JPS62252053A - 螢光表示管用部品及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はスペーサーフレーム部トメ、ン１部が一体化し
た螢光表示管用部品及びその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に螢光表示管は第１５図に示すようにフロントガラ
ス（５）、フィラメント（Ｂ）、メサ膜（Ｃ）。

フレーム（３１３）、メジャーリード（Ｄ）、メ、ン１
部（コントロールグリ、ド）（Ｆ）、ベースガラス（Ｌ
）上に形成された螢光体電極（アノード電極）（ＩＱ。

及びパッド（アノード電極取り出し部）（Ｉ）、パッド
と螢光体電極間を結ぶアノード導通パターン（Ｊ）、ハ
ツトに結合されるアノードタッチリード（Ｇ）、及びア
ノードタッチリードにつながるメジャーリード回よりな
る。組立てにあたっては先ず第１７図示のようなスペー
サーフレーム部品に高温にて加熱処理を施こし、表面に
ガラス封止用フリ、トガラスとの濡れ性が良い酸化被げ
加工し、次いで８１８図に示すメツシュ部品フレーム（
均とを整合させてスペーサーフレーム部品と重ね合せ、
メッシュ部品側より多数の点溶接を行い、且つ両部品よ
りサイトレール（５）を除去してスペーサーフレーム部
とメツシュ部ノ一体物を形成する。

そして第１６図示の如くフロントガラス四と螢光体電極
間、アノード導通パターン（Ｊ）及びバ、ド（Ｉ）を設
けたベースガラス（Ｌ）を対向させ、フリ、トガラスを
バインダーとして用いて両者間にフィラメント（Ｂ）、
メサ膜（Ｃ）、前記スペーサーフレーム部とメ、レユ部
の一体物、バッドＥｌ続されたアノードタッチリード（
Ｇ）、及びメジャーリード回を封止し、且つフロントガ
ラス囚とベースガラス（旬間の周囲をフリ、トガラスに
より封じ、メジャーリード（ＤＪ、（Ｈ）の一部及びス
ルーホールリードに）を表示管外部に取り出し、グリッ
ドドライバ、デコーダードライバ等に接続し自動車の各
種メーター類、　Ｖ、Ｔ、Ｂ各種表示部。

コンピュータ一端末器等のディスプレーデバイスとして
使用される。尚、第１７図においてＯはフィラメントア
ンカーを示す。

しかしながら、スペーサ一部にメツシュ部を点溶接する
工程において点溶接速度が遅く、メツシュ部の破損、変
形がおこり、歩留りが悪いッシユ部の形状と同様の形状
のレジストパターンと、形成しようとするスペーサ一部
の形状と同様の形状のレジストパターンを形成し、他ノ
一方の面に形成しようとするスペーサ一部の形状と同様
の形状のレジストパターンを形成し。

該レジストパターンを形成した金属板を両面からエッチ
ングし、メッシュ部とスペーサ一部を形成すると共にメ
ツシュ部の厚さをスペーサ一部の厚さより小とし、つい
でレジストパターンを除去するメッシュ部とスペーサ一
部とを有する製品の製造方法を発明した（特公昭６０−
２６８３０号公報）。

一ム部とメツシュ部の一体物を形成することにより上記
のような製造工程上の問題点は解消されたが、メッシュ
部を形成すると共にハーフエ、チングしてメッシュ部の
厚さをスペーサ一部の厚さより小とする方法によるため
、メッシュ穴部のコーナ一部の腐蝕の八りが悪く、六角
形状の開口部を形成しようとしても丸穴に近い開口部が
形成されてしまい、透過率の高いメッシュ部は得られな
いという問題があった。またメッシュ穴部の内壁面部が
さまたげとなりて斜め方向からの視認がしずらくなり、
視角が制限されるという問題があった。

そこで本発明が解決しようとする問題点は視角が広く、
しかも透過率が高く、輝度の高い螢光表示管の表示部を
形成し得るメツシュ部とスペーサーフレーム部が一体化
した螢光表示管部品を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は上記の問題点を解決すべく研究の結果、金属
板の片面にフレーム、及びメジャーリードとなる金属板
領域を被覆する第１のスペーサーフレーム部形成用レジ
ストパターンとメッシュ状につながる複数の線部よりな
り、線部の交わる部分寄りの線部領域は線部中央部領域
よりも狭幅の外形を有する第１０メツン１部形成用レジ
ストパターンとからなる第１のレジストパターンを設け
、且つ金属板の他面にフレーム、及びメジャーリードと
なる金属板領域な被覆する第２のスペーサーフレーム部
形成用レジストパターンと、メッシュ状につながる複数
の線部よりなり、線部の交わる部分寄りの線部領域は線
部中央部領域よりも狭幅であって、且つ全体的に第１の
メッシュ部形成用レジストパターンよりも線幅が狭い外
形を有する第２のメ。

レユ部形成用レジストパターンとからなる第２のレジス
トパターンを設け、金属板の両面より工、テングな行い
、フレーム及びメジャーリードの部分を形成すると同時
にメッシュ領域に相当する金属板領域の第２のレジスト
パターン側はハーフエツチングされたフレームの厚さよ
りも薄いフレームと一体なメツシュ部を形成する方法に
よればメ、ン、を構成する線部の線方向と直角方向に切
断した断面形状が螢光体に対面する側の線幅が最も狭い
逆三角形状となっていて、斜め方向から見てもメッシュ
穴部の内壁面が視認のさまたげとなることがなく、且つ
線部の交わる部分寄りの線部領域の線幅が線部中央部領
域よりも狭いか同程度であり、メッシュ穴部がコーナ一
部ＯＲが小さい形状に広く開口していて透過率が高く、
しかも線部の交わる部分がその他の線部領域よりも厚く
形成されており、微細化されていながらも機械的強度の
安定した螢光表示管用部品を得ることができることを見
いだし、かかる知見にもとづいて本発明を完成したもの
である。

即ち、第１の発明←８はｒフレームの内側にフレームと
一体にメッシュが形成されており、該メッシュはフレー
ムの厚さよりも薄く、且つ線幅５０μ以下の線部により
微細に形成されたものであり、前記フレームの外周縁に
はフレームと一体に複数のメジャーリードが突設されて
いる螢光表示管用部品において、メ、ン、を構成する線
部の線方向と直角方向に切断した断面形状が螢光体に対
面する側の線幅が最も狭い逆三角形状であり、且つ線部
の交わる部分がその他の線部領域よりも厚く形成されて
おり、且つ線部の交わる部分寄りの線部領域の線幅が線
部中央部領域の線幅よりも狭いかもしくは同程度法に第
２の発明ｍは「フレームの内側にフレームと一体にメッ
シュが形成されており、該メッシュはフレームの厚さよ
りも薄く、且つ線幅５０μ以下の線部により微細に形成
されたものであり、前記フレームの外周縁にはフレーム
と一体に複数のメジャーリードが突設されている螢光表
示管用部品の製造方法において、金属板の片面にフレー
ム、及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する第
１のスペーサーフレーム部形成用レジストパターンとメ
ツシュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わる
部分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形
を有する第１０メ、７１部形成用レジストパターンとか
らなる第１のレジストパターンを設け、且つ金属板の第
２の面にフレーム。

及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する第２の
スペーサーフレーム部形成用レジストパターンと、メツ
シュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わる部
分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅であって
、且つ全体的に第１のメッシュ部形成用レジストパター
ンよりも線幅が狭い外形を有する第２のメ、ン。

部形成用レジストパターンとからなる第２のレジストパ
ターンを設け、金属板の両面より工。

テンプな行い、フレーム及びメジャーリードの部分を形
成すると同時にメッシュ領域に相当する金属板領域の第
２のレジストパターン側はハーフエツチングされたフレ
ームの厚さよりも薄いフレームと一体なメッシ、を形成
することを特徴とする螢光表示管用部品の製造方法。Ｊ
を要旨とするものである。

第１図は本発明の螢光表示管用部品のエッチング製品を
示す。

図において２１はフレーム、２２はメジャーリード、２
３はスルーホールリード、２４はメツシュ、２５はアノ
ードタッチリード、２６はフィラメントアンカーサポー
ト、２７はフィラメントアンカー、２８はサイトレール
を示す。

また、第２図はメッシュ（２４）の部分の断面図を示す
。

第３図ないし第５図はメ、ン、　（２４）の開口部を詳
細に示すものであり、第３図は背面図、第４図は第３図
示ＯＡ−に線矢視断面図、第５図は第３図示のＢ　−Ｂ
／線矢視断面因である。尚、第３図において３０はメッ
シュを構成する線部を示し、３１は線部の交わる部分を
示す。

フレーム（２１）の内側にフレーム（２１）と一体にメ
ツシュ（２４）が形成されており、該メ、ン、１゜（２
４）はフレーム（２１）の厚さよりも薄く、且つ線巾５
０μ以下の線部により微細に形成されたものであり、前
記フレーム（２１）の外周縁にはフレーム（２１）と一
体に複数のメジャーリード（２２）が突設されている螢
光表示管用部品において、メ、ン、　（２４）を構成す
る線部（３０）の線の方向と直角方向に切断した断面形
状が螢光体に対面する側の線幅が最も狭い逆三角形状で
あり、且つ線部（３０）の交わる部分（３１）が線部中
央部領域よりも厚く形成されている。また、線部の交わ
る部分寄りの線部領域の線幅＜ＷＳ＞が線部中央部領域
の線幅（Ｗ２）よりも狭いかもしくは同程度になりてい
る。このように線部の線幅が変化していることにより六
角形に近い形状でメツシュ穴部が形成されている。尚、
本発明においてメツＶ。

穴部の形状は六角形に限定されることはなく方形であっ
ても良い。

第６図ないし第８図は従来の螢光表示管用部品のメツシ
ュの開口部を拡大して示すものであり、第６図は平面図
、第７図は第６図示のに−ｒ線矢視断面図、第８図は第
６図示のＢ’−Ｂ＃線矢視断面図である。

従来品においてはメ、ン、穴部のコーナーが開口してい
す、線部の交わる部分寄りの線部領域の方が線部中央部
領域よりも広幅になっている。

従って本発明品に比して開口面積が小さく透過率が劣る
ものである。

第９図ないし第１２図は本発明の螢光表示管用部品の製
造方法を示す。

先ず第９図示のような金属板（１）の片面に第１０図示
の如くフレーム、メジャーリード、アノードタ、テリー
ド、フィラメントアンカーサポート、フィラメントアン
カーなどのスペーサーフレーム部を構成する部分、及び
スルーホールリードとなる金属板領域を被覆する第１の
スペーサーフレーム部形成用レジストパターン（６）と
メツシュ状につながる線部よりなり、線部の交わる部分
寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有
する第１のメッシュ部形成用レジストパターン（７）と
からなる第１のレジストパターン（２）を設け、且つ金
属板（りの他面にフレーム、メジャーリード、アノード
タッチリード。

フィラメントアンカーサポート、フィラメントアンカー
などのスペーサーフレーム部を構成する部分、及びスル
ーホールリードとなる金属板領域を被覆する第２のスペ
ーサーフレーム部形成用レジストパターン（６ｆとメツ
シュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わる部
分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅であって
、且つ全体的に第１０メッシュ部形成用パタ−ン（７）
よりも線幅が狭い外形を有する第２のメッシュ部形成用
パターン（８）とからなる第２のレジストパターン（３
）を設ける。

次いで両面から工、テングすることにより第１１図示の
ようにスペーサーフレーム部を形成すると同時に１１７
１部領域に相当する金属板領域の第２のレジストパター
ン側はハーフエ。

チングされ、且つ線方向と直角方向に切断した断面形状
が逆三角形状の、スペーサーフレーム部と一体化したメ
、ン１部を形成することができる。

第１２図はエツチング後、レジストパターンを剥離除去
した状態を示す。而して本発明の製造方法において、金
属板としては例えば鉄、鋼。

合金鋼、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金
、亜鉛、亜鉛合金、二、ゲル、二、ケル合金などを適用
し得る。さらに金属板としてＫＶＯ（Ｆｅ−Ｎｌ−Ｃｏ
合金）、４２合金（４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金）、４２６合
金（４２％　Ｎｌ−６％Ｃｒ　Ｆｅ合金）、Ｎ５−１　
　（ｒｅ　５０％、　Ｎｉ　５０１合金）、５ＵＳ（ス
テンレス鋼）、ＳＫ（工具ｍ）、ＫＫ（工具鋼）、タフ
ピッチ鋼、脱酸鋼、リン青銅、黄銅、べ９Ｉ）ラム鋼、
洋白などの板を使用できる。

次にレジストの形成に使用し得る感光液は市販の任意の
もの、例えば岡本化学工業株式会社製のＴＥ８Ｈ，ＤＯ
ＯＬ　（ホ！Ｊビニルアルコール・重クロム酸アンモニ
ウム系）、ＴＥＳＨ，ＧＩｕｅ　　（グルー・重クロム
酸アンモニウム系）、’ｒＢｓＨ。

Ｇｌｕｅ　Ｕ−１００（グルー・重クロム酸アンモニウ
ム系）　、　ＡＺＯ，ＴＥＳＨ（ポリビニルアルコール
・ジアゾ化合物系）；富士薬品工業株式会社のＦｕｊｉ
−ＬＯＮ−ＤＡｏ、３．５　（ｙＪ（９ビニルフル：７
−ル・重クロム酸アンモニウム系）・フジレジストム７
．９．１４．１８　　（ｙｔ’　！Ｊビニルアルコール
・重クロム酸アンモニウム系）、フジレジストム１５゜
１６、１７．１９．２０　（カゼイン・重クロム酸アン
モニウム系）・ホトノール（カゼイン・重クロム酸アン
モニウム系）およびフジスクリーンコート（ポリビニル
アルコール・重クロム酸アンモニウム系）二四輪産業株
式会社製のイノエナール（ポリビニルアルコール・クロ
ム酸アンモニウム系）、イノエナール（ポリビニルアル
コール・クロム酸アンモニウム系）、ＪＩカンコール（
カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）、イノエコール
ドエナメル（カゼイン−重クロム酸アンモニウム系）お
よびホーシン（ポリビニルアルコール・ジアゾ化合物系
）；イノ−ストマン・コダ、り社製のＫＰＩＬ（コダ、
り・フォト。

レジスト）、ＫＰＲ−２コダ、り、フォト、レジスト、
タイプ−２）、ＫＰＬ−３（コダ、り、フォト、レジス
ト、タイプ−３）、ＫＰＬ　（コダ。

り、フォト、センシテイブ、う、カー）、ＫＯＲ（コダ
ック・オルンレジスト）　、　ＫＭＢＲ（コダ、り、メ
タルエ、ｆ、レジスト）およびＫＴＦＲ（コダ、り、ノ
ンフィルム、レジスト）：Ｘ士薬品工業株式会社製のに
５ｔｔ（フジスーパーレジス））、ＦＳＲ■（フジスー
パーレジスト■）。

ＦＯＲ（フジケミカルレジスト）、ＦＰＥＲ（フジホト
エランレジスト）、ＦＮＰＲ（フジニューホトレジスト
）、ＦＭＲ，Ｎ　（フジマイクロレジストネガ）、ＦＲ
Ｂ（フジラビットレジスト）およびＦＰＰＲ（フジポジ
ティブホトレジスト）；東京応化工業株式会社製のオー
カレジスト（硬質ゴム系）、フォトゾール（ジアゾ化合
物系）　ＴＰＲ（ポリ珪皮酸ビニル）、ＥＰＰＲ（硬質
ゴ系）、ＯＰＲ（硬質ゴム系）、ｏｐｓａ　（硬質ゴム
系）およびＧ−９０カゼイン・重クロム酸アンモニウム
系）などである。

これらの公知の感光液を使用し、パターンを介して露光
、現像、水洗、乾燥を行ってレジストを形成する手段は
通常の公知の手段によって行うことができる。

本発明において使用する工、チンダ液は従来知られる使
用する金属板の金属に対する公知のエツチング液を使用
し得るのであるが例えば鉄に対しては塩化第二鉄液、濃
硝酸＋水、塩酸十硝酸を、鋼に対しては塩化第二鉄液、
濃硝酸千木、塩酸＋硫酸を、合金鋼に対して塩化第二鉄
液、濃硝酸＋水、塩酸＋硫酸を、鋼に対しては塩化第二
鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化第二水銀を、鋼合金に
対しては塩化第二鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化第二
水銀を、アルミニウムに対しては水酸化ナトリウム液、
塩酸＋水、塩化第二鉄液を、アルミニウム合金に対して
は水酸化ナトリウム液、塩酸＋水、塩化第二鉄液を、亜
鉛に対しては硝酸を、亜鉛合金に対しては硝酸を、二、
ケルに対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を、ニッケル
合金に対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を使用するこ
とができる。

本発明においてフォトレジストの除去は重クロム酸系レ
ジストについては４０重量％カセーソーダ液を５０℃に
加湿したものに浸漬することによって行い、溶剤型フォ
トレジストについては専用剥離液又は市販有機溶剤（ト
リクレン。

キンレン、ベンゼン等）によって行うことができる。

さらに本発明の製造方法においてメツシュ部の原版とし
て第１３図および第１４図示のようなコーナ一部がえぐ
られた原版を用い、レジスト製版し、エツチングするこ
とにより第３図示の如く、コーカ一部の几が小さい形状
にエツチングされたエツチング製品を得ることができる
。

〔作　用〕

本発明の螢光表示管用部品においてメッシュ穴部がコー
ナ一部のＲが小さい形状に広く開口しているので透過率
が非常に高い。それ故１本発明の螢光表示管用部品によ
れば輝度の高い螢光表示管の表示部を提供することがで
きる。又、線部の断面形状が逆三角形状であるため、広
範囲の視角にわたって視認することができる。又。

線部の断面積が小さいことにより低い消費電力で１儂を
表示することができる。

次に本発明の螢光表示管用部品の製造方法におい【、線
幅が狭いメツシュ部形成用レジストパターン側のエツチ
ングが線幅の広いメッシュ部形成用レジストパターン側
の工、チンクヨ’）も速く進行し、線幅が狭い１１７１
部形成用パターン側がハーフエツチングされると共に断
面三角形のメツ７１部の線部が形成される。

〔実施例〕

鉄５２ｅｓ、　二、ケ／Ｌ’４２％、りａ　ム５　％か
らなる合金の寸法５００％×５００％、厚さ０．１５％
の金属板を４０重量−のカセイソーダ液を５０℃に加熱
したものに５分間浸漬して表面の汚れ油脂類を溶解除去
し乾燥した。

ついで２５℃の常温で東京応化工業株式会社製のＧ−９
０（カゼイン−重クロム酸アンモニウム系）感光液中に
上記の処理をした金属板を５〜１０秒浸漬し、むらのな
いように静かに引き上げて感光液を金属板の全面に均一
に感光液厚６μ前後であるように塗布した。このように
感光液を塗布した金属板を約５分間常温で放置し、つい
で８０℃のオープン内へ入れ２０分間乾燥を行い感光膜
を形成した。金属板をオープンから収り出し、空気中に
５分間放置冷却し、−感光膜面にフレーム、メジャーリ
ード、アノードタッチリード、フィラメントアンカーサ
ポート、フィラメントアンカーなどのスペーサーフレー
ム部を構成する部分、及びスルーホールリードに対応す
る第１のスペーサーフレーム部パターンとメッシュ状に
つながる複数の線部よりなり、第１３図示のようなコー
ナ一部がえぐれて線部の交わる部分寄りの線部領域が線
部中央部領域よりも狭幅になっている外形の第１のメツ
シュ部パターンとからなる第１の原版を密着させ、もう
一つの感光膜面にフレーム、メジャーリード、アノード
タッチリード、フィラメントアンカーサポート、フィラ
メントアンカーなどのスペーサーフレーム部を構成する
部分。

及びスルーホールリードに対応する第２のスペーサーフ
レーム部パターンとメッシュ状につながる複数の線部よ
りなり、第１４図示のようなコーナ一部がえぐれ【線部
の交わる部分寄りの線部領域が線部中央部領域よりも狭
幅になっており、且つ全体的に線幅が第１３図示の第１
のメッシュ部パターンよりも狭い外形の第２のメッシュ
部パターンとからなる第２の原版を密着し、表裏からキ
セノンランプを使用して１２０〜１８０秒露光焼付し、
次いで現像を行った。

露光部分は硬化し、水又は温水に不溶性となり、未露光
部分は水（または４０℃の温水）により２０〜３０秒浸
漬することにより溶解除去した。

さらに乾燥し、２００〜３００℃にて４分間加熱処理し
て露光部分を完全に硬化させた。

以上のようにしてレジストパターンを形成した金属板を
５０°品の塩化第二鉄液中で５０℃で１０分間浸漬し１
両面より同時にエッチングを行なった。このとき、スペ
ーサーフレーム部。

及びスルーホールリードが形成されると共に、線幅の広
いメツシュ部形成用レジストパターン側よりも線幅の狭
いメッシュ部形成用レジストパターン側の方がエツチン
グがはやく進行してハーフエ、ｆングされ、スペーサー
フレーム部よりも薄く、且つ線部の断面形状が逆三角形
であり、且つ線部の交わる部分がその他の線部領域より
も厚く形成されたメツシュ部が形成された。次いで上記
で得られた中間製品を４０重量％のカセイソーダ溶液に
５０℃で１０分間浸漬してフォトレジストを溶解除去し
、乾燥を行いメツシュ部とスペーサーフレーム部を同一
材質にて形成した螢光表示管用部品を得た。

次に上記のようにして得た製品例を示す。

スペーサーフレーム部の厚さ　　　　　　０．１５％ス
ペーサーフレーム部の外形　　　８０Ｘ２００％メッシ
ュ部の外形　　　　　　　　３０Ｘ１８０％メッシュ部
線巾（中央部）　　　　　　　３０μメッシュ部線巾（
交点近傍）　　　　　　２４μメッシュ部厚さく中央部
）　　　　　　　　ＳＯμメツシュ部厚さく交点部）　
　　　　　　６５μメッシュ部透過率　　　　　　　　
　　　８０チ比較例 実施例１と同様にして、但し、第１原版及び第２原版の
代りにスペーサーフレーム部パターンを有すると共に第
１９図示のような六角網目状につながる複数の線部より
なり、且つ線部の太さは一様なメッシュ部パターンを有
する第３の原版トスペーサ−フレーム部パターンのみを
有し、メッン一部領域はブランクになりている第４の原
版を用い、レジスト製版後、両面よりエッチングな行な
い、メッシュ穴部が第６図示のような螢光表示管用部品
を得た。

得られた製品につき透過率を測定したところ７２チであ
った。

〔発明の効果〕

以上詳記した通り、本発明に係る螢光表示管用部品によ
れば螢光表示管の最重要特性である輝度の向上をはかり
、消費電力を低減させ、視角の広い螢光表示管を提供す
ることができる。

又、本発明の製造方法によればフォトエ、？ング法のみ
によりスペーサーフレーム部の厚さを有する金属板から
メッシュ部とスペーサーフレーム部とが同質の材料で一
体に形成されておリカつメ、ン一部の厚さがスペーサー
フレーム部の厚さよりも小さくされ、メッシュ穴部は広
く開口し、透過率が高く、しかもメッシュ部を構成する
線部は断面逆三角形状に形成されているので視角が広い
螢光表示管用部品を歩留りよく且つ精度よく製造するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の螢光表示管用部品を含むエツチング製
品の平面図、第２図は第１図示のメツシュ部の断面図、
第３図はメツシュ部の網目の一つの背面図、第４図は第
３図示のＡ　−ｈ４線矢視断面図、第５図は第３図示の
Ｂ　−ＢＺ線矢視断面図、第６図は従来法により作製し
たメツシュ部の背面図、第７図はＷＪ６図示のＡ＃−Ａ
４Ｆ線矢視断面図、第８図は第６図示のＢ’−Ｂ”線矢
視断面図、第９図ないし第１２図は本発明の製造方法に
よる製造工程を示す断面図、第１３図及び第１４図は本
発明の実施例に用いたメツシュ部パターンの平面図、第
１５図は螢光表示管の分解斜視図、第１６図は螢光表示
管の断面図、第１７図はスペーサーフレーム部のエツチ
ング製品の平面図、第１８図はメッシュ部のエツチング
製品の平面図、第１９図は比較例に用いたメツシュ部形
成用パターンの平面図である。 ２１　・・・・・・・・・フレーム ２２　・・・・・・・・・メジャーリード２４　・・・
・・・・・・メッンエ ３０・・・・・・・・・メッシュ線部 ３１　・・・・・・・・・線部の交わる部分１　・・・
・・・・・・金属板 ６．６′　　・・・・・・第１．及び第２のスペーサー
フレーム部形成用レジストパターン

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フレームの内側にフレームと一体にメッシュが形
   成されており、該メッシュはフレームの厚さよりも薄く
   、且つ線幅５０μ以下の線部により微細に形成されたも
   のであり、前記フレームの外周縁にはフレームと一体に
   複数のメジャーリードが突設されている螢光表示管用部
   品において、メッシュを構成する線部の線方向と直角方
   向に切断した断面形状が螢光体に対面する側の線幅が最
   も狭い逆三角形状であり、且つ線部の交わる部分がその
   他の線部領域よりも厚く形成されており、且つ線部の交
   わる部分寄りの線部領域の線幅が線部中央部領域の線幅
   よりも狭いかもしくは同程度であることを特徴とする螢
   光表示管用部品。
2. （２）フレームの内側にフレームと一体にメッシュが形
   成されており、該メッシュはフレームの厚さよりも薄く
   、且つ線幅５０μ以下の線部により微細に形成されたも
   のであり、前記フレームの外周縁にはフレームと一体に
   複数のメジャーリードが突設されている螢光表示管用部
   品の製造方法において、金属板の片面にフレーム、及び
   メジャーリードとなる金属板領域を被覆する第１のスペ
   ーサーフレーム部形成用レジストパターンとメッシュ状
   につながる複数の線部よりなり、線部の交わる部分寄り
   の線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有する
   第１のメッシュ部形成用レジストパターンとからなる第
   １のレジストパターンを設け、且つ金属板の他面にフレ
   ーム、及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する
   第２のスペーサーフレーム部形成用レジストパターンと
   、メッシュ状につながる複数の線部よりなり、線部の交
   わる部分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅で
   あって、且つ全体的に第１のメッシュ部形成用レジスト
   パターンよりも線幅が狭い外形を有する第２のメッシュ
   部形成用レジストパターンとからなる第２のレジストパ
   ターンを設け、金属板の両面よりエッチングを行い、フ
   レーム及びメジャーリードの部分を形成すると同時にメ
   ッシュ部領域に相当する金属板領域の第２のレジストパ
   ターン側はハーフエッチングされたフレームの厚さより
   も薄い、フレームと一体なメッシュを形成することを特
   徴とする螢光表示管用部品の製造方法。