JPS6226702B2 - - Google Patents
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- JPS6226702B2 JPS6226702B2 JP11802580A JP11802580A JPS6226702B2 JP S6226702 B2 JPS6226702 B2 JP S6226702B2 JP 11802580 A JP11802580 A JP 11802580A JP 11802580 A JP11802580 A JP 11802580A JP S6226702 B2 JPS6226702 B2 JP S6226702B2
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- suction line
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- suction
- ejector
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims description 12
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims description 12
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/647—Aspects related to microwave heating combined with other heating techniques
- H05B6/6482—Aspects related to microwave heating combined with other heating techniques combined with radiant heating, e.g. infrared heating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/38—Diluting, dispersing or mixing samples
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/64—Heating using microwaves
- H05B6/6447—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors
- H05B6/645—Method of operation or details of the microwave heating apparatus related to the use of detectors or sensors using temperature sensors
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、媒じん粒径測定のためのガス希釈
装置に関するものである。
装置に関するものである。
排ガス中のサブミクロン粒子（１μｍ以下）の
粒径分布測定器は、現在のところ無く、将来も原
理的に開発が困難であると考えられる。したがつ
て、排ガス中のサブミクロン粒子の粒径を測定す
るには、現在開発されている大気や作業環境など
低ダストを対象とした静電式粒径分析計等によら
ざるをえない。しかしながら、排ガスの場合はダ
スト濃度が高いため、上記の分析計を用いるに
は、その適用範囲までガス濃度を希釈（10〜100
倍程度）する必要がある。そのため、従来は第１
図に示す如き希釈装置が用いられている。
粒径分布測定器は、現在のところ無く、将来も原
理的に開発が困難であると考えられる。したがつ
て、排ガス中のサブミクロン粒子の粒径を測定す
るには、現在開発されている大気や作業環境など
低ダストを対象とした静電式粒径分析計等によら
ざるをえない。しかしながら、排ガスの場合はダ
スト濃度が高いため、上記の分析計を用いるに
は、その適用範囲までガス濃度を希釈（10〜100
倍程度）する必要がある。そのため、従来は第１
図に示す如き希釈装置が用いられている。
第１図に示す希釈装置は、煙道ガスａを吸引ラ
イン１に設けた減速容器２を介して等速吸引ユニ
ツト３により等速吸引し、減速容器２に接続した
分岐ライン４を介して希釈容器５に導いている。
希釈容器５には、浄化用循環ライン６が接続され
ると共に、試料ガスライン７が接続される。
イン１に設けた減速容器２を介して等速吸引ユニ
ツト３により等速吸引し、減速容器２に接続した
分岐ライン４を介して希釈容器５に導いている。
希釈容器５には、浄化用循環ライン６が接続され
ると共に、試料ガスライン７が接続される。
なお、等速吸引ユニツト３は、フイルタ８、バ
ルブ９及び吸引ポンプ１０から成り、また浄化用
循環ライン６には、除じん用フイルタ１１、吸引
ポンプ１２、除湿用シリカゲル１３及び流量計１
４が接続される。また、試料ガスライン７には粒
径分析計１５及び吸引ポンプ１６が接続される。
ルブ９及び吸引ポンプ１０から成り、また浄化用
循環ライン６には、除じん用フイルタ１１、吸引
ポンプ１２、除湿用シリカゲル１３及び流量計１
４が接続される。また、試料ガスライン７には粒
径分析計１５及び吸引ポンプ１６が接続される。
上記のガス希釈装置は、希釈容器５に導入され
たガスを循環ライン６によつて浄化し、その浄化
ガスによつて試料ガスを所要濃度まで希釈するよ
うになつている。
たガスを循環ライン６によつて浄化し、その浄化
ガスによつて試料ガスを所要濃度まで希釈するよ
うになつている。
ところが、上記従来の装置においては、煙道ガ
スのダクト内の負圧が大きくなると、ライン全体
が負圧となり、静電式粒径分析計では、計器の構
成上試料ガスが計器内に流入しないという問題が
ある。
スのダクト内の負圧が大きくなると、ライン全体
が負圧となり、静電式粒径分析計では、計器の構
成上試料ガスが計器内に流入しないという問題が
ある。
この発明は、先行技術における上記の如き問題
にかんがみ、試料ガスをエゼクタにより吸引する
ことにより、その問題を解決しようとするもので
ある。しかし、ダクト内のドラフト圧力は常時変
動している（±数mmH2O）ため、単にエゼクタに
よつて吸引するだけでは、エゼクタのガス吸引量
が変化し、ガスの希釈率が変動する問題がある。
にかんがみ、試料ガスをエゼクタにより吸引する
ことにより、その問題を解決しようとするもので
ある。しかし、ダクト内のドラフト圧力は常時変
動している（±数mmH2O）ため、単にエゼクタに
よつて吸引するだけでは、エゼクタのガス吸引量
が変化し、ガスの希釈率が変動する問題がある。
そこで、この発明は、上記の問題を解消し、エ
ゼクタによる安定したガス吸引を行なえるガス希
釈装置を提供することを目的としている。
ゼクタによる安定したガス吸引を行なえるガス希
釈装置を提供することを目的としている。
以下、この発明の実施例を第２図乃至第４図に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
この発明の装置は、従来の場合と同様に、煙道
ガスａを吸引ライン１に設けた減速容器２を介し
て等速吸引ユニツト３により等速吸引し、減速容
器２に接続した分岐ライン４を介して圧力緩衝容
器１７に導くように構成してある。
ガスａを吸引ライン１に設けた減速容器２を介し
て等速吸引ユニツト３により等速吸引し、減速容
器２に接続した分岐ライン４を介して圧力緩衝容
器１７に導くように構成してある。
一方、上記の等速吸引ライン１とは別に大気吸
引ライン１８を設け、そのライン１８にフイルタ
１９及び吸引ポンプ２０を接続している。上記の
大気吸引ライン１８には、これに接近して前述の
圧力緩衝容器１７を接続し、その圧力緩衝容器１
７に試料ガスライン２１を接続している。試料ガ
スライン２１の先端は、エゼクタ２２の低圧部に
接続され、エゼクタ２２の入力側には所要の圧力
を有する窒素ガスボンベ２３のガス供給ライン２
４及びその出力側には前述の静電式粒径分析計１
５がそれぞれ接続される。
引ライン１８を設け、そのライン１８にフイルタ
１９及び吸引ポンプ２０を接続している。上記の
大気吸引ライン１８には、これに接近して前述の
圧力緩衝容器１７を接続し、その圧力緩衝容器１
７に試料ガスライン２１を接続している。試料ガ
スライン２１の先端は、エゼクタ２２の低圧部に
接続され、エゼクタ２２の入力側には所要の圧力
を有する窒素ガスボンベ２３のガス供給ライン２
４及びその出力側には前述の静電式粒径分析計１
５がそれぞれ接続される。
さて、前述の吸引ポンプ２０は、水気と試料ガ
スを、例えば10：１程度の割合で定量吸引するも
のであり、そのポンプ特性は、第３図に示すよう
に揚程変化のフラツトな特性、即ち流量の変化
（△Ｓ）に対する揚程（ヘツド）の変化（△Ｈ）
が小さい特性をもつたもの、或いは第４図の曲線
Ａで示すように、揚程変化のかなりフラツトな大
容量ポンプを使用する。なお、同図の曲線Ｂは小
容量のポンプ特性を比較のために示したものであ
る。いずれにしても、吸引ポンプ２０は流量の変
動に対する揚程の変動が小さい特性をもつたもの
が望ましい。
スを、例えば10：１程度の割合で定量吸引するも
のであり、そのポンプ特性は、第３図に示すよう
に揚程変化のフラツトな特性、即ち流量の変化
（△Ｓ）に対する揚程（ヘツド）の変化（△Ｈ）
が小さい特性をもつたもの、或いは第４図の曲線
Ａで示すように、揚程変化のかなりフラツトな大
容量ポンプを使用する。なお、同図の曲線Ｂは小
容量のポンプ特性を比較のために示したものであ
る。いずれにしても、吸引ポンプ２０は流量の変
動に対する揚程の変動が小さい特性をもつたもの
が望ましい。
この発明の装置は以上のように構成されるの
で、ダクト内が負圧になつてもエゼクタによる吸
引により、分析計に試料ガスを流すことができる
と共に、揚程変動の少ない吸引ポンプを使用して
試料ガスを定量吸引するので、ダクト内のドラフ
ト圧力の変動があつても試料ガスの圧力変動を抑
制し、安定した希釈率が得られる効果がある。
で、ダクト内が負圧になつてもエゼクタによる吸
引により、分析計に試料ガスを流すことができる
と共に、揚程変動の少ない吸引ポンプを使用して
試料ガスを定量吸引するので、ダクト内のドラフ
ト圧力の変動があつても試料ガスの圧力変動を抑
制し、安定した希釈率が得られる効果がある。
第１図は従来の希釈装置の系統図、第２図はこ
の発明の装置の系統図、第３図及び第４図はポン
プ特性図である。 １……吸引ライン、２……減速容器、３……等
速吸引ユニツト、４……分岐ライン、１５……静
電式粒径分析計、１７……圧力緩衝容器、１８…
…大気吸引ライン、２０……吸引ポンプ、２１…
…試料ガスライン、２２……エゼクタ、２３……
窒素ガスボンベ、２４……希釈用圧力ガス供給ラ
イン。
の発明の装置の系統図、第３図及び第４図はポン
プ特性図である。 １……吸引ライン、２……減速容器、３……等
速吸引ユニツト、４……分岐ライン、１５……静
電式粒径分析計、１７……圧力緩衝容器、１８…
…大気吸引ライン、２０……吸引ポンプ、２１…
…試料ガスライン、２２……エゼクタ、２３……
窒素ガスボンベ、２４……希釈用圧力ガス供給ラ
イン。
Claims (1)
- １ 煙道ガスの等速吸引ラインに分岐ラインを設
け、上記等速吸引ラインとは別に大気吸引ライン
を設け、大気吸引ラインに流量変化に対する揚程
変化の少ない吸引ポンプを接続し、上記分岐ライ
ンの大気吸引ラインに近い部分に圧力緩衝容器を
設け、その圧力緩衝容器を大気吸引ラインに接続
することにより等速吸引ラインより吸引ガスの一
部を大気吸引ラインで吸引せしめ、上記圧力緩衝
容器に接続した試料ガスラインをエゼクタの低圧
部に接続し、エゼクタの入力側に希釈用圧力ガス
の供給ライン、その出力側に粒径分析計をそれぞ
れ接続したことを特徴とする媒じん粒径測定用ガ
ス希釈装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11802580A JPS5740631A (en) | 1980-08-26 | 1980-08-26 | Apparatus for diluting gas for measuring diameter of smoke dust grain |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11802580A JPS5740631A (en) | 1980-08-26 | 1980-08-26 | Apparatus for diluting gas for measuring diameter of smoke dust grain |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5740631A JPS5740631A (en) | 1982-03-06 |
| JPS6226702B2 true JPS6226702B2 (ja) | 1987-06-10 |
Family
ID=14726196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11802580A Granted JPS5740631A (en) | 1980-08-26 | 1980-08-26 | Apparatus for diluting gas for measuring diameter of smoke dust grain |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5740631A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053820Y2 (ja) * | 1987-05-22 | 1993-01-29 | ||
| JPH0571002U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-24 | 山九株式会社 | ホイールハブのリテーナ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3801286B2 (ja) * | 1997-02-03 | 2006-07-26 | 三菱重工業株式会社 | 安全装置 |
| JP2021025882A (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-22 | 日本エア・リキード合同会社 | 炉を制御するための方法、およびこの方法を行うための分析装置 |
-
1980
- 1980-08-26 JP JP11802580A patent/JPS5740631A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH053820Y2 (ja) * | 1987-05-22 | 1993-01-29 | ||
| JPH0571002U (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-24 | 山九株式会社 | ホイールハブのリテーナ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5740631A (en) | 1982-03-06 |
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