JPS62252178A - 反射型光センサ - Google Patents
反射型光センサInfo
- Publication number
- JPS62252178A JPS62252178A JP61095748A JP9574886A JPS62252178A JP S62252178 A JPS62252178 A JP S62252178A JP 61095748 A JP61095748 A JP 61095748A JP 9574886 A JP9574886 A JP 9574886A JP S62252178 A JPS62252178 A JP S62252178A
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- JP
- Japan
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- light
- light emitting
- diode
- optical sensor
- photodetector
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光の反射を利用して対象面の傾きを検出する
反射型光センサに関する。
反射型光センサに関する。
(従来の技術)
近年、DAD (デジタルオーディオデスク)及びVD
(ビデオディスク)等の発達にともない、反射物の傾き
を検出する反射型光センサ(以下チルトセンサと称する
)に対する要求が高まっている。従来のチルトセンサは
発光素子として発光ダイオードを使用し、受光素子とし
てホトダイオード、ホトトランジスタ等を用い、これら
の素子を測定対象面13の下方に並べて配置してセンサ
を構成していた。すなわち、第5図に示すように、プリ
ント基板10上に発光ダイオード11及び受光素子12
を並べた構造であった。
(ビデオディスク)等の発達にともない、反射物の傾き
を検出する反射型光センサ(以下チルトセンサと称する
)に対する要求が高まっている。従来のチルトセンサは
発光素子として発光ダイオードを使用し、受光素子とし
てホトダイオード、ホトトランジスタ等を用い、これら
の素子を測定対象面13の下方に並べて配置してセンサ
を構成していた。すなわち、第5図に示すように、プリ
ント基板10上に発光ダイオード11及び受光素子12
を並べた構造であった。
(発明が解決しようとする問題点)
しかるに、この種のチルトセンサは発光ダイオード11
のレンズの指向性のバラツキ及び受光素子12間の感度
バラツキ、それぞれの素子の取り付は時の位置決めバラ
ツキが重畳し、センサとして特性のバラツキが大きいと
いう欠点があった。
のレンズの指向性のバラツキ及び受光素子12間の感度
バラツキ、それぞれの素子の取り付は時の位置決めバラ
ツキが重畳し、センサとして特性のバラツキが大きいと
いう欠点があった。
(問題点を解決するための手段)
本発明に係る反射型光センサは、光の反射によって対象
面の傾きを検出するもので、半導体基板上に集積して作
成された発光素子と受光素子からなり、該受光素子は発
光素子を取り囲む位置に配されたものであり、前記半導
体基板は例えばシリコン基板、GaA3基板である。
面の傾きを検出するもので、半導体基板上に集積して作
成された発光素子と受光素子からなり、該受光素子は発
光素子を取り囲む位置に配されたものであり、前記半導
体基板は例えばシリコン基板、GaA3基板である。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
〔実施例1〕
本例を第1図及び第2図に示している。
本例はシリコン基板4と、該シリコン基板4上に形成さ
れたホトダイオード又はホトトランジスタ等によるSi
受光素子3を2次元に配列し、中央部に表面発光型のG
aAs発光ダイオード2を設けた構造のセンサである。
れたホトダイオード又はホトトランジスタ等によるSi
受光素子3を2次元に配列し、中央部に表面発光型のG
aAs発光ダイオード2を設けた構造のセンサである。
符号1はシリコン基板4より分離させ、かつ発光ダイオ
ード2と受光素子3の距離を設けるための絶縁スペーサ
であり、ポリイミド樹脂等の絶縁物をフォトエツチング
等により加工して形成されている。前記発光ダイオード
2のアノード電極をダイオードの裏面側より取り出すた
めに、前記絶縁スペーサl上に電極取り出し用電極5が
形成されている。第1図に示した構造では発光ダイオー
ド2は、P型不純物(主としてZn)を拡散法により形
成した構造の拡散型GaAs発光ダイオードを使用して
表面発光型となしており、このようにすることで受光素
子3はダイオード側面からの赤外発光の影響を受けに(
(、特性上有利である。
ード2と受光素子3の距離を設けるための絶縁スペーサ
であり、ポリイミド樹脂等の絶縁物をフォトエツチング
等により加工して形成されている。前記発光ダイオード
2のアノード電極をダイオードの裏面側より取り出すた
めに、前記絶縁スペーサl上に電極取り出し用電極5が
形成されている。第1図に示した構造では発光ダイオー
ド2は、P型不純物(主としてZn)を拡散法により形
成した構造の拡散型GaAs発光ダイオードを使用して
表面発光型となしており、このようにすることで受光素
子3はダイオード側面からの赤外発光の影響を受けに(
(、特性上有利である。
〔実施例2〕
本例を第3図及び第4図に示している。
本例はGaAS基板6上に形成されたGaAsホトダイ
オードによる受光素子8を2次元に配列し、中央部にG
a A I A s発光ダイオード7を設けた構造の
センサである。符号9は共通電極を示している。
オードによる受光素子8を2次元に配列し、中央部にG
a A I A s発光ダイオード7を設けた構造の
センサである。符号9は共通電極を示している。
第3図に示した構造では、発光ダイオード7はGaAs
基板6の中央部に配置されており、この発光ダイオード
7はGaAlAsであり、受光素子8はGaAsホトダ
イオードである。このような材質で構成しているので、
GaAsとGaAlAsの格子定数の差(Qa、Asで
5.65人、GaAlAsで5.66人)が小さいため
、GaASi板6上に良質の結晶を成長できる点と、前
記発光ダイオード7の発光スペクトルと受光素子8の受
光感度の一致が良い。すなわち、例えばG a 0.9
411o、。、A3発光ダイオードにGeをドープした
場合約8400人の光を出すがGaAsホトダイオード
は前記G a 0.9AA j! o、 obA sよ
り小さなバンドギャップを持っているので受光感度スペ
クトルは発光スペクトルを包含でき、受発光間のマツチ
ングを良くすることができる。
基板6の中央部に配置されており、この発光ダイオード
7はGaAlAsであり、受光素子8はGaAsホトダ
イオードである。このような材質で構成しているので、
GaAsとGaAlAsの格子定数の差(Qa、Asで
5.65人、GaAlAsで5.66人)が小さいため
、GaASi板6上に良質の結晶を成長できる点と、前
記発光ダイオード7の発光スペクトルと受光素子8の受
光感度の一致が良い。すなわち、例えばG a 0.9
411o、。、A3発光ダイオードにGeをドープした
場合約8400人の光を出すがGaAsホトダイオード
は前記G a 0.9AA j! o、 obA sよ
り小さなバンドギャップを持っているので受光感度スペ
クトルは発光スペクトルを包含でき、受発光間のマツチ
ングを良くすることができる。
(発明の効果)
以上述べたように、本発明によれば、発光素子と受光素
子とを半導体基板上に1チツプ化した反射型センサなの
で特性バラツキが改良される。すなわち、LEDの指向
性のずれ及び発光部と受光部のセツティングずれを改良
することができる。
子とを半導体基板上に1チツプ化した反射型センサなの
で特性バラツキが改良される。すなわち、LEDの指向
性のずれ及び発光部と受光部のセツティングずれを改良
することができる。
また、小型で量産効果の良いセンサである。
第1図は本発明に係る反射型光センサの実施例を示す平
面図、第2図は第1図における切断線■−nで切断した
断面図、第3図は他の実施例を示す平面図、第4図は第
3図における切断線IV−rVで切断した断面図、第5
図は従来の反射型光センサを示す断面図である。 4・・・シリコン基板 6・・・GaAs基板2.7
・・・発光ダイオード 3.8・・・受光素子 第7図 第2図 第3図 第4図
面図、第2図は第1図における切断線■−nで切断した
断面図、第3図は他の実施例を示す平面図、第4図は第
3図における切断線IV−rVで切断した断面図、第5
図は従来の反射型光センサを示す断面図である。 4・・・シリコン基板 6・・・GaAs基板2.7
・・・発光ダイオード 3.8・・・受光素子 第7図 第2図 第3図 第4図
Claims (1)
- 1)光の反射によって対象面の傾きを検出するもので、
半導体基板上に集積して作成された発光素子と受光素子
からなり、該受光素子は発光素子を取り囲む位置に配さ
れたことを特徴とする反射型光センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61095748A JPS62252178A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 反射型光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61095748A JPS62252178A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 反射型光センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62252178A true JPS62252178A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14146114
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61095748A Pending JPS62252178A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 反射型光センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62252178A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5654559A (en) * | 1993-09-23 | 1997-08-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Optical coupling device and method for manufacturing the same |
US5811797A (en) * | 1995-09-20 | 1998-09-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoreflective detector including a light emitting element and a light recieving element located at different distances from an object reflecting light from the emitting element |
WO2008117800A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Rintaro Nishina | 反射型光センサ |
JP2009231804A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-10-08 | Kyocera Corp | 受発光一体型素子アレイおよびセンサ装置 |
CN104584238A (zh) * | 2012-08-30 | 2015-04-29 | 京瓷株式会社 | 受光发光元件以及使用该受光发光元件的传感器装置 |
-
1986
- 1986-04-24 JP JP61095748A patent/JPS62252178A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5654559A (en) * | 1993-09-23 | 1997-08-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Optical coupling device and method for manufacturing the same |
US5811797A (en) * | 1995-09-20 | 1998-09-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoreflective detector including a light emitting element and a light recieving element located at different distances from an object reflecting light from the emitting element |
US6060337A (en) * | 1995-09-20 | 2000-05-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Photoreflective detector including a light emitting element and a light receiving element located at different distances from an object reflecting light from the emitting element |
WO2008117800A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Rintaro Nishina | 反射型光センサ |
JPWO2008117800A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2010-07-15 | 仁科 ▲りん▼太郎 | 反射型光センサ |
JP2009231804A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-10-08 | Kyocera Corp | 受発光一体型素子アレイおよびセンサ装置 |
CN104584238A (zh) * | 2012-08-30 | 2015-04-29 | 京瓷株式会社 | 受光发光元件以及使用该受光发光元件的传感器装置 |
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