JPS62226835A - 繊維の製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は粘稠状態にある物質２例えばガラス、プラスチ
ック、炭素繊維製造用調整ピッチ、アルミナ先駆体等か
ら該物質の繊維を製造する方法及び装置に関し、詳しく
は例えば２〜３ｇｍ以下の極細ガラス繊維の製造に好適
な方法及び装置に係る。

［従来の技術］ クリーンルームのフィルタ材として微細なガラス繊維が
大量に用いられている。また、自動車。

オートバイ等の鉛蓄電池にもガラス繊維製−スペーサが
多量に用いられつつある。

これらフィルタ材あるいは蓄電池用に用いられるガラス
繊維はその直径が０．２〜３μｍと非常に細い短＃Ｉ維
であり、一般住宅等に用いられている断熱用ガラスｍ＃
Ｉに比し１１５０−１／３の直径になっている。

このような細径の短ｍｒａを効率良く製造する方法とし
てＲＧＪ法（ロータリーガスジェット法）が本出願人よ
り提案されている（特公昭５８−５７３７４、特開昭６
０−８６０５１など）。

ＲＧＪ法は、要すれば、溶融ガラス流に沿って渦巻き状
に高温高圧ガス流を吹き付けて、ガラスを細繊化する工
程を有するものである。

より詳細に述べると、粘稠物質を流出オリフィスから流
出させ、前記流出オリフィスの周りに周方向に間隔を置
いて配置した、少なくとも３本の気体噴出ノズルから直
線状高速気体流（以下、第１の高速気体流ということが
ある。）を吹き出させ、ここにおいて前記気体流の各々
は、前記物質の中心軸線を横断する断面の外周に沿う接
線方向の成分と、前記物質の流出方向に向ってまず前記
物質の中心軸線に徐々に接近し、次に前記中心軸線から
徐７々に離れていく成分とを有しており、それにより前
記物質の流出開始部から前記気体流が前記物質の中心軸
線に最も接近する部分までの範囲にある第１の区域にお
いて、前記物質をその中心軸線の周りに自転せしめると
共に、その流出方向に向って断面が徐々に減少する実質
上円錐形状にせしめ、そして第１の区域に続く第２の区
域において、前記物質を円錐形状の先端から繊維状にせ
しめて、前記流出方向及び半径方向外方に渦巻き状に飛
び出させ、その後にこの繊維状の前記物質を前記中心軸
線から徐々に離れていく前記気体流に接触させて、更に
引き伸ばしを行うものである。

このＲＧＪ法はオリフィスより流出したガラス流に沿っ
て渦巻き状に高温高圧ガス流を吹き付けてガラスを細緻
化するので、熱効率的に優れた繊維化法であり、細径繊
維を効率良く製造できる。

而して、より細い繊維を製造可能とする方法として、第
１の高速気体流によって渦巻き状に飛び出された繊維に
、第２の高温高速気体流を一方向から吹き付け、更に延
伸することにより極細化しようという製造法が本出願人
より提案されている（特開昭６Ｏ−８６０５１）。

［発明が解決しようとする問題点］ 特開昭６０−８６０５１のＲＧＪ法では、それ以前に提
案されているＲＧＪ法よりも細緻化はできるものの、そ
の後の研究により、次のような改良課題が存在すること
が認められた。

■　第２の高温高速気体流を一方向から吹き付けるため
、第２の高温高速気体流を前記オリフィスから遠ざけす
ぎると、第１の高温高圧気体流によって吹き飛ばされた
繊維が＠２の高速気体流の本流（中心部）に導入されに
＜＜、繊維径が不均一になり易い。

■　第２の高温高速気体流を前記オリフィスに接近させ
過ぎると、第２の高温高速気体流の作用を受けて渦巻き
状高温高速流に流れの乱れが生じ、未ｆａｍ化物が発生
し易くなる。

本発明は、かかる課題を克服し、より安定的に、極細の
短繊維を効率良く製造し得るようにすることを目的とし
ている。

［問題点を解決するための手段及び作用］本発明はオリ
フィスより流出した溶融ガラス流に沿って渦巻き状に第
１の高速気体流を吹き付けてガラスを繊維化する従来の
基本的なＲＧＪ法において、第１の高速気体流によって
細緻化されたｕ＆雄を、流出する粘稠物質流の中心軸へ
向って交差するように複数方向から対向して斜め下向き
に吹き出される第２の高速気体流により吹き飛ばし、極
細線化しようとするものである。

即ち、本発明の繊維の製造方法は 粘稠物質を流出オリフィスから流出させ、前記オリフィ
スの周りに周方向に間隔を置いて配置した、少なくとも
３本の第１の気体噴出ノズルから直線状に第１の高速気
体流を吹き出させ、ここにおいて前記気体流の各々は、
前記物質の中心軸線を横断する断面の外周に沿う接線方
向の成分と、前記物質の流出方向に向ってまず前記物質
の中心軸線に徐々に接近し、次に前記中心軸線から徐々
に離れていく成分とを有しており、 それにより、前記粘稠物質の流出流れは中心軸線の周り
に自転しながら徐々に細まり、その後、繊維状にされて
、うずまき状に飛び出され、引き伸ばされる繊維の製造
方法において、 前記物質の中心軸線に前記第１の高速気体流が最も接近
した位置よりも前記物質の下流側の部分に、第２の気体
噴出ノズルから第２の高速気体流を、前記物質の流出オ
リフィスの中心軸線を挟む少なくとも２方向から斜め下
向きに、かつ当該オリフィスの中心軸線を横切ると共に
各々の中心軸がある点において交差するように吹き出さ
せることを特徴とする繊維の製造方法、 であり、また本発明の繊維の製造装置は粘稠物質を流出
させるための流出オリフィスと、前記流出オリフィスの
周りに周方向に間隔を置いて配置した少なくとも３本の
第１の気体噴出ノズルを備え、これら第１の気体噴出ノ
ズルは。

それらの噴出口が、前記物質の中心軸線を横断する断面
の外周に沿う接線方向の成分と、前記物質の流出方向に
向ってまず前記物質の中心軸線に徐々に接近し、次に前
記中心軸線から徐々に離れていく成分とを有する方向を
指向して配設されている繊維製造装置において、 各々の中心軸線が前記オリフィスの中心軸線を横切り、
かつある点において交差する斜め下向き方向となるよう
に噴出口が指向されると共に、各々が前記流出オリフィ
スの中心軸を挟んで配設された複数個の第２の気体噴出
ノズルを有しており、 これら第２の気体噴出ノズルは、それぞれ内壁の延長面
が、前記第１の気体噴出ノズル噴出口と該第１の気体噴
出ノズルの中心軸線が前記オリフィスの中心軸線に最も
接近する位置よりとの間の領域において第１の気体ノズ
ル内壁の該位置までの延長面も前記オリフィスから遠い
側に位置するように配置されていることを特徴とする繊
維の製造装置。

である。

かかる本発明によれば、第２の高速気体流によってさら
に延伸された極細の繊維が得られ、しかもＨＩｉ維径も
揃い、未繊維化物等も少なくなる。

［実施例］ 以下、第１図及び第２図に示す実施例を参照しながら、
本発明について更に詳細に説明する。

なお、以下の実施例はガラスＭｌｌｌａの製造法及びそ
の装置に関するものであるが、本発明は、プラスチック
、炭素繊維製造用調整ピッチ、アルミナ先駆体等の物質
から該物質の繊維を製造する場合にも適用できるもので
ある。

第１図は本発明の一実施例に係る繊維化装置の部分底面
図であり、第２図は第１図のＩＩ　−ｒｌ線に沿った概
略部分断面図である。

第１．２図において、符号ｌは粘稠な溶融ガラス２を保
持する繊維化装Ｍ（白金ポット）であり、底部に溶融ガ
ラス流出オリフィス３が複数個、所定間隔毎に一直線上
に設けられている０Ｍはこのオリフィス３の開口であり
、溶融ガラス２がニー７４を形成しながら流出している
。

ａ、ｂ、ａ’１、ｂ゛１は溶融ガラス流出オリフィス３
（開口Ｍ）の周囲にほぼ対称に配置され、白金ボットｌ
の底壁内に貫設されたマニホルド５．５°に連通してい
る第１の気体（ガス）噴出ノズル６．６゛の開口を示す
。

これら第１の気体噴出ノズル４．４°は、それらの噴出
口が、前記オリフィス３から流出する粘稠物質たる溶融
ガラス２の中心軸線を横断する断面の外周に沿う接線方
向の成分と、溶融ガラス２の流出方向に向ってまず該流
出流れの中心軸線に徐々に接近し、次に該中心軸線から
徐々に離れてい〈成分とを有する方向を指向して配設さ
れている。

なお、第１図において第１のガス噴出ノズルは４個示さ
れているが、その数は制限的ではない。

また、本発明のガラス繊維化装置においては第１のガス
噴出ノズルが溶融ガラス流出オリフィス３の周囲にほぼ
対称に配置されているのが好適である。

さらにまた、第１のガス噴出ノズルの外側に補助のガス
噴出ノズルを複数個設けてもよく、その中心軸はｉｔの
ガス噴出、ノズルの中心軸線が流出−ｊ−＋１７ノ１９
小出、１％、晶錦［１目φ聾＋１々　日１ち、第１の収
斂点Ａの更に下方であって該溶融ガラス流出オリフィス
３の中心軸上にほぼ収斂するか又は完全に収斂する第２
の収斂点を有しているか、あるいは該溶融ガラス流出オ
リフィスの中心軸に平行であってもよい。

第１．２図において８．８゛は、高温高速ガスを噴出す
るための第２の気体（ガス）噴出ノズルであって、オリ
フィス３を挟んで対称的に対向配置され１円形、角形又
はスリット状（本実施例ではスリット状）のガス噴出口
８ａ、８’ａが設けられている。

本実施例では、第２の気体噴出ノズル８．８゛は、オリ
フィス３の設置列の一端側に位置するオリフィスから他
端側に位置するオリフィスまで達するように一体的に長
く設けられている。そして、スリット状のガス噴出口８
ａ、８°ａも、この長いノズル８．８°の一端側から他
端側にまで達する極めて長いスリット状開口として設け
られている。

このように長いスリット状開口をオリフィスの列の両脇
に配列すると、第２の高速気体流９．９°がオリフィス
３下方の領域を包み込むようになり、周囲から大気が該
領域に流れ込むことを防止し、該領域の保温及びそれに
よる繊維の粘度上昇の防止が図れ、極細繊維をより効率
良く製造できるようになる。

この第２の気体噴出ノズル８．８°は、それぞれマニホ
ルド５．５°とは別個に設けられたマニホルド７．７″
　（図示せず）に接続され、独立した配管系統から高温
ガスが供給されるよう構成されている拳 なお、白金ボッ）ｌの底部両脇に、その長手方向に延在
するように長管を配設し、この長管のオリフィス３と向
き合う側に開口を設け、この開口から第２の高速気体流
を噴出させるよう構成してもよい。

これら第２の気体噴出ノズル８．８′は、各々の中心軸
線がオリフィス３の中心軸線を横切り、かつある点（本
実施例ではオリフィス中心軸上の点Ｈ）で交差する斜め
下向き方向となるように噴出口８ａ、８°ａを指向させ
ている。

また、これら第２の気体噴出ノズル８．８゜は、それぞ
れ内壁の延長面が、前記第１の気体噴出ノズル噴出口と
第１の収斂点Ａとの間の領域において、第１の気体噴出
ノズルの該収斂点Ａまでの延長面よりも下方に位置する
ように配置されている。

そして、第１のガス噴出ノズルの開口ａｌ。

ａ’　　　ｂ　　、ｂ’ｒより出た第１の高速気体流（
ガ１’　　　　１ ス流）によって、回転力を受けたガラス流は第１のガス
噴出ノズル４．４°の収斂点Ａを通り過ぎた所で開放さ
れ、それ自身が有していた遠心力でガラス流出オリフィ
ス３の中心軸と直交する半径方向へと飛び出すが、一部
第１のガス噴出ノズルの開口ａ　　、ａ’　　　ｂ　　
、ｂ’ｌより噴出したガス１　　　　　１゛　　　１ 流により吹き飛ばされ、第２のガス噴出ノズル８．８°
より噴出された高温の第２の高速気体流（ガス流）９，
９°の合流部に入り込み、より高速のガス流の作用を受
ける。一方第１のガス噴出ノズルａ　　、　　ｂ　　、
　　ａ’１．　　ｂ’１より噴出されたガス流に乗らな
いガラス流はガス流９．９′の低速域又は伴流域に入り
込む、ガス流９，９°の中心部に入り込んだガラスと低
速域又は伴流に入り込んだガラスは連続しているので、
ガス流９，９゜に入り込んだ後のガス流の時間的変位差
によって延伸され細くなる。

なお、前述の補助のガス噴出ノズルを設けた場合には、
第１の高速ガス流によって繊維化されたガラスは、それ
を挟み包み込むように噴出する高温高速の第２のガス噴
出ノズルよりのガス流９゜９°の中心部に流入し、細緻
化される。

補助ガス噴出ノズルから吹き出されたガス流はガラス流
を効率よく繊維化するのに役立ち、より細い＃ａ雄が得
られる。また、一方第２のガス噴出ノズル８．８゛より
噴出されたガス流９．９°はその断面方向における速度
分布が大きければ大きい程、また音速を超え衝撃波が発
生するようになればなるほど、細い繊維ができる。また
、第２のガス噴出ノズルより噴出されるガス流の温度は
極細のガラスｍ維を作る場合においては１０００℃以上
、好ましくは１３００℃以上が良い、但し、ガラス組成
によっても異なるがあまり高くしすぎるとｌａ雄が再溶
解し、その表面張力が勝り球状となる。

本発明のガラスｌａｍ化装置の好ましい実施態様を示せ
ば以下の通りである。

オリフ　スー　　びノズル　　　　　さ溶融ガラス流出
オリフィスの直径 （第２図のＤｏ　）：　０．４〜２．５ｍｍ。

好ましくは０．５〜２．０ｍｍ 第１のガス噴出ノズルの直径（第２図のＤｌ）＝０．２
〜１．５ｍｍ、 好ましくは０．５〜０．８ｍｍ 第１のガス噴出ノズルの長さく第２図の０１）：１〜７
．５ｍｍ。

好ましくは１．５〜４．０ｍｍ １にゝけ　Ｉ　１　ガス口　ノズル　　−開口面におけ
る中心軸間の距離 （第２図のＳ、）：１〜５ｍｍ、 好ましくは１．２〜４ｍｍ 溶融ガラス流出オリフィスの中心軸に垂直な仮想平面と
第１のガス噴出ノズルの中心軸とがなす角（第２図のα
）：２０〜７０°。

好ましくは３５〜５５゜ 開口面と第１の収斂点Ａとの間の垂直距離（第２図＋７
）Ｌｌ　）　：　０　、５〜３ｍｍ、好ましくは１〜２
ｍｍ に　け　ｒ　２　ガス　　ノズル 第１のガス噴出ノズルの開口面と左右の第２のガス噴出
ノズル８．８゛開口面の両上端の延長線の交点Ｂｔ、で
の距離（第２図のＬｌ）：３ｍｍを超え３００ｍｍ以下
、好ましくは３ｍｍを超え３０ｍｍ以下。

溶融ガラス流出オリフィスの中心軸を挟んだ第２のガス
噴出ノズル８．８゛のガス流出中心軸間の距離（第２図
（７）Ｓ２）：５〜２０ｍｍ、好ましくは８〜１５ｍｍ 第２のガス噴出ノズルのガス流出中心軸と溶融ガラス流
出オリフィスの中心軸に垂直な仮想平面とのなす角（第
２図のβ）：３０〜８００、好ましくは４０〜６０’ Ｊ□に゛けるガス口　　ノズル　−　　童溶融ガラス流
出オリフィスに対向して位置する２つの第１ガス噴出ノ
ズルの関係、即ち第１の収斂点Ａを通り、溶融ガラス流
出オリフィス中心軸に垂直な仮想平面内における２つの
ガス噴出ノズル中心軸間の距離（第１図のＳｃ）：０　
、５〜２　ｍ　ｍ　、好ましくは０．７〜１．５ｍ 隣り合う溶融ガラス流出オリフィスの中心軸間の距離（
第１図のＰ）：　ｌ　、０〜２０ｍｍ。

好ましくは１．５〜７ｍｍ ここで、上記Ｌ１を０．５〜３．０ｍｍとし、Ｌｌを３
ｍｍを超え３００ｍｍ以下とすると好適である理由につ
いて説明する。

Ｌｌ　：　このＬｌが０．５ｍｍよりも小さイト、旋回
ガスがボッ）１の底面に過度に接近し、延伸により生じ
た短繊維がボットｌの底面に付着するおそれがある。ま
た、旋回ガスとボット１底面との界面付近で旋回ガス流
に乱れが生じ、繊維化不良となり易い。

Ｌｌが３ｍｍを超えると、ニー７４を経て旋回ガスと接
触するに到る時間が過度に長くなり、溶融ガラス温度が
低下し、繊維化しにくくなる。

Ｌｌ：Ｌｌが３ｍｍ以下であると、旋回ガスと第２の高
速気体流が干渉し、旋回ガスの流れが乱され、旋回ガス
による十分なガラスの延伸がなされなくなる。

Ｌｌが３００ｍｍを超えると、旋回ガスによって延伸さ
れて生じた短繊維が第２の高速気体流と接触するまでに
経過する時間が過度に長くなり、その間に冷却されて粘
度が増大し、第２の高速気体流と接触しても十分な延伸
がなされ難くなる。

このように構成した第１図〜第２図のガラス繊維化装置
では、ガラス溶融槽（図示せず）で溶融され、繊維化袋
Ｍ（白金ポット）１に流入した溶融ガラス２は溶融ガラ
ス流出オリフィス３から流出し、高温高圧ガス発生装置
（図示せず）から入口（図示せず）を通って供給され、
マニホルド５．５゛を経て第１のガス噴出ノズル６．６
°から噴出した高温、高圧のガスの作用をまず受けて円
錐（コーン）４を形成しつつ繊維化され、次に第２のガ
ス噴出ノズル８．８゛より噴出された高温高速のガス流
９．９″の作用により更に加熱延伸され極めて細いガラ
ス繊維となる。

以下、製造実施例について説明する。

実施例１ 第１．２図に示す実施例装置を用い、５ｉＯｚ５７．９
％、Ａ１２０３５．８％、ＣａＯ３，０％、Ｎａ２０１
０．１％、Ｋ　２０２　、９％、８２０２１０．７％、
Ｂ　Ａ０５．０％、ＺｎＯ３，９％からなる組成の溶融
ガラスをオリフィス１個当り６００　ｇ／時間の割合で
流出させ、第１の気体噴出ノズル６．６゛に連通ずるマ
ニホルド５．５゛の内圧を２　ｋ　ｇ　／　ｃ　ｍ″、
気体温度を１２００℃に保ちつつ、第１の高速気体流を
噴出させ、更にブタンを燃焼させて得られた第２のガス
噴出ノズル８．８′の内圧を０．２ｋｇ／ａｍ″、気体
温度を１６５０℃に保ちつつスリット幅Ｓ３＝６ｍｍを
有する第２の気体噴出ノズルより噴出させた。

これによって、平均０．７ｐ−ｒｎの直径を有するガラ
ス繊維を得た。このときのブタン使用量はガラスｍｉＩ
ｉ１ｋｇ作製するのに約１．３ｋｇであり、従来法（火
炎法）のブタン使用量の約尾であった。

［効果］ 本発明によれば、第１の高速気体流によって引き伸ばさ
れたｍ＃ｌが第２の高速気体流によってさらに引き伸ば
され、繊維径の揃った細径繊維が得られる。また、第１
の高速気体流の流れが第２の高速気体流によって乱され
ることがなく、未繊維化物の殆ど含まない高品質の繊維
の製造が可能である。

本発明により溶融ガラスの繊維化を実施する場合には、
第１のガス噴出ノズルのみを有するガラスＨ＆維化装置
を用いた場合と比較して、更にはまた。第２の高速気体
流を一方向からのみ噴き付ける繊維化装置を用いた場合
と比較して２．０Ｂｍ以下の極めて細い繊維が容易に得
られる。また。

火炎延伸法と比較すると加熱延伸に用いる熱エネルギー
は例えば約局〜イであり、極めて細い繊維が安価で得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の繊維化装置の一実施態様の概略部分底
面図であり、第２図は第１図のＩＩ　−ＩＩ線に沿った
概略部分断面図である。 ２・・・溶融ガラス、 ３・・・流出オリフィス。 ６．６°・・・第１の気体噴出ノズル、８．８°・・・
第２の気体噴出ノズル、９．９°・・・第２の高速気体
流。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）粘稠物質を流出オリフィスから流出させ、前記オ
   リフィスの周りに周方向に間隔を置いて配置した、少な
   くとも３本の第１の気体噴出ノズルから直線状に第１の
   高速気体流を吹き出させ、ここにおいて前記気体流の各
   々は、前記物質の中心軸線を横断する断面の外周に沿う
   接線方向の成分と、前記物質の流出方向に向ってまず前
   記物質の中心軸線に徐々に接近し、次に前記中心軸線か
   ら徐々に離れていく成分とを有しており、それにより、
   前記粘稠物質の流出流れは中心軸線の周りに自転しなが
   ら徐々に細まり、その後、繊維状にされて、うずまき状
   に飛び出され、引き伸ばされる繊維の製造方法において
   、 前記物質の中心軸線に前記第１の高速気体流が最も接近
   した位置よりも前記物質の下流側の部分に、第２の気体
   噴出ノズルから第２の高速気体流を、前記物質の流出オ
   リフィスの中心軸線を挟む少なくとも２方向から斜め下
   向きに、かつ当該オリフィスの中心軸線を横切ると共に
   各々の中心軸がある点において交差するように吹き出さ
   せることを特徴とする繊維の製造方法。
2. （２）オリフィス下端から、第１の高速気体流が前記物
   質の中心軸線に最も接近する位置までの距離は０．５〜
   ３ｍｍであり、第１の気体噴出ノズル噴出口下端から各
   第２の気体噴出ノズル噴出口上端の延長線の交点までの
   距離は３ｍｍを超える特許請求の範囲第１項に記載の方
   法。
3. （３）第２の高速気体流は第１の高速気体流とは独立し
   た配管系統より供給される特許請求の範囲第１項又は第
   ２項に記載の方法。
4. （４）間隔をおいて一直線上に配列された複数個のオリ
   フィスからそれぞれ粘稠物質が流出される特許請求の範
   囲第１項ないし第３項のいずれか１項に記載の方法。
5. （５）第２の気体噴出ノズルは、各オリフィスの中心を
   結ぶ直線を挟んで対称的に配置されており、かつオリフ
   ィス配列方向に延在するスリット状の気体噴出口を有し
   ている特許請求の範囲第４項に記載の方法。
6. （６）前記スリット状の気体噴出口は、直線上に配列さ
   れたオリフィスのうちの一端側のオリフィスから他端側
   のオリフィスまで達するように延在している特許請求の
   範囲第５項に記載の方法。
7. （７）粘稠物質を流出させるための流出オリフィスと、
   前記流出オリフィスの周りに周方向に間隔を置いて配置
   した少なくとも３本の第１の気体噴出ノズルを備え、こ
   れら第１の気体噴出ノズルは、それらの噴出口が、前記
   物質の中心軸線を横断する断面の外周に沿う接線方向の
   成分と、前記物質の流出方向に向ってまず前記物質の中
   心軸線に徐々に接近し、次に前記中心軸線から徐々に離
   れていく成分とを有する方向を指向して配設されている
   繊維製造装置において、 各々の中心軸線が前記オリフィスの中心軸線を横切り、
   かつある点において交差する斜め下向き方向となるよう
   に噴出口が指向されると共に、各々が前記流出オリフィ
   スの中心軸を挟んで配設された複数個の第２の気体噴出
   ノズルを有しており、 これら第２の気体噴出ノズルは、それぞれ内壁の延長面
   が、前記第１の気体噴出ノズル噴出口と該第１の気体噴
   出ノズルの中心軸線が前記オリフィスの中心軸線に最も
   接近する位置との間の領域において第１の気体ノズル内
   壁の該位置までの延長面よりも前記オリフィスから遠い
   側に位置するように配置されていることを特徴とする繊
   維の製造装置。
8. （８）間隔をおいて一直線上に配列された複数個のオリ
   フィスを備えている特許請求の範囲第７項に記載の装置
   。
9. （９）第２の気体噴出ノズルは、各オリフィスの中心を
   結ぶ直線を挟んで対称的に配置されており、かつオリフ
   ィス配列方向に延在するスリット状の気体噴出口を有し
   ている特許請求の範囲第８項に記載の装置。
10. （１０）前記スリット状の気体噴出口は、直線上に配列
    されたオリフィスのうちの一端側のオリフィスから他端
    側のオリフィスまで達するように延在している特許請求
    の範囲第９項に記載の装置。