JP2677339B2 - 表示装置用電極板およびその製造方法 - Google Patents
表示装置用電極板およびその製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、カラー液晶やディスプレイや、液晶を用い
た表示・入力装置などに用いられる表示装置用電極板お
よびその製造方法に関する。
た表示・入力装置などに用いられる表示装置用電極板お
よびその製造方法に関する。
＜従来の技術＞ 高密度表示用液晶ディスプレイは、画素や端子部の間
隔が100μｍ付近である必要がある。また、同時に大画
面化しつつある。従って、液晶駆動の観点から透明電極
の低抵抗化と、薄型化という観点から駆動用ICの表面実
装という二つの要求が特に強くなってきている。これら
要求を満足させるため、透明電極の一部に低抵抗化のた
めの補助導体として数十μｍ幅の金属薄膜の細線パター
ンを設け、あるいは液晶パネルの端子部に金属薄膜を形
成し、表面実装用途に対応することは公知の技術であ
る。
隔が100μｍ付近である必要がある。また、同時に大画
面化しつつある。従って、液晶駆動の観点から透明電極
の低抵抗化と、薄型化という観点から駆動用ICの表面実
装という二つの要求が特に強くなってきている。これら
要求を満足させるため、透明電極の一部に低抵抗化のた
めの補助導体として数十μｍ幅の金属薄膜の細線パター
ンを設け、あるいは液晶パネルの端子部に金属薄膜を形
成し、表面実装用途に対応することは公知の技術であ
る。
このようなカラー液晶ディスプレイに用いられるカラ
ーフィルターの上に透明電極を形成せしめた電極板は、
カラーフィルターの下に透明電極を形成したものより液
晶駆動が容易に、しかも正確に行う事ができる。また、
表示品位の点でも、明視度、色相の点において、格段に
優れている。このような電極板において、透明電極をエ
ッチングによりパタンニングするため、カラーフィルタ
ーに耐酸性を付与する目的でカラーフィルターと透明電
極の間に有機樹脂の保護層を設けることは、一般に行わ
れている。
ーフィルターの上に透明電極を形成せしめた電極板は、
カラーフィルターの下に透明電極を形成したものより液
晶駆動が容易に、しかも正確に行う事ができる。また、
表示品位の点でも、明視度、色相の点において、格段に
優れている。このような電極板において、透明電極をエ
ッチングによりパタンニングするため、カラーフィルタ
ーに耐酸性を付与する目的でカラーフィルターと透明電
極の間に有機樹脂の保護層を設けることは、一般に行わ
れている。
＜発明が解決しようとする課題＞ 印刷や染色により形成されたカラーフィルターの上に
有機樹脂の保護層を形成して後、さらにその保護層の上
に透明電極を形成した電極板は、後行程の熱処理で、シ
ワやフクレが発生する。特に染色によるカラーフィルタ
ーでは、この欠点の他、透明電極形成後の熱処理で変色
や退色し易い欠点もあった。これは、アクリル系の樹脂
やゼラチンなどの様に、加水分解を起こしやすい材質を
保護層に用いた場合に特に顕著であった。また、ホリイ
ミドやシリコン系の樹脂では、耐熱性があるものの、き
わめて高価であり保護層材料として採用できない。ま
た、これら耐熱性樹脂をカラーフィルター電極板全面に
コーティングすると、透明電極と基板の間に樹脂層があ
ることとなる。そのため、上からの圧力で透明電極に容
易に傷付き、電極板端部からの電気的接続部分で、断線
が生じてしまう。このような事は、感光性のポリイミド
材料を用いてポリイミドの保護層をパタニングして不必
要な部分を除去すれば、この問題は解決する。しかし、
感光性ポリイミドは高価な為、容易に用いる事が出来な
い。更に、感光性ポリイミドは、現像のための現像液が
溶剤であるため、水に較べて取扱に設備や注意が必要
で、製造ラインに組み込みにくい。
有機樹脂の保護層を形成して後、さらにその保護層の上
に透明電極を形成した電極板は、後行程の熱処理で、シ
ワやフクレが発生する。特に染色によるカラーフィルタ
ーでは、この欠点の他、透明電極形成後の熱処理で変色
や退色し易い欠点もあった。これは、アクリル系の樹脂
やゼラチンなどの様に、加水分解を起こしやすい材質を
保護層に用いた場合に特に顕著であった。また、ホリイ
ミドやシリコン系の樹脂では、耐熱性があるものの、き
わめて高価であり保護層材料として採用できない。ま
た、これら耐熱性樹脂をカラーフィルター電極板全面に
コーティングすると、透明電極と基板の間に樹脂層があ
ることとなる。そのため、上からの圧力で透明電極に容
易に傷付き、電極板端部からの電気的接続部分で、断線
が生じてしまう。このような事は、感光性のポリイミド
材料を用いてポリイミドの保護層をパタニングして不必
要な部分を除去すれば、この問題は解決する。しかし、
感光性ポリイミドは高価な為、容易に用いる事が出来な
い。更に、感光性ポリイミドは、現像のための現像液が
溶剤であるため、水に較べて取扱に設備や注意が必要
で、製造ラインに組み込みにくい。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明は、透明な基板にカラーフィルターと、オーバ
ーコート層と、透明電極とをこの順で積層した表示装置
用電極板、及び、透明な基板にカラーフィルターと、オ
ーバーコート層と、透明電極とをこの順で積層する表示
装置用電極板の製造方法において、オーバーコート層に
アルカリ現像可能で、かつ、光硬化型のフェノールノボ
ラック系エポキシ樹脂を骨格とする感光性樹脂を用い乾
燥後の膜厚にて200Åカラーフィルター50000Åの範囲に
形成することを特徴とする表示装置用電極板の製造方法
である。構造としては、オーバーコート層と透明電極と
の間に無機酸化物層を挿入たものでも、透明電極の上に
一部重畳するように金属薄膜を形成したものでも、構造
に相違はあっても、得られる効果と、その作用において
は、同一視できるものである。このうちオーバーコート
層の膜厚については、200Å以下ではカラーフィルター
の保護効果が低くなるので、200Å以上が良く、また500
00Å以上では短波長の光の吸収が次第にでてくるため50
000Å以下が好しい。ただし、多少の着色が問題になら
ない場合は、50000Å以上の膜厚であっても良い。ま
た、カラーフィルターとオーバーコート層の接着性を改
善する目的で、カップリング剤によって表面処理を行っ
ても良い。加えて、カラーフィルターの平坦化を促すた
め、オーバーコートの下地にゼラチンやカゼインなどペ
プチド樹脂の層、ポリビニルアルコールの層などを挿入
しても良い。
ーコート層と、透明電極とをこの順で積層した表示装置
用電極板、及び、透明な基板にカラーフィルターと、オ
ーバーコート層と、透明電極とをこの順で積層する表示
装置用電極板の製造方法において、オーバーコート層に
アルカリ現像可能で、かつ、光硬化型のフェノールノボ
ラック系エポキシ樹脂を骨格とする感光性樹脂を用い乾
燥後の膜厚にて200Åカラーフィルター50000Åの範囲に
形成することを特徴とする表示装置用電極板の製造方法
である。構造としては、オーバーコート層と透明電極と
の間に無機酸化物層を挿入たものでも、透明電極の上に
一部重畳するように金属薄膜を形成したものでも、構造
に相違はあっても、得られる効果と、その作用において
は、同一視できるものである。このうちオーバーコート
層の膜厚については、200Å以下ではカラーフィルター
の保護効果が低くなるので、200Å以上が良く、また500
00Å以上では短波長の光の吸収が次第にでてくるため50
000Å以下が好しい。ただし、多少の着色が問題になら
ない場合は、50000Å以上の膜厚であっても良い。ま
た、カラーフィルターとオーバーコート層の接着性を改
善する目的で、カップリング剤によって表面処理を行っ
ても良い。加えて、カラーフィルターの平坦化を促すた
め、オーバーコートの下地にゼラチンやカゼインなどペ
プチド樹脂の層、ポリビニルアルコールの層などを挿入
しても良い。
本発明は、感光性樹脂を用いるため、オーバーコート
層をカラーフィルターの上にのみ形成し、電極板周囲端
部を現像処理によって除去できる特長がある。なお、カ
ラーフィルターはフォトリソグラフィの手法で形成した
もの、印刷により形成したものなど方法・材料は限定す
るものでない。
層をカラーフィルターの上にのみ形成し、電極板周囲端
部を現像処理によって除去できる特長がある。なお、カ
ラーフィルターはフォトリソグラフィの手法で形成した
もの、印刷により形成したものなど方法・材料は限定す
るものでない。
本発明を実施例に基き、詳細に説明する。
＜実施例＞ 第１図は、本発明による液晶表示装置用電極板の模式
断面図である。厚さ1mmのフロートガラス（青板）であ
る透明な基板（１）に、公知の技術であるレリーフ染色
法によって緑（Ｇ）、赤（Ｒ）、青（Ｂ）と順次３色の
カラーフィルター（６）を形成した。厚みは約1.8μｍ
である。該カラーフィルター（６）上に、アルカリ現像
可能で、かつ、光硬化型のフェノールノボラック系エポ
キシ樹脂を骨格とする感光性樹脂と無水ジカルボン酸の
反応物（アクリルイル基を付加して感光性をもたしてあ
る）のポリマーを乾燥後の膜厚で約１μｍになるようコ
ーティングした。こうして得られた物に、紫外線で露光
し、未露光部を炭酸ナトリウム１％水溶液で現像、除去
し、カラーフィルターをほぼ全面を覆うよう矩形状にパ
タニング形成し保護層（２）とした。次にイオンプレー
ティングの手法で800ÅのITOとよばれる導電極板（４）
を、蒸着によりクロムを800Å、アルミニウムを1400
Å、ニッケルを800Åとして金属薄膜（５）を積層し
た。
断面図である。厚さ1mmのフロートガラス（青板）であ
る透明な基板（１）に、公知の技術であるレリーフ染色
法によって緑（Ｇ）、赤（Ｒ）、青（Ｂ）と順次３色の
カラーフィルター（６）を形成した。厚みは約1.8μｍ
である。該カラーフィルター（６）上に、アルカリ現像
可能で、かつ、光硬化型のフェノールノボラック系エポ
キシ樹脂を骨格とする感光性樹脂と無水ジカルボン酸の
反応物（アクリルイル基を付加して感光性をもたしてあ
る）のポリマーを乾燥後の膜厚で約１μｍになるようコ
ーティングした。こうして得られた物に、紫外線で露光
し、未露光部を炭酸ナトリウム１％水溶液で現像、除去
し、カラーフィルターをほぼ全面を覆うよう矩形状にパ
タニング形成し保護層（２）とした。次にイオンプレー
ティングの手法で800ÅのITOとよばれる導電極板（４）
を、蒸着によりクロムを800Å、アルミニウムを1400
Å、ニッケルを800Åとして金属薄膜（５）を積層し
た。
公知の湿式のエッチングにより、ニッケル、アルミニ
ウム、クロム、ITOと、順次パタニングを行い、カラー
液晶用の表示装置用電極板とした。
ウム、クロム、ITOと、順次パタニングを行い、カラー
液晶用の表示装置用電極板とした。
以上の実施例に於て、ITO、クロム、アルミニウム、
ニッケルの膜厚を示したが、これに限定するものでな
い。また、金属薄膜は合金層であっても良いし、他の良
導体であってもかまわない。また、金属薄膜を形成せ
ず、透明電極のみ形成しても良い。更に、透明電極の下
地に無機酸化物を形成しても良い。
ニッケルの膜厚を示したが、これに限定するものでな
い。また、金属薄膜は合金層であっても良いし、他の良
導体であってもかまわない。また、金属薄膜を形成せ
ず、透明電極のみ形成しても良い。更に、透明電極の下
地に無機酸化物を形成しても良い。
＜発明の効果＞ 本発明は、耐熱性があり、かつ、フォトリソグラフィ
の手法でパタニングの可能である、アルカリ現像可能
で、かつ、光硬化型のフェノールノボラック系エポキシ
樹脂を骨格とする感光性樹脂を用いて、現像によりガラ
ス基板と透明電極との間のオーバーコート層を周辺部に
おいて除去する。このことにより、透明電極は周辺部に
おいてガラス基板に直接積層され、機械的強度が高く積
層される。ガラス基板の周辺部には、液晶を封入するた
めのシール部が形成され、また透明電極に外部リードが
接続されたり、駆動ICが取付けられたりするが、前記の
ごとく本発明においては透明電極は機械的強度が高く積
層されるので、充分なシール強度、安定した電気的接
続、取付が可能となる。また、フェノールノボラック系
エポキシ樹脂は三次元網目構造である。従って耐熱性が
あり、透明電極形成後の熱処理でシワを発生したり、カ
ラーフィルターに変色などの悪影響を与える事がない。
なお、本発明において、フェノールノボラック系エポキ
シ樹脂はアルカリ現像可能で、かつ、光硬化型であれば
よい。また。電極板の使用条件によっては露光・現像工
程を省くことも、むろん可能である。
の手法でパタニングの可能である、アルカリ現像可能
で、かつ、光硬化型のフェノールノボラック系エポキシ
樹脂を骨格とする感光性樹脂を用いて、現像によりガラ
ス基板と透明電極との間のオーバーコート層を周辺部に
おいて除去する。このことにより、透明電極は周辺部に
おいてガラス基板に直接積層され、機械的強度が高く積
層される。ガラス基板の周辺部には、液晶を封入するた
めのシール部が形成され、また透明電極に外部リードが
接続されたり、駆動ICが取付けられたりするが、前記の
ごとく本発明においては透明電極は機械的強度が高く積
層されるので、充分なシール強度、安定した電気的接
続、取付が可能となる。また、フェノールノボラック系
エポキシ樹脂は三次元網目構造である。従って耐熱性が
あり、透明電極形成後の熱処理でシワを発生したり、カ
ラーフィルターに変色などの悪影響を与える事がない。
なお、本発明において、フェノールノボラック系エポキ
シ樹脂はアルカリ現像可能で、かつ、光硬化型であれば
よい。また。電極板の使用条件によっては露光・現像工
程を省くことも、むろん可能である。
第１図は、本発明による表示装置用電極板の模式断面図
である。 １……透明な基板 ２……保護層 ４……透明電極 ５……金属薄膜層
である。 １……透明な基板 ２……保護層 ４……透明電極 ５……金属薄膜層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−63918（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−243613（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−143725（ＪＰ，Ａ) 実願 昭58−193812号（実開 昭60− 100725号）の願書に添付した明細書及び 図面の内容を撮影したマイクロフィルム （ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】透明な基板にカラーフィルターと、膜厚20
0Å乃至50000Åのオーバーコート層と、透明電極とが順
に積層され、前記オーバーコート層はアルカリ現像可能
で、光硬化型のフェノールノボラック系エポキシ樹脂を
骨格とする材料で形成され、かつ基板の周辺部において
は除去されていて透明電極が基板に直接積層されている
ことを特徴とする表示装置用電極板。 - 【請求項２】透明な基板にカラーフィルターを設け、次
にアルカリ現像可能で、かつ、光硬化型のフェノールノ
ボラック系エポキシ樹脂を骨格とする感光性樹脂を乾燥
後の膜厚において200Å乃至50000Åで一様に塗布し、乾
燥後、カラーフィルタ上を光照射し、前記基板の周辺部
を光照射しない選択的露光のあと、アルカリ液で現像す
ることによって、前記カラーフィルター上にオーバーコ
ート層を形成するとともに、カラーフィルター周辺部に
はオーバーコート層のない領域を形成し、次に透明電極
を形成ことを特徴とする表示装置用電極板の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63018959A JP2677339B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
| EP89101284A EP0326112B1 (en) | 1988-01-29 | 1989-01-25 | Electrode plate for display device and method for preparation thereof |
| KR1019890000920A KR890012183A (ko) | 1988-01-29 | 1989-01-28 | 디스플레이 장치용 전극판과 그 제조방법 |
| US07/303,848 US5045418A (en) | 1988-01-29 | 1989-01-30 | Electrode plate for display device and method for preparation thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63018959A JP2677339B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6296933A Division JPH07168200A (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01193813A JPH01193813A (ja) | 1989-08-03 |
| JP2677339B2 true JP2677339B2 (ja) | 1997-11-17 |
Family
ID=11986184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63018959A Expired - Fee Related JP2677339B2 (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2677339B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60100725U (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | シチズン時計株式会社 | 表示装置 |
| JPS6263918A (ja) * | 1985-09-14 | 1987-03-20 | Canon Inc | 液晶素子 |
| JPS61143725A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-07-01 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−液晶パネル |
| JPS61243613A (ja) * | 1985-04-20 | 1986-10-29 | コニカ株式会社 | 透明導電層の形成方法 |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP63018959A patent/JP2677339B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01193813A (ja) | 1989-08-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |