JPS62235742A - 半導体装置の組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体装置の組立装置に関する。

［従来の技術］ 半導体装置の組立は、一般に次の工程を順次経て製造さ
れる。即ち、粘着テープに貼付けられ。

かつ個々のペレットに分割されたウェハの前記各ペレッ
トの外観上の良、不良を検出するマツビング工程と、リ
ードフレームのベレット付は部にペーストを滴下するペ
ースト滴下工程と、前記良品のペレットのみを１個づつ
リードフレームにポンディングするペレットボンディン
グ工程と、リードフレームとペレット間に介在する前記
ペーストを乾燥してペレットをリードフレームに固定さ
せるキュア工程と、ペレットのパッドとリードフレーム
のリードポストとにワイヤを接続するワイヤボンディン
グ工程と、最後にペレットとリードフレームの一部を樹
脂モールドするモールド工程を経て製造される。

ところで、前記各工程を行う異種の組立装置を一列に配
設して一貫処理させる場合、前後の異種組立装置の処理
能力に応じ、同一機種を並列に接続して前後の異種組立
装置間のバランスを図る必要がある。例えば、ペレット
ボンディングを行うペレットボンディング装置とワイヤ
ボンディングを行うワイヤボンディング装置の構成の場
合、ペレットボンディング装置はワイヤボンディング装
置に対して処理能力が高いので、１台のペレットボンデ
ィング装置に対して複数台のワイヤボンディング装置を
並設させる必要がある。

そこで、かかる−貫組立装置の機能を最大限に発揮させ
るには、異種組立装置間におけるリードフレームの移送
及び同一組立装置へのリードフレームの分配の機構並び
に前後の異種組立装置間のバランスがくずれた場合にお
ける対処に左右される。

従来、−貫組立装置として、例えば特開昭５５−８６１
２４号公報、特開昭５５−８８３３９号公報及び特開昭
５５−８８３４１号公報に示すようにリードフレームの
送りを爪送り機構によって行うものと、例えば特開昭５
８−２０６１３２号公報に示すようにコンベアによって
行うものとが知られている。

前者の爪送り機構は、構造が複雑となり、高価になる。

また送り爪の水平方向の往復動作と上下動作によって１
ピツチづつ送るので、目的とする組立装置への迅速な供
給が行えなく、生産性に問題がある。また同一機種への
リードフレームの分配は困難である。

この点、後者のコンベア機構は、各組立装置の前方に一
列にメインコンベアを配設し、このメインコンベアに交
差して各組立装置にリードフレームを供給、排出するサ
ブコンベアを配設してなるので、リードフレームの移送
及び同一組立装置への分配は容易であり、前者の問題点
は解消される。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前記コンベアによる移送機構は、サブコンベ
アを単にメインコンベアの側方に配設したのみであるの
で、メインコンベアよりサブコンベアに、またサブコン
ベアよりメインコンベアにリードフレームを受は渡すた
めの供給装置１例えば真空吸着して移送させる供給装置
を必要とする。

このように特別の供給装置を必要とするので。

必然的に装置が高価になると共に、迅速なリードフレー
ムの受は渡しが行えない。

また前記コンベアによる移送機構を用いた特開昭５８−
２０６１３２号公報には、例えば１台のベレットボンデ
ィング装置と複数台のワイヤボンディング装置の処理能
力のバランスが組立装置の故障、作業調整等でくずれた
場合については何ら考慮が払われていない、このような
問題点に対処するには、ベレットボンディング装置とワ
イヤボンディング装置を結ぶメインコンベア間に、例え
ば特開昭５５−８８３３９号公報に示すバッファ装置を
設ける。

しかし、前記バッファ装置は、フレーム水平送りピンの
水平方向の往復動作及上下回動によって収納及送出する
のｆ、収納及送出動作の１サイクルに多大の時間がかか
り、迅速な動作が行えない、またバッファ装置にリード
フレームが空の時は、後工程の組立装置が停止しても前
工程の組立装置から送出されたリードフレームを収納す
ることはできるが、リードフレームが既に収納されてい
る状態で、後工程の組立装置が故障した時は、前工程の
組立装置より送出されたリードフレームは収納できない
。また逆に、リードフレームが収納されている時は、前
工程の組立装置が停止してもリードフレームを次工程の
組立装置に供給できるが、リードフレームが空の時は次
工程の組立装置に供給できない。

本発明の目的は、異種の組立装置を組合せた場合におけ
る機能を最大限に発揮させることができる半導体装置の
組立装置を提供することにある。

Ｅ問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、少なくともペレットボンディ
ング装置とワイヤボンディング装置との間にバッファ装
置を配設し、このバッファ装置より前記ワイヤボンディ
ング装置の前方にメインコンベアを配設し、このメイン
コンベアに交差して該メインコンベアよりワイヤボンデ
ィング装置に向けてサブコンベアを配設した半導体装置
の組立装置において、前記バッファ装置は、第１のバッ
ファ装置と、この第１のバッファ装置に並設して一体に
設けられた第２のバッファ装置とからなり、前記第１の
バッファ装置は、対向面にリードフレームを支持する溝
が複数個形成されたマガジンと、このマガジンを間欠的
に上下駆動するマガジン上下駆動機構と、前記マガジン
内に伸びて配設された搬送ベルトを備えた搬送ベルト機
構と、前記搬送ベルトを駆動する搬送ベルト駆動機構と
を備え、前記第２のバッファ装置は、平リードフレーム
を収納する積上げマガジンを載置するテーブルと、この
テーブルを所定ピッチづつ昇降させるテーブル上下動機
構と、前記テーブル上の積上げマガジンに前記リードフ
レームを送り込む経路に沿って設けられたコンベア装置
と、このコンベア装置の走路に平行にかつ回転自在に設
けられ、動力駆動されて往復動するスライダと、このス
ライダに設けられたアームに支持され、アームの揺動に
よって前記コンベア装置の走路に沿って所定位置に配置
及びこの所定位置から退避させることが可能に設けられ
たプッシャとを備え、前記メインコンベアと前記サブコ
ンベアとの交差して対向した部分は、一方が他方より低
くなるように構成することにより解決される。

［実施例］ 以下、本発明を図示の一実施例により説明する。第１図
及び第２図に示すように、左側から右側にマツピング装
置１、ペースト滴下機構を備えたペレットボンディング
装置２、キュア炉３、バッファ装置４　（４Ａ）、複数
台（実施例は４台）のワイヤボンディング装置５（５Ａ
、５Ｂ・・・）及びバッファ装置４　（４Ｂ）が順次配
設されている。

マツピング装置ｌの左側には粘着テープに貼付けられ、
かつ個々のペレットに分割されたウェハを収納するウェ
ハマガジン６が配設されている。

ペレットボンディング装置２の前方には前記マツピング
装置ｌより送り出されたウェハを保持し、ペレットを１
個づつ突上げる突上げ機構部７が配設されている。また
ペレットボンディング装置２の左側にはリードフレーム
を収納したフレームマガジン８が配設されている。ワイ
ヤボンディング装置５（５Ａ、５Ｂ・・・）の前方には
バッファ装置４（４Ａ）から送り出されたリードフレー
ムを搬送するメインコンベア９　（９Ａ、９Ｂ・・・）
カー列に配設されている。また各メインコンベア９（９
Ａ、９Ｂ・・・）から各ワイヤボンディング装置５（５
Ａ、５Ｂ・・・）に対応してメインコンベア９（９Ａ、
９Ｂ・・・）に直交してローダ用サブコンベア１０　（
ＩＯＡ、ＩＯＢ・・・）及びアンローダ用サブコンベア
１１　（１１Ａ、ＩＩＢ・・・）が配設されている。ま
たローダ用サブコンベア１０（１０Ａ、ＩＯＢ・・・）
とアンローダ用サブコンベア１１（１１Ａ、ＩＩＢ・・
・）間には移送装置１２（１２Ａ、１２Ｂ・・・）が配
設されている。

そこで、ウェハマガジン６よりマツピング装置１にウェ
ハが供給され、このマツピング装置ｌによってウェハの
分割された各ペレットの良、不良が検出される。検査が
終了したウェハは突上げ機構部７に送られる。一方、ペ
レットボンディング装置２にはフレームマガジン８より
リードフレームが供給される。そして、このリードフレ
ームのペレットボンディング部にペレットボンディング
装置２のペースト滴下機構によってペーストが滴下され
る。その後ペレットボンディング装置２のペレットボン
ディング機構の吸着ノズルが前記突上げ機構部７の上方
への移動、下降及び−Ｆ昇動作を行ってペレットを吸着
する。そして、再び前記の逆の動作を行ってペレットを
リードフレームの上方に位置させ、続いて吸着ノズルが
下降してペレットをペーストを介してリードフレームに
押付け、ペレットボンディングを行う。ペレットボンデ
ィングが完了したリードフレームはキュア炉３に送られ
てペーストが乾燥され、ペレットはリードフレームに固
定される。キュア炉３を通ったリードフレームはバッフ
ァ装置４に収納される。

そして、ワイヤボンディング装置５（５Ａ、５Ｂ・・・
）のいずれからリードフレームの要求があると、バッフ
ァ装置４　（４Ａ）からリードフレームがメインコンベ
ア９　（９Ａ）に送出され、メインコンベア９（９Ａ、
９Ｂ・・・）によって要求のあったワイヤボンディング
装置５（５Ａ、５Ｂ・・・）の０−ダ用サブコンベア１
０　（ＩＯＡ、ＩＯＢ・・・）に対応した位置に送られ
る。そして、ローダ用サブコンベア１０　（ＩＯＡ、Ｉ
ＯＢ・・・）によって後方に送られ、その後移送装置１
２　（１２Ａ、１２Ｂ・・・）によってローダ用サブコ
ンベア１０（１０Ａ、ＩＯＢ・・・）よりアンローダ用
サブコンベア１１　（ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・）の方に送
られる。この間にワイヤボンディング装置５（５Ａ、５
Ｂ・・・）によってワイヤボンディングが行われる。ア
ンローダ用サブコンベア１１　（ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・
）に送られたリードフレームはアンローダ用サブコンベ
ア１１　（ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・）によってメインコン
ベア９（９Ａ、９Ｂ・・・）上に送られ、メインコンベ
ア９（９Ａ、９Ｂ・・・）によってバッファ装置４（４
Ｂ）に収納される。

次に本発明の要旨とするバッファ装置４（４Ａ、４Ｂ）
、メインコンベア９（９Ａ、９Ｂ・・・）とサブコンベ
ア１０　（ＩＯＡ、ＩＯＢ・・・）、１１（ＩＩＡ、Ｉ
ＩＢ・・・）からなる搬送装置について説明する。

バッファ装置４（４Ａ、４Ｂ） 以下、バッファ装置４の一実施例を第３図乃至第７図に
より説明する。本装置は、常時組立装置間に加工される
リードフレームを受は渡すために搬送する搬送ベルト間
に配設される第１のバッファ装置２０と、この第１のバ
ッファ装置２０に並設して一体に設けられ、前後のいず
れかの組立装置が停止した後に組立装置間を結ぶ前記コ
ンベア間に配設させるための第２のバッファ装置２１と
を備えている。以下、第１のバッファ装置２０及び第２
のバッファ装置２１の個々の構成及び作用について説明
し、その後両バッファ装置２０．２１の組合せによる作
用について説明する。

第１のバッファ装置２０の構成（第３図乃至第６図参照
） 加工されるリードフレームを収納するマガジン２２は、
底板２３と、この底板２３上に対向して配設され、ボル
ト２４とナツト２５で底板２３・に固定された側板２６
．２７とからなり、側板２６．２７の対向面にはリード
フレーム（図示せず）の両側端部を支持する溝２６ａ、
２７ａが等間隔に形成されている。前記底板２３上には
、リードフレームの搬送方向Ａと直角方向にガイドレー
ル２８．２９が固定され、かつボルト２４の挿通穴２３
ａはガイドレール２８．２９と平行に長溝に形成されて
おり、前記ガイドレール２８．２９に沿って前記側板２
６．２７は摺動できるようになっている・ 従って、ナツト２５を緩め、側板２６．２７をガイドレ
ール２８．２９に沿って移動させることにより、リード
フレームの幅に適合するように側板２６．２７の対向間
隔を自由に変えることができる。　　　” 架台３０にはベース板３１及びモータ支持板３２が固定
されており、ベース板３１及びモータ支持板３２には、
軸受３３を介して２木のガイド棒３４．３５が垂直に摺
動自在に設けられている。

このガイド棒３４．３５の上端には支持板３６がボルト
３７で固定されており、支持板３６は前記底板２３の底
面にボルト３８で固定されている。

またモータ支持板３２のガイド棒３４．３５間にはパル
スモータ３９が固定されている。このパルスモータ３９
の出力軸３９ａにはカップリング４０を介して雄ねじ４
１が固定されている。雄ねじ４１の上端は前記ベース板
３１に軸受４２を介して回転自在に支承されており、こ
の雄ねじ４１には前記ガイド棒３４．３５にポルト４３
で固定された上下動板４４が螺合している。またマガジ
ン２２の上下動範囲を規制するために、モータ支持板３
２には前記上下動板４４に当接するように上限スイッチ
４５及び下限スイッチ４６が固定されている。

従って、パルスモータ３９が回転すると、上下動板４４
が上下動するので、上下動板４４と共にガイド棒３４．
３５が軸受３３に沿って上下摺動し、マガジン２２が矢
印Ｂ方向に上下駆動する。

マガジン２２の左右側のベース板３１上には、それぞれ
相対向して支持板５０．５１及び５２．５３がそれぞれ
ポルト５４、ナツト（図示せず）で固定されている。支
持板５０．５１には、相対向した部分に回転軸５５．５
６がそれぞれ軸受５７を介して回転自在に支承されてお
り、この回転軸５５．５６の内側及び外側にはそれぞれ
プーリ５８．５９及び６０．６１が固定されている。前
記支持板５２．５３にも同様に相対向した部分に回転軸
６２．６３がそれぞれ軸受（図示せず）を介して回転自
在に支承されており、この回転軸６２．６３の内側には
それぞれプーリ６４．６５が固定されている。そして、
前記プーリ５８と６４及び６０と６５には搬送ベルト６
６．６７が前記マガジン２２の側板２６．２７間に位置
するようにそれぞれ掛けられている。また搬送ベルト６
６．６７の往路のたるみを防止するために、支持板５０
と５２及び５１と５３にはそれぞれベルト支持板６８が
固定されている。

前記ベース板３１上には、リードフレームの搬送方向Ａ
と直角方向にガイドレール７ｏ、７１が固定され、かつ
ポルト５４の挿通穴３１ａはガイドレール７０．７１と
平行に長溝に形成されておす、前記ガイドレール７０．
７１に沿って前記支持板５０．５１．５２．５３は摺動
できるようになっている。また支持板５０と５１及び５
２と５３のマガジン２２側の上方面には補強板７２．７
３がポルト７４．７５で固定されており、ポルト７５の
挿通孔７２ａ、７３ａは前記ガイドレール７０．７１と
同じ方向に長溝に形成されている。

従って、ポルト５４．７５を緩め、支持板５０〜５３を
ガイドレール７０．７１に沿って移動させることにより
、リードフレームの幅に適合するように支持板５０〜５
３の対向間隔を自由に変えることができる。

支持板５０の外側には支柱８０及び支持板８１を介して
モータ８２が固定されており、このモータ８２の出力軸
にはプーリ８３が固定されている。プーリ８３と５９間
における支持板５０．５１の部分には中間回転軸８４が
回転自在に支承されており、この中間回転軸８４の外側
にはプーリ８５．８６が固定されている。そして、プー
リ８３と８５．８５と５９．８６と６１にはそれぞれ伝
達ベルト８７．８８．８９が掛けられている。

従って、モータ８２が矢印Ｃ方向に回転すると、伝達ベ
ルト８７．８８．８９を介して搬送ベルト６６．６７が
矢印Ａ方向に移動する。

第１のバッファ装置２０の作用 次にかかる構成よりなる第１のバッファ装置２０の作用
について説明する。本バッファ装置２０は、前後の組立
装置を結ぶ主搬送ベルト間及びまたは主搬送ベルトから
個々の組立装置に結ぶサブ搬送ベルト間に設置して用い
る。以下、主搬送ベルト間に用いた場合について説明す
る。

今、マガジン２２にリードフレームを収納する場合につ
いて説明する。後工程の組立装置の処理能力が低下した
場合は、前工程より送られたリードフレームは辱ガジン
２２内に収納される。マガジン２２に収納する場合は、
マガジン２２は下降した状態にあり、側板２６．２７の
最上部の溝２６ａ、２７ａから順次収納される。即ち、
前工程が終了したリードフレームが図示しない搬送ベル
トにより送られ、本装置の搬送ベルト６６．６７上に載
せられると、図示しないセンサがそれを検知し、モータ
８２が矢印Ｃ方向に一定量回転し、リードフレームはマ
ガジン２２の溝２６ａ、２７ａ内に沿って送られ、マガ
ジン２２に収納される。

次にパルスモータ３９が回転し、マガジン２２はｌピッ
チだけ上昇させられ、次の溝２６ａ、２７ａが搬送ライ
ンに位置させられる。以後、前記した動作によって順次
当該溝２６ａ、２７ａにリードフレームが収納される。

次にマガジン２２に収納されたリードフレームを後工程
に供給する場合について説明する。前工程の組立装置の
処理能力が低下した場合は、マガジン２２に収納された
リードフレームが後工程に供給される。この場合は、マ
ガジン２２は上昇した位置にあり、マガジン２２に収納
された最下方のリードフレームが搬送ベルト６６．６７
上に載るようにパルスモータ３９が駆動させられる。そ
して、モータ８２が矢印Ｃ方向に回転し、搬送ベルト６
６．６７上のリードフレームは、搬送ベル）６８．６７
によって矢印Ａ方向に送られ、図示しない後工程の主搬
送ベルト上に送られる。次に再び後工程よりリードフレ
ームの要求があると、パルスモータ３９が回転し、マガ
ジン２２はｌピッチ下降し、次のリードフレームが搬送
ベルト６６．６７上に載置される。続いて前記したよう
にモータ８２が回転し、搬送ベルト６６．６７によって
該リードフレームは後工程の主搬送ベルトに供給される
。以後、後工程よりリードフレームの供給要求信号が出
力する度に前記した動作を繰返す。

このように、マガジン２２内に搬送ベルト６６．６７を
配置してなるので、多量のリードフレームを収納及び供
給することができると共に、迅速なリードフレームの受
は渡しが行える。従って、前後工程の一部の組立装置が
停止しても他の組立装置の生産能力をダウンさせる必要
がなく、生産性が向上する。

第２のバッファ装置２１の構成（第３図、ＭＳ４図、第
５図、第７図参照） 第７図に矢印りで示す方向が半導体リードフレームの収
納のための送り込み方向、矢印Ｅで示す方向が送出方向
である０箱型構造の本体９５の中央よりやや送出側には
テーブル９６が設けられている。テーブル９６は周知の
構造をもってリードフレームを積み上げて収納する積上
げマガジン９７を前記送り込み及び送出方向り、Ｈに対
して並列に２個載置することが可能である。テーブル９
６には垂直案内棒９８が固定されており、垂直案内棒９
８は積上げマガジン９７の並び方向に沿って滑動可能に
本体９５に支持された支持台９９に設けたボールガイド
１００によりテーブル９６に支承されている。そしてテ
ーブル９６は周知の送り機構によって所定ピッチ昇降さ
れ、更に積上げマガジン９７の並び方向にも移動される
。

本体９５の送り込み側には、第２のバッファ装置２１内
にリードフレームを送り込むためのベルトコンベア１０
５が設けられている。ベルトコンベア１０５はリードフ
レームの送り込みの経路に沿って設けられた２本１対の
丸ベルトからなり、本体９５に回転可能に支持された１
対の第１支持軸１０６及び同じく１対の第２支持軸１０
７にそれぞれ固定されたプーリ１０８，１０９の間にか
け合わされている。そして、この第１支持軸１０６は一
方にプーリ１１０を他方にプーリ１１１を備え、同様に
本体９５に回転可能に支持された第３支持軸１１２に固
定されたプーリ１１３及び１１４との間に丸ベル）１１
５．１１６がかけ合わされている。ここで、プーリ１１
０と１１３の減速比とプーリ１．１１と１１４の間の減
速比は等しく設定されており、１対のベルトコンベア１
０５は互いに等速で周回運動を行う、第３支持軸１１２
は本体９５に設けたモータ１１７の出力軸１１７ａに固
定されたプーリ１１８とプーリ１１３との間にかけ合わ
された丸ベル）１１９によって動力駆動される。

また第３支持軸１１２の一端には偏心カム１２５が固定
され、その中央部には１回転上号検出のための指令カム
１２Ｂが備えられており、指令カム１２６に対向して検
出スイッチ１２７が本体に固定されている。本体９５に
揺動可能に支持され前記偏心カム１２５に接するカムフ
ロア１２８を備えたカムレバー１２９は、コイルバネ１
３０によって常時偏心カム１２５を押圧する側に付勢さ
れている。ベルトコンベア１０５の走路に平行に丸棒状
のガイドレール１３１が設けられており、ガイドレール
１３１にはスライダ１３２が嵌合している。スライダ１
３２はガイドレール１３１のまわりに回動かつその軸方
向に摺動可能に設けられ、カムレバー１２９の先端に設
けたベアリング１３４と係合する。スライダ１３２から
伸長するアーム１３５にはプッシャ１３６が支持されて
おり、プッシャ１３６はベルトコンベア１０５の走路に
沿って配置されている。またベルトコンベア１０５の上
方にはリードフレームの送り込みを確認する近接センサ
ー１３７が配置されている。

第２のバッファ装置２１の作用 次にかかる構成よりなる第２のバッファ装置２１の作用
について説明する。第２のバッファ装置２１を前工程の
組立装置で作業を終えたリードフレームを収納するバッ
ファとして使用する場合は、まずテーブル９６の上に空
の積上げマガジン９７を２個並列に載置し、テーブル９
６をその並列方向に移動させて積上げマガジン９７の一
方を送り込み、送出位置に対してセットする。そしてプ
ッシャ１３６をアーム１３５、スライダ１３２ごと旋回
させることで、ベルトコンベア１０５の走路に沿った所
定位置から第４図に想像線で示した位置にまで退避せし
める。しかる後、モータ１１７を起動すると、ベルトコ
ンベア１０５が周回運動を始める。ベルトコンベア１０
５は前工程の組立装置からの搬出路に連続して配置され
ているため、作業を終えたリードフレームが搬出路へ送
り出されてくると、これを受けてベルトコンベア１０５
上に載せて搬出し、テーブル９６上の積上げマガジン９
７に送り込む、そして、近接センサー１３７によりリー
ドフレームが送り込まれたことを確認すると、検出スイ
ッチ１２７の信号によつてモータ１１７が１時停止し、
テーブル９６が所定のピッチ上昇もしくは下降して積上
げマガジン９７のリードフレーム収納位置を順次位置決
めし、以後この動作を繰り返していく。こうして積上げ
マガジン９７の中に一定のリードフレームが収納される
。

次に第２のバッファ装置２１を後工程の組立装置のため
にリードフレームを供給するバッファとして使用する場
合について説明する。まずテーブル９６上にリードフレ
ームが収納された積上げマガジン９７を２個並列に載置
し、テーブル９６をその並列方向に移動し、積上げマガ
ジン９７の一方を送り込み、送出位置にセットする。そ
して、プッシャ１３６をアーム１３５、スライダ１３２
ごと旋回させてベルトコンベア１０５の走路に沿った所
定位置に配置し、しかる後モータ１１７を起動すると、
偏心カム１２５の回転によってカムレバー１２９が揺動
してスライダ１３２を滑動させ、これによってプッシャ
１３６が積上げマガジン９７に収納されたリードフレー
ムの１枚を押し出し、後工程の組立装置の搬入側に設け
たコンベア上に進出させて送出動作を完了させる。そし
て、検出スイッチ１２７の信号によって第３支持軸１１
２の１回転動作を確認すると、モータ１１７が１時停止
し、テーブル９６が所定の１ピツチ上昇もしくは下降し
て積上げマガジン９７のリードフレーム収納位置を順次
位置決めし、以後この動作を繰り返していく、こうして
積上げマガジン９７の中からリードフレームが送出され
てい〈。

このように、リードフレームの収納、送出の機能を極め
て簡単な構造よりなる１つの第２のバッファ装置２１で
達成できる。

両バッファ装置１．２の組合せによる作用通常は、前後
の組立装置を結ぶ主搬送ベルト間に第１のバッファ装置
２０の搬送ベルト６６．６７の部分を配設して使用する
。そして、前後の組立装置が正常に稼動している時は、
前工程の組立装置より搬送ベルト６６．６７上に送られ
たリードフレームは、マガジン２２の溝２６ａ、２７ａ
内を単に通過して後工程の組立装置の主搬送ベルトに送
られるように搬送ベルト６６．６７は作動する。

後工程の組立装置の処理能力が低下又は故障した場合は
、その後工程の停止信号により、第１のバッファ装置２
０のマガジン２２に第１のバッファ装置２０の作用の項
で説明したようにして前工程の組立装置から送られてき
たリードフレームは順次収納される。

マガジン２２への収納はあくまでも一時的なものである
ので、第２のバッファ装置２１に空の積上げマガジン９
７をセットし、この積上げマガジン９７に収納されるよ
うに、手動又は自動によって第２のバッファ装置２１の
ベルトコンベア１０５が前後の組立装置を結ぶ主搬送ベ
ルト内に位置するように本バッファ装置全体を移動させ
る。そして、その後は第２のバッファ装置２１の積上げ
マガジン９７に第２のバッファ装置２１の作用の項で説
明したようにして前工程の組立装置から送られてきたリ
ードフレームは順次収納される。

次に前工程の組立装置の処理能力が低下又は故障した場
合について説明する。ところで、第１のバッファ装置２
０のマガジン２２には予め数枚のリードフレームを収納
させておく。そこで、前工程の組立装置の停止信号によ
り、マガジン２２内のリードフレームが後工程の組立装
置に送出されるように、第１のバッファ装置２０の作用
の項で説明したようにして順次送出させる。

この場合も、マガジン２２からの送出はあくまでも一時
的であるので、第２のバッファ装置２１にリードフレー
ムの収納された積上げマガジン９７をセットし、この積
上げマガジン９７内のり−ドフレームを送出するように
、手動又は自動によって第２のバッファ装置２１のベル
トコンベア１０５が前後の組立装置を結ぶ主搬送ベルト
内に位置するように本バッファ装置全体を移動させる。

その後は第２のバッファ装置２１の積上げマガジン９７
から第２のバッファ装置２１の作用の項で説明したよう
にしてリードフレームは順次送出される。

このように、前後のいずれかの組立装置が停止しても、
第２のバッファ装置２１を配設するまでは第１のバッフ
ァ装置２０でカバーするので、正常な組立装置を一旦停
止させなくてもよく、生産性は向上する。この場合、前
後のいずれかの組立装置の停止が短時間で、第１のバッ
ファ装置２０のマガジン２２で処理できる範囲であれば
、第２のバツブア装置２１は用いなくてもよい。

搬送装置９（９Ａ、９Ｂ・・・）、１０（ｌＯＡ、１０
Ｂ・・・）、１１（ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・）以下、搬送
装置９．１Ｏ１１１の一実施例を図により説明する。第
８図に示すように、ワイヤボンディング装置５の前方に
はリードフレーム１３を搬送するメインコンベア９が配
設されている。

ワイヤボンディング装置５の加工具５ａの両側には、前
記メインコンベア９に一端側が交差して直交するように
ローダ用及びアンローダ用サブコンベア１Ｏ１１１が配
設されている。またローダ用及びアンローダ用サブコン
ベア１Ｏ１ｌ１間でワイヤボンディング装置５の加工具
５ａの下方には、ローダ用サブコンベア１０から送られ
てきたリードフレーム１３（１３ｂ）を加工具５ａの真
下に送ると共に、加工具５ａの真下よりアンローダ用サ
ブコンベア１１に送る移送装置１２が配設されている。

前記ワイヤボンディング装置は、周知の構造よりなり、
また本発明の要旨に直接関係ないので、ここではこれ以
上の説明は省略する。また移送装置１２は単に四角のブ
ロックで図示したが、例えば特開昭６０−６７３０８号
公報に示すものを用いる。この場合、前記特開昭６０−
６７３０８号公報に示すローダ用及びアンローダ用マガ
ジンを除き、このローダ用及びアンローダ用マガジンの
部分に本実施例のローダ用及びアンローダ用サブコンベ
ア１Ｏ１１１が配設されることはいうまでもない、この
移送装置１２は、本発明の要旨に直接関係ないので、こ
こではこれ以上の説明は省略する。

次に前記メインコンベア９及びサブコンベア１Ｏ１１１
の構造について説明する。

メインコンベア９（第８図、第９図、第１１図参照） 架台１４０上にはコンベア台１４１が固定されており、
このコンベア台１４１上にメインコンベア台１４２が固
定されている。メインコンベア台１４２には一定間隔を
保って２個の支持板１４３．１４４が平行に固定されて
おり、支持板１４３．１４４には後記するサブコンベア
１０．１１が交差して配設されるための逃げ溝１４３ａ
、１４４ａが形成されている。支持板１４３には中央よ
り右側下方側にモータ１４５が固定されており、このモ
ータ１４５の出力軸にはプーリ１４６が固定されている
。また支持板１４３及び支持板１４３の外側でメインコ
ンベア台１４２に固定された支持板１４７には前記モー
タ１４５の上方位置に駆動軸１４８が回転自在に支承さ
れており、この駆動軸１４８には支持板１４３の外側に
突出した部分にプーリ１４９が固定されている。そして
、プーリ１４６と１４９とにタイミングベルト１５０が
掛けられている。

前記駆動軸１４８には支持板１４３．１４４の内側にそ
れぞれプーリ１５１が固定されている。

また支持板１４３．１４４の上方側には前記プーリ１５
１と同じレベルでそれぞれプーリ１５２が回転自在に支
承されている。また支持板１４３．１４４のＡげ溝１４
３ａ、１４４ａの下方の内側部分にもそれぞれプーリ１
５３が回転自在に支承されている。更に支持板１４３，
１４４の下方の左右の内側にもそれぞれプーリ１５４が
回転自在に支承されている。そして、前記プーリ１５１
〜１５４にはベル）１５５が掛けられている。

従って、モータ１４５が矢印入方向に回転させられると
、プーリ１４６、タイミングベルト１５０、プーリ１４
９を介して駆動軸１４８、即ちプーリ１５１が矢印Ｂ方
向に回転し、ベル）１５５は矢印Ｃ方向に送られる。

前記支持板１４３，１４４の中央上方のベルト１５５の
下面側には、ベルト１５５のたるみを防止するためのた
るみ防止板１５６が配設されている。また支持板１４３
の中央より左側上方には、支軸１５７が固定されており
、この支軸１５７には一端がベルト１５５の上方に伸び
たストッパ１５８が回転自在に支承されている。ストッ
パ１５８は水平な折曲げ部１５８ａを有し、この折曲げ
部１５８ａの下面にソレノイド１５９の作動部が当接す
るようにソレノイド１５９は支持板１４３に固定されて
いる。また前記ストッパ１５８に当接したリードフレー
ム１３を検出するために、支持板１４４の内側にはセン
サ１６０が固定されている。

サブコンベア１０．１１（第８図、第１θ図、第１３図
乃至第１６図参照） ローダ用サブコンベアｌＯとアンローダ用サブコンベア
１１とはほぼ同じ構造よりなるので、以下第１３図乃至
第１６図に拡大図で示すローダ用サブコンベア１０につ
いて説明する。

第１θ図に示すコンベア台１４１上にはサブコンベア台
１６５が固定されている。第１３図、第１５図、第１６
図に示すように、サブコンベア台１６５の中央上方には
回転軸１６６が回転自在に支承されており、この回転軸
１６６には４個のプーリ１６７．１６８．１６９．１７
０が固定されている。また回転軸１６６の真下のサブコ
ンベア台１６５の部分には第１４図、第１５図に示すよ
うに、固定軸１７１が固定されており、固定軸１７１に
は４個の揺動ブロック１７２．１７３．１７４．１７５
が軸受１７６を介して回転自在に支承されている。揺動
ブロック１７２．１７３は第１４図においては下方側、
第１５図においては左側に伸びており、揺動ブロック１
７４．１７５は逆に第１４図においては上方側、第１５
図においては右側に伸びている。揺動ブロック１７２．
１７３及び１７４．１７５にはそれぞれ中間ブロック１
７７．１７８が固定されており、中間ブロック１７７．
１７８にはそれぞれ４個のプーリ支持アーム１７９．１
８０が固定されている。プーリ支持アーム１７９．１８
０には第１３図及び第１５図に示すようにそれぞれ端部
プーリ１８１−１８４及び１８５〜１８８が回転自在に
支承されている。

そして、プーリ１８１と１６７．１８２と１６８，１８
３と１６９．１８４と１７０にはそれぞれベルト１８９
が掛けられ、同様にプーリ１８５と１６７．１８６と１
６８．１８７と１６９．１８８と１７０にもそれぞれベ
ルト１９０が掛けられている。また第１６図に示すよう
に、サブコンベア台１６５の下方にはモータ１９１が固
定されており、このモータ１９１の出力軸に固定された
プーリ１９２と前記プーリ１６７とにはベルト１９３が
掛けられている。

従って、モータ１９１が正回転すると、プーリ１９２、
ベルト１９３を介してプーリ１６８．１６９．１７０が
回転するので、ベルト１８９，１９０は第１５図に示す
ように矢印り方向に送られる。またモータ１９１が逆回
転すると、ベルト１８９．１９０は矢印Ｅ方向に逆転さ
せられる。即ち、ローダ用サブコンベアｌＯにおいては
、ベルト１８９．１９０を矢印り方向に回転させ、アン
ローダ用サブコンベア１１にはベル）１８９．１９０が
矢印Ｅ方向に回転させて使用する。

第１５図及び第１６図に示すように、前記揺動ブロック
１７２．１７５は下方に伸びた舌片部１７２ａ、１７５
ａを有し、この舌片部１７２ａ、１７５ａにはそれぞれ
受けねじ２００が螺合されている。受けねじ２００には
サブコンベア台１６５に固定されたスピードコントロー
ラ付きノシリンダ２０１，２０２の作動部が対向して設
けられており、受けねじ２００がシリンダ２０１．２０
２の作動部に圧接するように揺動ブロック１７２．１７
５はばね２０３で付勢されている。また揺動ブロック１
７２，１７５には検出板２０４．２０５が固定されてお
り、この検出板２０４．２０５をはさむ形でセンサ２０
６．２０７がサブコンベア台１６５に固定されている。

従って、シリンダ２０１，２０２の作動部が作動して突
出すると、受けねじ２００を介して揺動ブロック１７２
，１７５が固定軸１７１を中心として回動し、これによ
り中間ブロック１７７．１７８を介してプーリ支持アー
ム１７９．１８０が回動し、プーリ１８１〜１８４は矢
印Ｆ方向に下降し、プーリ１８５〜１８８は矢印Ｇ方向
に上昇する。また前記と逆にシリンダ２０１，２０２の
作動部が作動して引込むと、前記と逆にプーリ１８１−
１８４は矢印Ｈ方向に上昇し、プーリ１８５〜１８８は
矢印■方向に下降する。

第１３図、第１４図、第１５図に示すように、プーリ支
持アーム１８０の部分には、プーリ支持アーム１８０を
逃げるための逃げ溝２１０ａ、２１１ａが形成された２
個のリードフレームガイド板２１０．２１１がベルト１
９０に直角に配設されている。一方のリードフレームガ
イド板２１０はサブコンベア台１６５に固定されており
、他方のリードフレームガイド板２１１より低く形成さ
れてリードフレーム１３のストツパモ兼ねている。他方
のリードフレームガイド板２１１は前記一方のリードフ
レームガイド板２１０に固定された軸２１２に摺動自在
に設けられている。そこで、リードフレーム１３の幅に
合せてリードフレームガイド板２１１を摺動させ、図示
しないねじでリードフレームガイド板２１１を軸２１２
に固定する。

また前記軸２１２にはプッシャ用アングル２１３が摺動
自在に設けられており、プッシャ用アングル２１３は軸
２１２に図示しないねじで固定されている。プッシャ用
アングル２１３にはプッシャフレーム２１４が固定され
ており、このプッシャフレーム２１４にシリンダ２１５
が固定されている。シリンダ２１５の作動ロッドにはプ
ッシャアーム２１６が固定されており、このプッシャア
ーム２１６はプッシャフレーム２１４に固定すれた回り
止め板２１７に沿って移動するように設けられている。

なお、前記した部品番号２１０〜２１７で示す部材は、
ローダ側サブコンベアｌＯのみに設けられており、アン
ローダ側サブコンベア１１には設けられていない、その
代り、アンローダ側サブコンベア１１には第８図に示す
移送装置１２から送られてきたリードフレーム１３を支
持する上板２１８が２点鎖線で示すようにサブコンベア
台１６５に固定されている。

次にかかる構成よりなる搬送装置の作用について説明す
る。今、第１図に示す第２番目のローダ用サブコンベア
ＩＯＨのみよりリードフレーム１３の要求があった場合
について説明する。第８図、第１１図、第１２図に示す
ストッパ１５８は、常時図示の状態より上方に回動して
ベル）１５５による搬送レベル外に位置した状態にある
。

そこで、ローダ用サブコンベアＩＯＢよりリードフレー
ム１３の要求信号が出力されると、バッファ装置４Ａか
らリードフレーム１３がメインコンベア９Ａ上に送り出
されると共に、メインコンベア９Ｂのソレノイド１５９
が作動する。ソレノイド１５９が作動すると、ストッパ
１５８は支軸１５７を中心として下降し、第１１図の状
態となる。従って、バッファ装置４Ａから送り出された
リードフレーム１３はメインコンベア９Ａ（７）ベルト
１５５によって矢印Ｃ方向に搬送され、メインコンベア
９Ａ上は単に通過するのみでメインコンベア９Ｂ上に送
られる。メインコンベア９Ｂによって送られると、その
リードフレーム１３はストツバ１５８に当接する。

そして、メインコンベア９に設けられた５８ｒＩ！Ｊに
示すセンサ１６０がそのリードフレーム１３を検出する
と、ローダ用サブコンベアＩＯＨの第１６図に示すモー
タ１９１が始動すると共に、シリンダ２０１が突出する
ように作動する。モータ１９１が始動すると、サブコン
ベア１Ｏ１ｌｌの項で説明したように、ベル）　１８９
．１９０が矢印り方向に作動する。またシリンダ２０１
が作動すると、サブコンベア１Ｏ１１１の項で説明した
ように、プーリ１８１〜１８４が第１５図に示す矢印Ｈ
方向に上昇する。即ち、ローダ用サブコンベアＩＯＢの
プーリ１８１　Ｎ１８４は第１１図に示す状態より上昇
し、前記したようにストッパ１５８に止められていたリ
ードフレーム１３はローダ用サブコンベアＩＯＨのベル
ト１８９に乗り、メインコンベア９のベル）１５５から
浮き上げられる。そこで、リードフレーム１３はベルト
１８９．１９０の移動によって矢印り方向に送られ、第
１５図に示すリードフレームガイド板２１０に当接する
。リードフレームガイド板２１０．２１１間上にリード
フレーム１３がある場合には、前記リードフレーム１３
はリードフレームガイド板２１０に当接した状態を保持
する。第８図において、１３ａはリードフレームガイド
板２１０に当接されたリードフレーム１３を、１３ｂは
リードフレームガイド板２１０．２１１間のリードフレ
ーム１３を示す、即ち、ローダ用サブコンベア１０（Ｉ
ＯＢ）上には２個のリードフレーム１３を保持すること
ができるようになっている。

リードフレームガイド板２１０．２１１間にリードフレ
ーム１３がある場合は、モータ１９１の回転が停止する
と共に、シリンダ２０１が引込む、これによりベル）１
８９．１９０が停止すると共に、プーリ１８１−１８４
が第１５図に示す矢印Ｆ方向に下降し、ベル）　１８９
はメインコンベア９のベルト１５５の搬送レベルより下
方に位置する。また同時にソレノイド１５９もオフとな
り、ストッパ１５８はベルト１５５による搬送レベル外
に位置する。

リードフレームガイド板２１０．２ｔｘＭ’＃リードフ
レーム１３がない場合又はあってもリードフレームガイ
ド板２１０．２１１から送り出された場合は、モータ１
９１の回転が続行又は始動し、ベルト１８９．１９０が
矢印り方向に移動すると共に、シリンダ２０２が作動し
てプーリ１８５〜１８８は矢印Ｇ方向に上昇する。これ
により、ベルト１９０はリードフレームガイド板２１０
より高く位置し、リードフレームガイド板２１Ｏに位置
決めされていたリードフレーム１３を持ち上げる。そし
て、リードフレーム１３はベルト１９０によって送られ
、リードフレームガイド板２１１に当接する。その後モ
ータ１９１が停止すると共に、シリンダ２０２が引込み
、プーリ１８５〜１８８は矢印■方向に下降する。これ
により、ベルト１９０上のリードフレーム１３はリード
フレームガイド板２１０．２１１に載置される。

ワイヤボンディング装置５より要求があると。

シリンダ２１５が作動し、プッシャアーム２１６によっ
てリードフレームガイド板２１０．２１１上のリードフ
レーム１３は移送装置１２側に送り出される。そして、
移送装置１２によりｌピッチ間欠的に送られ、その度に
ワイヤボンディング装置５により加工が施される。加工
が終了したリードフレーム１３が第１０図及び第１５図
に示すローダ用サブコンベア１１の上板２１８上、即ち
第８図にリードフレーム１３ｃで示す位置に送られると
、ローダ用サブコンベア１１のモータ１９１が回転して
ベル）１９０．１８９が矢印Ｅ方向に移動すると共に、
シリンダ２０２が作動してプーリ１８５〜１８８が上昇
する。プーリ１８５〜１８８が上昇すると、上板２１８
上のリードフレーム１３をベルト１９０で持ち上げる。

これにより、リードフレーム１３はベルト１９０．１８
９により矢印Ｅ方向に送られ、支持板１４３の側壁に当
接して停止する。その後シリンダ２０２が引込んでプー
リ１８５〜１８８は下降する。

そして、メインコンベア９上にリードフレーム１３が流
れていない場合で、バッファ装置４Ｂが受は入れ態勢に
ある場合には、シリンダ２０１．’カ□作動し、プーリ
１８１〜１８４が上昇し、リードフレーム１３を支持板
１４３の上方に持ち上げる。これにより、リードフレー
ム１３はベルト１８９で矢印Ｅ方向に送られ、支持板１
４４の内側に当接する。その後シリンダ２０１が引込ん
でプーリ１８１−１８４は下降する。これにより、リー
ドフレーム１３はメインコンベア９上に載置され、メイ
ンコンベア９によって搬送されてバッファ装置４Ｂ内に
収納される。

なお、上記実施例においては、メインコンベア２０に対
してサブコンベア４５．４６を直交して配設したが、斜
めに交差するように配設してもよい。またメインコンベ
ア２０とサブコンベア４５．４６の交差して対向した部
分は、メインコンベア２０の上方にサブコンベ゛／’４
５．４６が配設されるようにしたが、逆にサブコンベア
４５，４６の上方にサブコンベア４５．４６が配設され
るようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、リー
ドフレームを一時収納、送出する機能を有する第１のバ
ッファ装置と、多量のリードフレームを収納、送出する
機能を有する第２のバッファ装置とを並設して一体に設
けてなるので、生産性の向上が図れる。また第２のバッ
ファ装置はリードフレームの収納、送出する機能を有す
るので、バッファ装置が大型化することもない。またメ
インコンベアは、サブコンベアに対向した部分が該サブ
コンベアより低くなるように構成され、前記サブコンベ
アは、前記メインコンベアに一端側が交差するように該
メインコンベアの上方に配設されてなるので、メインコ
ンベアとサブコンベアとの被加工体の受渡しを特別の供
給装置を設けなくても行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図の正面図、第３図はバッファ装置の一実施例を示す平
面図、第４図は第３図の左側断面図、第５図は第３図の
右側断面図、第６図は第１のバッファ装置の正面図、第
７図は第２のバッファ装置の正面図、第８図は搬送装置
の一実施例を示す全体概略構成平面図、第９図は第８図
のメインコンベアと加工装置関係を示す一部断面右側面
図、第１０図は第８図のサブコンベアと加工装置関係を
示す右側面図、第１１図はメインコンベアの内側部より
見た正面図、第１２図はメインコンベアに設けられたス
トッパ部を示す左側図、第１３図乃至第１６図はサブコ
ンベアを示し、第１３図は一部断面平面図、第１４図は
固定軸部分を断面で示す第１３図と同じ平面図、第１５
図は右側面図、第１６図は正面図である。 ９．９Ａ、９Ｂ・・・：メインコンベア、１０、ＩＯＡ
、ＩＯＢ・・・：ローダ用サブコンベア、　　　　１１
、ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・：アンローダ用サブコンベア、
　　　　２２：マガジン、２６．２７：側板、　　２６
ａ、２７ａ：溝、３４．３５ニガイド棒、３９：パルス
モータ、４１：雄ねじ、　　　　　４４：上下動板、５
５．５６：回転軸、　５８〜６１：プーリ、６２．６３
：回転軸、　６４．６５：プーリ、６６．６７：搬送ベ
ルト、 ８２：モータ、　　　　　８３：プーリ、８４：中間軸
、　　　　　８５．８６：プーリ、８７．８８．８９：
伝達ベルト、 ９６：テーブル、　　　１０５：ベルトコンベア、１１
７：モータ、　　　１２５：偏心カム、１３２ニスライ
ダ、　　１３５：アーム、１３６：プッシャ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくともペレットボンディング装置とワイヤボンディ
   ング装置との間にバッファ装置を配設し、このバッファ
   装置より前記ワイヤボンディング装置の前方にメインコ
   ンベアを配設し、このメインコンベアに交差して該メイ
   ンコンベアよりワイヤボンディング装置に向けてサブコ
   ンベアを配設した半導体装置の組立装置において、前記
   バッファ装置は、第１のバッファ装置と、この第１のバ
   ッファ装置に並設して一体に設けられた第２のバッファ
   装置とからなり、前記第１のバッファ装置は、対向面に
   リードフレームを支持する溝が複数個形成されたマガジ
   ンと、このマガジンを間欠的に上下駆動するマガジン上
   下駆動機構と、前記マガジン内に伸びて配設された搬送
   ベルトを備えた搬送ベルト機構と、前記搬送ベルトを駆
   動する搬送ベルト駆動機構とを備え、前記第２のバッフ
   ァ装置は、平リードフレームを収納する積上げマガジン
   を載置するテーブルと、このテーブルを所定ピッチづつ
   昇降させるテーブル上下動機構と、前記テーブル上の積
   上げマガジンに前記リードフレームを送り込む経路に沿
   って設けられたコンベア装置と、このコンベア装置の走
   路に平行にかつ回転自在に設けられ、動力駆動されて往
   復動するスライダと、このスライダに設けられたアーム
   に支持され、アームの揺動によつて前記コンベア装置の
   走路に沿って所定位置に配置及びこの所定位置から退避
   させることが可能に設けられたプッシャとを備え、前記
   メインコンベアと前記サブコンベアとの交差して対向し
   た部分は、一方が他方より低くなるように構成されされ
   ていることを特徴とする半導体装置の組立装置。