JPS62242922A - 音響光学デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は１弾性表面波による光の偏向現象を用いた音響
光学デバイスに関するものである。

゛〔従来の技術〕 従来の音響光学デバイスは特開昭５７−１３５９２８号
公報に記載のように、複数の導入光のそれぞれの偏向出
力を等しくするため０弾性表面波に対してブラッグ角で
第１導波光を導入し、かつ、上記ブラッグ角の逆方向の
ブラッグ角で第２導波光を導入するようＫなっていた。

しかし１弾性表面波の周波数を変化させ偏向角を変化さ
せる場合、ブラッグ条件を満足しなくなる点については
配慮されていなかった。また特開昭５９−１９２２３２
号公報では前光の出力側における入射光との間隔を大き
くする点については配置されていなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は１弾性表面波周波数を変化させた場合、
ブラッグ条件からはずれてくる点について配慮がされて
おらず、偏向効率が悪くなる間頓があった。また、偏向
角の拡大及び１ｇＡ向光と入射光の出力側での間隔の拡
大の点について配慮されていなかった。

本発明の目的は、偏向効率の改善及び、偏向角の拡大を
図ることにある。また出力側で入射光と偏向された光の
間隔（以後、偏向幅とする）を大きくすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の目的の１つである偏向角の拡大のためには０弾
性表面波励振電極の帯域幅を太き（することにより達成
で鎗る。そのため弾性表面波励振電極には弾性表面波の
伝搬方向に沿って徐々に電極指ピッチが変化し、広帯域
特性を有するチャーブ型電極、または、を接摺の開口方
向に洛って電極指ピッチが変化するスラント型電極を用
いることにした。また弾性表面波の周波数変化による偏
向効率の減少の改善には、入射光に対しすべての弾性表
面波がブラッグ条件を満足するように、各電極指の配列
方向及びその形状をごくわずかずつ変化させることで達
成される。また偏向幅の拡大においては上記広帯域（し
型＃ＩＬ極において高周波弾性表面波励振部を入射光側
に配置し、低周波弾性表面波励振部を出射光側に配置す
ることそして。

高周波弾性表面波と低周波弾性表面波の光導波路方向に
伝搬する波が交差しないようにすることにより、達成さ
れる。

〔作用〕

チャーブ型及びスラント型電極は、広帯域にわたって弾
性表面波を励振することができるため偏向角を拡大する
ことができる。また各電極指の配列方向及びその形状を
ごくわずかずつ変化させることで広帯域にわる弾性表面
波が入射光に対しプ部を光導波路の入射側に配置し低周
波励振部を出力側に配置することは、高周波側では偏向
角が低周波側より大鎗＜、そして、光が偏向される場所
は低周波側より入射側に近い、よって、それぞれ偏向さ
れた光は発散するよう伝搬するので偏向幅を大な（する
ことができる。また高周波と低周波の弾性表面波が光導
波路方向に伝搬する時、交差しないようにすることは、
偏向場所の高周波側と低周波側の距離をより離すことと
なる。よってこれも偏向幅を大きくすることができる。

〔実施例〕

以下０本発明の一実施例を第１図により説明する。Ｙカ
ッ）　ＬｉＮｂ０ａ基板１を用い、Ｌｉを外部へ逆拡散
して光導波路２を形成した基板上に、アルミニウム膜を
蒸着により０．２μｍ形成し、ホトリソグラフィ技術を
用いてくし型電極３を作成した。このくし型電極は、広
帯域特性を有するスラント型電極を用いた。またその構
造は、入射光に対しスラたる弾性表面波がブラッグ条件
を満足するよう各電極指を湾曲させた。そして高周波弾
性表面波で偏向した光と低周波弾性表面波で偏向した光
が交わらないようスラント型電極の高周波励振部を光導
波路の入射側に配置し１弾性表面波が交わる所が光導波
路５と反対側に来るように湾曲の向きを規定したつまた
入射光を導波路に伝搬させたり。

出射光を取り出す手段としてプリズム４を用いた。

くし型電極３より放射される弾性表面波により光導波路
２内を伝搬する光ビーム５はブラッグ回折され偏向光６
が得られる。

本実施例によれば偏向角の拡大、偏向効率の改善及び偏
向幅の拡大の効果がある。

その他の実施例として（し型電極に第２図に示すスラン
ト型電極を用いる方法が考えられる。このスラント型電
極は本発明と同様に広帯域で、その帯域内ＩＣオいてブ
ラッグ条件を満足するよう電極指の配列方向なわずｈ）
ずつ変化させである。そして、光ビームが高周波及び低
周波で偏向される場所の間隔を大きくするためひし形状
の構造とした。このスラント型電極を用いた場合も本発
明と同様の効果が得られる。また本発明では弾性表面波
周波数による遅延分散があるためその補正機能を付加し
た他の実施例を第３図に示す。遅延分散を補正するため
弾性表面波伝搬方向にダミー電極８を配置した。また基
板端面による弾性表面波の乱反射を防止するため弾性表
面波吸収剤７を塗布した。同様に第２図に示したチャー
プ型電極の遅延分散を補正した構造を第４図に示す。

また第５図の本発明の応用例を示す。本発明を用いるこ
とにより集光グレーティングカプラ９に入射する光ビー
ム５０入射角を偏向させることができるため焦点をＡか
らＢへ移動させることが可能となる。このため光ピツク
アップ用にこの装置を用いれば、トラッキング誤差を従
来のサーボ系で補正していた場合に比べ高速かつ高精度
に補正制御が可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、偏向角の拡大及び偏向幅の拡大ができ
る。本発明の実施例では弾性表面波帯域１００ＭＦＩｚ
から４００ＭＦ［ｚにおいて偏向角０．４デから１．８
デの変化を得、出射光の距離間離では最大１４０μｍを
得た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す光偏向器の構造図、第
２図は他の実施例を示すくし型電極構造図、第３図は遅
延分散を補正した本発明のその他の実施例を示す構造図
、＠４図は第２図の遅延分散を補正した電極構造図、第
５図は本発明を集光グレーティングカブラに応用した場
合の構造図である。 ｌ・・・圧電性基板、　　　２・・・光導波路。 ３・・・（し型電極、　　　４・・・プリズム。 第１図 Ｉ 第　３　区 第　４　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板上に、光を導波させる導波層と、導波層を伝搬
   する光に回折を生じさせる弾性表面波を励振するくし型
   電極を有する音響光学デバイスにおいて、前記くし型電
   極が、スラント型で構成され、前記くし型電極の帯域内
   で前記導波層を伝搬する光に対しブラッグ条件を満足す
   るよう湾曲した構造でかつ、くし型電極の高周波励振部
   分が前記導波層に入射される方向に配置されたことを特
   徴とする音響光学デバイス。 ２、前記くし型電極で励振される弾性表面波が交差する
   場所が前記導波層を伝搬する光とくし型電極をはさんで
   反対側にあるよう湾曲させたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の音響光学デバイス。 ３、前記基板上にチャープ型構造のくし型電極を有する
   音響光学デバイスにおいて、くし型電極の各電極指がそ
   の帯域内においてブラッグ条件を満足するよう配列方向
   をわずかずつ変化した構造で、かつその電極交差幅が弾
   性表面波伝搬方向に従ってずれていることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の音響光学デバイス。