JPS62217625A - ウエ−ハ集積回路のテスト方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明はウェーハ集積回路に搭載された回路ブロックを
テストする方式において、 デス１−専用の電源供給線を設け、かつ、各回路ブロッ
クに互いに独立に電源を供給することにより、 電源ショートした回路ブロックの影響を受けずに各回路
ブロックをテストできるようにしたちのである。

〔産業上の利用分野〕

本発明はウェーハ集積回路のテスト方式、特にウェーハ
集積回路に搭載された個別回路ブロックのテスト方式に
関する。

論理集積回路の外部で信号が遅延する現象（オフチップ
ディレィ）を無くすこと、ウェーハスクライブ工程や組
立て工程を省略してコストダウンを図ること、スクライ
ビング領域を有効パターン領域として使用することなど
を目的として、１枚のウェーハ上に集積回路を形成する
技術が種々検討されている。

このつＩ−ハ集積回路では、個別回路ブロックが、歩留
り改善を目的としてｆ−備の個別回路ブロックら含めて
冗長にウェーハ上に搭載されており、その中から良品の
個別回路ブロックのみを選択する、ウェーハ集積回路の
テストが重要となる。

〔従来の技術〕 従来のウェーハ集積回路のテスト方式の一例の構成を第
３図に示す。図中、１はつ１−ハで、その上に個別回路
ブロック２ａ、２ｂ、２ｃ及び２ｄが搭載されている。

また、各個別回路ブロック２ａ〜２ｄの周辺には、パッ
ド３ａ〜３ｄが人々テスト用端子として設けられである
。

従来はこのパッド３ａ〜３ｄを介して個別回路ブロック
３ａ〜３ｄに共通の電源と信号を供給し、個別回路ブロ
ック３８〜３ｄよりの出力をヂエツクすることによりテ
ストを行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、上記の従来のテスト方式は個別回路ブロック
３ａ〜３ｄのうち電源ショートの不良のある個別回路ブ
ロックが一つでもあると、その不良個別回路ブロックに
のみ電流が流れ過ぎ、共通の電源ラインの電線電圧が大
きく低下し、テストができないという問題点があった。

また、テスト端子としてパッド３８〜３ｄがウェーハ１
上に形成されているため、ウェーハ１上の配線領域がパ
ッド３８〜３ｄの領域によって制限され、高集積化が妨
げられるという問題点もあった。

本発明はこのような点に鑑みてｆｉ１作されたもので、
個別回路ブロックが電源ショー１〜の不良を生じていて
も、他の個別回路ブロックのテストが可能なつ１−へ集
積回路のテスト方式を提供することを［１的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のウェーハ集積回路のテスト方式は、シスデム動
作時の電源とは別のテスト用電源を、互いに独立に複数
の個別回路ブロックへ供給する電源供給下段と、テスト
用電源により動作する、複数の個別回路ブロックの夫々
に設けられた自己試験回路とにりなる。

〔作用〕

テスト用電源は電源供給手段により、複数の個別回路ブ
ロックへ互いに独立して供給される。複数の個別回路ブ
ロックの自己試験回路はテスト用電源を印加されること
により動作し、入力テストパターンを発生し、それに基
づいて１ｑられた出カバターンを出力する。

電源供給手段によるテスト用電源の複数の個別回路ブロ
ックへの供給は、複数の個別回路ブロックのうち同じ列
又は行に配列された個別回路ブロックに共通に接続され
た電源電圧供給用端子と、同じ行又は列に配列された個
別回路ブロックに共通に接続された接地電位供給用端子
とを選択して行なわれる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の構成を示づ。図中、ウェー
ハ５上には、個別回路ブロック６ａ、６ｂ。

６Ｃ及び６ｄが搭載されており、また電源電圧供給用端
子（パッド）７ａ及び７ｂと、接地電位供給用端子（パ
ッド）８ａ、８ｂとが形成されである。

端子７ａ、７ｂには個別回路ブロック６ａ〜６ｄのうち
良品の個別回路ブロックから構成されるシステムの動作
電源とは胃なる、テスト専用の電源電圧が印加され、端
子８ａ、８ｂには接地電位が印加される。

４つの個別回路ブロック６ａ〜６ｄのうち、同じ列に配
置されている２つの個別回路ブロック６ａ及び６ｄは端
子７ａにライン９ａを介して共通に接続されており、同
様に同じ列の２つの個別回路ブロック６ｂ及び６Ｃは端
子７ｂにライン９ｂを介して共通に接続されである。

また、４つの個別回路ブ［Ｉツク６ａ〜６ｄのうち、同
じ行に配置されている２つの個別回路ブロック６ａ及び
６ｂはライン１０ａを介して端子８ａに共通に接続され
、同様に同じ行の２つの個別回路ブロック６Ｃ及び６ｄ
は端子８ｂにライン１０ｂを介して共通接続されである
。

従って、第１図かられかるように、テスト用電源のため
に使用Ｊる端子は７ａ、７ｂ、８ａ及び８ｂの計４つで
あり、従来に比し、極めて少なくて済む。また、それら
に接続される電源ライン９ａ、９ｂ、１０ａ及び１０ｂ
は、一つの個別回路ブ［１ツクにのみ電源を供給するた
めに幅を狭くでき、高集積化の妨げとならない。

個別回路ブロック６ａ〜６ｄの各々には、自己試験回路
が、テストされるべき論理回路又はメモリなどと共に形
成されている。この自己試験回路としては、例えば第２
図に示す如く、乱数パターンを利用した公知の回路が使
用される。この自己試験回路の動作用電源として、前記
のテス］・電源が印加される。また、この自己試験回路
の出力は第１図中の端子１１８〜１１ｄより取り出され
る。

第２図において、乱数パターン発生器１２より取り出さ
れた乱数パターンは論理回路（′ｆ＆デス］・回路）１
３を通してパターン圧縮器１４に供給され、ここで論理
回路１３からの出カバターン系列が圧縮される。乱数パ
ターン発生器１２とパターン圧縮器１４とは夫々リニア
・フィードバック・シフトレジスタ（ＬＦＳＲ）を用い
て構成されている。

パターン圧１ｉ！器１４より取り出された、シグネチャ
と呼ばれる出力信号は出力端子１５を介して第１図に示
した端子１１ａ、１１ｂ、１１ｃ及び１１ｄのうち、そ
の個別回路ブロック所定の−の端子へ出力される。

テスト用電源は９：猛子７ａ、７ｂと８ａ、８ｂとを−
ずつ選択することにより、個別回路ブロック（３ａ、６
ｂ、５ｃ及び６ｄへ順次時分工１的に印加される。

従って、成る任意の時点では個別回路ブロック６０〜６
ｄのうち−の個別回路ブロックのみにテスト用電源が印
加されており、かつ、端子１１ａ〜１１ｄのうちその−
の個別回路ブロックに接続されたーの端子にのみ前記シ
グネヂｉ弓１１力が取り出さ“れる。また、ぞの−の個
別回路ブロックが電諒シ：１−トの故障がある場合はそ
のことが特定できる。

上記シグネヂＶ出力は、故障シミュレーション又は良品
の集積回路を用いて予め求めておいた期待出力と比較さ
れ、その比較結果に基づいてその個別回路ブロックの良
否が判定される。

ところで、本実施例によれば、個別回路ブロック６ａ〜
６ｄのうち、電源ショートの故障をもつ個別回路ブロッ
クがあっても、選択している接地電位供給用端子８ａ又
は８ｂを他方へ切換えることにより、他の個別回路ブロ
ックへＩ？Ｊを与えることなく、電源ショートの故障を
もつ個別回路ブロック以外の個別回路ブロックのテスト
を正常に行なうことができる。

個別回路ブロック６ａ〜６ｄのテストが−ブロックずつ
順番に行なわれ、すべての個別回路ブロックのテストが
終了した後は、良品のみを用いてシステムを構成するが
、その前にシステムの電源との相互干渉を防ぐため、ラ
イン９ａ、９ｂ。

１０ａ及び１０ｂが途中を切断されてテスト用電源と切
離される。

上記のラインの切断方法としては、例えばエツチングに
より切断したり、あるいはレーザービームによってライ
ン９ａ、９ｂ、１０ａ及び１０ｂの途中を溶断する方法
などがある。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明によれば、電源シＥｌ　−１”の故
障をもつ個別回路ブロックの影響を受けることなく、そ
の他の個別回路ブロックのテストを正常に行なうことが
できる。また、各個別回路ブロックの夫々の周辺にテス
ト用パッドを設ける必要がないので、高集積化を図るこ
とができ、更に、テスト用電源用ラインは一つの個別回
路ブロックにのみ電源を供給するために幅を細くできる
から高集積化を妨げることはない。また、更にテスト終
了後にテスト用電源が切離されるため、システム電源と
の相７Ｕ干渉を防ぐことができる等の特長を有するもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成の説明図、第２図は第
１図中の個別回路ブ［１ツク内の要部の一例のブロック
図、 第３図は従来の一例の構成の説明図である。 図において、 ５はつ［−ハ、 ６ａ〜６ｄＧよ個別回路ブロック、 ７ａ、７ｂは電源電圧供給用端子、 ８ａ、８ｂは接地電位供給用端子、 １１８〜１１（ｊは端子である。 代理人　弁理士　月　桁　貞　−””′　　。 １；賂１り彊σン一り−ｒ＃Ｊりの劾σ〉１ジｔ）４１
目第１図 第２図 従来０−タＪｆ）１つ賃浦田 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェーハ上に個別回路ブロックが複数形成された
   ウェーハ集積回路のテスト方式において、システム動作
   時の電源とは別のテスト用電源を、互いに独立に前記複
   数の個別回路ブロック（６ａ〜６ｄ）へ供給する電源供
   給手段（７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ、１０ａ
   、１０ｂ）と、該電源供給手段よりのテスト用電源によ
   り動作する、前記複数の個別回路ブロック（６ａ〜６ｄ
   ）の夫々に設けられた自己試験回路（１２〜１５）とよ
   りなることを特徴とするウェーハ集積回路のテスト方式
   。
2. （２）前記電源供給手段は、前記複数の個別回路ブロッ
   ク（６ａ〜６ｄ）のうち、同じ列又は行に配列された個
   別回路ブロックに共通に接続された電源電圧供給用端子
   （７ａ、７ｂ）と、該複数の個別回路ブロック（６ａ〜
   ６ｄ）のうち、同じ行又は列に配列された個別回路ブロ
   ックに共通に接続された接地電位供給用端子（８ａ、８
   ｂ）とよりなり、該電源電圧供給用端子（７ａ、７ｂ）
   と該接地電位供給用端子（８ａ、８ｂ）とを選択して前
   記テスト用電源を所望の個別回路ブロックに供給するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェーハ集
   積回路のテスト方式。
3. （３）前記電源供給手段は、テスト終了後に前記個別回
   路ブロック（６ａ〜６ｄ）から切離されることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のウェーハ集積回路のテ
   スト方式。