JPS62232842A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査電子顕微鏡に係り、特に電子ビームの試料
上での収束状態を一定に保ち、試料に入射される電子ビ
ーム量を制御する装置に関する。

〔従来の技術〕

電界放射電子銃において、電子ビームご照射開始した直
後は放射電流は減少する（第１図）。

減少時間は例えば３０分程度であり、その減少量は約数
分の−となる。従来方式の説明を第２図を用いて行なう
。この減少を補正するためには電子線源１と第一陽極２
との間の引き出し電圧を増加させることにより、放射電
流値を増加させることが可能である。しかしながら、引
き出し電圧を変化させた場合に＃ｉ電子線の電子光学的
条件（レンズ条件）が変化し、試料５上での電子ビーム
７の収束条件が満足されなくなり、これを補正するため
＃ＩＣは電子線源と試料との間のレンズ４の焦点距離を
調整する必要があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

走査電子顕微鏡（以下ＳＥＭと呼ぶ）においては、異な
る高プの試料５を観察することが多い。

そして、レンズ４と試料との間隔が変化する場合ＶＣは
、レンズ４の焦点距離を調節して試料５の表、面に電子
ビーム７の焦点を結ばせる必要がある。

電子レンズ系の制御において前述の放射′＃ｌｉ流の減
少を補正するための制御と、上述の異なる高さの試料に
対応させるための制御とご同時に冥施することは非常に
困難であった。

本発明の目的は上記の問題を解決し容易なレンズ系の制
御を実現することにある。

〔問題点を解決するための手段］ 本発明においては電子線源からの放射を流を測定し、電
子ＩｖＪ源とレンズ糸との中間に高速度で電子ビーム？
チョッピングするための機構を設け、放射電流の１１ｕ
に応じてチョッピングの導通比を制御し、試料に入射さ
れる電子ビームの平均値を一定とする。これにより電子
レンズ系は容易な７！Ｉｔ　Ｎｏご行なわれることが可
能となる。

〔作用〕

電子線源からの放射電流は、電子線源用電源によりその
値を測定される。チョッピング機構は電子ビームを通過
及び遮断する機能を持ち、試料に照射きれる電子ビーム
の平均＃１７ｆニーｒＪ！４節することができる。

〔実用例〕

以下１本発明の一実施例を第３図により０明する。）子
線諒１からの放射′電流の値は電子線源用電源１０にお
いて検出される。電子線源１とレンズ４との間にハ電子
ビームをチョッピングするためのチョッピング電極８が
設けらｈ、でいる。第４図によりチョッピングのｒ！Ｄ
作について述べる。電子線源からの放射電子ビームは連
続電子ビームである。）ヨツビング電極ＶＣは一定間隔
でパルスが加えられる。試料照射電子ビームはチョッピ
ング電極の電圧に対応してオン及びオフばれる。そして
試料照射電子ビームの平均値はオン及びオフの割合で制
＃Ｊされる。＠３図において、′電子線源用電源１０に
おいて検出された放射電子ビームの１直に対応する信号
によＶ制御回路１１によりチョッパ１！源９が制御され
、試料照射電子ビームの平均値は所定の値に自動的に制
御される。

Ｃ発明の効果〕 本発明によれば、試料照射電子ビームの値？−足に制御
することが容易に可能となジ、電子レンズ系のレンズ制
御を簡易化することが可能となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明図、第２図は従来方式の説
明図、＠３図は本発明の一実施例の説明図、第４図は第
３因の説明図である。 １・・・電子線源、２・・・第一陽極、３・・・第二陽
極、４・・・レンズ、８・・・チョッピング１［，９川
チョッパ電源、１１・・・制菌回路。 、・−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、走査電子顕微鏡又はその類似装置において、電子線
   源から発生する電子ビーム電流量を検出し、電子ビーム
   をチョッピングすることにより、試料に入射する電子ビ
   ームの平均値を所定の値に保つことを特徴とした走査電
   子顕微鏡。 ２、特許請求の範囲第１項において、電子線源に電界放
   射電子線源を用いたことを特徴とした走査電子顕微鏡。