JPS62240844A - 球体表面検査装置 - Google Patents
球体表面検査装置Info
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- JPS62240844A JPS62240844A JP8469886A JP8469886A JPS62240844A JP S62240844 A JPS62240844 A JP S62240844A JP 8469886 A JP8469886 A JP 8469886A JP 8469886 A JP8469886 A JP 8469886A JP S62240844 A JPS62240844 A JP S62240844A
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- inspected
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/951—Balls
Landscapes
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は軸受用鋼球など球体被検物の表面の疵のを無を
判定する検査装置に関するものである。
判定する検査装置に関するものである。
（従来の技術）
球体表面検査装置は多数考察されているが、一般的な原
理は以下の通りである。
理は以下の通りである。
光をビーム状に集光し、球体表面の１点に照射し、その
表面で反射させる。そしてその反射光を光電変換素子で
受光し、その電圧値よりＭＥを検出する。このとき球体
には球体全体をもれなく検査するため自転と公転を与え
る。
表面で反射させる。そしてその反射光を光電変換素子で
受光し、その電圧値よりＭＥを検出する。このとき球体
には球体全体をもれなく検査するため自転と公転を与え
る。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の技術はビーム状の光のスポットで球体表面を走査
するので、 （１）照射される光と、球体と、光電変換素子との位置
関係に精密な精度が要求され、見逃し部分が発生するお
それがある。
するので、 （１）照射される光と、球体と、光電変換素子との位置
関係に精密な精度が要求され、見逃し部分が発生するお
それがある。
（２）球体全面を走査するため検査装置で強制的に数十
回転させる必要があり、その過程で表面に疵をつけやす
い。
回転させる必要があり、その過程で表面に疵をつけやす
い。
（３）精密な検査をするために走査のピッチを細くする
ことが要求されるが容易でない、つまり任意の検査精度
を得ることができない。
ことが要求されるが容易でない、つまり任意の検査精度
を得ることができない。
（４）前記（１）の位置関係のズレ補償の調整が極めて
困難である。
困難である。
等の問題点を有する。
（問題点を解決するための手段）
以上の問題点を解決するため、本発明は球表面をある幅
をもった円環として検査し、球体を二軸方向以上に回転
することにより、表面全体を検査するものである。
をもった円環として検査し、球体を二軸方向以上に回転
することにより、表面全体を検査するものである。
球表面の検査しようとする円環を同じ明るさにするため
被検物と同心位置に環状照明手段を固定する。円環部か
らの反射光を光電素子に集束するための集光手段を設け
、円環状の集光された光を電気信号に変換するため、サ
ーキュラ−タイプのイメージセンサを、環状照明と同心
位置で、かつ、反射光が集光される位置に設ける。そし
て被検物を二方向以上に回転させるため回転制御手段を
設け、その回転により球体全面の反射波を得、検査する
。
被検物と同心位置に環状照明手段を固定する。円環部か
らの反射光を光電素子に集束するための集光手段を設け
、円環状の集光された光を電気信号に変換するため、サ
ーキュラ−タイプのイメージセンサを、環状照明と同心
位置で、かつ、反射光が集光される位置に設ける。そし
て被検物を二方向以上に回転させるため回転制御手段を
設け、その回転により球体全面の反射波を得、検査する
。
（作用）
以下第１図に従って作用を説明する。なお、これは光線
の反射、レンズでの集光等を示す概念図である。図にお
いて、球１、レンズ２、イメージセンサ３の中心が同一
線上にあるとする。光源たる環状照明４からの光５は被
検物たる球１に照射され、球ｌの表面で反射されレンズ
２に至るが、集光手段たる凸レンズ２の屈折作用により
一定幅、の光がレンズ後方の同一点で結像する。
の反射、レンズでの集光等を示す概念図である。図にお
いて、球１、レンズ２、イメージセンサ３の中心が同一
線上にあるとする。光源たる環状照明４からの光５は被
検物たる球１に照射され、球ｌの表面で反射されレンズ
２に至るが、集光手段たる凸レンズ２の屈折作用により
一定幅、の光がレンズ後方の同一点で結像する。
結像位置での像はレンズ２と球１の位置関係から決定さ
れる環状となり、この像が球表面の同心円環状の被検部
６の像である。つまり光電素子を環状に配置したイメー
ジセンサ（サーキュラ−タイプ）３の半径が決まればイ
メージセンサ３とレンズ２と球ｌと環状照明の位置関係
により球表面の円環状被検部６の明暗信号が得られるこ
とになる。
れる環状となり、この像が球表面の同心円環状の被検部
６の像である。つまり光電素子を環状に配置したイメー
ジセンサ（サーキュラ−タイプ）３の半径が決まればイ
メージセンサ３とレンズ２と球ｌと環状照明の位置関係
により球表面の円環状被検部６の明暗信号が得られるこ
とになる。
そこで、被検物を二輪方向以上回転させると球表面の前
記円環状被検部６は球表面を走査することになる。今、
第１図に示す被検角度θ（球の中心から円環状被検部６
をのぞむ角度）が９０度以上であると、球を水平方向に
１回、垂直方向に１回回転させると球面全体を検査する
ことができる。
記円環状被検部６は球表面を走査することになる。今、
第１図に示す被検角度θ（球の中心から円環状被検部６
をのぞむ角度）が９０度以上であると、球を水平方向に
１回、垂直方向に１回回転させると球面全体を検査する
ことができる。
（実施例）
第２図は球、レンズ、環状照明、イメージセンサ（サー
キュラ−タイプ）のそれぞれの中心を垂直面上に配置し
た例である。環状照明１０からの光は被検物１１の表面
で反射され、レンズ１２で集光され、イメージセンサ（
サーキュラ−タイプ）１３で像を結ぶ。検査工程として
はローダ１４が被検物を持ら上げ、Ｘ軸中心に一回転さ
せる。その後、Ｙ軸回転シャフト１６が球を保持しＹ軸
中心に一回転され検査を終わる。
キュラ−タイプ）のそれぞれの中心を垂直面上に配置し
た例である。環状照明１０からの光は被検物１１の表面
で反射され、レンズ１２で集光され、イメージセンサ（
サーキュラ−タイプ）１３で像を結ぶ。検査工程として
はローダ１４が被検物を持ら上げ、Ｘ軸中心に一回転さ
せる。その後、Ｙ軸回転シャフト１６が球を保持しＹ軸
中心に一回転され検査を終わる。
（発明の効果）
本発明は、球体被検物と同心位置の環状照明手段と、環
状照明手段と同心位置で環状に配置された光電変換手段
と、被検物からの反射光を光電変換手段に照射させる集
光手段と、球体被検物を二軸方向以上に回転させる回転
制御手段とからなるので、検査装置の位置精度を上げな
くても、（１） 球の全表面をくまなく確実に走査で
きる。
状照明手段と同心位置で環状に配置された光電変換手段
と、被検物からの反射光を光電変換手段に照射させる集
光手段と、球体被検物を二軸方向以上に回転させる回転
制御手段とからなるので、検査装置の位置精度を上げな
くても、（１） 球の全表面をくまなく確実に走査で
きる。
しかも、球と他の装置の中心位置がずれたとき、イメー
ジセンサに結像される円環の位置はずれるが、それが球
表面をはずれない限り２回乃至数回の走査により全表面
を走査できることになり、位置関係のズレ？ｉｌｉ償が
容易になる。
ジセンサに結像される円環の位置はずれるが、それが球
表面をはずれない限り２回乃至数回の走査により全表面
を走査できることになり、位置関係のズレ？ｉｌｉ償が
容易になる。
（２） さらに被検物の回転数を減らずことができ、
検査時間を短縮できると共に、検査過程で被検物に疵を
つける可能性も少ない。
検査時間を短縮できると共に、検査過程で被検物に疵を
つける可能性も少ない。
（３） また、精密な検査をするには被検物の回転を
ゆっくりしさえずれば良い。
ゆっくりしさえずれば良い。
第１図は概念図、第２図は実施例を示す斜視図である。
１・・・球 ２・・・レンズ３・・・イ
メージセンサ ４・・・光源たる環状照明５・・・光
６・・・被検物１０・・・環状照明
１１・・・被検物１２・・・レンズ １３・・・イメージセンサ（サーキュラ−タイプ）１４
・・・ローダ １５・・・Ｘ軸回転シャフト１
６・・・Ｙ軸回転シャフト 第１ＶＡ ム 第２図
メージセンサ ４・・・光源たる環状照明５・・・光
６・・・被検物１０・・・環状照明
１１・・・被検物１２・・・レンズ １３・・・イメージセンサ（サーキュラ−タイプ）１４
・・・ローダ １５・・・Ｘ軸回転シャフト１
６・・・Ｙ軸回転シャフト 第１ＶＡ ム 第２図
Claims (1)
- 球体被検物と同心位置の環状照明手段と、環状照明手段
と同心位置で環状に配置された光電変換手段と、被検物
からの反射光を光電変換手段に照射させる集光手段と、
球体被検物を二軸方向以上に回転させる回転制御手段と
からなる球体表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8469886A JPS62240844A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 球体表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8469886A JPS62240844A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 球体表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62240844A true JPS62240844A (ja) | 1987-10-21 |
Family
ID=13837883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8469886A Pending JPS62240844A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 球体表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62240844A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02208504A (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-20 | Omron Tateisi Electron Co | 球体検査装置 |
| JPH0460407A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-26 | Kyodo Giken:Kk | 球体物の真円度測定装置 |
| JP2009128230A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 球状体の直径不同の評価方法、選別方法および選別装置 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP8469886A patent/JPS62240844A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02208504A (ja) * | 1989-02-09 | 1990-08-20 | Omron Tateisi Electron Co | 球体検査装置 |
| JPH0460407A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-26 | Kyodo Giken:Kk | 球体物の真円度測定装置 |
| JP2009128230A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 球状体の直径不同の評価方法、選別方法および選別装置 |
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