JPS6221724A - ガラスパイプの内面研磨方法 - Google Patents

ガラスパイプの内面研磨方法

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JPS6221724A
JPS6221724A JP15947985A JP15947985A JPS6221724A JP S6221724 A JPS6221724 A JP S6221724A JP 15947985 A JP15947985 A JP 15947985A JP 15947985 A JP15947985 A JP 15947985A JP S6221724 A JPS6221724 A JP S6221724A
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JP
Japan
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pipe
glass pipe
glass
plasma
polishing
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JP15947985A
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English (en)
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Seiji Shibuya
渋谷　晟二
Tsugio Sato
継男 佐藤
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01876—Means for heating tubes or rods during or immediately prior to deposition, e.g. electric resistance heaters
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B29/00—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins
    • C03B29/02—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins in a discontinuous way
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01228—Removal of preform material
    • C03B37/01237—Removal of preform material to modify the diameter by heat-polishing, e.g. fire-polishing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01257—Heating devices therefor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野１ 本発明はガラスパイプの内面を研磨する方法に関する。
「従来の技術Ｊ ＯＶＤ法を介して光フアイバ母材用の石英系ガラスパイ
プを作製するとき、火炎加水分解法等により生成したガ
ラス微粒子を黒鉛製のマンドレル外周に堆積させて多孔
質ガラス体を形成し、その多孔質ガラス体を脱水ならび
に透明ガラス化した後、透明ガラス体の軸心から上記マ
ンドレルを抜きとり、所望のガラスパイプを得る。
こうして作製されたガラスパイプには、その内面に黒鉛
が付着し、凹凸も生じるため、そのパイプ内面を研磨す
ることが行なわれている。
従来、Ｌ記研磨手段として、■研磨材を用いてガラスパ
イプ内面を機械的に研磨する方法、■ガラスパイプの内
面を火炎で直接あぶる方法、■ガラスパイプをその外部
から強加熱してパイプ内面を間接的に研磨する方法等が
実施されている。
１発明が解決しようとする問題点Ａ しかし、上記（Ｄの方法は、パイプ内面に付着した研府
材が完全に除去できず、かかるパイプを用いて光ファイ
バを製造した際の吸収ロスの原因となる。
上記■の方法は、パイプ内径が小さいとき、火炎発生用
のトーチをパイプ内に挿入できず、火炎研磨が実施でき
ない。
上記■の方法では、強加熱によりパイプが収縮し、パイ
プ径の変動が生じる。
本発明は」１記の問題点に鑑み、異物を残存させたり、
パイプ径の変動をきたすことなく、パイプ内径が小さい
場合でも研磨可能なガラスパイプの内面研磨方法を提供
しようとするものである。
１問題点を解決するための手段Ｊ 本発明に係るガラスパイプの内面研磨方法は。
ガラスパイプ内にプラズマ火炎を発生させ、そのプラズ
マ火炎を介してカラスパイプ内面を研磨することを特徴
としている。
１作用」 未発明方法の場合、カラスパイプ内に発生させたプラズ
マ火炎により、そのパイプ内面に付着している異物（例
えば黒鉛）を酸化除去し、そのパイプ内面の微細な凹凸
をも消去し、かくてガラスパイプ内面を鏡面状に仕上げ
る。
こうしてガラスパイプ内面を研磨するとき、研磨材を使
用する必要がないので、研磨材が異物として残存するこ
とがなく、かつ、ガラスパイプが収縮しないので、パイ
プ径の変動も生じない。
また、パイプ内径が小さい場合でも、そのパイプ内にプ
ラズマ火炎を発生させることができ、したがって小径の
ガラスパイプであっても、これの内面を研磨することが
できる。
しかもプラズマ火炎は、酸水素炎ごときＯ７０を含まず
、したがってガラス（石英）中に８２０が拡散せず、無
水の状ｆルが保持できる。
（実　施　例」 以下本発明方法の実施例につき、図面を参照して説明す
る。
図において、ｌは合成石英管からなるガラスパイプ、２
はガラスパイプｌを回転自在に両端支持するためのガラ
ス旋盤のチャック、３は高周波発振機、４は高周波発振
機３に接続された移動式のマツチングボックス、５はマ
ツチングボックス４１−に設けられたコイル巻状のプラ
ズマ発生器である。
６はガラスパイプ１の一端に接続されたガス供給系、７
はガラスパイプｌの他端に接続された排気系である。
図において本発明方法を実施するときは、ガラスパイプ
ｌをプラズマ発生器５内に通し、そのパイプ両端をチャ
ック２により支持した後、ガス供給系６からガラスパイ
プ１内にＡｒと０２とによる混合ガスを供給し、所定間
波数、所定出力の高周波発振機３、プラズマ発生器５を
介してガラスパイプ１内にＡｒ−０２の常圧プラズマを
発生させる。
このとき、ガラスパイプ１を回転させ、プラズマ火炎（
上記常圧プラズマ）は、マツチングボックス４上のプラ
ズマ発生器５をガラスパイプ長手方向へ移動させること
により同方向へ走査する。
こうしてプラズマ火炎を走査することにより、ガラスパ
イプ１の内面がアニールされ、そのパイプ内面に付着し
ている黒鉛等の異物が酸化除去されるとともにそのパイ
プ内面の微細な凹凸も消去され、かくてガラスパイプ内
面が鏡面状に火炎研磨される。
つぎに本発明方法の具体例について説明する。
具体例１ 力゛ラスパイプｌとして内径４５＋ｓ層φ、厚さ２．５
腸謹、長さ４００ｍｍの合成石英管を用い、その両端に
該合成石英管と同径の石英管を接続し、チャック２を介
して上記ガラスパイプｌをガラス旋盤にセットした。
なお、ガラスパイプ１は黒鉛体をマンドレルとするＯＶ
Ｄ法により作製されたものである。
つぎにガス供給系８から、回軸状態の上記ガラスパイプ
ｌ内に、Ａｒ２０Ｍ　／ｗｉｎ、Ｏ２５！；Ｌ／ｍｉｎ
を供給し、高周波発振機３、プラズマ発生器５を介して
ガラスパイプ１内にＡｒ−０２の常圧プラズマを発生さ
せた。
１−記プラズマ光生に際しては、周波数４ＭＨｚ、出力
２０ｋｗとした。
さらにプラズマ発生＝５を１０ｍｍ／ｓｉｎの速度でガ
ラスパイプ長ｒ一方向へ移動させることにより、プラズ
マ火炎を同方向へ走査した。
こうして火炎研磨されたガラスパイプ１を検査したとこ
ろ、その内外径に変動がなく、その内面に付着していた
黒鉛が除去され、当該内面が鏡面状を呈していた。
具体例２ 具体例１と同様にして合成石英製のガラスパイプ１をプ
ラズマ火炎により研磨するとき、そのガラスパイプ１と
して、内径８ｍｍφ、厚さｌａ＋ｓ、長さ３００ｍ＋ｉ
のものを用いた。
パラズマ発生に際しての出力は３ｋｗとした。
その他の条件は具体例１と同じである。
こうして火炎研磨されたガラスパイプ１を検査したとこ
ろ、具体例１と同様の結果が得られた。
なお、本発明方法の場合、ガラスパイプ！外面も必要に
応じてプラズマ火炎により研磨することがある。
ｒ発明の効果Ｊ 以ヒ説明した通り、本発明方法によるときは、ガラスパ
イプの内面をプラズマ火炎により研磨するから、そのパ
イプ内面に異物を残存させたり、パイプ径の変動をきた
すことなく所望の研磨が行なえるようになり、もちろん
パイプ内径が小さい場合でもパイプ内面の研磨が行なえ
、しかもプラズマ火炎がＨ２Ｏを含まないので、研磨時
のガラス中に８２０が拡散せず、ガラスパイプを無水の
状態が保持できる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明方法の一実施例を略示した説明図である。 １Φ参〇カラスパイプ ３・・・高周波発振機 ４・・・マツチングボックス ５φ會・プラズマ発生器 ６・・・ガス供給系

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ガラスパイプ内にプラズマ火炎を発生させ、そのプラズ
    マ火炎を介してガラスパイプ内面を研磨することを特徴
    とするガラスパイプの内面研磨方法。
JP15947985A 1985-07-19 1985-07-19 ガラスパイプの内面研磨方法 Pending JPS6221724A (ja)

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