JPS62277061A - リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ - Google Patents
リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タInfo
- Publication number
- JPS62277061A JPS62277061A JP11806086A JP11806086A JPS62277061A JP S62277061 A JPS62277061 A JP S62277061A JP 11806086 A JP11806086 A JP 11806086A JP 11806086 A JP11806086 A JP 11806086A JP S62277061 A JPS62277061 A JP S62277061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- magnetic
- encoder
- motor
- magnetic encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 8
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 8
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 6
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 241000282376 Panthera tigris Species 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 241000282806 Rhinoceros Species 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 2
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000600169 Maro Species 0.000 description 1
- 235000004347 Perilla Nutrition 0.000 description 1
- 244000124853 Perilla frutescens Species 0.000 description 1
- 241001575049 Sonia Species 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
3、発明の奮羊駐日なt児明
(発明の/を真上の利用分野)
本発明(ま磁気ティスクのヘツl+送り等に遣し、しり
)もネ青度のよいリニア磁気エンコーダを合理的に設C
すたリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル似リニ
アI5虎モータに関する。 (発明の技術分野) ボイスコイルをリニア1lilI流モークCま、比較的
横1が簡単で、磁束均−形、磁束準均−形、磁束不均−
形等橿脅の碓束形懇のものを容易且つ比較的安価に形成
できることから、磁気ディスクのヘット送り、光ディス
クの光ピックアップ慢横、レコードプレーヤのトーンア
ーム駆動装置等、種々の装置に多用されている曇 ここに、このボイスコイルをリニア直流モータにおいて
C2、更にその可動その動いた動きの情幸g、イン1え
(J可膠力子の動Q)た臭ざの中崗幸1.可重力子の頂
角G)てQ)る速さの十1報、可動子の(ff置の十冑
◆li+等を知る必要が生じてきた。 更にまた、ボイスコイル型リニアi][流モータを種々
の動きをさせる必要が生じてきた。 この菰うな1今の動きをさせるに〔ま、ボイスコイル型
リニア直流モータとエンコーダを1拮させることで可態
となる。 しかし、従来のエンコーダ、特でこロータリーエンコー
ダを[6吉させ2塙合には、尚言責ボイスコイル型リニ
アW )J?!モーモー非常に大聖になり、またコスト
の高いものになり、連用する装置によって(よ使用でき
ない場合がある・ そこで先に本発明書の一人は特願昭59−:L1482
号(特開昭60−156256号)にて、リニア磁気エ
ンコーダを有するボイスコイル型リニア[流モータを開
示した。 しかるに、この先に開示したボイスコイル型りニア直流
モータにリニア磁気エンコーダを内蔵する場合、界磁マ
グネットの一郭に二重着磁手鏡等によってリニア磁気エ
ンコーダ磁極を形成しな(すればなうない。 この菰うに駆動用離接部を形成するための界磁マグネッ
トの一部にリニア磁気エンコーダ磁極を形成した場合に
は、当該リニア砒寛エンコーグ離接のために界磁マグネ
ットの磁束が凛少されるため、Jり大きな横力を得るこ
とのできるリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル
型リニアに流モータをf4ることができなくなる。 それのみか、界磁マグネットが円筒形である場合、この
内周部に長手方向に沿ってN、Sの離接を交互に微細ピ
ッチで多極着磁してリニア磁気エンコーダ離接部を形成
すること
)もネ青度のよいリニア磁気エンコーダを合理的に設C
すたリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル似リニ
アI5虎モータに関する。 (発明の技術分野) ボイスコイルをリニア1lilI流モークCま、比較的
横1が簡単で、磁束均−形、磁束準均−形、磁束不均−
形等橿脅の碓束形懇のものを容易且つ比較的安価に形成
できることから、磁気ディスクのヘット送り、光ディス
クの光ピックアップ慢横、レコードプレーヤのトーンア
ーム駆動装置等、種々の装置に多用されている曇 ここに、このボイスコイルをリニア直流モータにおいて
C2、更にその可動その動いた動きの情幸g、イン1え
(J可膠力子の動Q)た臭ざの中崗幸1.可重力子の頂
角G)てQ)る速さの十1報、可動子の(ff置の十冑
◆li+等を知る必要が生じてきた。 更にまた、ボイスコイル型リニアi][流モータを種々
の動きをさせる必要が生じてきた。 この菰うな1今の動きをさせるに〔ま、ボイスコイル型
リニア直流モータとエンコーダを1拮させることで可態
となる。 しかし、従来のエンコーダ、特でこロータリーエンコー
ダを[6吉させ2塙合には、尚言責ボイスコイル型リニ
アW )J?!モーモー非常に大聖になり、またコスト
の高いものになり、連用する装置によって(よ使用でき
ない場合がある・ そこで先に本発明書の一人は特願昭59−:L1482
号(特開昭60−156256号)にて、リニア磁気エ
ンコーダを有するボイスコイル型リニア[流モータを開
示した。 しかるに、この先に開示したボイスコイル型りニア直流
モータにリニア磁気エンコーダを内蔵する場合、界磁マ
グネットの一郭に二重着磁手鏡等によってリニア磁気エ
ンコーダ磁極を形成しな(すればなうない。 この菰うに駆動用離接部を形成するための界磁マグネッ
トの一部にリニア磁気エンコーダ磁極を形成した場合に
は、当該リニア砒寛エンコーグ離接のために界磁マグネ
ットの磁束が凛少されるため、Jり大きな横力を得るこ
とのできるリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル
型リニアに流モータをf4ることができなくなる。 それのみか、界磁マグネットが円筒形である場合、この
内周部に長手方向に沿ってN、Sの離接を交互に微細ピ
ッチで多極着磁してリニア磁気エンコーダ離接部を形成
すること
【よ、非常にやっかいで一量省にJ[ざず、高
価なリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル似リニ
ア直桶モータとなって不都合である。 またロット形でない場合でも、界磁マグネットでこリニ
ア礒員エンコーヅ離接部を形成すると上記したように界
磁マグネ\ントの磁束が劣化する以外に、当奮底リニア
6筺気エンコーダ゛五侘柵昌βカへ弓徹〈着6沈されな
いため、リニア磁気エンコー5y砒橿音[を磁気センサ
で横比する場合、強い磁気エンコーダ′信号が得られず
、より扁積度のリニア磁気エンコーダが得られないとい
う欠点がある。 更に′yEた、界磁マグネットとは別〔こ多極着磁した
リニア磁気スケールを当該ボイスコイル型りニアill
: IRモモー内に内蔵することで、上記欠点を解消す
る寓も考えた。しかし、ボイスコイル型り二I流モータ
の場合にτよ、大きな接方を得るために圓定子となるス
テークヨークの内部に界磁マグネットまたは駆動コイル
を全体的に配設すると〜上菖己リニア砒寛スケールを配
言文するスペースを音量(することができない欠点があ
る。またモータの内部に強い磁束の界磁マグネットをa
C!設するため、−二の界磁マグネットの影響を避(す
るようにしないと*」魔のよし)リニア磁気エンコーダ
′イ奮号カーf鼻られないという欠点がある。 (発明の奮果jIIり 本発明Cよ、上記亭惰に基いてなされたもので、(1)
ボイスコイル型リニアに流モータが円筒形(ロッド形)
を始めとするG)ずれの形式のボイスコイル型リニアU
K SRモータであっても、積度の斐いリニア磁気エン
コーダを容易且つ安価に1λ(す、しかモ当該リニア磁
気エンコーダを有するボイスコイル型リニア磁気エンコ
ーダを小型に形成できるようにする二と〜 (2)上記
リニア砒スエンコーグ上棚を有するリニア磁気スケール
を容易に形成できるようにすること、(3)上記リニア
磁気エンコーダのためのリニア磁気エンコーヅ砒埼を強
く看砒できるようにして、性能のよいリニア磁気エンコ
ーダを形成できるまうにすること、(4)少なくともA
相、B相の信号がとれるリニア磁気エンコーダを当該ボ
イスコイル型リニアI流モータに設Cすることで、撞1
速度遼魔ネ斐a槻卆寓を合Jul自勺に言λCすた〕」
\型旦つ安イ面なリニア磁気エンコーダを冑するボイス
コイル似リニアrIj+流モータを得ること−(5)L
かもそのリニア磁気エンコーダを利用して遺した位置で
、正逆転走行制御。 可”l−ij!!和41MLステーシブ駆動イヒ智11
Mn及びM定イユ置停止隼14得n $ 111−’F
の治i ill+を1テえるようにすること、等を目的
〔こなされたものである。その他の目的は以下の説明で
明うわ)となるであろう。 (発明の!I1題達成手−λ) す1わする本発明の奮果題(ま−界磁ヤク′ネットと電
槽曖子コイルのいずれか一方を可動子とし他方を固定子
としてが相対して移動する形式のボイスコイル型リニア
I流モータにおいて、該リニア直流モータのステータヨ
ークの外+!6に長手方向にj分ってキ虜着δ筺体そ奮
9cfす、i底?汝着磁体(ご上目己諷区膚カコイルの
移動刃14rJ1ご沿って微小なピッチでN、Sの磁極
を交互に多項に膚するリニア磁気エンコーダ磁極を着磁
形成することで上記でンターヨークにリニア磁気スケー
ルを形成し、該リニア磁気スケールの1’J、SO:)
硯橿を検出する々めの磁気センサを上記可璽力子に配言
文することで麿!床ボイスコイル型リニアT[5Rモー
クにリニア磁気エンコーダを形成することで連成される
。 (発明の第1冥加μ列) 以下第jLcZl乃至第3区を参照しで、本発明の界磁
マグネット同面タイプの磁束不均一形のボイスコイル型
ソニア直流モータ1につQ)で説明する。 このリニア[漂モータ1〔よ、可動コイル型となってお
り、鉄板等の磁性体で形成された断面0字状のステータ
ヨーク2の開端を同じく鉄板等の磁性体でできたサイド
ヨーク3で閉じることて磁路を閉じる硯jKl詩構成と
なっている。 ヨーク2の間イ則面2−jL、2−2の内面にCま、互
いにNの磁極面を向Cす々長板状の界磁マグネ・シトl
L −:L 、 lL −2を貼着等の手段〔こて亘設
することで、この界磁マグネット4−:L、4−2を固
定子としている。 該界磁マグネット4−1と4−2の間には、これと平η
テにセンターヨーク5カ(、そのI?I+Ith青&B
をサイトヨーク3に1定することで、諷区動コイル10
のためのガイトレールを形成している。 サイトヨーク2の上tn!I+!2−3には、その臭手
力r句にン合って、石詫気センサ記1文基板7を通すた
めのスリシト子し14わ一1λ(すうれてし)る。 またイ則面2−2の外イ則には、その長手方向に;合っ
て、第3図に示すシート状のリニア磁気スケール6を貼
着等の手段で固定している。 上富己のようにステータヨーク2のイ則[2−2(ある
いは2−1でもまい)の外イ則にリニア6花見エンコー
ダの構成要素であるリニア磁気スケール6をtiけてい
るのは、上2己したように、(イ)リニアδ花見スケー
ル6のリニアδ琵虱エンコーク五花亭函9わ(界δ徨マ
グネット、4−1.lL −2の弓伽い6筺束の影#を
受Cすて当該リニア磁気エンコーダの為の磁気センサ1
2かう奮呉磁気エンコーダイ「号り〜出ないようにし、
′l生能のよG)リニア磁気エンコーダを升毛成するた
めである、また該性能のまいリニア磁気エンコーダを育
するボイスコイル似リニア′に流モーを得ることにある
、(ロ)リニア直流モータ1のステークヨーク2をml
艮リすアδ沈気スケール6のステータヨークと兼用させ
、当該リニア6u気エンコーダを安価に形成できるよう
にすること、 (ハ)ストロークの−AQ)リニア直流モータであって
も、臭さの臭いリニア磁気エンコーダ゛を安価旦つ8
Ji!+[こ形成しf犀、し乃蔦も高性禽はのリニア6
u貢エンコ=ダを内蔵したボイスコイル似リニア′X流
モータ145:得ることを主に:!!V慮したものであ
る。 従って〜ステータヨーク2の内面に配設される界磁マグ
ネットは、他の形状であっても試〈・上言己リニアδr
1gcスケール6と7贅1己する6筺気センサ、lL2
とで、リニア磁気エンコーダを形成している◇ 上富己リニアδ侘気スケール6(よ、71)筺体とりで
シート状のプラスチックマグネット8を選字尺している
。このプラスチックマグネット8にf2−第32に示す
ようfこ、その厚手方向に’kM着碓手峻手段、Sの磁
極を交互に^手方向に沿ってミクロンJiL位で多極R
砒してリニア磁気エンコーダ上棚9を形成している。 上富己センターヨーク5に1よ、瞳斤面矢巨形卆卆1犬
となるようにトロイダル響きした駆動コイル1oを挿入
し、この枢動コイル10をセンターヨーク6の長手方向
に沿って移動自在に支持している。 可動コイルlO+よ、矩形枠状の〕〜シソ系樹脂(例え
ば、42ヅ化エチレン、部品名でC3テフロン乃曳′あ
る)〔こよって形成された矢巨JF6卆卆4犬のボヒ゛
ン11に響かれている。 このまうな材質のボヒ゛ン11を1を尺したの〔ま、ボ
ヒ”ン11がj骨らかにセンターヨーク5にガイドされ
て往復移動できるまうにするためである。 その他の理由は、もしも、これと同じ目的を連成させる
ためにボールヘアリング等を用いる方法も考えられるが
、このような軸受を用いると効果になることを考慮した
ものである。 ボヒ′ンjL1fこ響カ)れな駆動コイル10の上口濁
音BにIK−2示しなQ)プリント配電7Nターンをエ
ツチング手段等にまり形成した磁気センサ配設基板7を
f文(す、この記!貨基ヰ反7の一音[を上重己スリッ
ト子し:L4−F[−通して延長形成し、この延長した
上記リニア6花気スケール6と9It向するIl!1f
fに6【気センサ12を配設してるφ 上言己配第秦基板7(才、プリント配電7文ターンの遣
jL[Ptf Iこ(1カコイル1oの虜■嵩子を半田
イ寸(す等の手ト父で電気的sps us −w qテ
ってG)る。 v:に磁気でンサ12の圧力帽子も、基板7のプリント
配電/Yクーンに半田イ寸(す等の手β父で電気的黍吉
季Sをキテってし)る。 上富己記季皐基板7のプリントac!電7大ターンに〔
ま、駆1カニイル1o−Y!:1出電卿S(卸するため
の図示しな瞥)リード−泉、磁気センサ12力)らの磁
気エンコーグ11号を導くための図示しなQ)リード弔
皐カー単田イ寸Cす等にまって接畢売されている。 また上j8砒jP1.″t?ンサ12として〔よ、この
リニア6花気エンコーダーリ)らA木目、B木目の2ネ
目のエンコーダ“(f号をイ尋るなのに磁気才氏十九素
子(MR革予)を用Q)てQ)る。 この磁気抵抗素子は、磁界を加えると素子の電M、#圧
を九カ〜突イヒする効果を和J用したもので、低/ズル
スのもので工n−5bの半導体礒黒抵抗素子を用いたも
のも一部tこあるが、この実施例の磁気センサ12(よ
、N1−FeyfeやN i −e o 系a 主fa
ll 料として形成したイ氏石沈界での感度わ(扁し)
弓徹る達性体NZt [1氏を大素子を用いている。 この磁気抵抗素子Cよ、パターンの形成方法によって、
、1([;fiの素子でありなが6A相、B相のエンニ
ータ゛信号を容易に得ることができるのみならず、パタ
ーンの形成方法によって、更に2相の(f号までも得ら
れるので城に都合広いものとなっている。 尚+礒3pcセンサとして(ま、砒電変喚素子としてブ
ラシレスモーフの位置検知素子として多用されているホ
ール素子、ホールエCあるいは6〃気ヘツトを用いても
菰い。 しかし−リニア砒荒エンコーダを1成する々めにfま〜
A本目、巳牟目の(fJ)をf尋るために2(111の
素子を電気角で90屓ずらして紀言文しな(すればなら
ず、へ」立、言剛V日轡間カ<*9a7x:rする欠点
カ汽ある。 しかも2相まで必要とした場合、合計3(mの磁気セン
サが必要となるので、上記欠点は更に増加する。 更にまた、上記リニアEn気エンコーダ離接9が、まり
積置のよいリニアill[5Mモータ1及びりニア磁気
エンコーダをマ尋るために〜N、Sの磁極ピッチを(頗
撃田中工に着磁形成した場合(イ列えtま50−ピッチ
)にCま、種数の砒Xセンサを人間の開隔を横って位置
合せしつつ〜配設することCま、非常にやっかいで、困
難且つ量麿にJざないものとなる。 また磁気ヘット(よ大を且つ高価なので、この使用はで
きれば避(すたいところである。 従って、この実施例で【よ、磁気センサ12として、A
相、B相の信号を1イlの素子でありながら得ることの
できる磁気抵抗素子を用いた場合とする。 本発明のM1実施例のホイスコイルをリニアI流モータ
1は、上記構成からなる。 従って、!示しrtb’=通電率り穆n [11] g
各にまって嘱区動コイル16に正逆方向の電流を流すこ
とにより、駆動コイルjLOfよ正逆方向に住復運動す
る。 た磁気センサ12がリニア磁気スケール6のリニア礒寛
エンコーグm栖9を積出しながろ動くので、上記磁気セ
ンサ12にまって当該リニアTf流モータ1の可動子の
位置、1遣JLI’ll:あるいは移動方向等可動その
動きの情*gを知ることができる。 すなわち、磁気センサ12からの信号を取り比し、これ
をフィードバックしてコントロールすることに菰つ〜当
該リニア[流モータ1’&リニアステップモータのよう
なステップ駆動等種々の動きや隼す(11をマチわせる
こと乃(できる。 (第2Jl!’方95イJ−1) 蔦4図は本発明第2実施例を示すためのリニア砒部スケ
ール61の説明図で、このリニア磁気スケール61 は
プラスチックマグネット8にR点ず奮号N砒トラック1
5とリニア磁気エンコーダ磁極トラック16とを設fす
、原点1号暦砒トラーνり15の端部にN極の原点信号
R辺部17を形成している。 この場合、原点イ菖号f#砒剖17(よ〜S柵〔こ着磁
形成しても良い。 JM[a (言号Nt砒トラック1Sの原点イ奮号看砒
剖17をβ♀く他の部分は、無着磁島びとしている。 また原点1号看砒剖17は、原点イ1号着着磁ラック1
[5の他端に形成しても菰い。 上記リニア磁気エンコーダ磁極着磁トラック16には、
上記M1実施例と同様にN、Sの磁極を臭手方向に沿っ
て垂[着磁(尚、水平着磁での輿Q)わ−5垂I着6詑
の【ぼう乃(望ましG))多事函着6筺してリニア磁気
エンコーダ磁極99 を着磁形成している。 :L8.:L9.20+よ、磁気センサとして用Q)た
ホール素子で、ホール素子18〔よ原点イ「号着磁剖1
7を検出するためのもので、ホール素子19(まA相リ
ニア磁気エンコーダ信号を得るためのもので、ホール素
子2o(まB相リニア磁気エンコーグイ!−51−を得
るためのものである。 このよってこ3イlのホール素子18.−−−。 20を用いるのは、実際的には高精度のリニア磁気エン
コーダを得るに当たっては好ましくないので、できれば
量産時C【第1実施例で述べたように3(ffiのホー
ル素子1日、・・・、20とI!]4曖宵筺をt今つ1
([ii+の61気を氏を光素子を用し)るのり(望ま
しQ)。 このリニア磁気スケール61 を用いると〜リニア砒賞
エンコーダを形成する磁気センサ19と20とにより、
リニア磁気エンコーダ用磁極93を検圧するのことで、
A相、B相の2相のイを号が得られるので、可動コイル
:LOt7)走行量、走行速Iが判明でき、また正逆転
走行できるのものとなる。 また従来のように駆動コイル10への通電用のためのホ
ール累子、ホール工C等の(n置キ斐矢ロ素子がなくて
も砒部センサ18及び原点イ1号着着磁17があるので
、砒x−e’ンサ18f)−原点イ1号着δ筺tkα1
7をヰ斐出した日轡点を基準点にし、6詫気センサ19
.20が磁員エンコーダ用上棚部ンを横比することで得
られる横比パルスをカウンタによってネJ!畠し、イ列
えIf / Y )レス分配器を用Q)で所定の7Nル
スご゛とfこ1111号を偶フ暖カコイルIOBこ】通
電することで、−区1カコイル10と界6れマグネット
4−1と4−2とにより所定方間の接方を得、駆動コイ
ル10を戸ガ定方向に頂カカ1すこと乃(できる。 尚、砒部センサ1日がN点信号着磁部17を横比してQ
lなQ)ときCま〜イ列え〔ず、飄り動コイル10に所
定方向の/てソレス電5虎を通電して臥夕盾カコイル1
゜をPJf定方内に走行させ、砒にでンサ18に菰って
原点信号9砒齢17を検出させる。 砒′M、センサ18が原点信号9砒齢17を横比すると
、上記したまうにカウンタを含むデジタル回路を動作さ
せることで、位置桟知素子り一なくても、当4底デジタ
ル口謬杏に菰って駆1カコイル10に所定方向の電流を
通電するので、駆動コイル10を所定方向に走行させる
ことができる。 駆動コイル10の走行方向を逆転させるに【よ、桶中生
突tロca:+g各の亭函1注を賞手奥すれ(ずまし)
。 尚〜メモリー慢能co:+118をイ膚えている場合に
は、−鷹、原A(原点イ1号着礒li+’(17)を記
111.たら、次回f)1ら(1原点イ「号着礒音31
7をざり一すン、要けなく一’m+こ原点イ「号位置を
基準にしてカウンタわへ頂力作するので、駆動口8各に
電ン原をす文人すると閂eatこ、原点サーチすること
なく、制御されに方向へPfi定の動作で所定方向に駆
動コイル10を走行させることができる。 ([3冥施例) 第5121+は本発明第3冥施例としてのボイスコイル
型リニア[)虎モータfこ用I−)るリニア石【式スケ
ール6°゛の説明区である。 このリニア磁気スケール611では、プラスチックマグ
ネット8の長手カーに沿って上記しニアδ筺気エンコー
ヅ砒牟函9,9゛のN、sの6筺櫃ビーンチrl!r+
牟藁に?劾李田なと・ソチで凹凸21を形成し、この凹
凸21面にN極まi(まS極のいずれか一方の砒櫃−?
!!−着磁している。 いまN極を凹凸21面に、臭手方内に沿って着磁すると
プラスチックマグネット8の凹凸21bに〔まN極の磁
極が強<m砒され、凹部21aにはN極が■〈M砒され
たN′橿がfgt砒される。 この場合、凹部21aにN極が!!!l < PR砒さ
れたN1 柵は、磁気圓饅上、実際にはS橿を着磁した
とrWJIll Iこなるので、上富己凹凸211〔こ
(よ、実實自勺にCよI’J、Sの砒橿が交互に着磁さ
れたと同じになり、凹凸21mによって上記rwJ様の
リニア磁気エンコーヅ91が形成されkことになる。 (第4冥加例) 第6cXJは本発明j@4実施例としてのボイスコイル
型リニア直流モータのリニア磁気スケール6ゝ1説明図
である。 この第6図に示すリニア磁気スケール6日で(ま、第3
冥施イ列のリニア6a:11ICスケール6° にI’
3 I−’1て、プラスチックマグネット8に第5図で
示したと間接のリニア磁気エンコーダー着磁トラック1
631以外に、その(上)へ嵩音5(尚、この8B分に
5艮る修・要(才なc+))に原点<tsi−着磁トラ
ック15ゝを形成し、このall @n に原点イ「号
着磁音B形成用凸部22を形成している。 上盲己砒部トラック151の上富己凸音ff2:L’!
!−β♀〈障〈残つのど分(よ、凹部23としている。 尚、f底凸音rS 22 に(ま、上i己リニアδu気
エンコーダ砒栖91の6剖21bをN極に着磁している
ため6剖22(よN極に着6nされている。 (M5実8缶イ2→1) (その他の実施例) 上1己実施イ列に?jlするリニアI)虎モータて【よ
、界磁マグネット閘!配置形のみを示したが、界磁マグ
ネット片面配置横遣その他0ット形暮いずれの形式であ
ってもぼく、またリニア磁気スケールはステータヨーク
の側面の外側に配設したが、ステータヨークの上つ青a
[またCま下口者呂βに西己鴛衾してうまG)つ また6筺気センサのH又イ↑牟間コ肯につり)でも、1
貨=−b仕種に菰って最Jへ方法を4用することは当然
で、これらのiλ計変更(ま要旨を實更しなり−+ m
?L U引こる。)で本発明に属するものであること〔
よいうまでもなまなリニア6it気スケールにっQ)で
【ま、ステータヨークにリニア砒部エンコーダ離接を条
横着磁したシート状のプラスチックマグネットそ貴占着
等の手#父で2定しているわ−、このまうにすることに
β艮定されるもので(よない。 イ列え〔ず、ステークヨ一つてこ弔めプラスチ〜シクマ
グネット層等の中膚着磁層を形成し〜この宇皮着磁層に
リニア磁気エンコーダ磁極を形成するよう〔こしても菰
い。 尚〜事態着磁体として−ml−ムマグネット、フエライ
トマグネヅト、磁気録音用メタルテープ等最適なものを
選択すれは良い。 (効果) 本発明(ま上1己力)ら明らカ)なまうに、(1)リニ
ア砒員エンコーダ′をステータヨークに形成しているの
で、走場テ速度挿爽土(場亭麓を合王望的〔こ形成でき
、速rx守If卸の容易な/」為型のボイスコイル型リ
ニアI79モータを安価に形成できる、(2)上記(1
)のボイスコイルをリニア頁流モークの場合、これに用
いるリニア砒員エンコーダも安価に形成できる、(3)
当該リニア■流モータの正逆転走キテ糎J徨O9可突遼
%’l l1fl 、 /大ルス(ステーシブイヒII
IZ1力)率り4!l′Iとし)ったよりな多崎嗜宵旨
隼りタロり(1テえる、(4)リニア磁気エンコーダ以
外の位貢核知素子が不要なので、従来のまうに位置積卸
素子のための多くのリード線がなくなるので、外観がす
っきりするほか、8−、#I且つ安価に製造できる、(
5)従来のまうに界磁マグネットに二重Pa砒手手段こ
まってソニア磁気エンコーダ礒NM部を形成している場
合と興なり、ステータヨークの外部にリニア磁気スケー
ルを奮λ(す、これをヰ夷出するための砒員でンサとで
、リニア砒寛エンコーダを形成しているので、リニア磁
気エンコーダ6n棚が界磁マグネットの強い磁束の影響
を受ですることがなく、砒部センサによってリニア砒克
エンコーグδn柵を積度菰〈検出できるので、精Iの良
いリニア磁気エンコーダイ奮号を得ることのできるリニ
ア磁気エンコーダを形成することができる〜 (6)ま
たステータヨークにリニア礒藁スケールを紋で丈でいる
ので〜従来の界磁マグネ\シトに二ji着磁手股にまっ
てリニア6花気エンコーダーδ筺牟函を形成した場合に
トヒ較して、ストロークの臭いものでも硯員圓詩構成の
具なるものでも、当該リニア磁気エンコーダ磁極−@:
柵めて容易に形成できる。従って、安価で種々の具なる
形状の精度のよいリニアFn気エンコーグを当該ボイス
コイル似リニアiI![流モータに容易に内蔵できる1
等の効果がある。 4、 CXJII!ffの簡単な説明 M1図〔ま本発明のボイスコイル盟リニアI流モータの
筒1実施例を示す一部切欠糾現ズ、第2ズ(よ同縦瞳斤
面図、第32〔ま同リニア6花気スケールの斜視!、第
4 CID fよ本発明蔦2冥施例のリニア磁気スケー
ルの皐斗ン見図、第511m iよ本発明繭3冥方ちイ
タリのリニア磁気スケールの斜視区、第6図は本発明菓
4実施例のリニア磁気スケールの斜視ズである。 (符号の説明) 1・・1ボイスコイル型リニア! lfiモータ、2−
−・ステータヨーク、2−1.2−2・−・イ則面、2
−3−・−上端部、3−・・サイトヨーク、4−1.4
−2・・・界磁マグネット、5・・−センターヨーク、
6.6’ 、6” 。 6゛°0 〜〜°リニア砒烹砒部−ル、7・−一礒気セ
ンサ配設基板、8・・・プラスチックマグネット、9.
9°、9″ 〜・・リニア磁気エンコーダ磁極、1o・
・・駆動コイル、11・・・ボヒ′ン、12・・−磁気
センサ、14・−・スリット孔、’:L5.:L5°
・ ・ −JNI a、イ「号着磁トラ\νり、:L6
. :L6’ リニア磁気エンコーダ砒極着礒トラ
ック、17・・・R点イ1号着辺部、工8,19.20
−・−ホール素子(砒3にセンサ)、21・・−凹凸〜
21a・・・凹部、21b・−・凸部、22・−・R点
1号看辺部形成凸罰、23・−・凹部つ 牛今■午土mIi人 ¥弘ヨ 輩〆♂
価なリニア磁気エンコーダを有するボイスコイル似リニ
ア直桶モータとなって不都合である。 またロット形でない場合でも、界磁マグネットでこリニ
ア礒員エンコーヅ離接部を形成すると上記したように界
磁マグネ\ントの磁束が劣化する以外に、当奮底リニア
6筺気エンコーダ゛五侘柵昌βカへ弓徹〈着6沈されな
いため、リニア磁気エンコー5y砒橿音[を磁気センサ
で横比する場合、強い磁気エンコーダ′信号が得られず
、より扁積度のリニア磁気エンコーダが得られないとい
う欠点がある。 更に′yEた、界磁マグネットとは別〔こ多極着磁した
リニア磁気スケールを当該ボイスコイル型りニアill
: IRモモー内に内蔵することで、上記欠点を解消す
る寓も考えた。しかし、ボイスコイル型り二I流モータ
の場合にτよ、大きな接方を得るために圓定子となるス
テークヨークの内部に界磁マグネットまたは駆動コイル
を全体的に配設すると〜上菖己リニア砒寛スケールを配
言文するスペースを音量(することができない欠点があ
る。またモータの内部に強い磁束の界磁マグネットをa
C!設するため、−二の界磁マグネットの影響を避(す
るようにしないと*」魔のよし)リニア磁気エンコーダ
′イ奮号カーf鼻られないという欠点がある。 (発明の奮果jIIり 本発明Cよ、上記亭惰に基いてなされたもので、(1)
ボイスコイル型リニアに流モータが円筒形(ロッド形)
を始めとするG)ずれの形式のボイスコイル型リニアU
K SRモータであっても、積度の斐いリニア磁気エン
コーダを容易且つ安価に1λ(す、しかモ当該リニア磁
気エンコーダを有するボイスコイル型リニア磁気エンコ
ーダを小型に形成できるようにする二と〜 (2)上記
リニア砒スエンコーグ上棚を有するリニア磁気スケール
を容易に形成できるようにすること、(3)上記リニア
磁気エンコーダのためのリニア磁気エンコーヅ砒埼を強
く看砒できるようにして、性能のよいリニア磁気エンコ
ーダを形成できるまうにすること、(4)少なくともA
相、B相の信号がとれるリニア磁気エンコーダを当該ボ
イスコイル型リニアI流モータに設Cすることで、撞1
速度遼魔ネ斐a槻卆寓を合Jul自勺に言λCすた〕」
\型旦つ安イ面なリニア磁気エンコーダを冑するボイス
コイル似リニアrIj+流モータを得ること−(5)L
かもそのリニア磁気エンコーダを利用して遺した位置で
、正逆転走行制御。 可”l−ij!!和41MLステーシブ駆動イヒ智11
Mn及びM定イユ置停止隼14得n $ 111−’F
の治i ill+を1テえるようにすること、等を目的
〔こなされたものである。その他の目的は以下の説明で
明うわ)となるであろう。 (発明の!I1題達成手−λ) す1わする本発明の奮果題(ま−界磁ヤク′ネットと電
槽曖子コイルのいずれか一方を可動子とし他方を固定子
としてが相対して移動する形式のボイスコイル型リニア
I流モータにおいて、該リニア直流モータのステータヨ
ークの外+!6に長手方向にj分ってキ虜着δ筺体そ奮
9cfす、i底?汝着磁体(ご上目己諷区膚カコイルの
移動刃14rJ1ご沿って微小なピッチでN、Sの磁極
を交互に多項に膚するリニア磁気エンコーダ磁極を着磁
形成することで上記でンターヨークにリニア磁気スケー
ルを形成し、該リニア磁気スケールの1’J、SO:)
硯橿を検出する々めの磁気センサを上記可璽力子に配言
文することで麿!床ボイスコイル型リニアT[5Rモー
クにリニア磁気エンコーダを形成することで連成される
。 (発明の第1冥加μ列) 以下第jLcZl乃至第3区を参照しで、本発明の界磁
マグネット同面タイプの磁束不均一形のボイスコイル型
ソニア直流モータ1につQ)で説明する。 このリニア[漂モータ1〔よ、可動コイル型となってお
り、鉄板等の磁性体で形成された断面0字状のステータ
ヨーク2の開端を同じく鉄板等の磁性体でできたサイド
ヨーク3で閉じることて磁路を閉じる硯jKl詩構成と
なっている。 ヨーク2の間イ則面2−jL、2−2の内面にCま、互
いにNの磁極面を向Cす々長板状の界磁マグネ・シトl
L −:L 、 lL −2を貼着等の手段〔こて亘設
することで、この界磁マグネット4−:L、4−2を固
定子としている。 該界磁マグネット4−1と4−2の間には、これと平η
テにセンターヨーク5カ(、そのI?I+Ith青&B
をサイトヨーク3に1定することで、諷区動コイル10
のためのガイトレールを形成している。 サイトヨーク2の上tn!I+!2−3には、その臭手
力r句にン合って、石詫気センサ記1文基板7を通すた
めのスリシト子し14わ一1λ(すうれてし)る。 またイ則面2−2の外イ則には、その長手方向に;合っ
て、第3図に示すシート状のリニア磁気スケール6を貼
着等の手段で固定している。 上富己のようにステータヨーク2のイ則[2−2(ある
いは2−1でもまい)の外イ則にリニア6花見エンコー
ダの構成要素であるリニア磁気スケール6をtiけてい
るのは、上2己したように、(イ)リニアδ花見スケー
ル6のリニアδ琵虱エンコーク五花亭函9わ(界δ徨マ
グネット、4−1.lL −2の弓伽い6筺束の影#を
受Cすて当該リニア磁気エンコーダの為の磁気センサ1
2かう奮呉磁気エンコーダイ「号り〜出ないようにし、
′l生能のよG)リニア磁気エンコーダを升毛成するた
めである、また該性能のまいリニア磁気エンコーダを育
するボイスコイル似リニア′に流モーを得ることにある
、(ロ)リニア直流モータ1のステークヨーク2をml
艮リすアδ沈気スケール6のステータヨークと兼用させ
、当該リニア6u気エンコーダを安価に形成できるよう
にすること、 (ハ)ストロークの−AQ)リニア直流モータであって
も、臭さの臭いリニア磁気エンコーダ゛を安価旦つ8
Ji!+[こ形成しf犀、し乃蔦も高性禽はのリニア6
u貢エンコ=ダを内蔵したボイスコイル似リニア′X流
モータ145:得ることを主に:!!V慮したものであ
る。 従って〜ステータヨーク2の内面に配設される界磁マグ
ネットは、他の形状であっても試〈・上言己リニアδr
1gcスケール6と7贅1己する6筺気センサ、lL2
とで、リニア磁気エンコーダを形成している◇ 上富己リニアδ侘気スケール6(よ、71)筺体とりで
シート状のプラスチックマグネット8を選字尺している
。このプラスチックマグネット8にf2−第32に示す
ようfこ、その厚手方向に’kM着碓手峻手段、Sの磁
極を交互に^手方向に沿ってミクロンJiL位で多極R
砒してリニア磁気エンコーダ上棚9を形成している。 上富己センターヨーク5に1よ、瞳斤面矢巨形卆卆1犬
となるようにトロイダル響きした駆動コイル1oを挿入
し、この枢動コイル10をセンターヨーク6の長手方向
に沿って移動自在に支持している。 可動コイルlO+よ、矩形枠状の〕〜シソ系樹脂(例え
ば、42ヅ化エチレン、部品名でC3テフロン乃曳′あ
る)〔こよって形成された矢巨JF6卆卆4犬のボヒ゛
ン11に響かれている。 このまうな材質のボヒ゛ン11を1を尺したの〔ま、ボ
ヒ”ン11がj骨らかにセンターヨーク5にガイドされ
て往復移動できるまうにするためである。 その他の理由は、もしも、これと同じ目的を連成させる
ためにボールヘアリング等を用いる方法も考えられるが
、このような軸受を用いると効果になることを考慮した
ものである。 ボヒ′ンjL1fこ響カ)れな駆動コイル10の上口濁
音BにIK−2示しなQ)プリント配電7Nターンをエ
ツチング手段等にまり形成した磁気センサ配設基板7を
f文(す、この記!貨基ヰ反7の一音[を上重己スリッ
ト子し:L4−F[−通して延長形成し、この延長した
上記リニア6花気スケール6と9It向するIl!1f
fに6【気センサ12を配設してるφ 上言己配第秦基板7(才、プリント配電7文ターンの遣
jL[Ptf Iこ(1カコイル1oの虜■嵩子を半田
イ寸(す等の手ト父で電気的sps us −w qテ
ってG)る。 v:に磁気でンサ12の圧力帽子も、基板7のプリント
配電/Yクーンに半田イ寸(す等の手β父で電気的黍吉
季Sをキテってし)る。 上富己記季皐基板7のプリントac!電7大ターンに〔
ま、駆1カニイル1o−Y!:1出電卿S(卸するため
の図示しな瞥)リード−泉、磁気センサ12力)らの磁
気エンコーグ11号を導くための図示しなQ)リード弔
皐カー単田イ寸Cす等にまって接畢売されている。 また上j8砒jP1.″t?ンサ12として〔よ、この
リニア6花気エンコーダーリ)らA木目、B木目の2ネ
目のエンコーダ“(f号をイ尋るなのに磁気才氏十九素
子(MR革予)を用Q)てQ)る。 この磁気抵抗素子は、磁界を加えると素子の電M、#圧
を九カ〜突イヒする効果を和J用したもので、低/ズル
スのもので工n−5bの半導体礒黒抵抗素子を用いたも
のも一部tこあるが、この実施例の磁気センサ12(よ
、N1−FeyfeやN i −e o 系a 主fa
ll 料として形成したイ氏石沈界での感度わ(扁し)
弓徹る達性体NZt [1氏を大素子を用いている。 この磁気抵抗素子Cよ、パターンの形成方法によって、
、1([;fiの素子でありなが6A相、B相のエンニ
ータ゛信号を容易に得ることができるのみならず、パタ
ーンの形成方法によって、更に2相の(f号までも得ら
れるので城に都合広いものとなっている。 尚+礒3pcセンサとして(ま、砒電変喚素子としてブ
ラシレスモーフの位置検知素子として多用されているホ
ール素子、ホールエCあるいは6〃気ヘツトを用いても
菰い。 しかし−リニア砒荒エンコーダを1成する々めにfま〜
A本目、巳牟目の(fJ)をf尋るために2(111の
素子を電気角で90屓ずらして紀言文しな(すればなら
ず、へ」立、言剛V日轡間カ<*9a7x:rする欠点
カ汽ある。 しかも2相まで必要とした場合、合計3(mの磁気セン
サが必要となるので、上記欠点は更に増加する。 更にまた、上記リニアEn気エンコーダ離接9が、まり
積置のよいリニアill[5Mモータ1及びりニア磁気
エンコーダをマ尋るために〜N、Sの磁極ピッチを(頗
撃田中工に着磁形成した場合(イ列えtま50−ピッチ
)にCま、種数の砒Xセンサを人間の開隔を横って位置
合せしつつ〜配設することCま、非常にやっかいで、困
難且つ量麿にJざないものとなる。 また磁気ヘット(よ大を且つ高価なので、この使用はで
きれば避(すたいところである。 従って、この実施例で【よ、磁気センサ12として、A
相、B相の信号を1イlの素子でありながら得ることの
できる磁気抵抗素子を用いた場合とする。 本発明のM1実施例のホイスコイルをリニアI流モータ
1は、上記構成からなる。 従って、!示しrtb’=通電率り穆n [11] g
各にまって嘱区動コイル16に正逆方向の電流を流すこ
とにより、駆動コイルjLOfよ正逆方向に住復運動す
る。 た磁気センサ12がリニア磁気スケール6のリニア礒寛
エンコーグm栖9を積出しながろ動くので、上記磁気セ
ンサ12にまって当該リニアTf流モータ1の可動子の
位置、1遣JLI’ll:あるいは移動方向等可動その
動きの情*gを知ることができる。 すなわち、磁気センサ12からの信号を取り比し、これ
をフィードバックしてコントロールすることに菰つ〜当
該リニア[流モータ1’&リニアステップモータのよう
なステップ駆動等種々の動きや隼す(11をマチわせる
こと乃(できる。 (第2Jl!’方95イJ−1) 蔦4図は本発明第2実施例を示すためのリニア砒部スケ
ール61の説明図で、このリニア磁気スケール61 は
プラスチックマグネット8にR点ず奮号N砒トラック1
5とリニア磁気エンコーダ磁極トラック16とを設fす
、原点1号暦砒トラーνり15の端部にN極の原点信号
R辺部17を形成している。 この場合、原点イ菖号f#砒剖17(よ〜S柵〔こ着磁
形成しても良い。 JM[a (言号Nt砒トラック1Sの原点イ奮号看砒
剖17をβ♀く他の部分は、無着磁島びとしている。 また原点1号看砒剖17は、原点イ1号着着磁ラック1
[5の他端に形成しても菰い。 上記リニア磁気エンコーダ磁極着磁トラック16には、
上記M1実施例と同様にN、Sの磁極を臭手方向に沿っ
て垂[着磁(尚、水平着磁での輿Q)わ−5垂I着6詑
の【ぼう乃(望ましG))多事函着6筺してリニア磁気
エンコーダ磁極99 を着磁形成している。 :L8.:L9.20+よ、磁気センサとして用Q)た
ホール素子で、ホール素子18〔よ原点イ「号着磁剖1
7を検出するためのもので、ホール素子19(まA相リ
ニア磁気エンコーダ信号を得るためのもので、ホール素
子2o(まB相リニア磁気エンコーグイ!−51−を得
るためのものである。 このよってこ3イlのホール素子18.−−−。 20を用いるのは、実際的には高精度のリニア磁気エン
コーダを得るに当たっては好ましくないので、できれば
量産時C【第1実施例で述べたように3(ffiのホー
ル素子1日、・・・、20とI!]4曖宵筺をt今つ1
([ii+の61気を氏を光素子を用し)るのり(望ま
しQ)。 このリニア磁気スケール61 を用いると〜リニア砒賞
エンコーダを形成する磁気センサ19と20とにより、
リニア磁気エンコーダ用磁極93を検圧するのことで、
A相、B相の2相のイを号が得られるので、可動コイル
:LOt7)走行量、走行速Iが判明でき、また正逆転
走行できるのものとなる。 また従来のように駆動コイル10への通電用のためのホ
ール累子、ホール工C等の(n置キ斐矢ロ素子がなくて
も砒部センサ18及び原点イ1号着着磁17があるので
、砒x−e’ンサ18f)−原点イ1号着δ筺tkα1
7をヰ斐出した日轡点を基準点にし、6詫気センサ19
.20が磁員エンコーダ用上棚部ンを横比することで得
られる横比パルスをカウンタによってネJ!畠し、イ列
えIf / Y )レス分配器を用Q)で所定の7Nル
スご゛とfこ1111号を偶フ暖カコイルIOBこ】通
電することで、−区1カコイル10と界6れマグネット
4−1と4−2とにより所定方間の接方を得、駆動コイ
ル10を戸ガ定方向に頂カカ1すこと乃(できる。 尚、砒部センサ1日がN点信号着磁部17を横比してQ
lなQ)ときCま〜イ列え〔ず、飄り動コイル10に所
定方向の/てソレス電5虎を通電して臥夕盾カコイル1
゜をPJf定方内に走行させ、砒にでンサ18に菰って
原点信号9砒齢17を検出させる。 砒′M、センサ18が原点信号9砒齢17を横比すると
、上記したまうにカウンタを含むデジタル回路を動作さ
せることで、位置桟知素子り一なくても、当4底デジタ
ル口謬杏に菰って駆1カコイル10に所定方向の電流を
通電するので、駆動コイル10を所定方向に走行させる
ことができる。 駆動コイル10の走行方向を逆転させるに【よ、桶中生
突tロca:+g各の亭函1注を賞手奥すれ(ずまし)
。 尚〜メモリー慢能co:+118をイ膚えている場合に
は、−鷹、原A(原点イ1号着礒li+’(17)を記
111.たら、次回f)1ら(1原点イ「号着礒音31
7をざり一すン、要けなく一’m+こ原点イ「号位置を
基準にしてカウンタわへ頂力作するので、駆動口8各に
電ン原をす文人すると閂eatこ、原点サーチすること
なく、制御されに方向へPfi定の動作で所定方向に駆
動コイル10を走行させることができる。 ([3冥施例) 第5121+は本発明第3冥施例としてのボイスコイル
型リニア[)虎モータfこ用I−)るリニア石【式スケ
ール6°゛の説明区である。 このリニア磁気スケール611では、プラスチックマグ
ネット8の長手カーに沿って上記しニアδ筺気エンコー
ヅ砒牟函9,9゛のN、sの6筺櫃ビーンチrl!r+
牟藁に?劾李田なと・ソチで凹凸21を形成し、この凹
凸21面にN極まi(まS極のいずれか一方の砒櫃−?
!!−着磁している。 いまN極を凹凸21面に、臭手方内に沿って着磁すると
プラスチックマグネット8の凹凸21bに〔まN極の磁
極が強<m砒され、凹部21aにはN極が■〈M砒され
たN′橿がfgt砒される。 この場合、凹部21aにN極が!!!l < PR砒さ
れたN1 柵は、磁気圓饅上、実際にはS橿を着磁した
とrWJIll Iこなるので、上富己凹凸211〔こ
(よ、実實自勺にCよI’J、Sの砒橿が交互に着磁さ
れたと同じになり、凹凸21mによって上記rwJ様の
リニア磁気エンコーヅ91が形成されkことになる。 (第4冥加例) 第6cXJは本発明j@4実施例としてのボイスコイル
型リニア直流モータのリニア磁気スケール6ゝ1説明図
である。 この第6図に示すリニア磁気スケール6日で(ま、第3
冥施イ列のリニア6a:11ICスケール6° にI’
3 I−’1て、プラスチックマグネット8に第5図で
示したと間接のリニア磁気エンコーダー着磁トラック1
631以外に、その(上)へ嵩音5(尚、この8B分に
5艮る修・要(才なc+))に原点<tsi−着磁トラ
ック15ゝを形成し、このall @n に原点イ「号
着磁音B形成用凸部22を形成している。 上盲己砒部トラック151の上富己凸音ff2:L’!
!−β♀〈障〈残つのど分(よ、凹部23としている。 尚、f底凸音rS 22 に(ま、上i己リニアδu気
エンコーダ砒栖91の6剖21bをN極に着磁している
ため6剖22(よN極に着6nされている。 (M5実8缶イ2→1) (その他の実施例) 上1己実施イ列に?jlするリニアI)虎モータて【よ
、界磁マグネット閘!配置形のみを示したが、界磁マグ
ネット片面配置横遣その他0ット形暮いずれの形式であ
ってもぼく、またリニア磁気スケールはステータヨーク
の側面の外側に配設したが、ステータヨークの上つ青a
[またCま下口者呂βに西己鴛衾してうまG)つ また6筺気センサのH又イ↑牟間コ肯につり)でも、1
貨=−b仕種に菰って最Jへ方法を4用することは当然
で、これらのiλ計変更(ま要旨を實更しなり−+ m
?L U引こる。)で本発明に属するものであること〔
よいうまでもなまなリニア6it気スケールにっQ)で
【ま、ステータヨークにリニア砒部エンコーダ離接を条
横着磁したシート状のプラスチックマグネットそ貴占着
等の手#父で2定しているわ−、このまうにすることに
β艮定されるもので(よない。 イ列え〔ず、ステークヨ一つてこ弔めプラスチ〜シクマ
グネット層等の中膚着磁層を形成し〜この宇皮着磁層に
リニア磁気エンコーダ磁極を形成するよう〔こしても菰
い。 尚〜事態着磁体として−ml−ムマグネット、フエライ
トマグネヅト、磁気録音用メタルテープ等最適なものを
選択すれは良い。 (効果) 本発明(ま上1己力)ら明らカ)なまうに、(1)リニ
ア砒員エンコーダ′をステータヨークに形成しているの
で、走場テ速度挿爽土(場亭麓を合王望的〔こ形成でき
、速rx守If卸の容易な/」為型のボイスコイル型リ
ニアI79モータを安価に形成できる、(2)上記(1
)のボイスコイルをリニア頁流モークの場合、これに用
いるリニア砒員エンコーダも安価に形成できる、(3)
当該リニア■流モータの正逆転走キテ糎J徨O9可突遼
%’l l1fl 、 /大ルス(ステーシブイヒII
IZ1力)率り4!l′Iとし)ったよりな多崎嗜宵旨
隼りタロり(1テえる、(4)リニア磁気エンコーダ以
外の位貢核知素子が不要なので、従来のまうに位置積卸
素子のための多くのリード線がなくなるので、外観がす
っきりするほか、8−、#I且つ安価に製造できる、(
5)従来のまうに界磁マグネットに二重Pa砒手手段こ
まってソニア磁気エンコーダ礒NM部を形成している場
合と興なり、ステータヨークの外部にリニア磁気スケー
ルを奮λ(す、これをヰ夷出するための砒員でンサとで
、リニア砒寛エンコーダを形成しているので、リニア磁
気エンコーダ6n棚が界磁マグネットの強い磁束の影響
を受ですることがなく、砒部センサによってリニア砒克
エンコーグδn柵を積度菰〈検出できるので、精Iの良
いリニア磁気エンコーダイ奮号を得ることのできるリニ
ア磁気エンコーダを形成することができる〜 (6)ま
たステータヨークにリニア礒藁スケールを紋で丈でいる
ので〜従来の界磁マグネ\シトに二ji着磁手股にまっ
てリニア6花気エンコーダーδ筺牟函を形成した場合に
トヒ較して、ストロークの臭いものでも硯員圓詩構成の
具なるものでも、当該リニア磁気エンコーダ磁極−@:
柵めて容易に形成できる。従って、安価で種々の具なる
形状の精度のよいリニアFn気エンコーグを当該ボイス
コイル似リニアiI![流モータに容易に内蔵できる1
等の効果がある。 4、 CXJII!ffの簡単な説明 M1図〔ま本発明のボイスコイル盟リニアI流モータの
筒1実施例を示す一部切欠糾現ズ、第2ズ(よ同縦瞳斤
面図、第32〔ま同リニア6花気スケールの斜視!、第
4 CID fよ本発明蔦2冥施例のリニア磁気スケー
ルの皐斗ン見図、第511m iよ本発明繭3冥方ちイ
タリのリニア磁気スケールの斜視区、第6図は本発明菓
4実施例のリニア磁気スケールの斜視ズである。 (符号の説明) 1・・1ボイスコイル型リニア! lfiモータ、2−
−・ステータヨーク、2−1.2−2・−・イ則面、2
−3−・−上端部、3−・・サイトヨーク、4−1.4
−2・・・界磁マグネット、5・・−センターヨーク、
6.6’ 、6” 。 6゛°0 〜〜°リニア砒烹砒部−ル、7・−一礒気セ
ンサ配設基板、8・・・プラスチックマグネット、9.
9°、9″ 〜・・リニア磁気エンコーダ磁極、1o・
・・駆動コイル、11・・・ボヒ′ン、12・・−磁気
センサ、14・−・スリット孔、’:L5.:L5°
・ ・ −JNI a、イ「号着磁トラ\νり、:L6
. :L6’ リニア磁気エンコーダ砒極着礒トラ
ック、17・・・R点イ1号着辺部、工8,19.20
−・−ホール素子(砒3にセンサ)、21・・−凹凸〜
21a・・・凹部、21b・−・凸部、22・−・R点
1号看辺部形成凸罰、23・−・凹部つ 牛今■午土mIi人 ¥弘ヨ 輩〆♂
Claims (3)
- (1)界磁マグネットと電機子コイルのいずれか一方を
可動子とし他方を固定子としてが相対して移動する形式
のボイスコイル型リニア直流モータにおいて、該リニア
直流モータのステータヨークの外部に長手方向に沿って
被着磁体を設け、該被着磁体に上記駆動コイルの移動方
向に沿つて微小なピッチでN、Sの磁極を交互に多極に
有するリニア磁気エンコーダ磁極を着磁形成することで
上記センターヨークにリニア磁気スケールを形成し、該
リニア磁気スケールのN、Sの磁極を検出するための磁
気センサを上記可動子に配設することで当該ボイスコイ
ル型リニア直流モータにリニア磁気エンコーダを形成し
てなる、リニア磁気エンコーダを有するボイスコイル型
リニア直流モータ。 - (2)上記リニア磁気エンコーダは、そのリニア磁気ス
ケールに細かなピッチでN、Sの磁極を交互に有するリ
ニア磁気エンコーダ用磁極及び原点信号着磁部を着磁形
成し、上記リニア磁気エンコーダ用磁極及び原点信号着
磁部を検出するための磁気センサを上記可動子に配設し
てなる、特許請求の範囲第(1)項記載のリニア磁気エ
ンコーダを有するボイスコイル型リニア直流モータ。 - (3)上記リニア磁気スケールは、長手方向に沿つて細
かなピッチで凹凸を形成し、該凹凸面にN極またはS極
の着磁をすることで該凹凸面に着磁された磁極により実
質的に細かなピッチでN、Sの磁極を有するリニア磁気
エンコーダ磁極を形成してなる、特許請求の範囲第(1
)項または第(2)項記載のリニア磁気エンコーダを有
するボイスコイル型リニア直流モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11806086A JPS62277061A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11806086A JPS62277061A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62277061A true JPS62277061A (ja) | 1987-12-01 |
Family
ID=14727021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11806086A Pending JPS62277061A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62277061A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6028791A (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-13 | Takahashi Yoshiteru | 半導体リニアモ−タ |
JPS60156256A (ja) * | 1984-01-24 | 1985-08-16 | Yoshiteru Takahashi | 磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニアモ−タ |
-
1986
- 1986-05-22 JP JP11806086A patent/JPS62277061A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6028791A (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-13 | Takahashi Yoshiteru | 半導体リニアモ−タ |
JPS60156256A (ja) * | 1984-01-24 | 1985-08-16 | Yoshiteru Takahashi | 磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニアモ−タ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6160395A (en) | Non-contact position sensor | |
JP6410732B2 (ja) | 多極カウントモータのための一体型多回転絶対位置センサ | |
CN104011984B (zh) | 马达、马达系统及马达用编码器 | |
US10228267B2 (en) | Magnetic sensor for absolute counting of revolutions or linear distances | |
US7112957B2 (en) | GMR sensor with flux concentrators | |
US6265867B1 (en) | Position encoder utilizing fluxgate sensors | |
JP4367966B2 (ja) | 磁気式変位検出装置 | |
JP2010500862A (ja) | 位置又は移動用測定系を有するモータ | |
US7679226B2 (en) | Synchronous linear motor with non-contacting scanning of the toothed structure of the secondary part | |
US8575931B2 (en) | Length measurement apparatus | |
JPS62277061A (ja) | リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ | |
JPH0350965B2 (ja) | ||
CA2232916C (en) | Device for contactless sensing of the position of an object and related use | |
JP3047099B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPH05264326A (ja) | リニア型位置センサ | |
JP2004264222A (ja) | 回転角度センサ用磁気マーカ | |
ATE415634T1 (de) | Ferraris-sensor | |
JP2001174286A (ja) | 磁気エンコーダ | |
JP2550085B2 (ja) | 絶対位置検出装置 | |
JPS5774612A (en) | Linear displacement detection | |
JPH10227807A (ja) | 回転センサ | |
JP3077074B2 (ja) | サーボモータ | |
JPS62277060A (ja) | リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ | |
JP2546233B2 (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘツドの原点検出部 | |
JPH0711429B2 (ja) | エンコ−ダ装置 |