JPS62233778A - 素子特性測定治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体素子の特性を測定する素子特性測定装
置の素子特性測定治具に関するものである。

〔従来の技術〕

素子特性測定装置としては，特定のパッド配置の素子の
みに対応させた接触子を有するプローブカードを使用す
る方式と、任意のパッド配置に対して即応するように接
触子を移動させるマニュブレータを使用する方式とがあ
るが、同一の接触子で異なるパッド配置の素子の特性を
測定する必要がある場合には、マニュプレータ方式が非
常に有効である。

従来のマニュプレータ方式の素子特性測定装置において
は，通常接触子として円柱状のプローブ針を有する素子
特性測定治具をマニュプレータに取付けているが，ＩＯ
ＧＩ｛ｚ以上の高周波を取扱うことができるプローブ針
はない．このため、このような素子特性測定治具におい
ては，１０ＧＨｚ以上の高周波の測定を行なうことが不
可能である。

そこで、プレーナ線路と同軸コネクタとを有する素子特
性測定治具が考案されており、この素子特性測定治具を
用いれば，高周波の測定が可能である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この素子特性測定冶具においては、ブレ
ーナ線路と同軸コネクタとが直接接続された構造となっ
ているため、マニュプレータに直接取付けることができ
ず、とくに素子特性を極低温領域まで測定するような素
子特性測定装置ではマニュブレータを用いているので、
このような素子特性測定装置に適用することが不可能で
ある。

また、ブレーナ線路から取出すことの可能な電気信号の
本数は取付は可能な同軸コネクタの本数で決定されるが
、ブレーナ線路と同軸コネクタとが直接接続されている
ため、同軸コネクタの本数が制限されるので、非常に少
ない電気信号しか取出すことができない。

この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、マニュプレータに取付けることが可能であり、また
多くの電気信号を取出すことのできる素子特性測定治具
を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕 この目的を達成するため、この発明においては。

信号線接続体と、その信号線接続体に取付けられた誘電
体基板と、その誘電体基板の表面に金属薄膜により形成
された電気信号線と、その電気信号線の一端に設けられ
た電気接点と、上記信号線接続体に取付けられかつ一端
が上記電気信号線の他端と接続された同軸信号線と、そ
の同軸信号線の他端に取付けられた同軸コネクタと、上
記同軸信号線の外側導体と内側導体との電気的距離を調
整するための空間調整子とを設ける。

〔作用〕

この素子特性測定治具においては、電気信号線と同軸コ
ネクタとが同軸信号線を介して接続されているから、同
軸信号線を介してマニュプレータに取付けることができ
、また同軸コネクタが同軸信号線に取付けられているか
ら、同軸コネクタを多数設けることが可能である。

〔実施例〕

第１図はこの発明に係る素子特性測定治具を示す正断面
図、第２図は同じく側断面図、第３図は同じく底断面図
、第４図は同じく斜視図である。

図において、５は信号線接続体、１は固定ネジ９により
信号線接続体５に取付けられた誘電体基板で、誘電体基
板１はたとえばアルミナからなる。

２は誘電体基板１の表面に金属薄膜により形成された電
気信号線、２ａは電気信号線２の内側線路、２ｂは電気
信号線２の外側線路、３は電気信号線２の一端に設けら
れた電気接点で、誘電体基板１゜電気信号線２、電気接
点３で接触子７を構成している。４はイε号線接続体５
に取付けられた同軸信号線、４ａは同軸信号線４の内側
導体、４ｂは同軸信号線４の外側導体で、内側導体４ａ
の一端は内側線路２ａの他端に接続されており、外側導
体４ｂの一端は信号線接続体５を介して外側線路２ｂの
他端に接続されている。６は同軸信号線４の他端に取付
けられた同軸コネクタ、８は信号線接続体５に螺合され
た空間調整子で、空間調整子８は導体からなり、内側導
体４ａと外側導体４ｂとの電気的距離を、！ｌ！ｌ整す
るためのものである。

この素子特性測定治具においては、ｖ４電体基板１の表
面に金属薄膜により形成された電気信号線２と同軸信号
線４とを接続しているから、１ｏａｕｚ以上の超高周波
領域まで測定可能である。また。

空間調整子８によって内側導体４ａと外側導体４ｂとの
電気的距離をａ’Ｍすることができるので。

電気信号線２と同軸信号線４との接続部分での不整合を
補正することが可能である。さらに、第５図に示すよう
に、同軸信号線４を介してマニュプレータ１１に取付け
ることができるから、極低温領域での高周波特性をウェ
ハ１０上で測定する特殊な素子特性測定装置においても
使用可能である。また、電気信号８２と同軸コネクタ６
とが同軸信号線４を介して接続されているから、同軸信
号線４の線径を細くすることで、多数本の同軸コネクタ
６を設けることが可能である。

なお、上述実施例においては、接触子７、同軸信号線４
、同軸コネクタ６をそれぞれ１個設けたが、これらを２
個以上設けてもよい。また、上述実施例においては、空
間調整子として導体からなる空間調整子８を設けたが、
誘電体からなる空間調整子を設けてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明に係る素子特性測定冶具
においては、高周波の測定が可能であるとともに、電気
信号線と同軸信号線との接続部分での不整合を調整する
ことが可能であるから、性能を向上することが可能であ
る。また、同軸信号線を介してマニュプレータに取付け
ることができるので、マニュブレータを有する素子特性
測定装置に適用することが可能である。さらに、多数本
の同軸コネクタを設けることが可能であるから、多数の
電気信号を取出すことができる。また、構造が簡単であ
るから、製作が容易である。このように、この発明の効
果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る素子特性測定治具を示す正断面
図、第２図は同じく側断面図、第３図は同じく底断面図
、第４図は同じく斜視図、第５図は第１図ないし第４図
に示した素子特性測定治具をマニュプレータに取付けた
状態を示す斜視図である。 １・・・誘電体基板　　　　２・・・電気信号線３・・
・電気接点　　　　　４・・・同軸信号線５・・・信号
線接続体　　　６・・・同軸コネクタ８・・・空間調整
子

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、信号線接続体と、その信号線接続体に取付けられた
   誘電体基板と、その誘電体基板の表面に金属薄膜により
   形成された電気信号線と、その電気信号線の一端に設け
   られた電気接点と、上記信号線接続体に取付けられかつ
   一端が上記電気信号線の他端と接続された同軸信号線と
   、その同軸信号線の他端に取付けられた同軸コネクタと
   、上記同軸信号線の外側導体と内側導体との電気的距離
   を調整するための空間調整子とを具備することを特徴と
   する素子特性測定治具。