JPS63138627A - 螢光表示管用部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はスペーサーフレーム部とメツシュ部が一体化し
た螢光表示管用部品の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に螢光表示管は第１２図に示すようにフロントガラ
ス囚、フィラメント（Ｂ）、メサ膜（Ｃ）。

フレーム（均、メジャーリード（Ｄ）、メッシュ部（コ
ントロールクリット）　（Ｆｌ　、ペースガラス（Ｌｌ
上に形成された螢光体電極（アノード電極）（Ｋｌ。

及びバッド（アノード電極取り出し部ＥＩ）、パラドと
螢光体電極間を結ぶアノード導通パターン（Ｊ）、ハｙ
ドに結合されるアノードタッチリード（Ｇ）、及びアノ
ードタッチリードにつながるメジャーリード（５）より
なる。組立てにあたっては先ず第１４図示のようなスペ
ーサーフレーム部品に高温にて加熱処理を施こし、表面
にガラス封止用フリ、トガラスとの濡れ性が良い酸化被
膜を生成し、アノードタッチリード（Ｇ）及びフィラメ
ントアンカーサポート（Ｐ）を所定の形状に曲げ加工し
、次いで第１５図に示すメッシュ部品をそのフレーム（
ＢＴとスペーサーフレーム部品ノフレーム（Ｅ）とを整
合させてスペーサーフレーム部品と重ね合せ、メツシュ
部品側より多数の点溶接を行い、−且つ両部品よりサイ
トレール（５）を除去してスペーサーフレーム部とメッ
ンユ部ノ一体物を形成する。

そして第１３図示の如くフロントガラス（５）と螢光体
電極（へ）、アノード導通パターン（Ｊ）及びパ、ド（
Ｉ）を設けたベースガラス（Ｌ）を対向させ、フリット
ガラスをバインダーとして用いて両者間にフィラメント
（Ｂ）、メサ膜（Ｃ）、前記スペーサーフレーム部とメ
ツシュ部の一体物、パッドに接続されたアノードタッチ
リート責ｑ、及びメジャーリード（Ｆ（）′４Ｌ封止し
、且つフロントガラス（５）とペースガラス（Ｌ）間の
周囲をフリ、トガラスにより封じ、メジャーリード（Ｄ
）、（Ｈ）の一部及びスルーホールリード（財）を表示
管外部に取り出し、グリ、ドドライバ、デコーダードラ
イバ等に接続し自動車の各種メーター類、　　Ｖ、Ｔ、
Ｒ各種表示部。

コンピュータ一端末器等のディスプレーデバイスとして
使用される。尚、第１４図において０はフィラメントア
ンカーを示す。

しかしながら、スペーサ一部にメッシュ部を点溶接する
工程において点溶接速度が遅く、メツシュ部の破損、変
形がおこり１歩留りが悪いという問題点があるのでスペ
ーサ一部の厚さを有する金属板の一方の面に形成しよう
とするメツシュ部の形状と同様の形状のレジストパター
ンと、形成しようとするスペーサ一部の形状と同様の形
状のレジストパターンを形成し、他ノ一方の面に形成し
ようとするスペーサ一部の形状と同様の形状のレジスト
パターンを形成し、該レジストパターンを形成した金属
板を両面からエツチングし、メッシュ部とスペーサ一部
を形成すると共にメッシュ部の厚さをスペーサ一部の厚
さより小とし、ついでレジストパターンを除去するメ、
ン一部とスペーサ一部とを有する製品の製造方法を発明
した（特公昭６〇−２６８３０号公報）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記のようにエツチングによりスペーサー
フレーム部とメッシュ部の一体物を形成することにより
上記のような製造工程上の問題点は解消されたが、メツ
シュ部を形成すると共にハーフエ、ｆ−ングしてメッシ
ュ部の厚さをスペーサ一部の厚さより小とする方法によ
るため、メツシュ穴部のコーナ一部の腐蝕の入りが悪く
、六角形状の開口部を形成しようとしても丸穴に近い開
口部が形成されてしまい、透過率の高いメツシュ部は得
られないという問題がありた。

そこで本発明が解決しようとする問題点は透過率が高く
、輝度の高い螢光表示管の表示部を杉成し得るメツシュ
部とスペーサーフレーム部が一体化した螢光表示管部品
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は上記の問題点を解決すべく研究の結果、金属
板の片面にフレーム、及びメジャーリードとなる金属板
領域を被覆する第１のスペーサーフレーム部形成用レジ
ストパターンとメッシュ状につながる複数の線部よりな
り、線部の交わる部分寄りの線部領域は線部中央部領域
よりも狭幅の外形を有するメッシュ部形成用レジストパ
ターンとからなる第１のレジストパターンを設け、且つ
金属板の他面にフレーム、及びメジャーシードとなる金
属板領域を被覆する第２のスペーサーフレーム部形成用
レジストパターンよりなる第２のレジストパターンを設
け、金属板の両面よりエツチングを行い、フレーム及び
メジャーリードの部分を形成すると同時にメツシュ領域
に相当する金属板領域の第２のレジストパターン側はハ
ーフエツチングされたフレームの厚さよりも薄いフレー
ムと一体なメッンユ部を形成する方法によれば線部の交
わる部分寄りの線部領域の線幅が線部中央部領域よりも
狭いか同程度であり、メツシュ穴部がコーナ一部のＲが
小さい形状に広く開口していて透過率が高い、螢光表示
管用部品を得ることができることを見いだし、かかる知
見にもとづいて本発明を完成したものである。

即ち１本発明は「フレームの内側にフレームと一体にメ
ツシュが形成されており、該メツシュはフレームの厚さ
よりも薄く、且つ線幅５０μ以下の線部により微細に形
成されたものであり、前記フレームの外周縁にはフレー
ムと一体に複数のメジャーリードが突設されている螢光
表示管用部品の製造方法において、金属板の片面にフレ
ーム、及びメジャーリードとなる金属板領域を被覆する
第１のスペーサーフレーム部形成用レジストパターンと
メッンユ状につながる複数の線部よりなり、線部の交わ
る部分寄りの線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外
形ヲ有スるメッシュ部形成用レジストパターンとからな
る第１のレジストパターンを設け、且つ金属板の第２の
面にフレーム、及びメジャーリードとなる金属板領域を
被覆する第２のスペーサーフレーム部形成用レジストパ
ターンよりなる第２のレジストパターンを設け５金属板
の両画よりエツチングを行い、フレーム及びメジャーリ
ードの部分を形成すると同時にメッシュ働域に相当する
金属板領域の第２のレジストパターン側はハーフエ、ｙ
″ソゲされたフレームの厚さよりも薄いフレームと一体
なメツシュを形成することを特徴とする螢光表示管用部
品の製造方法。Ｊを要旨とするものである。

以下、本発明の製造方法につき、図面を参照しながら詳
細に説明する。

先ず第１図示のような金属板（υの片面に第２図示の如
くフレーム、メジャーリード、アノ−ドタ、テリード、
フィラメントアンカーサポート、フィラメントアンカー
などのスペーサーフレーム部を構成する部分、及びスル
ーホールリードとなる金属板領域を被覆する第１のスペ
ーサーフレーム部形成用レジストパターン（６）とメッ
シュ状につながる線部よりなり、線部の交わる部分寄り
の線部領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有する
メッシュ部形成用レジストパターン（７）とからなるレ
ジストパターン（２）を設け、且つ金属板（１）の他面
にフレーム、メジャーリード、アノードタッチリード、
フィラメントアンカーサポート、フィラメントアンカー
などのスペーサーフレーム部を構成する部分、及びスル
ーホールリードとなる金属板領域を被覆する第２のスペ
ーサーフレーム部形成用レジストパターン（６）′より
なる第２のレジストパターン（３）を設ける。

次いで両面からエツチングすることにより第３図示のよ
うにスペーサーフレーム部Ｉを形成すると同時にメツシ
ュ部領域に相当する金属板領域の第２のレジストパター
ン側はハーフエ。

テンプされた、スペーサーフレーム部ａυと一体化した
メツシュ部員を形成することができる。

第４図は工、チング後、レジストパターンを剥離除去し
た状態を示す。

而して本発明の製造方法忙おいて、金属板としては例え
ば鉄、鋼１合金鋼、銅、銅合金、アルミニウム、アルミ
ニウム合金、亜鉛、亜鉛合金、二、ゲル、二、ケル合金
などを適用し得る。

さらに金属板としてＫ　Ｖ　Ｏ（Ｆｅ　−Ｎｉ　−Ｃｏ
合金）、４２合金（４２％Ｎｌ−Ｆｅ合金）、４２６合
金（４２％Ｎ＋−６％Ｃｒ　Ｆｅ合金）、Ｎ８−１（Ｐ
ｅ５０％、Ｎｉ５０％合金）、５ＵＳ（ステンレス鋼）
、８Ｋ（工具鋼）、ＫＫ（工具鋼）、タフビ、チ鋼、脱
酸鋼、リン青銅、黄銅、ベリリウム鋼、洋白などの板を
使用できる、 次にレジストの形成に使用し得る感光液は市販の任意の
もの、例えば岡本化学工業株式会社製ＯＴＢＳＨ，ＤＯ
ＯＬ　（ポリビニルアルコール・重クロム酸アンモニウ
ム系）、ＴＥＳＨ，ＧＩｕｅ　（グルー・重クロム酸ア
ンモニウム系）、ＴＥＳＨ。

Ｇｌｕｅ　Ｕ−１００（ｆルー・重クロム酸アンモニウ
ム系）　、　ＡＺＯ，ＴＢＳＨ（ポリビニルアルコール
−ジアゾ化合物系）；富士薬品工業株式会社のＦｕｊｉ
　−ＬＯＮ−Ｄ　Ａ　０．３　、５　（ポリビニルアル
コール・重クロム酸アンモニウム系）・フジレジストム
７．９．１４．１８（ポリビニルアルコール・重クロム
酸アンモニウム系）、フジレジストム１５゜１６、１７
．１９．２０（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）
・ホトノール（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）
およびフジスクリーンコート（ポリビニルアルコール・
重クロム酸アンモニウム系）二四輪産業株式会社製のイ
ノエナール（ポリビニルアルコール・クロム酸アンモニ
’７ム系）、イノエナール（ポリビニルアルコール−ク
ロム酸アンモニウム系）、Ｊｌカンコール（カゼイン・
重クロム酸アンモニウム系）、イノエコールドエナメル
（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）およびホーシ
ン（ポリビニルアルコール・ジアゾ化合物系）；イノ−
ストマン・コダ、り社製のＫＰＲ（コダ、り・フォト・
レジスト）、ＫＰＲ−２（コダ、り、フォト、レジスト
、タイプ−２）、ＫＰＲ−３（コダ、り。

フォト、レジスト、タイプ−３）、ＫＰＬ（コグツク。

フォト、七ンνティプ、う、カー）。

ＫＯＲ（コダ、り・オルソレジスト）、ＫＭｇＲ（コダ
、り、メタルエッチ。レジスト）およびＫＴＦＲ（コグ
ツク。シンフィルム、レジスト）：富士薬品工業株式会
社製のＦ１ａ　（フジスーパーレジスト）、Ｆ８Ｒ＠（
フジスーパーレジスト■）、ＦＯＲ（フジケミカルレジ
スト）、ＦＰＥＲ（フジホトエ、νレジスト）、ＦＮＰ
Ｒ（フジニューホトレジスト）　、　Ｆ１１４ＲＮ　（
フジマイクロレジストネガ）、ＦＢＩ’Ｌ　（フジラビ
ットレジスト）およびＦＰＰＲ（フジポジティブホトレ
ジスト）；東京応化工業株式会社製のオルソレジスト（
硬質ゴム系）、フォトゾール（ジアゾ化合物系）、ＴＰ
Ｒ（ポリ珪皮酸ビニル）、ＥＰＰＲ（硬質ゴム系）、０
ＰＲ（硬質ゴム系）、ｏｐｓｎ　（硬質ゴム系）および
Ｇ−９０（カゼイン・重クロム酸アンモニウム系）など
である。

これらの公知の感光液を使用し、パターンを介して露光
、現像、水洗、乾燥を行ってレジストを形成する手段は
通常の公知の手段によって行うことができる。

本発明において使用する工、ｆング液は従来知られる使
用する金属板の金属に対する公知の工ｙ２−ング液を使
用し得るのであるが、例えば鉄に対しては塩化第二鉄液
、濃硝酸＋水、塩酸＋硝酸を、鋼に対しては塩化第二鉄
液、濃硝酸＋水、塩酸＋硫酸を、合金鋼に対して塩化第
二鉄液、濃硝酸＋水、塩酸＋硫酸を、鋼に対しては塩化
第二鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化第二水銀を、鋼合
金に対しては塩化第二鉄液、過硫酸アンモニウム＋塩化
第二水銀を、アルミニウムに対しては水酸化ナトリウム
液、塩酸＋水、塩化第二鉄液な、アルミニウム合金に対
しては水酸化ナトリウム液、塩酸＋水、塩化第二鉄液を
、亜鉛に対しては硝酸を、亜鉛合金に対しては硝酸を、
ニッケル〈対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を、二、
ケル合金に対しては塩化第二鉄液、塩酸＋硝酸を使用す
ることができる。

本発明においてフォトレジストの除去は重クロム酸系レ
ジストについては４０重量％カセーソーダ液を５０℃に
加湿したものに浸漬することｋよって行い、溶剤型フォ
トレジストについては専用剥離液又は市販有機溶剤（ト
リクレン。

キシレン、ベンゼン等）によって行うことができる。

次に線部の交わる部分寄りの線部領域が線部中央部領域
よりも狭幅の外形を有するメ、シュ部形成用レジストパ
ターンは第５図示のようなコーナ一部ａａがえぐられた
原版０３を用いて、レジスト製版することにより形成す
ることができる。第５図示のような原版０を用い、レジ
スト製版し、工、チングすることにより第６図示のよう
な、コーナ一部のＲが小さい形状に工、チングされたエ
ツチング製品を得ることができる。

また第７図、あるいは第８図示のような方形、或いは三
角形状にコーナ一部がえぐられた原版（１３ａ）　（１
３ｂ）を用いることもできる。

第９図は本発明の製造方法により作製した螢光表示管用
部品、のエツチング製品を示す。

図において２１はフレーム、２２はメジャーリード、２
３はスルーホールリード、２４はメッシュ、２５はアノ
ードタッチリード、２６はフィラメントアンカーサポー
ト、２７はフィラメントアンカー、２８はサイトレール
を示す。

〔作　用〕

メツシュ部形成用レジストパターンの形状が線部の交わ
る部分寄りの線領域が線部中央領域よりも狭幅になって
いるので、メッシュ穴部のコーナ一部のＲが小さい形状
に広く開口した透過率が非常に高いメッンユ穴部を形成
することができる。

〔実施例〕

鉄５２チ、ニッケル４２チ、クロム６チからなる合金の
寸法５００％Ｘ５００％、厚さ０．１５への金属板を４
０：１ｔ％のカセイソーダ液を５０℃に腑熱したものに
５分間浸漬して表面の汚れ油脂類を溶解除去し乾燥した
。

ついで２５℃の常温で東京応化工業株式会社製のＧ−９
０（カゼイン−重クロム酸アンモニウム系）感光液中に
上記の処理をした金属板を５〜１０秒浸漬し、むらのな
いように静かに引き上げて感光液を金属板の全面に均一
に感光液を厚６μ前後であるように塗布した。このよう
に感光液を塗布した金属板を約５分間常温で放置し、つ
いで８０℃のオープン内へ入れ２０分間乾燥を行い感光
膜を形成した。金属板をオーブンから取り出し、空気中
に５分間放置冷却し、−感光膜面にフレーム、メジャー
リード、アノードタッチリード。フィラメントアンカー
サポート、フィラメントアンカーなどのスペーサーフレ
ーム部を構成する部分、及びスルーホールリードに対応
する第１のスペーサーフレーム部パターンとメッシュ状
につながる複数の線部よりなり、且つ第５図示のような
コーナ一部がえぐれて線部の交わる部分寄りの線部領域
が線部中央部領域よりも狭幅になっている外形の第１の
メツシュ部パターンとからなる第１の原版を密着させ、
もう一つの感光膜面にフレーム、メジャーリード、アノ
ードタッチリード。フィラメントアンカーサポート、フ
ィラメントアンカーなどのスペーサーフレーム部を構成
する部分。

及ヒスルーホールリードに対応する第２のスペーサーフ
レーム部パターンよりなる第２の原版を密着し１表裏か
らキセノンランプを使用して１２０〜１８０！Ｊ）ｊ！
光焼付し、次いで現像を行った。露光部分は硬化し、水
又は温水に不溶性となり、未露光部分は水（または４０
℃の温水）により２０〜３０秒浸漬することにより溶解
除去した。

さらに乾燥し、２００〜３００℃にて４分間加熱処理し
て露光部分を完全に硬化させた。

以上のようにしてレジストパターンを形成した金属板を
５０°Ｂ６の塩化第二鉄液中で５０℃で１０分間浸漬し
、両面より同時に工、テングを行なった。このとき、ス
ペーサーフレーム部。

及びスルーホールリードが形成されると共に。

メツシュ部形成用レジストパターンが設けられていない
側の方が工、チングがはやく進行してハーフエツチング
され、スペーサーフレーム部よりも薄く、且つメッンユ
孔部が広く開口したメツシュ部が形成された。次いで上
記で得られた中間製品を４０重量−のカセイソーダ溶液
に５０℃で１０分間浸漬してフォトレジストを溶解除去
し、乾燥を行いメッン一部とスペーサーフレーム部を同
一材質にて形成したメッシュ部透過率が５ｏＬＩｂの螢
光表示管用部品を得た。

比較例 実施例１と同様にして、但し、第１原版及び第２原版の
代りにスペーサーフレーム部パターンを有すると共に第
１０図示のような六角網目状につながる複数の線部より
なり、且つ線部の太さは一様なメ、シュ部パターンを有
する第３の原版トスペーサ−フレーム部パターンのみを
有し、メツシュ部領域はブランクになっている第４の原
版を用い、レジスト製版後、両面より工、テングを行な
い、メッンー穴部が第１１図示のような螢光表示管用部
品を得た。

得られた製品につき透過率を測定したところ７２チであ
った。

〔発明の効果〕

以上、詳記した通り、本発明の製造方法によればフォト
エツチング法のみによりスペーサーフレーム部の厚さを
有する金属板からメ、ン一部とスペーサーフレーム部と
が同質の材料で一体に形成されておりがっメ、ン１部の
厚さがスペーサーフレーム部の厚さよりも小さくされ、
メッシュ穴部は広く開口し、透過率が高く、輝度の高い
螢光表示管の表示部を形成し得る螢光表示管用部品を歩
留よよく且つ精度よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の製造方法による製造工程
を示す断面図、第５図は本発明の実施例に用いたメッン
ユ部パターンの平面図、第６図は前記メッン一部パター
ンを用いてレジスト製版後エツチングしてなるメツシュ
部の断面図、第７図及び第８図はその他のメツシュ部パ
ターンの例を示す平面図、第９図は本発明の製造方法に
より作製した螢光表示管用部品を含む工、チング製品の
平面図、第１０図は比較例に用いたメツシュ部形成用パ
ターンの平面図、第１１図は比較例のメッシュ部の背面
図、第１２図は螢光表示管の分解斜視図、第１３図は螢
光表示管の断面図、第１４図はスペーサーフレーム部の
工、チング製品の平面図、第１５図はメ、７１部のエツ
チング製品の平天図である。 １・・・・・・・・・金属板 ６、−０．−　　第１のスペーサーフレーム部形成用レ
ジストパターン　。 ６′・・・・・・・・・第２のスペーサーフレーム部形
成用レジストパターン ７・・・・・・・・・メッン１部形成用レジストパター
ン９・・・・・・・・・メツシュ孔部 １０・・・・・・・・・メツシュ部 １１・・・・・・・・・スペーサーフレーム部面　　　
　　図　　　　　　口 ｖ−Ｎ　　　　　　　　　（′ｖ′） 瞳　　　　　鰺　　　　　　櫟 寸　　　　　−０ゐト■○− 禮 ′＄５図 第６図 第７図 第９図 ＄１０図 第１１図 第１４図 第１５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フレームの内側にフレームと一体にメッシュが形成され
   ており、該メッシュはフレームの厚さよりも薄く、且つ
   線幅５０μ以下の線部により微細に形成されたものであ
   り、前記フレームの外周縁にはフレームと一体に複数の
   メジャーリードが突設されている螢光表示管用部品の製
   造方法において、金属板の片面にフレーム、及びメジャ
   ーリードとなる金属板領域を被覆する第１のスペーサー
   フレーム部形成用レジストパターンとメッシュ状につな
   がる複数の線部よりなり、線部の交わる部分寄りの線部
   領域は線部中央部領域よりも狭幅の外形を有するメッシ
   ュ部形成用レジストパターンとからなる第１のレジスト
   パターンを設け、且つ金属板の他面にフレーム、及びメ
   ジャーリードとなる金属板領域を被覆する第２のスペー
   サーフレーム部形成用レジストパターンよりなる第２の
   レジストパターンを設け、金属板の両面よりエッチング
   を行い、フレーム及びメジャーリードの部分を形成する
   と同時にメッシュ部領域に相当する金属板領域の第２の
   レジストパターン側はハーフエッチングされたフレーム
   の厚さよりも薄い、フレームと一体なメッシュを形成す
   ることを特徴とする螢光表示管用部品の製造方法。