JPS6228838U - - Google Patents

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JPS6228838U
JPS6228838U JP11645685U JP11645685U JPS6228838U JP S6228838 U JPS6228838 U JP S6228838U JP 11645685 U JP11645685 U JP 11645685U JP 11645685 U JP11645685 U JP 11645685U JP S6228838 U JPS6228838 U JP S6228838U
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plasma
tube
furnace
microwave
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  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例に係るマイクロ波
プラズマ処理装置を示す概略構成図、第２図は従
来のマイクロ波プラズマ処理装置を示す概略構成
図である。 １，６……コネクタ、２……プラズマ発生管、
３ａ，３ｂ……電波漏洩防止筒、４……プラズマ
発生炉、８……ガス輸送管、９……処理室、１１
……集中排気用ダクト、１３……排風フアン、１
４……排出口。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波発振源と、このマイクロ波発振源の
    出力部に連設されたプラズマ発生炉と、このプラ
    ズマ発生炉に貫通装着されているプラズマ発生管
    と、このプラズマ発生管に連設されプラズマ発生
    管にて発生した活性化ガスを輸送するガス輸送管
    と、このガス輸送管に連設され被処理物に上記活
    性化ガスを照射する処理室と、上記プラズマ発生
    炉に連設された排出口と、上記プラズマ発生管を
    覆うように上記プラズマ発生炉と一体に形成され
    た電波漏洩防止筒とを備えたマイクロ波プラズマ
    処理装置において、 上記排出口に排風フアンを接続し、この排風フ
    アンにて上記プラズマ発生管と上記電波漏洩防止
    筒との間隙より外気を吸引して、上記プラズマ発
    生炉とプラズマ発生管とを冷却することを特徴と
    するマイクロ波プラズマ処理装置。
JP11645685U 1985-07-31 1985-07-31 Expired JPH0425222Y2 (ja)

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JP11645685U JPH0425222Y2 (ja) 1985-07-31 1985-07-31

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JPS6228838U true JPS6228838U (ja) 1987-02-21
JPH0425222Y2 JPH0425222Y2 (ja) 1992-06-16

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ID=31001061

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006516806A (ja) * 2003-01-30 2006-07-06 アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド 螺旋コイル結合形のリモートプラズマ源
JP2014522277A (ja) * 2011-06-03 2014-09-04 コリア・ベーシック・サイエンス・インスティテュート 医療用プラズマ滅菌装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006516806A (ja) * 2003-01-30 2006-07-06 アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド 螺旋コイル結合形のリモートプラズマ源
JP2014522277A (ja) * 2011-06-03 2014-09-04 コリア・ベーシック・サイエンス・インスティテュート 医療用プラズマ滅菌装置
US9855354B2 (en) 2011-06-03 2018-01-02 Korea Basic Science Institute Apparatus for medical sterilization using plasma

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0425222Y2 (ja) 1992-06-16

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