JPS62277060A - リニア磁気エンコ−ダを有するボイスコイル型リニア直流モ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の言羊半田なｉ児明 （発明のＩｔｊｌＥ上の利用分！Ｐ） 本発明は磁気ディスクのヘッド送り等に１し、しかもリ
ニア磁気エンコーダを合理的に内蔵したリニア磁気エン
コーダを賓するボイスコイルをりニアＩ流モークに関す
る昏 （発明の技術分野） ボイスコイル型リニアＴ［ＳＲモモーは、比較的横道が
簡単で、磁束均−形、砒束準均−形、磁束不均−形等椙
々の砒束形懇のものｊＰ！ニーｔ−易且つ比較的安価に
形成でかることから、磁気ディスクのヘッド送り、光デ
ィスクの光ビックア・シブ槻横、レコードプレーヤのト
ーンアーム可動装置等、橿脅の装置に多用されている。

ここに〜このボイスコイル型リニア直流モータにおいて
な、更にその可動その動いた動きの情＊−，イタＩえ（
ず可動子の動Ｑ）テ具さの中冑欅−２可１力子の１力０
てし）る】！さの・１貴会ｇ、可１力子のイ装置の中冑
幸−等を知る必要が生してぎた。

更にまな、ボイスコイル型リニア直流モータを′４Ｍ１
りの動きをさせる必要が生じてきよ。

このようなオ■やの動ｔをさせる１こ（よ、ボイスコイ
ル型リニア［流上−夕とエンコーダを■黍吉させること
で可宵址となる。

しり）シ、従来のエンコーダ、特にロータリーエンコー
タを夏季吉させた場合にＣま、尚！艮ボイスコイルロリ
ニア直流モータが非常に大型になり、またコストの高い
ものになり、１用する装置にまっでは使用できない場合
がある。

そこで先に本発明書の一人は特願昭５９−：Ｌ１４８２
号（特開昭６Ｏ−１５６２５６４ｒ）にて、リニア砒員
エンコーダを有するボイスコイル型リニアｉｌ［ＩＲモ
モーを開示した。

しかるに、この先に開示したボイスコイル型リニア［流
モータにリニア磁気エンコーダを内蔵する場合、界磁マ
グネットの一部に二重Ｎｔ磁手段等によってリニア磁気
エンコーダ磁極を形成しなければならない壷 この菰う〔こ駆動用磁極部を形成するための界磁マグネ
ットの一部にリニア磁気エンコーダ“磁極を形成した場
合に【よ、当該リニア磁気エンコーダ磁極のｋめに界磁
マグネットの磁束が減少されるため、菰り大きな接方を
得ることのできるリニア磁気エンコーダを賓するボイス
コイル型リニア［５Ｒモータをｆ４ることができｒａｔ
くなる。

それのみか、界磁マグネットが円筒形である場合、この
内／ｉｌｌ剖に裏手方向に沿ってＮ、Ｓの碓栖を交互に
微細ピッチで多種ｆｉ砒してリニア礒烹エンコーダ磁極
剖を形成すること（ま、非常（ごやっかいで−量壇に遣
さす、高価なリニア磁気エンコーダを有するボイスコイ
ル型リニア直流モータとなって不割合である。

また口・シト形でない場合でも、界砒マグネＮνトにリ
ニア磁気エンコータ磁極部を形成すると上記したように
界磁マグネットの磁束が劣化する以外【こ、当言真すニ
ア磁気エンコーダ碓櫃会５カ（弓嘘く着磁されないため
、リニア磁気エンコーダ磁極剖を磁気センサで横比する
場合、強い砒烹エン＝−ダイｉ号が得られず−まり高精
度のリニア８を烹エンコーダ？＋（（鼻られなく−１と
し）う欠点力（ある・（発明のＩｌｌ　［） 本発明け、上記事情に基いてなされ７２！：もので、（
１）ボイスコイル型すニアｒＭＬ流モータが円筒形（ロ
ッド形）を始めとするいずれの形式のボイスコイル型す
ニアＩ流モータであっても、その内１！）ｆｆにリニア
磁気エンコーダを喜易旦つ安イ」こ内蔵して尚且つ当該
リニア磁気エンコーダを内蔵するボイスコイル型リニア
磁気エンコーダを小型に形成できる菰うにすること、（
２）上ｉ己すニア砒烹エンコーダ磁極を有するリニア磁
気スケール−’＆容易に形成できるまうにすることへ　
（３）上記リニア１ｉｒＩ！、ｊＰＣエンコータのため
のリニア磁烹エンコーダ磁極を弓部〈暦δ侘できる菰う
にして、１性宵ヒのよし）りニア磁気エンコーダを形成
できるまうにすること、（４）少なくともＡ相、Ｂ相の
イ嘗号がとれるりニア磁気エンコーダを当該ボイスコイ
ル似すニアＩ麿モータに内蔵することで、撞道速度連魔
横比撮牟１を合ｉｉｕ的【こ内蔵した）」＼型置っ安イ
４なリニア砒寛エンコーダを内蔵したボイスコイル型リ
ニア［ＳＲモータを得ること−（５）Ｌカ）もそのリニ
ア磁気エンコーダを利用して遣した位置で、正逆転走行
＄４　（卸、可変遼智ｊ（卸、ステップＵ重ｈイヒ智１
（卸及び戸斥定位置停止隼り（卸等ギ腫脅の治り（卸を
イテえるよう【こすること、等を目的になされたもので
ある。その他の目的（ま以下の説明で明らかとなるであ
ろう。

（発明のｆＪ１１！Ｊ！還成手峻） かり）る本発明のｆＪ１題（ま、ボイスコイル型すニア
直流モークにおいて、界磁マグネットのａａ投されてい
る残りのあいているステータヨーク都会【こ黒革方向に
夕分って？皮着磁体を奮ｉ：（］〜ｉ爽ン隋看鍛体に上
記駆動コイルの移動方向に沿って微小なピッチで１’Ｊ
、Ｓの磁極を交互に条横に有するリニア磁気エンコーダ
砒橿を着磁形成することで上記センターヨークにリニア
磁気スケールを形成し、七リニア磁気スケールのＮ、Ｓ
の磁極−＠：検出するための磁気センサを上記駆動コイ
ルを實Ｔる可動子に＆！設することで当該ボイスコイル
型リニア［流モータ内にリニア磁気エンコーダを形成す
ることにまって達成される。

（第１貰施例） 第１１１ＸＪ７’＋！第３図を参β嘱して、本発明の界
磁マグネット開面りイブの砒東不均−形のボイスコイル
型すニアＩ流モータ１について説明する。

このリニア直冷モータ１Ｃま、可動コイル似となってお
り、鉄板等の磁性体で形成された断面口字状のステータ
ヨーク２の閉端を同じく鉄板等の磁性体でできたサイト
ヨーク３で閉しる二とでは２谷を間しる６詫気圓３杏牟
置成となってＧ）る。

ヨーク２の問イ１１１１面２−ｊＬ、２−２の内面には
、互（ｒ）ＩこＮの磁率画面を内（すた黒板４大の界６
龜マク′ネット４−１．４−２を責占着等の手ｈ５ｔに
て亘設することで、この界磁マクネット４−１−．４−
２を固定子としている。

該界磁マグネット４−１と４−２の間に（よ、これと平
行にセンターヨーク５が、その岡ａｍ　齢をサイドヨー
ク３に画定することで、駆動コイル１０のためのガイド
レールを形成している。

サイドヨーク２の上端部２−３の内？！ｆＴｆこ〔ま、
その黒革方向に沿って−Ｍ３図に示すシート状のりニア
磁気スケール６をＪＩＩ！ｉ着等の手段で画定している
。

上記のように界磁マグネット４−１と４−２間のステー
タヨーク２の内！、すなわち上端ａβ２−３の内Ｉにリ
ニア磁気スケールらを投（すているのは、上記したまう
に、ぐイ）リニア磁気スケール６のリニア磁気エンコー
ダ磁極９の強い磁束の影ｔ＃を受（すて世上リニア磁気
エンコーダの為の磁気センサ１２７！：Ｉ’　６奮底石
詫気エンコーダイｆ４乃−土なＱｌようにし、性能のま
いリニア砒烹エンコータ内蔵しても／Ｊ−型置っ安イ市
にリニア直〕定モータで尋るまうにすることにある、（
０）リニ装置ｊｆｆｉモータ１のステータヨーク２を当
該リニア磁気スケールらのステータヨークと兼用させ、
当該リニア砒虱エンコ−グを安価に形成できるまりにす
ること、（ハ）スト口−りの臭いリニア［流モータであ
っても、Ａどの具いリニア磁気エンコーダを安価且つ容
易に形成し得、しかも高性能のリニア磁気エンコーダを
内蔵したボイスコイル似リニアに流モータ１を得ること
を主にｊｖ虜したものである。

従って〜ステータヨーク２の内面に配設される界磁マグ
ネットは、他の形状であってもまく、すなわちステータ
ヨーク２の内面の界磁マグネットの一己１λされていな
いステータヨーク２の内面であり且つその具手方−に沿
ってステータヨーク２の内Ｗに当該ステータヨーク２が
露出している部分７＆形成し−このステータヨーク２の
内面が露出した６１６分にリニアδ【気スケール６を妃
ｆλできるよう【こしてあれば、本発明のりニアＩ麿モ
ータ線上記界磁マグネット同面配！形でなくともよいわ
Ｃすである。

上記リニア磁気スケール６と後記する磁気センサ１２と
で、リニア磁気エンコーダを形成しているＯ 上言己すニア石詫気スケール６に、卆１１を着石往体と
してシート状のプラスチックマグネット８を１択してい
る。このプラスチックマグネット８〔こ（ま、第３ｃＸ
Ｊ［こ示す菰りに、その厚手方向に垂Ｉ着磁手段でＮ、
Ｓの１ｎ頃を交互に裏手方向に沿ってミクロン単位で条
横着磁してリニア磁気エンコーダ信号９を形成している
。

上記センターヨーク５に（よ、瞳ｆ面失巨形卆卆Ａ犬と
なる菰うにトロイグル響きした〔迩カコイル１０を１重
人し、この駆動コイル１０−’ｌｋセンターヨークらの
黒手方内に沿って移動自在に支持しでいる。

〔動コイル１０は、矩形枠状のフッソ系樹脂（例えば、
４２ツ化エチレン、部品名でＣ，ｔテフロンがある）【
こＪって形成きれた矩形枠状のボビン１１に響かれてい
る。

このような材質のボビン１１ｊ＆選択したのは、ボビン
１１が涜うかにセンターヨーク５にカイトされて住復移
動できるようにするためである。

その他の理由は、もしも、これと同じ目的を１虜させる
ためにボールヘアリング等を用いる方法も考えられるが
、このような軸受を用いると効果〔こなることを考廖し
たものである。

ボビン１１〔こ讐かれた〔動コイル１０の上ａｍ　齢に
１才、図示しないプリント配電パターンをエツチング手
鏡等により形成した磁気センサ配！λ基板７を設け、こ
の配置λ基板７の上記リニア磁気スケール６と対向する
Ｉに６ｎ気センサ１２を配設しているＯ 上記配線基板７（ま、プリント配電パターンの１宜ＩＮ
Ｉ　Ｐ）ｆ　［こＷＡｃ２層カニイル１０の間食−子を
半田付（す等の手ト父で電気的季吉皐衆をイテってしす
るやまた磁気センサ１２の圧力端子も、基板７のプリン
ト−己電／大ターンに半田イ寸（す等の手−父で電ｊＰ
ＣＯ勺や吉や串をイテってＣする。

上１ａ　１１２　＄皐基ネ反７のプリント配電ノズター
ンに（よ、駆動コイル１０を通電制御するための図示し
ないリート弔虜、６詫気センサ１２わ１らの磁気エンコ
ーダ１１号を導くための図示しなＱ）リート４１１が半
田イすＣす等に菰って争炎や売されている。

また上２己礒気センブ１２として（よ、このリニア磁気
エンコーダからＡ相、Ｂ相の２相のエンコーダ信号衣得
るために磁気抵抗素子（ＭＲ単素子を用し）てし）る。

この磁気抵抗素子は、磁界を加えると素子の電気才氏士
大力（変イヒする効果を季り用したもので一低／ｉルス
のもので工ｎ−５ｂの半導体磁気抵抗素子を用いたもの
も一部でこあるが、この実施例の砒ｊｉセンサ１２〔よ
、Ｎｉ−Ｆｅ、ｆｅやＮｉ−００，％を主原料として＃
成した低Ｅｒｔ界での感度わ（高Ｑ）弓＠　６引注体６
筺寛す圧を大素子を用いている。

この磁気抵抗素子（２、パターンの形成方法【こよって
−１（［１１の素子でありながらへ相、Ｂ相のエンコー
ダ信号を喜Ｊ！＋ｌこ得ることができるのみならず、パ
ターンの形成方法に菰って、更【こ２相の信−ＬＬ）ま
でも得られるので城てこ都合よいものとなっている。

尚、磁気センサとしては、砒電変慎素子としてブラシレ
スモーフの位置検知素子として多用されているホール素
子、ホールエＣあるいＣよ磁気ヘッドを用いてもよい。

しかし、リニア磁気エンコーダを構成するために（ま、
Ａ木目、Ｂ木目の１１号をず犀るために２個の素子を電
気角で９０ｒＲずらして配設しな（すればならず、組立
、重用ｇ晴間が増加する欠点がある。

しり）も２相まで必要とした場合、合計３個の砒ｇｃセ
ンサわ（２・要となるので一上寡己欠点（よ更にｔ１加
する。

更にまた、上記リニア磁気エンコーダ磁極９カ（、より
寧青鷹のｅＪ：し）リニア直５Ｒモータ１及びリニア磁
気エンコーダをず辱るために−Ｎ、Ｓの磁極ピッチをＩ
Ｎｒ季田や墨に着磁形成した場合（伊１え（よ５０−ピ
ッチ）に（ま、榎軟の磁気センサを人間の間隔を持って
位置合せしつつ、配設すること〔ま、非常ｆこやっり）
いで、困Ｉ諧且つ量宜に遣ざないものとなる・る・ また砒貢ヘットＣま大盟且つＮ３価なので、この使用は
できれば避Ｃすたいところである。

従って−この実施例でτま、磁気センサ１２として、Ａ
相、Ｂ相のイ言号を１個の素子でありながら得ることの
でかる砒ｊｌｌＣ抵抗素子を用い７＋！：場合とする。

本発明の第１冥膓例のボイスコイル似すニアＩ流モータ
１（ま、上記構成かうなる。

従って、！示しない通電制御Ｏ１１路にまって駆動コイ
ル１ｏに正逆方向の電＞Ｉｐｅを流すことにより、駆動
コイル１０（よ正逆方向に？＊　ｆｊ！　ｉｌＥ　ｌｌ
ｈする。

磁気センサ１２がリニア磁気スケール６のリニア砒寛エ
ンコーダ磁極９を検出しながう動くので、上記磁気セン
サ１２によって慶該すニアＩ流モータ１の可動子の位置
、撞遣速鷹あるいは移動方向等可動子の動きの情報を知
ることができる。

すなわち、磁気センサ１２カ）らの１号を取り出し、こ
れをフィードバックしてコント０−／しすることてこよ
り、当該リニア直流モータ１をリニアステップモータの
菰うなステップ駆動等橿脅の動きや制御を行わせること
ができる。

（ｊｌＫ２実ｈ＠伊１） Ｍ４　ＣＸＪは本発明第２実施例を示すためのリニア磁
気スケール６′の説明！で、このリニア磁気スケ−ツレ
６′はプラスチックマグネット８に原点イ嘗号Ｐ＃砒ト
ラック１５とリニア磁気エンコータ磁極トラック１６と
を設け、原点信号着磁トラック１５の口＊＠βにＮ橿の
原点イ首号着磁音１１１７を形成している。

この場合、原点イ言号着′６推部１７は、Ｓ橿に着磁形
成しても良い。

ｆｆ　ａ　（ｆ号着磁トラック１５の原点イ「号着磁音
５１７をσ♀〈他の音１分（よ、無着礒音５としてし）
る。

また力軍点イ言号場１耽轟β１７【よ−原点イ言号着６
往トラック１５の（ｔｉ！６瘤に形成してもよＱ）。

上書己すニアＨ１ｔ員エンコーダ磁極着磁トラック１６
　Ｌコ１．Ｋ　−上！己Ｍ１冥膓イ？’ｌ　トｒＷＩ牟
＊　ＥコＮ　、　　Ｓノロ（唖を裏手方向にｊｅって垂
Ｔ［着磁（尚、水平層６花での輿いｆ）髪、垂直層δ貌
のほう力（望ましい）多極着磁してリニア磁気エンコー
タ６１唖９ゝを着磁形成している。

１８、：Ｌ９．２０［！、Ｈｉ　［−ｔ？　：／すとシ
テ用し）たホーツレ素子で、ホール素子１日は原点信号
着６筺音５１７−＆横比するためのもので一ホール素子
１９はＡ相リニア磁気エンコーダ１号を得るためのもの
で、ホール素子２０は８相すニア磁気エンコーダイ「号
を得る々めのものである。

このように３個のホール素子１８．−・・。

２ｏを用し）るの（ま、４１勺に（ま高寧青度のリニア
δ花見エンコーダを得るに当たっては好ましくないので
、できれ〔ば量！ａｌｌま第１冥施イ列で述べたように
３イｌのホール素子：Ｌ８．−−−．２０とＩ′ＷＪ慢
能をす轡つ１（［Ｎの磁気を氏ｔに素子を用Ｑ）るのわ
（望ましし）。

このリニア磁気スケール６ゝを用いると、リニア磁気エ
ンコーダを形成する磁気でンサ１９と２０と【こよつ、
リニア磁気エンコータ用磁極９ゝを検出するのことで、
Ａ相、Ｂ相の２相の信号が得られるので、駆動コイル１
０の走行量、走行速度が判明でき、また正逆転走行でき
るのものとなる。

また従来の菰うに駆動コイル１０への通電用のためのホ
ール素子、ホールエＣ等の位置積卸素子がｔ〈ても磁気
センサ１８及びｆＭＩ点信点信号着工７わ−あるので、
磁′Ｍ、センサ１８が原点（を号着は８３１７を検出し
た晴Ａを基準点にし〜磁気センサ１９．２０が磁気エン
コーダ用磁極部９１　を横比することで得られる検出パ
ルスをカウンタによって１貴出し、イ列え（１／ズルス
分配器そ用し）て所定のｌ大ルスごとにａ　Ｉｌｍ　（
ｆ　Ｊ！）−１駆動コイル１０に通電することで、駆動
コイル１ｏと界磁マグネット４−１と４−２とによりＩ
ｖＦ定方向の横力を得、駆動コイル１０を所定方向【こ
動かすことができる。

尚、磁気センサ１８す１庫点信号着砒剖１７を横比して
Ｑ）なＱ）とぎ（よ、イテ１え（ず、駆動コイル１０に
所定方向のパルス電流を通電して駆動コイル１０を所定
方向に走行させ、磁気センサ１８ｆこＪつて庫点信号階
砒８Ｂ１７を横比させる。

硯ｇｃ−１？ンサ１８が原点イ１号着磁剖１７を横比す
ると、上記したようにカウンタを含むデジタル回路を動
作させることで、位置積卸素子がなくても−当言底テシ
タル圓ｇ各【こ、よって駈１カコイル１０に所定方向の
電流を通電するので、駆動コイル１０をｐＪＦ定方向に
走行させることができる。

駆動コイル１ｏの走行方向を逆転させるに（：Ｊ＋−事
亜性窯中帽町沓の補性を實↑１すれ（Ｊ菰Ｑ）。

尚、メモリー〇＆＊詭ｌｌ１１１１１番をイ層えてＱ）
る場合【こは、−鷹、原Ａ（原点信号着磁部１７）を記
憶したら、次圓り１ら（ま凍点イ冨号階碓会３１７をざ
カ１す２・要はなく一常にＪＭａ信号位置を基準にして
カウンタが動作するので、駆動圓睦に電〉原を投入する
と内時に〜漂点サーチすることなく、制御された方向へ
所定の動作でＰｊｆ定方内に１動コイル１０を走行させ
ることができる。

（第３実施例） 鋼！５２（ま本発明第３冥施例としてのボイスコイル型
リニアＥ［ｍモータに用Ｑ）るリニア磁気スケール６１
１の説明図であるつ このリニア磁気スケール６１°でＣま、プラスチックマ
グネット日の長手方向で二沿って上記リニア磁気エンニ
ーダ砒ＮＨ９，９’のＮ、Ｓの礒橿ピッチ同橿に黴細な
ピッチで凹凸２１を形成し、二の凹凸２１！にＮ項また
（よＳ頃のいずれか一方の６ｕ頃を着磁している。

いまＮ項を凹凸２１１１！Ｉｆｆに〜裏手方向に沿って
着磁するとプラスチックマグネツｌ−８の凹凸２　ｊＬ
　ｂに（まＮ＃量の磁極力（強く看６誼され、印台ｆ１
２１６ｆこＣはＮ柵が５す〈着δ花されたＮ８を函が着
磁される。

この場合、凹きＩ＋２１８にＮ橿がツツ＜着磁されたＮ
ｏ　橿は、δ耽気圓ｇ番上、実際〔こ（よＳ事函を着磁
したと同率ａｔこなるので、上言己凹凸２１面ｔこ【よ
−実質―勺にはＮ、Ｓの磁極が交互にＲ＃礒されたと同
じになり、凹凸２１１【こよって上記内挿のリニアＥｎ
％エンコーダ９゛１　が形成されたことになる。

（ＷＫ　４冥施例） 蔦６ズ（よ本発明第４冥施例としてのボイスコイル似す
ニアＵＩＩＬ流モークのリニアｆａ［スケール６１゛　
奮児明図である。

この第６２に示すリニア磁気スケール６−で【ま、閑３
冥りちイ列のリニア石花気スケール６１　〔こあＱ）で
、プラスチックマグネット８に第５２で示したと同率藁
のリニア磁気エンコータ着δｎトラック１６１′以外に
、その（上）鴎！ｉ［（尚、この部分に限る必要１まな
い）に原点イ１号看着磁ラック１１５′を形成し、この
口＊音ａに原点イ「号廖五筺ａ３形成用凸部２２を形成
している。

上ｔａ磁見見トラック５９の上記凸部２１を＃ヰ障〈残
りの部分（よ、凹部２３としている。

尚、該凸部２２　Ｌこは、上記リニア磁気エンコーダ磁
極９１２の凸部２１１１：）をＮ櫃（二層化しているた
め凸部２２ｆまＮ橿に着磁されている。

（Ｍ５冥８Ｗｓイ夛１） 第７λ涼本発明第５冥加例の界磁マグネット片面配置横
１の磁気エンコーダを賓するボイスコイル型すニアＩ３
虎モータ１ゝの料ン見！である。

この第７図を参照して、このリニア直流モータ１１　の
磁ｊＫ［ｌＫＤ路構成は〜主に第１図のリニア直流モー
タ１がら界磁マグネット４−２　’＆１１２去した１遣
となっている。

このリニアＩ〕梵モータ１１【訳リニア直流モータ１に
比較して効率が劣化するものであるが一逆にツバ型置つ
安イ１１］ｌｉに形成できる和ＪＡつ−ある。

この場合のリニアＩ流七−夕１°で（よ、リニア磁気ス
ケールらをステータヨーク２のイ則ｒＭ２−２の内Ｉに
固定している。

すなわち−リニア直流モータ１においては、ステータヨ
ーク２には、２つのイ則ｆｆ１２−１．２−２があるの
で、一方の側ｒｆｆ１２−　ｊＬの内面にもに界磁マグ
ネット４を、他方の側面２−２の内面にはリニア磁気ス
ケール６を配設したものとなっている。

この場合のリニアに流モータ１１　でｔＳ、センターヨ
ーク６があるため界磁マグネット４−１かうの強い磁束
り一当該センターヨークろによって閉じられるので、リ
ニア磁気スケール６〔こ（よ無ン見できる。！ｒ］ちマ
グネット４−１の影響力（（まとんどイ勧カ１ないので
、精度の良いリニア磁気エンコータを内蔵したボイスコ
イル似すニアＩ５庇モータカーｆ４られるＯ リニア磁気スケール６を倒ｗｓ２−２の内面に配設した
ため、磁気センサ１２（ま−１動コイル１０の４ｊＦ１
面に記季皐基板７を１λ（す、この基板７に磁気センサ
１２を配設してリニア磁気スケール６を構出できるまう
にしている。

（その他の実施例） 上記実施例にあ（するリニア［流モータでは、界磁マグ
ネット閘Ｉ配置形及び、界磁マグネット片Ｉ配置横遣を
示したが、その他０ット形等いずれの形式であってもよ
く、マたステータヨークで【湖囲−１＆金部閉じた１遣
でなく、一部を開口した１遣であって４Ｊ菰い。

また砒ｇＣ，でンサの取付横這についても、設計性＄ｌ
Ｉｌ＋こまって最遣な方法を堺用することは当然で、こ
れらの設計変更（よ要旨を変更しない範囲てこおいて本
発明に属するものであること（まいうまでもなまたリニ
ア磁気スケールについて【よ、ステータヨークにリニア
磁気エンコーダ磁極を各種ｆ＃砒したシート状のプラス
チックマグネットを貼Ｐ：を等の手段で圓定しているが
、このよう【こすることに限定されるもので（よない。

例えば、ステータヨーク【こ予めプラスチックマグネッ
ト／Ｗ等の披ｆａに層を形成し一二の被着磁層【こリニ
ア磁気エン＝−＋ｙ硯橿を形成するまうにしてもまい。

尚、被着磁体として、ゴムマグネット、フェライトマグ
ネ−シト、　砒ｊＰｃ’ａｓ音用メタルテープ等鼎遣な
ものを選択すれば良い。

（効果） 本発明（よ上言己カ為ら明うわ）なまり【こ−　（１）
リニア磁気エンコーダをステータヨークに形成している
ので、走行速度横比慢イＩｍを合理的でこ内蔵でき、し
りＳも１度１り徨１の容易な／４Ｓ型のボイスコイル型
りニアＩ５ナモークを安価に形成できる、（２）上記（
１）のボイスコイルをリニア直流モータの場合、これに
用いるリニア磁気エンコータも安価に形成できる、（３
）当該リニア直流モータの正逆転走埒テ隼り穆０．　可
突、Ｊ！！隼り穆０．　／τルス　（ステップイヒ鷺区
澗力）弔り１シＯとＱ）った菰うな多１堝宵区率り１漏
Ｏわ一蹄テえる、（４）リニア砒烹エンコーダ以外の位
置積卸素子が不ｇＩ！なので、従来のように（Ｑ置積卸
素子のための多くのリード呻がなくなるので、外観がす
っきすするほか、−８Ｊ！ｌ且つ安価に製造できる、（
５）従来のよう【こ界磁マグネット（二二重Ｎｔ砒手斥
費によってリニア磁荒エンコー５Ｆ砒橿Ｈを形成してい
る場合と具なり、ステータヨークにリニア磁気スケール
を言λｆす、これを埠Ｊｌ比するための磁気センサとで
、リニア磁気エンコータを形成しているので〜リニア砒
寛エンコーダ磁極わ（界磁マグネ＼シトの強い磁束の影
響−＋＆受けることがなく、磁気センサに菰ってリニア
磁気エンコーダ磁４Ｉ！［ｉ’＆積屓Ｊく構出できるの
で、精度の夷いリニア磁気エンコーダイｔ−ａｔを得る
ことのできるリニア磁気エンコータを形成することがで
きる、（６）またステータヨークにリニア磁気スケール
を設けているので、従来の界磁マグネットに二ｆｉ着磁
手鏡に菰ってリニア磁気エンコーダ砒橿を形成した場合
に比較して、スト口−りの臭いものでも砒烹Ｏ！］詩構
成の興なるものでも、当該リニア磁気エンコー５Ｐ′砒
橿を極めて容易に形成できる。従って、安価で種々の興
なる形状の積度のよいリニア磁気エンコータを当該ボイ
スコイル型すニアＩ流モ〜りに容易に内蔵できる、等の
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１１！ＥＩ　Ｉま本発明のボイスコイル型リニア［流
モータのＭ１実施例を示す一部切欠斜視図一第２区Ｉ：
ｔ　ｒ！ｒＪ　ｓ：ｄＩＩｌｌ　ｍ　ＩＩＺ、第３１ｍ
　（２ｒｌｌ’ｌ　ｌ）　ニア　！ｆｆ　気スケ−）Ｌ
、（７）斜視図、第４区は本発明第２冥加例のリニア砒
見スケールの斜視図、第５図は本発明第３冥加例のリニ
ア磁気スケールの斜＋ＰｙＬ図、第６図は本発明第４冥
方缶伊１のリニア６１気スケールの阜斗視図、第７図ｃ
オ不発明の第５実施例の界磁マグネ＼シト片面記置横遣
のボイスコイルをリニアＴｆ流モータの４４断面図であ
る・ （符号の説明） １．１１　−・・ボイスコイル型リニアＴ［１ｆｆｉモ
ータ、２−−・ステータヨーク、２−１．２−２・−一
側ｔ！ｆＬ２−３−−−上端齢、３−−・サイトヨーク
、ｌ＠　−１，４−２・−一界磁マグネット、６・・−
センターヨーク、６，６１．６”　。 ６′パ°°゛リニア磁気スケール、７・・・磁気センサ
配設基板、８・・・プラスチ・νクマグネット、９．　
９’　、　　９”　　・−・リニア磁気エンコーダ上棚
、１ｏ−・−■動コイル、１１・−−ボヒ゛ン〜１２−
−・磁ｊＫセンサ、１５．　　’１５’　　−−・原点
信号ｌ＃磁ヒトラック１６．　１６’　　リニア磁気エ
ンコーダ磁極着磁トラック、１７−−・ＪＩＪ！ｌ［Ａ
信号着磁剖、ｊＬ８．：Ｌ９．２０・・−ホール素子（
ｍｊＣセンサ）、２１・・・凹凸、２１！−−−凹部、
２１ｂ・・−０郵、２２−−一原点償号着磁部形成凸部
、２３−・・凹部。 特奮午畠厚頁人 べ　ｋｏＸ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）ボイスコイル型リニア直流モータにおいて、界磁
   マグネットの配設されている残りのあいているステータ
   ヨーク部分に長手方向に沿つて被着磁体を設け、該被着
   磁体に上記駆動コイルの移動方向に沿って微小なピッチ
   でＮ、Ｓの磁極を交互に多極に有するリニア磁気エンコ
   ーダ磁極を着磁形成することで上記センターヨークにリ
   ニア磁気スケールを形成し、該リニア磁気スケールのＮ
   、Ｓの磁極を検出するための磁気センサを上記駆動コイ
   ルを有する可動子に配設することで当該ボイスコイル型
   リニア直流モータ内にリニア磁気エンコーダを形成して
   なる、リニア磁気エンコーダを有するボイスコイル型リ
   ニア直流モータ。
2. （２）上記リニアモータは、ステータヨー クの内側面に配設されると共に 長手方向に沿って当該界磁マグネット が配設されていないステータヨーク面にリニア磁気スケ
   ールを配設してなる、特許請求の範囲第（１）項記載の
   リニア磁気エンコーダを有するボイスコイル型リニア直
   流モータ。
3. （３）上記ボイスコイル型リニア直流モータは、ステー
   タヨークへの界磁マグネットの配設を片面または両面配
   置構造とし、ステータヨークに配設した界磁マグネット
   と垂直な当該界磁マグネットが配設されていない面にリ
   ニア磁気スケールを設け、該リニア磁気スケールと対向
   する上記可動子に当該リニア磁気スケールの磁極を検出
   するための磁気センサを配設してなる、特許請求の範囲
   第（１）項または第（２）項記載の磁気エンコーダを有
   するボイスコイル型リニア直流モータ。
4. （４）上記ボイスコイル型リニア直流モータは、界磁マ
   グネット片面構造とし、上記ステータヨークの一方の内
   面に界磁マグネットを配設し、該界磁マグネットと対向
   する他方のステータヨークの内面にリニア磁気スケール
   を配設し、上記界磁マグネットと上記リニア磁気スケー
   ルとの間を長い方向に沿つて移動する上記可動子にリニ
   ア磁気スケールの磁極を検出するための磁気センサを配
   設してなる、特許請求の範囲第（１）項乃至第（３）項
   いずれかに記載のリニア磁気エンコーダを有するボイス
   コイル型リニア直流モータ。
5. （５）上記リニア磁気エンコーダは、そのリニア磁気ス
   ケールに細かなピッチでＮ、Ｓの磁極を交互に有するリ
   ニア磁気エンコーダ用磁極及び原点信号着磁部を着磁形
   成し、上記リニア磁気エンコーダ用磁極及び原点信号着
   磁部を検出するための磁気センサを上記可動子に配設し
   てなる、特許請求の範囲第（１）項乃至第（４）項いず
   れかに記載のリニア磁気エンコーダを有するボイスコイ
   ル型リニア直流モータ。
6. （６）上記リニア磁気スケールは、裏手方向に沿つて細
   かなピッチで凹凸を形成し、該凹凸面にＮ極またはＳ極
   の着磁をすることで該凹凸面に着磁された磁極により実
   質的に細かなピッチでＮ、Ｓの磁極を有するリニア磁気
   エンコーダ磁極を形成してなる、特許請求の範囲第（１
   ）項乃至第（４）項いずれかに記載のリニア磁気エンコ
   ーダを有するボイスコイル型リニア直流モータ。