JPS6224941U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6224941U JPS6224941U JP11645785U JP11645785U JPS6224941U JP S6224941 U JPS6224941 U JP S6224941U JP 11645785 U JP11645785 U JP 11645785U JP 11645785 U JP11645785 U JP 11645785U JP S6224941 U JPS6224941 U JP S6224941U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma generation
- pipe
- activated gas
- microwave
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波
プラズマ処理装置を示す概略構成図である。 １……ガス輸送管、２……プラズマ発生炉、３
……プラズマ発生管、４……整合器、５……方向
性結合器、６……アイソレータ、７……マイクロ
波発振機（マイクロ波発振源）、８……流量計、
９……原料ガスボンベ、１０……処理室、１１…
…真空ポンプ、１２……活性化ガス照射部。
プラズマ処理装置を示す概略構成図である。 １……ガス輸送管、２……プラズマ発生炉、３
……プラズマ発生管、４……整合器、５……方向
性結合器、６……アイソレータ、７……マイクロ
波発振機（マイクロ波発振源）、８……流量計、
９……原料ガスボンベ、１０……処理室、１１…
…真空ポンプ、１２……活性化ガス照射部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波発振源と、このマイクロ波発振源の
出力部に連設されたプラズマ発生炉と、このプラ
ズマ発生炉に貫通装着されているプラズマ発生管
と、このプラズマ発生管に連設されプラズマ発生
管にて発生した活性化ガスを輸送するガス輸送管
と、このガス輸送管に連設され被処理物に上記活
性化ガスを照射する活性化ガス照射部を有する処
理室とを備えたマイクロ波プラズマ処理装置にお
いて、 上記活性化ガス照射部はアルマイト処理を施し
たアルミニウムパイプからなることを特徴とする
マイクロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11645785U JPS6224941U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11645785U JPS6224941U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224941U true JPS6224941U (ja) | 1987-02-16 |
Family
ID=31001063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11645785U Pending JPS6224941U (ja) | 1985-07-31 | 1985-07-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6224941U (ja) |
-
1985
- 1985-07-31 JP JP11645785U patent/JPS6224941U/ja active Pending