JPS62223659A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
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- JPS62223659A JPS62223659A JP61065708A JP6570886A JPS62223659A JP S62223659 A JPS62223659 A JP S62223659A JP 61065708 A JP61065708 A JP 61065708A JP 6570886 A JP6570886 A JP 6570886A JP S62223659 A JPS62223659 A JP S62223659A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は質量分析装置に係り、特に薄層クロマトプレー
ト上に展開した試料を二次イオン質量分析するのに好適
な質量分析装置に関する。
ト上に展開した試料を二次イオン質量分析するのに好適
な質量分析装置に関する。
近年、薄層クロマト（Ｔ Ｌ Ｃ）プレート上に展開し
た試料を二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）法で分析する
ＴＬ（：／ＳＩＭＳが行われる様になった。その概要に
関しての例は、昭和６０年度日本質量分析学会連合討論
会予講集ｐ １４８− ｐ １５１に示された通りであ
る。
た試料を二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）法で分析する
ＴＬ（：／ＳＩＭＳが行われる様になった。その概要に
関しての例は、昭和６０年度日本質量分析学会連合討論
会予講集ｐ １４８− ｐ １５１に示された通りであ
る。
従来の測定法では、クロマトプレート上に展開された試
料を測定する時、プレートを移送している時はデータ収
集を停止し、プレート移送を停止した時点からデータ収
集を開始するというステップを繰り返すことによって連
続したクロマトピークのデータを得ていた。
料を測定する時、プレートを移送している時はデータ収
集を停止し、プレート移送を停止した時点からデータ収
集を開始するというステップを繰り返すことによって連
続したクロマトピークのデータを得ていた。
上記従来技術では、プレート移送が停止されたタイミン
グでデータ収集が開始される（実際的には質量スペクト
ルを得る為の磁場掃引がなされる）わけであるが、１次
イオンビームがプレートに照射され、二次イオンを発生
する状態は、プレートが移送されている状態と、停止さ
れている状態では当然具なり、停止された直後から一定
時間を経過しなければ安定に二次イオンが出現しない。
グでデータ収集が開始される（実際的には質量スペクト
ルを得る為の磁場掃引がなされる）わけであるが、１次
イオンビームがプレートに照射され、二次イオンを発生
する状態は、プレートが移送されている状態と、停止さ
れている状態では当然具なり、停止された直後から一定
時間を経過しなければ安定に二次イオンが出現しない。
これは、プレートに照射さりる一次イオンによりマトリ
ックスの状態が変化するが、プレート移送中は新しいマ
トリックスに次々に照射される状態にあり、マトリック
ス効果が一定状態になる余裕がない為である。マトリッ
クス効果が一定になる為には、一定のマトリックス状態
において一定時間一次イオンビームが照射される必要が
ある。従って、安定したマススペクトルを得る為には、
マトリックス効果が安定状態になった時点からデータ収
集を行う必要がある。
ックスの状態が変化するが、プレート移送中は新しいマ
トリックスに次々に照射される状態にあり、マトリック
ス効果が一定状態になる余裕がない為である。マトリッ
クス効果が一定になる為には、一定のマトリックス状態
において一定時間一次イオンビームが照射される必要が
ある。従って、安定したマススペクトルを得る為には、
マトリックス効果が安定状態になった時点からデータ収
集を行う必要がある。
本発明の目的はターゲット移送停止初期におけるデータ
の不安定さを除去し、正常パターンの質量スペクトルを
得ることができる質量分析装置を提供することにある。
の不安定さを除去し、正常パターンの質量スペクトルを
得ることができる質量分析装置を提供することにある。
本発明によれば、ターゲットの移送タイミングとデータ
収集タイミングを同期させ、ターゲットの移動を停止し
た後一定の時間間隔の間データ収集を実質的に停止させ
る手段が備えられている。
収集タイミングを同期させ、ターゲットの移動を停止し
た後一定の時間間隔の間データ収集を実質的に停止させ
る手段が備えられている。
そのような手段によればターゲット停止後二次イオン出
現が安定化してからデータ収集が行われることになり、
したがって正常パターンの質量スペクトルの取得が可能
となる。
現が安定化してからデータ収集が行われることになり、
したがって正常パターンの質量スペクトルの取得が可能
となる。
本発明の一実施例を第１図により説明する。第１図にお
いて、一次イオン源４で生成したイオンビームは、約８
ＫｅＶに加速され、ターゲット１に照射される。ターゲ
ット上に塗布された試料は。
いて、一次イオン源４で生成したイオンビームは、約８
ＫｅＶに加速され、ターゲット１に照射される。ターゲ
ット上に塗布された試料は。
スパッタされ、このうち一部はイオンとなる。試料保持
体２には、イオン加速電圧３ＫＶが印加されている為、
ターゲラ１−に衝突するエネルギは５ＫａＶであり、二
次イオンが加速されるエネルギは３ＫｅＶとなる。上記
二次イオンは、レンズ９、物点スリット８を通って磁場
５で、質量対電荷比に応じて分離され、コレクタスリッ
ト６を通り、検出器７で検出される。検出した信号は、
コンピュータシステム１０で処理された後、出力装置１
１により記録される０通常、磁場の強さ、或いは二次イ
オン加速電圧を変化させる事により、希望する範囲の質
量対電荷比のイオンを全て記録する事が出来る。一方試
料保持体２を、移送機構３により移動する事により、タ
ーゲット１上に展開されたＴＬＣクロマトのサンプルが
次々とイオン化され、測定記録される事になる。第３図
は、ターゲット上に展開されたサンプル例を示す。
体２には、イオン加速電圧３ＫＶが印加されている為、
ターゲラ１−に衝突するエネルギは５ＫａＶであり、二
次イオンが加速されるエネルギは３ＫｅＶとなる。上記
二次イオンは、レンズ９、物点スリット８を通って磁場
５で、質量対電荷比に応じて分離され、コレクタスリッ
ト６を通り、検出器７で検出される。検出した信号は、
コンピュータシステム１０で処理された後、出力装置１
１により記録される０通常、磁場の強さ、或いは二次イ
オン加速電圧を変化させる事により、希望する範囲の質
量対電荷比のイオンを全て記録する事が出来る。一方試
料保持体２を、移送機構３により移動する事により、タ
ーゲット１上に展開されたＴＬＣクロマトのサンプルが
次々とイオン化され、測定記録される事になる。第３図
は、ターゲット上に展開されたサンプル例を示す。
通常、ターゲットとしてのプレートの移送とデータ収集
のための磁場走査のタイミングは、第４図に示す様に、
プレートが停止された時点から磁場走査を繰り返し、デ
ータを収集する。しかし、プレートが停止された初期の
段階では、プレート上のマトリックスが一次イオン照射
により安定領域に達せず、感度も低く、質量スペクトル
パターンも不安定であり、正常なデータを得る事が出来
なかった６そこで、本発明例では、第２図の如く、プレ
ート移送が停止されたタイミングで、待時間Ｔを設定す
る機構を設け、磁場走査をこの待時間後Ｔを経た後から
行う事によって、不安定領域でのデータ収集がなされる
事を防止し、正常データを得る方式を採用としている。
のための磁場走査のタイミングは、第４図に示す様に、
プレートが停止された時点から磁場走査を繰り返し、デ
ータを収集する。しかし、プレートが停止された初期の
段階では、プレート上のマトリックスが一次イオン照射
により安定領域に達せず、感度も低く、質量スペクトル
パターンも不安定であり、正常なデータを得る事が出来
なかった６そこで、本発明例では、第２図の如く、プレ
ート移送が停止されたタイミングで、待時間Ｔを設定す
る機構を設け、磁場走査をこの待時間後Ｔを経た後から
行う事によって、不安定領域でのデータ収集がなされる
事を防止し、正常データを得る方式を採用としている。
この場合データ収集の磁場走査は、従来のままで、得ら
れるマススペクトル信号のデータ取込のタイミングを時
間Ｔ遅らせる事によっても、同様な効果を得る事が出来
る。
れるマススペクトル信号のデータ取込のタイミングを時
間Ｔ遅らせる事によっても、同様な効果を得る事が出来
る。
実施例ではターゲットに照射される一次ビームはイオン
ビームであるが、これは中性粒子ビームであってもよい
。
ビームであるが、これは中性粒子ビームであってもよい
。
なお、データ収集の開始、停止という概念には質量スペ
クトル信号の取込みを０Ｎ１０ＦＦする場合のみならず
、質量スペクトル信号を得るための磁場掃引或いは加速
電圧掃引を０Ｎ１０ Ｆ Ｆする場合も含まれる。
クトル信号の取込みを０Ｎ１０ＦＦする場合のみならず
、質量スペクトル信号を得るための磁場掃引或いは加速
電圧掃引を０Ｎ１０ Ｆ Ｆする場合も含まれる。
本発明によれば、ターゲット移送停止時初期におけるデ
ータの不安定さをとり除き、正常パターンの質量スペク
トルを得る事が出来る。
ータの不安定さをとり除き、正常パターンの質量スペク
トルを得る事が出来る。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図は第１
図の主要部の動作タイミング図、第３図はターゲットと
しての展開プレートの実施例、第４図は従来技術のタイ
ミング図を示す。 １・°゛ターゲツト２・・・試料保持体、３・・・移送
機構。 ４・・・一次イオン源、５・・・磁場、６・・・コレク
タスリット、７・・・検出部、８・・・物点スリット、
９・・・レンズ、１０・・・コンピュータシステム、１
１・・・出力装置、１２・・・磁場制御部、１３・・・
待時間設定部。
図の主要部の動作タイミング図、第３図はターゲットと
しての展開プレートの実施例、第４図は従来技術のタイ
ミング図を示す。 １・°゛ターゲツト２・・・試料保持体、３・・・移送
機構。 ４・・・一次イオン源、５・・・磁場、６・・・コレク
タスリット、７・・・検出部、８・・・物点スリット、
９・・・レンズ、１０・・・コンピュータシステム、１
１・・・出力装置、１２・・・磁場制御部、１３・・・
待時間設定部。
Claims (1)
- １、一次ビームをターゲットに照射する手段と、前記タ
ーゲットを真空外より移送させる手段と、前記ターゲッ
トから得られる二次イオンを質量分析する手段と、その
質量分析された二次イオンのデータ収集をする手段とを
備えた質量分析装置において、前記ターゲットの移送タ
イミングと前記データ収集タイミングを同期させ、前記
ターゲットの移送を停止した後、一定の時間間隔の間デ
ータ収集を実質的に停止させる手段を備えていることを
特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065708A JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
| US07/030,179 US4803355A (en) | 1986-03-26 | 1987-03-26 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065708A JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62223659A true JPS62223659A (ja) | 1987-10-01 |
| JPH067471B2 JPH067471B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=13294788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61065708A Expired - Lifetime JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4803355A (ja) |
| JP (1) | JPH067471B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8703012D0 (en) * | 1987-02-10 | 1987-03-18 | Vg Instr Group | Secondary ion mass spectrometer |
| FR2806527B1 (fr) * | 2000-03-20 | 2002-10-25 | Schlumberger Technologies Inc | Colonne a focalisation simultanee d'un faisceau de particules et d'un faisceau optique |
| US6956208B2 (en) * | 2003-03-17 | 2005-10-18 | Indiana University Research And Technology Corporation | Method and apparatus for controlling position of a laser of a MALDI mass spectrometer |
| US20040183009A1 (en) * | 2003-03-17 | 2004-09-23 | Reilly James P. | MALDI mass spectrometer having a laser steering assembly and method of operating the same |
| US6861647B2 (en) * | 2003-03-17 | 2005-03-01 | Indiana University Research And Technology Corporation | Method and apparatus for mass spectrometric analysis of samples |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3508045A (en) * | 1968-07-12 | 1970-04-21 | Applied Res Lab | Analysis by bombardment with chemically reactive ions |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP61065708A patent/JPH067471B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-03-26 US US07/030,179 patent/US4803355A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH067471B2 (ja) | 1994-01-26 |
| US4803355A (en) | 1989-02-07 |
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