周縁部に囲まれた収容部を有するアームにおいて、
   上記周縁部の外周部に複数個の孔を設け、かつこの孔の
   両側にフォトセンサーを配置して、上記収容部よりのウ
   ェハのはみだしを検知できるようにしたことを特徴とす
   るウェハ搬送アーム。
2. （２）複数個の孔は外周部の周りに均等間隔で配設され
   ている特許請求の範囲第１項記載のウェハ搬送アーム。