JPS62226861A - 黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法 - Google Patents
黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法Info
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- JPS62226861A JPS62226861A JP61068367A JP6836786A JPS62226861A JP S62226861 A JPS62226861 A JP S62226861A JP 61068367 A JP61068367 A JP 61068367A JP 6836786 A JP6836786 A JP 6836786A JP S62226861 A JPS62226861 A JP S62226861A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は炭化硅素焼結体に係り、特に高温で信頼性の高
い強靭なる性質が要求される部材に利用するに好適な黒
鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法に関する。
い強靭なる性質が要求される部材に利用するに好適な黒
鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法に関する。
炭化硅素（焼結体）は化学的安定性９強度が大きく特に
金属の使用できなくなる１０００℃以上の高温での強度
低下が少ないことから耐熱部材としてすぐれた材質であ
る。しかし破壊靭性値（Ｋｗｃ）が約３．５ＭＮ／ｍ”
と小さく脆いという致命的な欠点を有しており９機械的
信頼性がおどる。特にＳ ｘ Ｃは真にその優れた特性
が必要とされる１０００℃以上の高温でＫｒｃが向上す
るという性質を示さないため、耐熱構造部材としての信
頼性が劣る。
金属の使用できなくなる１０００℃以上の高温での強度
低下が少ないことから耐熱部材としてすぐれた材質であ
る。しかし破壊靭性値（Ｋｗｃ）が約３．５ＭＮ／ｍ”
と小さく脆いという致命的な欠点を有しており９機械的
信頼性がおどる。特にＳ ｘ Ｃは真にその優れた特性
が必要とされる１０００℃以上の高温でＫｒｃが向上す
るという性質を示さないため、耐熱構造部材としての信
頼性が劣る。
そのため各所でＫｒｃ向上の検討がなされている。
それらのうちで常温でのＫＩｃ向上に有効な方法として
焼結体中へ熱膨張率の異る異物粒子を分散し。
焼結体中へ熱膨張率の異る異物粒子を分散し。
基地と異物粒子間との熱膨張差により焼結体中に歪応力
を残留させ、これによりに＋ｃを向上させる方法、およ
び焼結体に繊維添加を行いこれの引き抜は効果によりＫ
ＩＣの向上を図る方法があげられる。しかし前者の方法
は常温時のＫｓｃには有効であるが、高温時では残留応
力が除去されるためにＫｒｃ低下をおこしてしまう。こ
れに対し、後者の引き抜は効果による方法は適度な力で
引き抜けがおこれば高温時でもＫｒｃ向上は期待される
。このため繊維添加による各種焼結体のＫｒｃ向上の試
みは各所でおこなわれている。特にＳｉＣ繊維を各種焼
結体中に添加してＫＩＣ向上をはかった事例は多くみら
れる。しかし５ｉｃ４ｉｌ維をＳｉＣ中に分散させて焼
結させる方法では、一般に焼結温度が高いためにＳｉＣ
繊維の性質が変化したり、繊維と焼結体とが反応して、
一体となり引き抜けがおこらず、充分に強じんな焼結体
が得られにくい。
を残留させ、これによりに＋ｃを向上させる方法、およ
び焼結体に繊維添加を行いこれの引き抜は効果によりＫ
ＩＣの向上を図る方法があげられる。しかし前者の方法
は常温時のＫｓｃには有効であるが、高温時では残留応
力が除去されるためにＫｒｃ低下をおこしてしまう。こ
れに対し、後者の引き抜は効果による方法は適度な力で
引き抜けがおこれば高温時でもＫｒｃ向上は期待される
。このため繊維添加による各種焼結体のＫｒｃ向上の試
みは各所でおこなわれている。特にＳｉＣ繊維を各種焼
結体中に添加してＫＩＣ向上をはかった事例は多くみら
れる。しかし５ｉｃ４ｉｌ維をＳｉＣ中に分散させて焼
結させる方法では、一般に焼結温度が高いためにＳｉＣ
繊維の性質が変化したり、繊維と焼結体とが反応して、
一体となり引き抜けがおこらず、充分に強じんな焼結体
が得られにくい。
これに対して、ＳｉＣ繊維表面を焼結温度でＳｉＣと反
応しない物質で被覆し、これを分散させて焼結させる方
法も提案されている。しかしこの方法では被覆法の量産
性や再現性に問題をのこす、 １０００℃以上の温度で
強度低下をおこさず、焼結時に両者が反応しないような
セラミックスと繊維との組合せとしてはＳｉＣと黒鉛繊
維との組合せが考えられる。
応しない物質で被覆し、これを分散させて焼結させる方
法も提案されている。しかしこの方法では被覆法の量産
性や再現性に問題をのこす、 １０００℃以上の温度で
強度低下をおこさず、焼結時に両者が反応しないような
セラミックスと繊維との組合せとしてはＳｉＣと黒鉛繊
維との組合せが考えられる。
炭化硅素中に黒鉛繊維を分散させたものとしてはり、
１ｌＥＧ［ＥＮによって黒鉛繊維束のまわりにＳｉＣを
ＣＶＤとしたもの（Ｔｈｅｓｉｓ Ｕｎｉｖ Ｋａｒｌ
ｓｒｕｈｅ１９７８）および、ポリシルエチレン中に黒
鉛繊維を添加し、空気中昇温速度５℃／ ｈ ｒで１８
０℃まで不融化処理をほどこし１６００℃で焼結したも
のが存在する（特開昭５７−３４０８０号）。
１ｌＥＧ［ＥＮによって黒鉛繊維束のまわりにＳｉＣを
ＣＶＤとしたもの（Ｔｈｅｓｉｓ Ｕｎｉｖ Ｋａｒｌ
ｓｒｕｈｅ１９７８）および、ポリシルエチレン中に黒
鉛繊維を添加し、空気中昇温速度５℃／ ｈ ｒで１８
０℃まで不融化処理をほどこし１６００℃で焼結したも
のが存在する（特開昭５７−３４０８０号）。
上記従来技術のうちで黒鉛繊維束にＣＶＤ処理でＳｉＣ
を付着させる方法では、ＣＶＤ法で黒鉛繊維間を充分に
緻密にＳｉＣで埋めることが困廻であり、この結果得ら
れる焼結体の密度が低く、強度および耐酸化性に問題が
あるため、機械的信頼性が劣る。一方、特開昭５７−３
４０８０号のポリシルエチレン中に黒鉛繊維を添加し、
大気中で不融化処理し、焼結したものは不融化処理段階
で焼結体中に酸素が含有され、含有した酸素により黒鉛
が酸化されて、焼結時に黒鉛繊維が変質するために靭性
向上という点では不充分であった。
を付着させる方法では、ＣＶＤ法で黒鉛繊維間を充分に
緻密にＳｉＣで埋めることが困廻であり、この結果得ら
れる焼結体の密度が低く、強度および耐酸化性に問題が
あるため、機械的信頼性が劣る。一方、特開昭５７−３
４０８０号のポリシルエチレン中に黒鉛繊維を添加し、
大気中で不融化処理し、焼結したものは不融化処理段階
で焼結体中に酸素が含有され、含有した酸素により黒鉛
が酸化されて、焼結時に黒鉛繊維が変質するために靭性
向上という点では不充分であった。
本発明の目的は添加した黒鉛繊維が変質することなく、
緻密で、ＫＩＣが大きく高信頼性の黒鉛繊維強化炭化硅
素焼結体の製法を提供することにある。本発明の他の１
つの目的は、 １０００℃以上で特に大きなＫｘｃを持
つ黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法を提供することに
ある。
緻密で、ＫＩＣが大きく高信頼性の黒鉛繊維強化炭化硅
素焼結体の製法を提供することにある。本発明の他の１
つの目的は、 １０００℃以上で特に大きなＫｘｃを持
つ黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法を提供することに
ある。
上記目的は、繊維内の結晶が配向性を示す、黒鉛繊維と
ＳｉＣ粉末と非酸化物系物質もしくは酸化物として焼結
温度で安定な物質を焼結助剤として添加し、これを真空
中又は不活性ガス中で常圧又は加圧焼結し、緻密な焼結
体を得ることが達成される。
ＳｉＣ粉末と非酸化物系物質もしくは酸化物として焼結
温度で安定な物質を焼結助剤として添加し、これを真空
中又は不活性ガス中で常圧又は加圧焼結し、緻密な焼結
体を得ることが達成される。
黒鉛繊維強化炭化硅素において、焼結助剤として非酸化
物系物質例えばＡ Ｑ Ｎ ＠ Ｂ ４ Ｃｇ Ｙ Ｈ
ｘもしくは酸化物として安定な物質１例えばＹｔＯｓ＊
ＡＱｘ、○ａ、Ｂｅ○等を用いると焼結温度で黒鉛繊維
の酸化による変質がなく、充分に緻密な焼結体が得られ
る。また、配向性を持った黒鉛繊維においては、一般に
径方向の熱膨張率がＳｉＣよりも大きいため、その熱膨
張差から焼結後の冷却でＳｉＣと黒鉛繊維との間にスキ
間が生じ、これによって焼結体の破断時に黒鉛繊維の引
き抜けを生じＫｒｃが向上する。また、ＳｉＣと繊維間
以外の部分の密度は高いため、焼結体の強度は比較的大
きく、これらの結果、機械的信頼性は高い６なお、焼結
温度は充分に緻密な焼結体を得る目的から一般的にＳｉ
Ｃが充分に緻密に焼結する温度１９００℃以上が必要で
ある。また、 １９００℃以上の温度で焼結した焼結体
のに！ｃは室温よりも１０００℃以上で特に大きくなる
ことが判った。繊維強化焼結体のＫＩＧは繊維と基地の
密着力によって決まっており、密着力には最適値があっ
て、これより密着力が大きすぎても小さすぎてもＫＸｃ
は低下することが知られている。黒鉛繊維強化炭化硅素
焼結体の場合、 １９００℃以上での焼結温度からの冷
却による熱収縮差でこの密着力が定まるため、高温はど
密着力は大きくなり、１０００℃以上で丁度密着力が最
適値となるため、最も機械的信頼性の要求される１００
０℃以上でＫＩＣが向上するという優れた性質を示すも
のと考えられる。
物系物質例えばＡ Ｑ Ｎ ＠ Ｂ ４ Ｃｇ Ｙ Ｈ
ｘもしくは酸化物として安定な物質１例えばＹｔＯｓ＊
ＡＱｘ、○ａ、Ｂｅ○等を用いると焼結温度で黒鉛繊維
の酸化による変質がなく、充分に緻密な焼結体が得られ
る。また、配向性を持った黒鉛繊維においては、一般に
径方向の熱膨張率がＳｉＣよりも大きいため、その熱膨
張差から焼結後の冷却でＳｉＣと黒鉛繊維との間にスキ
間が生じ、これによって焼結体の破断時に黒鉛繊維の引
き抜けを生じＫｒｃが向上する。また、ＳｉＣと繊維間
以外の部分の密度は高いため、焼結体の強度は比較的大
きく、これらの結果、機械的信頼性は高い６なお、焼結
温度は充分に緻密な焼結体を得る目的から一般的にＳｉ
Ｃが充分に緻密に焼結する温度１９００℃以上が必要で
ある。また、 １９００℃以上の温度で焼結した焼結体
のに！ｃは室温よりも１０００℃以上で特に大きくなる
ことが判った。繊維強化焼結体のＫＩＧは繊維と基地の
密着力によって決まっており、密着力には最適値があっ
て、これより密着力が大きすぎても小さすぎてもＫＸｃ
は低下することが知られている。黒鉛繊維強化炭化硅素
焼結体の場合、 １９００℃以上での焼結温度からの冷
却による熱収縮差でこの密着力が定まるため、高温はど
密着力は大きくなり、１０００℃以上で丁度密着力が最
適値となるため、最も機械的信頼性の要求される１００
０℃以上でＫＩＣが向上するという優れた性質を示すも
のと考えられる。
なお、この密着力は焼結後の冷却開始温度すなわち焼結
温度に関係する。実験の結果、１８００℃以下の温度で
焼結した場合、１０００℃以上でＫｔｃが向上するとい
う性質は認められなかった。これは低温焼結の場合、Ｓ
ｉＣと黒鉛繊維のすき間が小さくなり、１０００℃では
密着力が最適値を越えるためではないかと考えられる。
温度に関係する。実験の結果、１８００℃以下の温度で
焼結した場合、１０００℃以上でＫｔｃが向上するとい
う性質は認められなかった。これは低温焼結の場合、Ｓ
ｉＣと黒鉛繊維のすき間が小さくなり、１０００℃では
密着力が最適値を越えるためではないかと考えられる。
黒鉛繊維の添加量としては５〜８０Ｖｏｌ％の範囲が望
ましい。添加量が少なすぎるとに！ｃ向上の効果はなく
、逆に多すぎると焼結体の焼結が困難となり、強度及び
信頼性の低下をまねく、特にＫｒｃを大きくするために
は黒鉛繊維の添加量は１５〜７０Ｖｏｌ％の範囲が望ま
しく、この時ＫＩＣ！ は一般のＳｉＣの約３倍のＩＯＭＮ／ｍ”以上となる。
ましい。添加量が少なすぎるとに！ｃ向上の効果はなく
、逆に多すぎると焼結体の焼結が困難となり、強度及び
信頼性の低下をまねく、特にＫｒｃを大きくするために
は黒鉛繊維の添加量は１５〜７０Ｖｏｌ％の範囲が望ま
しく、この時ＫＩＣ！ は一般のＳｉＣの約３倍のＩＯＭＮ／ｍ”以上となる。
焼結助剤の添加量としてはＳｉＣに対して０．１〜１０
ｗｔ％の範囲が望ましい、添加量が少なすぎると緻密焼
結が困難となり、多すぎるとＳｉＣの優れた性質が失わ
れて、高温強度の低下をまねく。
ｗｔ％の範囲が望ましい、添加量が少なすぎると緻密焼
結が困難となり、多すぎるとＳｉＣの優れた性質が失わ
れて、高温強度の低下をまねく。
以下実施例を示す。
実施例１
粒径０．７μｍのＳｉＣ粉末を主体として、これに焼結
助剤として、平均粒径３μｍのＡＱＮを２ｗｔ％及び直
径約８ｐｍ、ｇＪ、さ約５０００μｍのＰＡＮ黒鉛繊維
を２０ｗｔ％（３１，４Ｖｏｌ％）、バインダーとして
シリコーンを５ Ｖｏｌ％加えらいかい機を用いて、混
合した。次にこれを金型に入れて成形圧５００ ｋｇ／
ａＪで６０φＸ１０ｔの円板状に成形し、成形体を黒鉛
製の型に入れてホットプレス焼結をした。この際、加圧
力は３００ ｋｇ／ａＪとし、昇温速度２０〜ｂ まで昇温し直ちに同じ速度で冷却する温度プロフィルを
用いた。得られた焼結体から３■Ｘ ４ ｍ Ｘ４５ｍ
の柱状試料を作製し、試料表面にビッカース硬度計を用
いて、圧痕を設け、各温度で圧痕付き試験片の曲げ強度
試験を行い、求めた曲げ強度と破面上の圧痕面積から、
破壊靭性値Ｋｔｃを求め、各試験温度でのＫＸｃ変化状
況を検討した。なおＫｒｃ＝１．２ＸσＸＳ
−・■式■中、σは圧痕付き試片の曲げ強度、Ｓは
圧痕の面積である。
助剤として、平均粒径３μｍのＡＱＮを２ｗｔ％及び直
径約８ｐｍ、ｇＪ、さ約５０００μｍのＰＡＮ黒鉛繊維
を２０ｗｔ％（３１，４Ｖｏｌ％）、バインダーとして
シリコーンを５ Ｖｏｌ％加えらいかい機を用いて、混
合した。次にこれを金型に入れて成形圧５００ ｋｇ／
ａＪで６０φＸ１０ｔの円板状に成形し、成形体を黒鉛
製の型に入れてホットプレス焼結をした。この際、加圧
力は３００ ｋｇ／ａＪとし、昇温速度２０〜ｂ まで昇温し直ちに同じ速度で冷却する温度プロフィルを
用いた。得られた焼結体から３■Ｘ ４ ｍ Ｘ４５ｍ
の柱状試料を作製し、試料表面にビッカース硬度計を用
いて、圧痕を設け、各温度で圧痕付き試験片の曲げ強度
試験を行い、求めた曲げ強度と破面上の圧痕面積から、
破壊靭性値Ｋｔｃを求め、各試験温度でのＫＸｃ変化状
況を検討した。なおＫｒｃ＝１．２ＸσＸＳ
−・■式■中、σは圧痕付き試片の曲げ強度、Ｓは
圧痕の面積である。
第１図は測定温度でのＫ ｒｄｌｌ定結果を示した。
本図から１９００℃以上で焼結した本発明焼結体は温度
上昇とともに破壊靭性値が大となり、 ｔｏｏｏ℃以上
ではＫｔｃはＩＯＭＮ／ｍ”以上を示している。
上昇とともに破壊靭性値が大となり、 ｔｏｏｏ℃以上
ではＫｔｃはＩＯＭＮ／ｍ”以上を示している。
一方、ＳｉＣ単独の焼結体は高温で計測しても、はぼ一
定のＫｒｃを示している。
定のＫｒｃを示している。
一方、１８００℃焼結のものは１ｏｏｏ℃以上でＫｗａ
低下がみられる。この結果より、１９００℃以上の焼結
が有効である。
低下がみられる。この結果より、１９００℃以上の焼結
が有効である。
このことから本発明焼結体は高温で使用した場合高い信
頼性を持って使用しうろことがわかる。
頼性を持って使用しうろことがわかる。
実施例２
焼結体の作製手順としては実施例１と同じであるが、添
加すべき黒鉛繊維の量を３．６〜８１．ＩＶｏｌ％と変
化させて焼結して焼結体を得た。この黒鉛様・維の添加
量が変化した焼結体の焼結性を相対密度から検討すると
ともに１４５０℃におけるＫｓｃ計測を行い黒鉛繊維の
添加量に対するこれらの関係を求めた。第２図はこれら
をまとめて示した。
加すべき黒鉛繊維の量を３．６〜８１．ＩＶｏｌ％と変
化させて焼結して焼結体を得た。この黒鉛様・維の添加
量が変化した焼結体の焼結性を相対密度から検討すると
ともに１４５０℃におけるＫｓｃ計測を行い黒鉛繊維の
添加量に対するこれらの関係を求めた。第２図はこれら
をまとめて示した。
本図から、５ Ｖｏｌ％以下では１４５０℃におけるＫ
ＩＣの向上が少なく、８０Ｖｏｌ％以上では相対密度が
急激に低下し、焼結性が悪くなる。このことから黒鉛繊
維の添加量として５〜８０Ｖｏｌ％の範囲が適当である
。
ＩＣの向上が少なく、８０Ｖｏｌ％以上では相対密度が
急激に低下し、焼結性が悪くなる。このことから黒鉛繊
維の添加量として５〜８０Ｖｏｌ％の範囲が適当である
。
実施例３
本発明で得られた焼結体が、過酷な熱的条件で使用する
核融合炉の第１壁等に用いられるがどうかを検討するた
めに、電子ビームを用いて耐熱衝撃試験を行った。実験
には実施例１で作製した焼結体を用いた。電子ビームを
用いての耐熱衝撃試験は２５１ｍ×２５１１ＩＩ厚さ１
２ｍｍの試験片の表面に２５ＫｅＶ加速した電子ビーム
を、１０Ｘ１０＋ａ＋ａの範囲に４００Ｈｚの周波数で
走査照射し、これにより試験片が破壊するまでの時間（
ＳＥＣ）を求めて耐熱衝撃性を評価した。第３図は上記
方法で得られた電子ビーム照射時の熱負荷量（ＭＷ／ｒ
ｒｌ’）と破壊到達時間との関係をＳｉＣと比較して１
本発明焼結体の結果を示した。本図から発明焼結体はＳ
ｉＣにくらべ耐熱衝撃性にすぐれ、特に熱負荷の大きい
電子ビーム加熱に対してすぐれた効果を示す。この結果
より本発明の焼結体は核融合炉の炉壁材として有効と予
想される。
核融合炉の第１壁等に用いられるがどうかを検討するた
めに、電子ビームを用いて耐熱衝撃試験を行った。実験
には実施例１で作製した焼結体を用いた。電子ビームを
用いての耐熱衝撃試験は２５１ｍ×２５１１ＩＩ厚さ１
２ｍｍの試験片の表面に２５ＫｅＶ加速した電子ビーム
を、１０Ｘ１０＋ａ＋ａの範囲に４００Ｈｚの周波数で
走査照射し、これにより試験片が破壊するまでの時間（
ＳＥＣ）を求めて耐熱衝撃性を評価した。第３図は上記
方法で得られた電子ビーム照射時の熱負荷量（ＭＷ／ｒ
ｒｌ’）と破壊到達時間との関係をＳｉＣと比較して１
本発明焼結体の結果を示した。本図から発明焼結体はＳ
ｉＣにくらべ耐熱衝撃性にすぐれ、特に熱負荷の大きい
電子ビーム加熱に対してすぐれた効果を示す。この結果
より本発明の焼結体は核融合炉の炉壁材として有効と予
想される。
以上説明してきたように本発明によれば、高温時の破壊
靭性値（Ｋｒｃ）が大きくなるため、耐熱構造用部材と
して特に１０００℃以上の高温度で使用する場合に信頼
性の高い炭化硅素焼結体が得られる。この焼結体は高い
耐熱衝撃性をも示すため、機械的信頼性の高い焼結体と
して広く応用できる。
靭性値（Ｋｒｃ）が大きくなるため、耐熱構造用部材と
して特に１０００℃以上の高温度で使用する場合に信頼
性の高い炭化硅素焼結体が得られる。この焼結体は高い
耐熱衝撃性をも示すため、機械的信頼性の高い焼結体と
して広く応用できる。
第１図は本発明の一実施例の温度と靭性との関Ｖ：、、
ｒ−’１
ｒ−’１
Claims (1)
- １．炭化硅素粉末と焼結促進を目的として添加された焼
結助剤とから成る混合粉末に、黒鉛繊維を５〜８０Ｖｏ
ｌ％の範囲で添加し焼結したことを特徴とする黒鉛繊維
強化炭化硅素焼結体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068367A JPS62226861A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068367A JPS62226861A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62226861A true JPS62226861A (ja) | 1987-10-05 |
| JPH0411505B2 JPH0411505B2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=13371734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61068367A Granted JPS62226861A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 黒鉛繊維強化炭化硅素焼結体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62226861A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364968A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-23 | 株式会社豊田中央研究所 | 炭化ケイ素質複合セラミツクス |
| JPH05186266A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-07-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 炭素繊維強化炭化ケイ素複合セラミックスの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5692167A (en) * | 1979-12-24 | 1981-07-25 | Hitachi Chemical Co Ltd | Manufacture of high density silicon carbide sintered body |
| JPS59137372A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-07 | 住友電気工業株式会社 | 繊維強化セラミツクスの製造法 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP61068367A patent/JPS62226861A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5692167A (en) * | 1979-12-24 | 1981-07-25 | Hitachi Chemical Co Ltd | Manufacture of high density silicon carbide sintered body |
| JPS59137372A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-07 | 住友電気工業株式会社 | 繊維強化セラミツクスの製造法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364968A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-23 | 株式会社豊田中央研究所 | 炭化ケイ素質複合セラミツクス |
| JPH05186266A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-07-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 炭素繊維強化炭化ケイ素複合セラミックスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411505B2 (ja) | 1992-02-28 |
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