JPS60182212A - 弾性波反射動作の電子デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、すだれ電極の重み付は構造を備える弾性波
反射動作の電子デバイスに関する。このデバイスでは重
み付は構造の重み付けるフィンガがその長さ方向におい
て少（とも１回機能的に分割され、各フィンガに対する
移動による重み付けは弾性波の主伝搬方向に行われ、重
み付けられないフィンガの分割によって形成されたフィ
ンガ部分だけがこのフィンガの位置に対して重み付は移
動に対応する長さだけ予め定められた主伝搬方向に平行
に互に逆向きに移動して設けられる。

〔従来の技術〕

欧州特許出願公開第００６６２８１号（特開昭５８−３
３３１１号公報参照Ａ罪第００８９６１７号（特開昭５
８〜１７０２１１号公報参照）および同０１００９９７
号（特開昭５９〜５０６０８号公報参照）には、弾性波
動作の電子デバイスおよび公知のこの種デバイスの改良
が記載されている。これらのデバイスは一つの基板の表
面に近い区域を伝搬する弾性波、即ち一括して弾性表面
波と呼ばれているレイリー波、プリュースタイン波、表
面スキミング・バルク波ｌ５ＳＢ波）、ラヴ彼等に対し
て動作する。

欧州特許出願公開第０１００９９７号公報（特開昭５９
−５０６０８号公報参照）には、予め決められた伝搬関
数を達成するだめのフィンガ重み付は法即ちデバイスの
各反射構造のフィンガと呼ばれている反射要素に対する
重み付は方法が記載されている。このようなフィンガの
弾性波反射に対して能動的な部分の長さを異なったもの
にすることによるフィンガの重み付けは広〈実施されて
いる。この方法はフィンガ長重み付けと呼ばれている。

一つ又はそれ以上の反射構造の反射要素としてのフィン
ガの大多数特にその全部をその長さ方向において少くと
も一回機能的に分割し、それによって形成された反射要
素部分を主伝搬方向にその重み付けに対応して互に移動
させることは既に提案されている。この提案に従えば物
理的に見て主伝搬方向に平行に少くとも二つの帯状区域
が存在し、この区域内の重み付は実施個所において反射
要素部分がこの要素の重み付けされないときの位置に対
して主伝搬方向に移動しているばかりでなく、二つの区
域の一方では反射要素部分が一つの向きに、他方の区域
では別の向きに反射要素の重み付けされない位置に対し
て移動している。

この提案の詳細は以下に第３図乃至第６図について行う
説明中に明らかにされる。

１８０°ふれた方向に弾性波を反射する電子デバイスの
原理的構成を第３図に示す。ここに示されている構造の
反射要素は基体２の上表面３に置かれた金属化テープと
するのが有利である。４と５はよく知られているすだれ
状変換器電極である。

一方の入力変換器において入力信号から基体表面の圧電
物質中に弾性表面波が作られる。他方の変換器では受信
した弾性波から電気信号が再生される。入力電気信号と
出力電気信号との間にはこのデバイスに想定されている
伝搬関数に応じた変更が行われている。

第３図のデバイスでは変換器４は入力、変換器５は出力
と考えられているから、矢印６．７および８で示された
主弾性波伝搬方向となる。矢印６の方向に進む弾性波は
斜めに置かれた帯状の反射要素（フィンガ）１２で構成
される第１反射構造１１に当る。この構造のフィンガ１
２により矢印８の方向に反射された後弾性波は同じ（斜
めに置かれた反射要素（フィンガ）１４で構成される第
２反射構造１３に当る。この構造で反射された弾性波は
伝搬方向６に平行する矢印７の方向に進む。

それぞれの反射構造１１．１３の長さはこの電子デバイ
スに課せられた要求に応じて決定される。

第３図においては反射構造１１が振幅に関して予め与え
られている伝搬関数を達成するように反射要素重み（；
Ｊけを受けている。この場合必要となる分散特性は第１
図のデバイスの場合各反射要素又は反射要素群の間の間
隔を不等にすることによって達成される。この場合の間
隔の不等性は要素の移動による分散を示さないすだれ状
電極の個々のフィンガの位置に対比したものである。第
３図においてはこの種の非分散性の重み付けのない反射
構造は反射構造１３に示されている。ただし第３図のデ
バイスでは構造１３もフィンガの横移動により分散特性
のものとすることができることを指摘しておく。

第３図では重み付けされている反射要素１２は長さ方向
において一回だけ分割され、二つの部分１１２．２１２
となっている。これらの部分は所要の重み付けに対応し
て互に移動しているが、この移動は第１図の場合主伝搬
方向６に平行である。

重み付けの慣行に従ってこの重み付けは該当する反射構
造全体に一種の変調として分布する。部分１１２と２１
２の相互移動がｄ／２のとき零点重み付けとなる。これ
は重ね合せ重み付けにおいての重ね合せ零に対応するも
のである。両反射要素部分１１２，２１２が構造１１の
中央のフィンガ１２のように大きさ゛零１１だけ相互移
動していると、最大伝送即ち完全重ね合せとなる。部分
１１２゜２１２の相互移動の中間値では中程度の干渉と
なり、最大伝送と最小伝送の間の中間重み付けとなる。

ここで注意しなければならないのは反射要素部分の相互
移動としては常に主伝搬方向に平行する成分が決定的で
あることである。第３図の実施例ではフィンガが斜めに
首かれているためこの成分は矢印６の方向への投影とな
る。

第４図乃至第６図に斜め反射構造の一つの反射要素に対
して重み付は相互移動の様態を示す。第４図は第３図と
同じ矢印６の方向に平行な移動であり、第５図は矢印８
の方向に平行な移動、第６図は矢印６の方向に平行な移
動と矢印８の方向に平行な移動の組合せである。第４図
の移動は弾性波の進行に見て部分１１２と２１２の間に
間隔がないので、考えられる妨害を最小にするのに最も
適したものである。第４図乃至第６図は第３図に対して
拡大された図面であることを注意しておく。

他方の反射構造１３ｔｌ−反射構造１２の代りに重み付
は構造とすることも可能である。更に必要な重み付けを
両方の反射構造１１と１３に分配することも可能である
。これによって必要な移動量を適当に分割して小さくす
ることができる。

反射要素はその長さを二つ以上の部分に分割することも
可能である。反射要素の長さの多重分割により反射構造
の精密化が達成される。

フィンガ１２の部分１１２と２１２は、第４図乃至第６
図に破線で示したように一つの部分３１２■によって互
に結合することができる。結合部分３１２”によって得
られる効果は、特に結合係数に２が小さい基体材料に対
しては一般に無視できる程度のものである。部分１１２
と２１２の対向端の間隔即ち結合部分３１２薫の長さは
、いずれにしても反射要素１２又はその部分１１２，２
１２の長さよりも一桁以上小さい。金属化条帯を使用す
る場合には結合係数が大きくなるからこの結合部分を流
れる電流を考慮に入れなければならない。

〔発明が解決すべき問題点〕

この発明の目的は、反射要素の部分が互に移動している
電子デバイス、特に欧州特許出願公開第０１００９９７
号（特開昭５９−５０６０８号）の電子デバイスに対し
て位置合せの不精確さに基〈欠点又は妨害的な温度の影
響を打消す方策を提供することである。

〔問題点の解決手段〕

この目的は特許請求の範囲第１項に特徴として挙げた構
成とすることによって達成される。この発明の種々の実
施態様とその展開は特許請求の範囲第２項以下に示され
ている。

第３図に矢印６，７．８で示した電子デバイス内部に励
起された弾性波の伝搬方向は、弾性波を発生する入力変
換器の位置と配向性だけでなく基体の異方性特性やその
温度変化にも関係する。例えば基体２がニオブ酸リチウ
ムであると一つの純粋モード軸が存在し、特に入力変換
器従って弾性波の主伝搬方向がこの軸に対して調整され
る。ある程度捷で避けることができない調整誤差に基き
、実際の伝搬方向６′（第１図参照〕は入力変換器４の
指向方向６に対していくらか傾いている。しかし精確な
調整が行われているとの想定の下に変換器４と反射構造
１１ならびにその他の構造は所望の伝搬方向６が精確に
設定されているとして互に関連して設けられている。

矢印６，７で示される主伝搬方向においての弾性波伝搬
速度ｖｘは基体２の異方性に基き矢印８で示された方向
の音速度Ｖ、と等しくはない。一方反射要素１２Ｔ又は
１４）での反射角はこれらの速度の比ｖ／ｖ　に関係す
る。そのｆ　ｖ　ｘと■。

ｙ は温度特性が異るから実際の反射角は温度の関数となる
。その結果として実際の伝搬方向６が予め決められてい
る方向から（調整精度に関係して）外れていないとして
も、温度が変化すると出力変換器５内を進む弾性波の予
定された伝搬方向７はもはや精確には保持されない。

〔実施例〕

この発明の実施例を示す第１図、第２図についてこの発
明を更に詳細に説明する。

第１図において第３図と対応する部分は同じ番号がつけ
である。ａは励起された弾性波の能動幅に等しい反射構
造の幅寸法を示すものであるが、ここでは回折効果はそ
れによる幅の拡がりが小さいので無視されている。寸法
ａは例えば変換器４の組み合わされたフィンガの重り合
った長さに対応する。例えば空間波に対するシェル振動
変換器のような別形式の変換器が使用される場合その能
動幅が幅寸法ａを決める。精確な伝搬方向６の場合反射
構造１１１の幅は従来辿りこの寸法ａより余り大きくす
る必要はない。

第１図に示したこの発明の実施形態は、１肥の欠点の多
くが除かれ又は打消される構成となっている。

ここでは例えば変換器のフィンガの方向が基体の結晶方
向に対してずれている等の位置調整誤差に基き、幅ａの
表面弾性波が入力変換器４から出て規定された方向６に
進まず、方向６又は反射構造１１１の軸から分程度の偏
角を持つ方向６′に進むものとする。方向６′に進む弾
性波は従って反射構造１１１に対して斜めに進むことに
なる。この場合第３図の装着では斜めに進む弾性波のｔ
縁端区域にある弾性波部分は、反射構造１１（第３図）
のフィンガに当らないかあるいはアンバランスを生ずる
。このアンバランスは幅ａを拡げただけの第３図の構造
１１を使用する場合にも生ずる。この発明による装置で
は第１図から分るようにこのようなアンバランスが生じ
ないように配慮されている。変換器４から出てｔ縁端１
６’に隣接して進む弾性波部分は補助フィンガ部分４１
２に当る。

この部分に当った弾性波エネルギ一部分は、方向６′に
進んでフィンガ部分２１２に当る弾性波部分のエネルギ
ー分だけ減少した弾性波エネルギー分に等しい。この理
由に基いて低下した第１図の装置のフィンガ部分２１２
の有効性はフィンガ部分４１２の作用によって補償され
る。これに基いて重み付けのない場合のフィンガ中央位
置１２に対して行われるフィンガ部分４１２の移動の大
きさと方向はフィンガ部分２１２のそれらと精確に一致
する。従ってフィンガ部分４１２はフィンガ部分１１２
によって分断されたフィンガ部分２１２のと縁端１６（
第３図の反射構造１１の玉縁端）を越えた延長部となる
。同様にしてフィンガ部分３１２はフィンガ部分１１２
の延長部となる。しかしこのフィンガ部分３１２はここ
に示されているように上方に外れた方向６′に対しては
無作用であり、変換器４から出た弾性波が規定方向６か
ら下方に外れて進む場合に作用する。

これらの延長部４１２，３１２は、少くとも反射構造１
１１の右端に買かれているフィンガ部分４１２がなお幅
ａをもって反射構造１１１内を進む弾性波の全体を捕捉
する長さとする。従ってフィンガ部分４１２は反射構造
１１１の右端においても正規方向から外れた方向６′に
進む弾性波の上縁端１６’にまで達している。フィンガ
部分３１２の寸法も同じように選ばれる。第２図につい
て更に詳細に説明するようにフィンガ部分４１２又は３
１２はそれぞれフィンガ部分２１２又は１１２より長く
はしない。

規定角度の反射に際しても方向６′からの弾性波予定方
向８から外れた方向８′に進んで第２反射構造１１３に
進入する。しカルこの発明により反射構造１１３の外縁
端に首かれる補助フィンガ部分３１４．４１４によって
この反射構造１１３においてもフィンガ部品１１４と２
１４の互に反対向きの移動によるフィンガ重み付けに対
して方向８から外れた方向８′から弾性波が到着した際
にも平衡が確保されるように配慮されている。このこと
は構造１１１においての反射がフィンガ１２又はフィン
ガ部分ならびにこの発明によって付加されるフィンガ部
分３１２又は４１２において９００とは異った角度に起
る場合でも成立する。

第１図に示すように弾性波は回折効果を無視すれば規定
方向７から外れた方向７′から出方変換器に到達する。

この変換器は幅すの受信特性を持つが、この幅すは一般
に入力変換器の幅ａに等しくすることができる。従って
変換器５は方向７′から入射する弾性波をも受取る。こ
れは反射構造１１３のフィンガ１４（又は重み付はフィ
ンガを構成するフィンガ部分１１４．２１４．３１４お
よび４１４）が総て同じ長さであるか、あるいは反射構
造１１３全体の幅Ｃが大きく、第１図に示されている縁
端１７’、１７“の幅すの条帯が最も大きく外れた方向
７′から入射する際にも反射構造１１３の幅Ｃ内に収ま
ることによるものである。幅すの変換器５に受取られた
波は反射構造１１１内でその重み付けに基き影響を受け
るが、この影響はこの発明による反射構造１１１の構成
により方向６から方向６′寸での最大の方向外れに無関
係である。

更にこの変換器５が受取った波は、反射構造１１３が重
み付けられているときその重み付は即ちフィンガ部分１
１４．２１４．３１４および４１４の追加に基〈影響を
受ける。反射構造１１３の重み付けによる影響は規定方
向７から最大偏差方向７′捷での間で方向偏差に無関係
である。これもこの発明による反射構造１１３の構成に
よるものである。

一方の側では方向６，８および７、他方の側では方向６
’　、８’および７′の間（あるいは一方の側では方向
６，８および７、他方の側では方向６゜８′および７′
）を進む波はこの発明による反射構造１１１と１１３の
一方又は双方において常に同一の重み付けに基〈影響を
受ける。

フィンガ部分４１４はフィンガ部分２１４の延長部分で
あり、フィンガ部分３１４はフィンガ部分１１４の延長
であり、その機能に関しては移動による重み付けを受け
たフィンガである。

第１図の実施形態では、反射構造１１１が入力変換器４
のフィンガに対して傾斜して置かれる反射フィンガ１２
を備える。このフィンガは重み付けられるとフィンガ部
分１１２，２１２，３１２および４１２に分割されるも
ので、その傾斜角は方向６と８の間の角度によって決め
られる。この傾斜角の選定に際しては基体材料の異方性
を考慮する必要があることも更めで指摘しておく。

反射フィンガ１２を第１図と異り変換器４のフィンガに
平行にしておくと、第２図に示す逆反射形の実施形態と
なる。この形態はイン・ラインＲＡＣと呼ばれている。

第１図に５として示されている入力変換器はイラン・ラ
イン’ＲＡＣの場合同時に出力変換器として使用するこ
とができる。一般にこのイン・ラインＲＡ　Ｃ装置はこ
の入力・出力変換器４′の両側、即ちこの変換器の二つ
の弾性波放出方向に対して前記の１８０°反射構造が設
けられる。イン・ラインＲＡＣ装置に対しても反射フィ
ンガが変換器フィンガに平行に置かれることを別にして
、反射フィンガがフィンガ部分１１２゜２１２およびそ
の延長部３１２，４１２に分割されることに関しては第
１図の構造１１１又は１１３と同様な反射構造を使用す
ることができる。従ってこの反射構造は反射構造１１１
と同じフィンガ重み付は構造を備え、同じ弾性波伝送特
性を示す。

第２図にはイン・ラインＲＡＣの入力・出力変換器４′
とその右側に設けられた反射構造２１１の一部が示され
ている。変換器４′の左（１１！＋にも例えば反射構造
２１１と同形の反射構造を設けることができることは２
１１′として暗示されている。イン・ラインＲＡＣに関
する前記の説明は第２図の実施形態にも適用されるもの
であるが、この発明のその他の詳細を第２図について説
明する。

第２図に示すようにフィンガ部分１１２と２１２ならび
に１１２′と２１２′に分割されそれらが互に逆向きに
移動して重み付けされている反射フィンガが弾性波伝搬
路内に置かれ、両境界１６の間にはさまれた伝搬路内に
二つのフィンガ部分１１２と１１２′および二つのフィ
ンガ部分２１２と２１２′があるように配置される。こ
れらのフィンガ部分の相互移動は第１図に示した伝搬路
内に一回だけ分割された反射フィンガが置かれている実
施形態における重み付けに精確に対応するものである。

第２図に示す伝搬帯（１６−１６）内の三回分割方式に
よれば、変換器４′から送り出された弾性波の伝搬路幅
内で強度分布が不均等であるとき反射構造内部では重み
付けの不均衡が少ないフィンガに当る。この情況は変換
器４′から送り出された弾性波が精確に方向６に沿って
伝搬帯（１６−１６）内を進む場合にも同じである。

両縁端１６の間の伝搬帯内部においてフィンガの分割は
、第２図に示すようにそれぞれ二つの部分１１２，１１
２’および２１２，２１２’とする代りに更に多数例え
ば６個、８個、１０個等の部分に分割することも可能で
ある。この分割により常に横方向即ち方向６に垂直な方
向にフィンガ部分が配列することになる。この配列は縁
端Ｉ６の間で周期性を示すようにすることができる。

この発明による反射フィンガの境界１６を越え口面に示
したように少くとも縁端１６’、１６／／／まで続ける
。上方の縁端１６を越えるフィンガ延長部分４１２′の
長さと移動幅は、下方の縁端に接するフィンガ部分２１
２′のそれらと等しくする。更に上に続く延長部分３１
２′の長さと移動幅はフィンガ部分１１２′のそれらと
等しくする。両縁端１６内にあるフィンガ部分列２１２
’　、１１２’、２１２，１１２に対する上方縁端１６
上の延長部に類似の延長部１１２．２１２．１１２’、
２１２’に対してフィンガ部分列３１２，４１２が続き
、場合により更に３１２“。

４１２“が続く。

第２図には変換器４′から幅ａをもって送り出された弾
性波が所期方向とは異る方向６′に反射構造２１１内を
進む場合が示されている。図に見るように変換器４′か
ら６′の方向に進む波はまず上方の縁端１６の上にある
フィンガ部分４１２／を次第に増大する長さに亘って捕
えるが、この捕捉長の変化は下方の縁端１６においてフ
ィンガ部分２１２’が縁端１６“で示されるように波か
ら解放される長さの変化に精確に対応する。これに対応
する太きな方向偏差の場合特に反射構造２１１の外方端
区域では、６′の方向に進む波はこの発明により上方縁
端１６の上方に設けられるフィンガ部分３１２′にも当
る。この場合」三方の縁端１６の−Ｌ方におかれたフィ
ンガ部分４１２′はその全部が捕捉され、それに対応し
て下方の縁端１６に接するフィンガ部分１１２’は全熱
捕捉されなくなる。更に進んで終端に達するとフィンガ
部分１１２′の下半弁才で１６を境界とする伝搬帯から
外される。これは縁端１６の」三方にあるフィンガ部分
３１２′が次第に弾性波によって捕捉される情況に対応
している。

例えば上方の縁端のトに設けられたそれぞれ二つのフィ
ンガ部分４１２′と３１２′から成るフィンガがなお１
６′と１６”を縁端とする伝搬帯を捕捉するのに足りな
い場合には（第２図の右端にある最後の二つのフィンガ
がこれに該当する）、捷ずフィンガ部分４１２“が追加
され、続いて３１２〃が設けられる。これらはフィンガ
部分列２１２，１１２の繰り返しである。従ってここで
はフィンガ部分列２１２’、１１２’、２１２，１１２
　が一つの周期として繰り返される。フィンガ部分４１
２′と３１２だけあるいは４１２′と３１２′又は３１
２と４１２だけが追加されるときは、フ・ｆンガ部分列
３１２，４１２，３１２’。

４１２′が主伝搬帯ｆ１６−１６１内で交互に移動して
繰り返される。

玉記の説明により望捷れない方向６′に進む波に対して
も重み付けの平衡がこの発明によって維持されることが
理解される。

前に述べたように反射構造２１１に向って進み変換器４
′から送り出された波は、重み付けされない反射フィン
ガ１２とフィンガ部分から構成され重み付けされた反射
フィンガで反射されて変換器４′に戻る。この波の波面
も斜め方向６′のものであるにも拘わらず高次の乱れを
無視すれば変換器４′のフィンガの方向に平行であり、
イン・ラインＲＡＣの場合反射構造２１１の反射フィン
ガの方向にも平行である。

これ捷での説明では上に向っての偏向＋６．６’；７．
７′又は１６　、１６’　、　１６”　）が詳細に検討
される。

第２図の１６″は下に向っての可能な最大偏向６“。

７“の縁端である。この発明においては両側の最外縁端
１６′と１６″　を考慮しなければならない。第１図の
１７″は反射構造１１３において１６″に対応する最外
縁端である。

フィンガ部分３１２“と４１２“に対応するフィンガ部
分１１２′と２１２′の延長部、叩ちフィンガ部分４１
２を越える延長部はフィンガ部分３１２″′と４１２／
／／である。

実施例に使用されているフィンガ状の反射要素１２．１
３，１１２，２１２およびそれらの部分１１２゜２１２
．３１２等は基体表面に設けられた金属化条帯とするの
が有利である。金属化条帯に対しては通常圧電物質の基
体が使用される。反射要素としては穴又は溝形のものを
使用することができる。反射要素にはドツト状のものも
使用される。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図はこの発明の２種類の実施例を示し、第
３図はこの発明の基礎となる先願の実施形態を示し、第
４図、第５図、第６図は第３図に示した反射要素の重み
付けのだめの分割移動の３種類の方式を示す。第１図、
第２図において４゜４′：入力変換器、５°出力変換器
、１１１と１１３：反射構造、１２と１４：反射フィン
ガ、１１２と２１２．１１２’、２１２’　；１１４，
２１４；３１２，４１２乃至３１２“’、４１２”、３
１４．４１４　：フインガ部分、６゜７：主伝搬路、１
６　、１７　：伝搬帯。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）重み付けされた構造の重みを付けるフィンガが重み
   付けされないフィンガに対比してその長さ方向で少くと
   も一回機能的に分割され、各フィンガに対する移動重み
   付けが予め定められた主伝搬方向に行われ、重み付けら
   れないフィンガの分割によって形成されたフィンガ部分
   だけが重み付けられないフィンガ位置に対して重み付は
   移動に対応して互い反対向きに主伝搬方向に平行にフィ
   ンガの重み付けに対応する長さだけ移動して設けられて
   いる弾性波反射動作の電子デバイスにおいて、ａ）重み
   付けられたフィンガの各フィンガ部分＋１１２，２１２
   ，１１２’、２１２’　；１１４，２１４）に所属しこ
   のフィンガの延長部となっている補助フィンガ部分（３
   １２，４１２乃至３１２“Ｉ４１２”、３１４，４１４
   ）が設けられていること、 ｂ）この補助フィンガ部分が入力変換器（４゜４′）と
   出力変換器（５）の開きｆａ；ｂ）によって理想的な場
   合の主伝搬路（６，７）に定められている伝搬帯（１６
   −１６；１７−１７）の外側に設けられていること、 Ｃ）主伝搬路（６，７）としての伝搬帯（１６−１６，
   １７−１７）の内部にフィンガ部分列（１１２，２１２
   ，１１２’　、２１２’　；３１４　。 ４１４〕として存在する重み付けられたフィンガの分割
   部分（１１２−２１２’　；１１４−２１４）がそれぞ
   れの伝搬合縁端＋１６；１７）から始まって両側に周期
   的に繰り返されるフィンガ部分列として続いていること
   、 ｄ）　この縦続部が少くとも変換器の開き（ａｔｂ）と
   実際の弾性波伝搬方向に予期される最大方向偏差＋６’
   、６“；７′、７″）によって与えられる伝搬合縁端（
   １６’、１６”’；１７’　。 ｌ７“′）に才で達していること、 ｅ）存在する重み付けされないフィンガ（１２：１４）
   が少くともこの伝搬方向偏差によって与えられる縁端（
   １６’、１６“／；１７／、Ｌ７Ｌ／Ｌ　）まで延長し
   ていること を特徴とする弾性波反射動作の電子デバイス。 ２）補助フィンガ部分＋　３１２，４１２；３１２’　
   。 ４１２’　；３１４．４１４）だけが上方と下方の縁端
   ｆ１６．１７）の外側に設けられ、補助フィンガ部分の
   重み付は移動は主路内にあってその向い合った縁端ｆ１
   ６；１７）に境を接するフィンガ部分Ｉ　１１２，２１
   ２；１１４．２１４）の重み付は移動に等しいことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子デバイス。 ３）フィンガ部分が反射構造の反射要素の部分であるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
   電子デバイス。