JPS62297239A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents
ガラス微粒子堆積体の製造方法Info
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- JPS62297239A JPS62297239A JP13924586A JP13924586A JPS62297239A JP S62297239 A JPS62297239 A JP S62297239A JP 13924586 A JP13924586 A JP 13924586A JP 13924586 A JP13924586 A JP 13924586A JP S62297239 A JPS62297239 A JP S62297239A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明はガラス微粒子の集合体を円柱状或いは円筒状出
発材の外周部に形成する方法に関し、特に高純度が要求
される光フアイバ用母材を製造する際の中間製品に好適
に用いられる出発材外周部に堆積せしめられたガラス微
粒子集合体の形成方法に関する。
発材の外周部に形成する方法に関し、特に高純度が要求
される光フアイバ用母材を製造する際の中間製品に好適
に用いられる出発材外周部に堆積せしめられたガラス微
粒子集合体の形成方法に関する。
従来、石英系ガラス管もしくは光フアイバ用母材の製造
方法として特開昭４８−７３５２２号公報に示されたよ
うないわゆる“外付法”がある。この方法は回転するカ
ーボン、石英系ガラス又はアルミナなどの耐火性出発材
の外周部【、ガラス原料の加水分解反応により生成せし
めた８１０□ などの微粒子状ガラスを堆積させてゆき
、所定量を堆積させた後堆積をやめ、上記出発材を引き
抜き、パイプ状ガラス集合体を形成し、このパイプ状ガ
ラス集合体を高温電気炉中で焼結透明ガラス化すること
でパイプ状ガラス体を得ている。
方法として特開昭４８−７３５２２号公報に示されたよ
うないわゆる“外付法”がある。この方法は回転するカ
ーボン、石英系ガラス又はアルミナなどの耐火性出発材
の外周部【、ガラス原料の加水分解反応により生成せし
めた８１０□ などの微粒子状ガラスを堆積させてゆき
、所定量を堆積させた後堆積をやめ、上記出発材を引き
抜き、パイプ状ガラス集合体を形成し、このパイプ状ガ
ラス集合体を高温電気炉中で焼結透明ガラス化すること
でパイプ状ガラス体を得ている。
或いは、同様の方法で出発材として中実の光ファイバ用
ガラス微粒子堆積体の複合体を形成したのち、出発材を
引き抜かず該複合体を高温炉中で加熱処理し、ガラス微
粒子堆積の部分を焼結することにより、出発材である光
フアイバ用ガラス母材の外周部にさらに透明ガラス層を
形成するという方法も考えられる。
ガラス微粒子堆積体の複合体を形成したのち、出発材を
引き抜かず該複合体を高温炉中で加熱処理し、ガラス微
粒子堆積の部分を焼結することにより、出発材である光
フアイバ用ガラス母材の外周部にさらに透明ガラス層を
形成するという方法も考えられる。
上記の従来法においては一般にＷＪｓ図に示すように、
ガラス微粒子生成用バーナ２を１本ないし多数本用いて
、ガラス微粒子堆積体４を合成している。一般にバーナ
２先端からは、燃料ガスとして例えばＨ２，ＯＨ４，Ｏ
，Ｈ８等、助燃ガスとしてｏ２、空気等が供給され、火
炎３を形成する。
ガラス微粒子生成用バーナ２を１本ないし多数本用いて
、ガラス微粒子堆積体４を合成している。一般にバーナ
２先端からは、燃料ガスとして例えばＨ２，ＯＨ４，Ｏ
，Ｈ８等、助燃ガスとしてｏ２、空気等が供給され、火
炎３を形成する。
この火炎３中にガラス原料として例えば５ｉＯ１！４゜
ＧａＧ１！４等が供給され加水分解反応によりガラス微
粒子が生成される。該ガラス微粒子を引き上げ装置に８
にセットされた回転する出発材１の外周部に堆積させて
ガラス微粒子堆積体４を形成させるが、この際に該出発
材の外表面に例えばゴミ、異物の付着等の汚れがあると
、製造されるガラス体の品質が大きく影響される。すな
わち出発材１の外表面にゴミ等が付着していると、焼結
、透明化したときに、出発材１と堆積したガラスの境界
面上に気泡が発生するという重大な問題が生じる。しか
しながら出発材１を引上げ装置にセツティングする際等
に、出発材の外表面にゴミ・油分等の汚れが付着するの
を防止することは極めて困難である。
ＧａＧ１！４等が供給され加水分解反応によりガラス微
粒子が生成される。該ガラス微粒子を引き上げ装置に８
にセットされた回転する出発材１の外周部に堆積させて
ガラス微粒子堆積体４を形成させるが、この際に該出発
材の外表面に例えばゴミ、異物の付着等の汚れがあると
、製造されるガラス体の品質が大きく影響される。すな
わち出発材１の外表面にゴミ等が付着していると、焼結
、透明化したときに、出発材１と堆積したガラスの境界
面上に気泡が発生するという重大な問題が生じる。しか
しながら出発材１を引上げ装置にセツティングする際等
に、出発材の外表面にゴミ・油分等の汚れが付着するの
を防止することは極めて困難である。
本発明はこうした出発材の汚れを効果的に除去すること
ができ、気泡のない高品質のガラス体を安定に製造でき
るガラス微粒子堆積体の製造方法を意図したものである
。
ができ、気泡のない高品質のガラス体を安定に製造でき
るガラス微粒子堆積体の製造方法を意図したものである
。
本発明は自らの軸を回転軸として回転している実質的に
円柱状もしくは円筒状の出発材の片端近傍から、該出発
材の外周部上にガラス微粒子合成用バーナの火炎内にガ
ラス形成用原料を供給することにより生成させたガラス
微粒子を堆積させ始め、該バーナを該出発材の軸と平行
に相対的に移動させてゆくことにより、ガラス微粒子の
堆積体を該出発材の外周部に軸方向に形成してゆく方法
において、ガラス微粒子の堆積を始める前に、上記バー
ナの火炎内にガラス形成用原料ガスを含まない弗素系ガ
ス又は／及び塩素系ガスを供給し、該バーナを上記出発
材の軸と平行に移動させ加熱を符わせることを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造方法である。
円柱状もしくは円筒状の出発材の片端近傍から、該出発
材の外周部上にガラス微粒子合成用バーナの火炎内にガ
ラス形成用原料を供給することにより生成させたガラス
微粒子を堆積させ始め、該バーナを該出発材の軸と平行
に相対的に移動させてゆくことにより、ガラス微粒子の
堆積体を該出発材の外周部に軸方向に形成してゆく方法
において、ガラス微粒子の堆積を始める前に、上記バー
ナの火炎内にガラス形成用原料ガスを含まない弗素系ガ
ス又は／及び塩素系ガスを供給し、該バーナを上記出発
材の軸と平行に移動させ加熱を符わせることを特徴とす
るガラス微粒子堆積体の製造方法である。
以下図面を参照して説明する。本発明は第１図に示す如
く、ガラス微粒子堆積前にガラス微粒子合成用バーナ２
に燃焼ガス、助燃ガスに加えて弗素系ガスもしくは塩素
系ガス又はこれらの混合物からなるガス？供給し、該バ
ーナ２を移動しながら引き上げ装置１８にセントされた
回転する出発材１を加熱することにより、該出発材１に
付着したゴミ・異物・油分等の気泡発生の原因となる物
質を除去するのである。その後直合成用バーナ２にガラ
ス形成用ガスを供給し第３図の従来法と同様にしてガラ
ス微粒子堆積体４を形成する。
く、ガラス微粒子堆積前にガラス微粒子合成用バーナ２
に燃焼ガス、助燃ガスに加えて弗素系ガスもしくは塩素
系ガス又はこれらの混合物からなるガス？供給し、該バ
ーナ２を移動しながら引き上げ装置１８にセントされた
回転する出発材１を加熱することにより、該出発材１に
付着したゴミ・異物・油分等の気泡発生の原因となる物
質を除去するのである。その後直合成用バーナ２にガラ
ス形成用ガスを供給し第３図の従来法と同様にしてガラ
ス微粒子堆積体４を形成する。
本発明の別の実施態様として、第２図に示す如く、ガラ
ス微粒子合成用バーナ２の下部に加熱用バーナ６を設置
し、該加熱用バーナ６ Ｋ燃焼ガス・助燃ガスに加えて
弗素系ガス又は／及び塩素系ガスを供給して加熱する方
法も挙げられる。なお第２図において第１図と共通する
符番の部分は第１図と同じを意味する。
ス微粒子合成用バーナ２の下部に加熱用バーナ６を設置
し、該加熱用バーナ６ Ｋ燃焼ガス・助燃ガスに加えて
弗素系ガス又は／及び塩素系ガスを供給して加熱する方
法も挙げられる。なお第２図において第１図と共通する
符番の部分は第１図と同じを意味する。
本発明【おいて用いられる弗素系ガスとしては、例えば
３Ｆ６．ＣＦ４．Ｃ（、！’２Ｆ２．（０／Ｆ３．ＳＯ
Ｆ２．ＳｅＦ６゜５ｅＯＦ２．ＯＦ２．Ｎ３Ｆ、Ｆ２Ｎ
４ 等が挙げられ、又塩素系ガスとしては例えばａｃ
ｔ４．ｃ２ｃｚ４，５ａｔ４，５ｏａｐ４゜ＳＯＣ／２
，５０２Ｃ１！２．ｓｅａ／４，５６００１！２等が挙
げられる。
３Ｆ６．ＣＦ４．Ｃ（、！’２Ｆ２．（０／Ｆ３．ＳＯ
Ｆ２．ＳｅＦ６゜５ｅＯＦ２．ＯＦ２．Ｎ３Ｆ、Ｆ２Ｎ
４ 等が挙げられ、又塩素系ガスとしては例えばａｃ
ｔ４．ｃ２ｃｚ４，５ａｔ４，５ｏａｐ４゜ＳＯＣ／２
，５０２Ｃ１！２．ｓｅａ／４，５６００１！２等が挙
げられる。
また本発明に訃いて上記の弗素系ガス又は／及び塩素系
ガスと共にバーナーに供給される燃焼ガスとしては例え
ばＨ２，ＣＨ４，Ｃ３Ｈ８等が、助燃ガスとしては０２
、空気等が挙げられる。
ガスと共にバーナーに供給される燃焼ガスとしては例え
ばＨ２，ＣＨ４，Ｃ３Ｈ８等が、助燃ガスとしては０２
、空気等が挙げられる。
本発明においては、燃焼ガス及び助燃ガスからなるバー
ナの火炎中に弗素系ガス又は／及び塩素ガスを供給し、
出発材表面に付着したゴミ・異物・油分等を加熱するこ
とで、これらの物質を弗素化合物又は／及び塩素化合物
にして揮散させることができる。該バーナに例えば燃焼
ガスとしてＨｉ、助燃ガスとしてｏ２を供給して出発材
を火炎研摩し、その表面を清浄化することも考えられる
が、このような火炎研摩の効果を得るＫは２２０（ＩＣ
以上に高温加熱することを要する。しかしこのような高
温では出発材１が熱的に変形し、真直度が劣化したり、
引伸びた勺してしまうという不具合がある。これに対し
、本発明の燃焼ガスに弗素系ガス又は／及び塩素系ガス
を供給する方法では、これらを含まない火炎よりずっと
低温、すなわち出発材１が熱的に変形しない加熱温度で
、出発材１の外表面を清浄化することが可能である。さ
らに弗素系ガスはエッチ効果を有するため、出発材１０
表面層に固溶している金属不純物等を同時に除去する効
果、さらにＯＨ基を除去する効果もあり有利である。Ｏ
Ｈ基の除去に関しては塩素系ガスも同様に有効である。
ナの火炎中に弗素系ガス又は／及び塩素ガスを供給し、
出発材表面に付着したゴミ・異物・油分等を加熱するこ
とで、これらの物質を弗素化合物又は／及び塩素化合物
にして揮散させることができる。該バーナに例えば燃焼
ガスとしてＨｉ、助燃ガスとしてｏ２を供給して出発材
を火炎研摩し、その表面を清浄化することも考えられる
が、このような火炎研摩の効果を得るＫは２２０（ＩＣ
以上に高温加熱することを要する。しかしこのような高
温では出発材１が熱的に変形し、真直度が劣化したり、
引伸びた勺してしまうという不具合がある。これに対し
、本発明の燃焼ガスに弗素系ガス又は／及び塩素系ガス
を供給する方法では、これらを含まない火炎よりずっと
低温、すなわち出発材１が熱的に変形しない加熱温度で
、出発材１の外表面を清浄化することが可能である。さ
らに弗素系ガスはエッチ効果を有するため、出発材１０
表面層に固溶している金属不純物等を同時に除去する効
果、さらにＯＨ基を除去する効果もあり有利である。Ｏ
Ｈ基の除去に関しては塩素系ガスも同様に有効である。
第２図に示したように１ガラス微粒子堆積体４を堆積さ
せる直前にこのような清浄化のための加熱処理を行うこ
とは、加熱前処理と堆積との間の時間が短かいため、特
に大きな効果が得られる。
せる直前にこのような清浄化のための加熱処理を行うこ
とは、加熱前処理と堆積との間の時間が短かいため、特
に大きな効果が得られる。
実施例１
ＶＡＤ法にて作製された、中心部にＧｅＯ２が添加され
た５１０２ からなるシングルモードファイバ用コア
材（クラッド／コア径比〜５、クラッドコア屈折率Δｎ
−０，！１％）ｔ−外径１７１３１に延伸して出発材ロ
ッドとした後、ガラス旋盤にて酸水素炎を用いて外表面
を加熱して清浄化し、次いで第１図に示すよりに引き上
げ装［ａにセントした。
た５１０２ からなるシングルモードファイバ用コア
材（クラッド／コア径比〜５、クラッドコア屈折率Δｎ
−０，！１％）ｔ−外径１７１３１に延伸して出発材ロ
ッドとした後、ガラス旋盤にて酸水素炎を用いて外表面
を加熱して清浄化し、次いで第１図に示すよりに引き上
げ装［ａにセントした。
ガラス微粒子合成用バーナ２にＨ２２０Ｊ３／分、０２
４０４／分、Ａｒ１５４／分、５Ｆ６５００ ｃｃＺ分
を供給し、第１図のように回転する上記出発材ロッド１
の外周表面を加熱した。ロッド１の引き上げ速度は２０
Ｈ／分とした。ロッド下端部まで加熱した後、合成用バ
ーナ２の加熱位置が出発点に戻るようにロッド１′ｆ！
：引き下げた後、該バーナ２に供給するガスｔ−８ｘＣ
１ａ １ 、７５２／分、Ａｒ１６Ａ／分、Ｈ２２Ａ／
分、ｏ２４０ぶ７分とし、引き上げ速度７０ ｙｌｌ
７時で第３図のようにガラス微粒子堆積体４を形成し九
堆積終了後得られた合成多孔質母材全抵抗加熱Ｐを用い
てＨθ ガス雰囲気下加熱し、透明ガラス化した。
４０４／分、Ａｒ１５４／分、５Ｆ６５００ ｃｃＺ分
を供給し、第１図のように回転する上記出発材ロッド１
の外周表面を加熱した。ロッド１の引き上げ速度は２０
Ｈ／分とした。ロッド下端部まで加熱した後、合成用バ
ーナ２の加熱位置が出発点に戻るようにロッド１′ｆ！
：引き下げた後、該バーナ２に供給するガスｔ−８ｘＣ
１ａ １ 、７５２／分、Ａｒ１６Ａ／分、Ｈ２２Ａ／
分、ｏ２４０ぶ７分とし、引き上げ速度７０ ｙｌｌ
７時で第３図のようにガラス微粒子堆積体４を形成し九
堆積終了後得られた合成多孔質母材全抵抗加熱Ｐを用い
てＨθ ガス雰囲気下加熱し、透明ガラス化した。
以上により得られた透明ガラスロッドについてハロゲン
ランプ照射下で観察したところ、気泡の発生は全く認め
られなかった。
ランプ照射下で観察したところ、気泡の発生は全く認め
られなかった。
比較例１
上記実施例１において、ガラス微粒子堆積前の加熱処理
のみを行わず、その他の条件は実施例１と同一にして多
孔質母材を作製し、同条件にて透明ガラス化したところ
、得られたロッドは出発材ロッドと合成ガラス体との界
面に１Ｃｒｎ長さ当り１２ケの割合で気泡発生が見られ
た。
のみを行わず、その他の条件は実施例１と同一にして多
孔質母材を作製し、同条件にて透明ガラス化したところ
、得られたロッドは出発材ロッドと合成ガラス体との界
面に１Ｃｒｎ長さ当り１２ケの割合で気泡発生が見られ
た。
実施例２
ロッドインチューブ法により作製した５１ｏ２コア、
５１０２Ｆクラツドのシングルモードファイバ用母材（
クランド／コア径比〜４．５、クラッド・コア屈折率差
０．３２％）を外径１４１３１に延伸して出発材ロッド
１とし、酸水素炎てよシ外表面を火炎研摩し清浄化した
後に第２図のように引き上げ装置８にセン）Ｌ７’ｃ。
５１０２Ｆクラツドのシングルモードファイバ用母材（
クランド／コア径比〜４．５、クラッド・コア屈折率差
０．３２％）を外径１４１３１に延伸して出発材ロッド
１とし、酸水素炎てよシ外表面を火炎研摩し清浄化した
後に第２図のように引き上げ装置８にセン）Ｌ７’ｃ。
ガラス微粒子合成用バーナ２の下部に加熱用バーナ６を
設貧し、バーナ２にはＨ２３５β／分、０２２０Ａ／分
、５１ｃｌ！４１５００ ＣＣ／分、入ｒ１０看／分を
、またバーナ６には５Ｆ６４００ｃｃ／分、ＣＩ！２２
０ｏｃｃ／分、Ｈ２１２Ａ／分、ｏ２２５に３／分、Ａ
ｒ７４／分を供給し、引き上げ速度１８龍／分でガラス
微粒子堆積体の形成と同時に出発拐ロッド１０表面を加
熱し之。堆積終了後得られた合成多孔質母材を抵抗加熱
炉を用い、ｈａ１５−６／分、Ｓ Ｉ Ｆ ４３７０
ＣＣ７分の雰囲気にて加熱することにより、該母材の辺
間ガラス化と合成ガラス層の弗素添加処理？行った。
設貧し、バーナ２にはＨ２３５β／分、０２２０Ａ／分
、５１ｃｌ！４１５００ ＣＣ／分、入ｒ１０看／分を
、またバーナ６には５Ｆ６４００ｃｃ／分、ＣＩ！２２
０ｏｃｃ／分、Ｈ２１２Ａ／分、ｏ２２５に３／分、Ａ
ｒ７４／分を供給し、引き上げ速度１８龍／分でガラス
微粒子堆積体の形成と同時に出発拐ロッド１０表面を加
熱し之。堆積終了後得られた合成多孔質母材を抵抗加熱
炉を用い、ｈａ１５−６／分、Ｓ Ｉ Ｆ ４３７０
ＣＣ７分の雰囲気にて加熱することにより、該母材の辺
間ガラス化と合成ガラス層の弗素添加処理？行った。
弗素添加された部分の石英との屈折率差は旧１５％であ
った。
った。
以上で得られた透明ガラスロッドについて、ハロゲンラ
ンプ照射下で観察したところ、気泡の存在は全く認めら
れなかった。
ンプ照射下で観察したところ、気泡の存在は全く認めら
れなかった。
以上の実施例、比較例の結果から本発明の方法が、出発
材と合成ガラス層との界面での気泡発生防止に非常に有
効であることが明らかである。
材と合成ガラス層との界面での気泡発生防止に非常に有
効であることが明らかである。
以上詳述のとおｐ１本発明はガラス微粒子堆積直前に弗
素系ガス又は／及び塩素系ガスを含む火炎にて出発材ロ
ッド外表面を加熱することで、該ロッド表面の清浄化、
さら【は表面近傍の固溶金属不純物除去、ＯＨ基除去等
ができるので、従来法で問題となっていた、出発材ロッ
ドとその外周に堆積させた合成ガラス層の境界面での気
泡発生を防止でき、気泡がなく高品質のガラス体を、安
定かつ簡単な方法で製造できる。
素系ガス又は／及び塩素系ガスを含む火炎にて出発材ロ
ッド外表面を加熱することで、該ロッド表面の清浄化、
さら【は表面近傍の固溶金属不純物除去、ＯＨ基除去等
ができるので、従来法で問題となっていた、出発材ロッ
ドとその外周に堆積させた合成ガラス層の境界面での気
泡発生を防止でき、気泡がなく高品質のガラス体を、安
定かつ簡単な方法で製造できる。
第１図および第２図は本発明の実施態様全概略説明する
断面図であり、第３図は従来のガラス微粒子堆積方法を
概略説明する断面図である。 第１図 第２図 第３図
断面図であり、第３図は従来のガラス微粒子堆積方法を
概略説明する断面図である。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 自らの軸を回転軸として回転している実質的に円柱状も
しくは円筒状の出発材の片端近傍から、該出発材の外周
部上にガラス微粒子合成用バーナの火炎内にガラス形成
用原料を供給することにより生成させたガラス微粒子を
堆積させ始め、該バーナを該出発材の軸と平行に相対的
に移動させてゆくことにより、ガラス微粒子の堆積体を
該出発材の外周部に軸方向に形成してゆく方法において
、ガラス微粒子の堆積を始める前に、上記バーナの火炎
内にガラス形成用原料ガスを含まない弗素系ガス又は／
及び塩素系ガスを供給し、該バーナを上記出発材の軸と
平行に移動させ加熱を行わせることを特徴とするガラス
微粒子堆積体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924586A JPS62297239A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13924586A JPS62297239A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297239A true JPS62297239A (ja) | 1987-12-24 |
Family
ID=15240831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13924586A Pending JPS62297239A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | ガラス微粒子堆積体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297239A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335429A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ用ガラスの表面処理方法 |
| EP0629590A1 (en) * | 1993-06-16 | 1994-12-21 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Process for producing glass preform for optical fiber |
| US6990836B2 (en) * | 2000-02-23 | 2006-01-31 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of producing fluorine-containing synthetic quartz glass |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60264338A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ母材の製造方法 |
-
1986
- 1986-06-17 JP JP13924586A patent/JPS62297239A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60264338A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ母材の製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335429A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ用ガラスの表面処理方法 |
| EP0629590A1 (en) * | 1993-06-16 | 1994-12-21 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Process for producing glass preform for optical fiber |
| US5597398A (en) * | 1993-06-16 | 1997-01-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for producing glass preform for optical fiber |
| AU675313B2 (en) * | 1993-06-16 | 1997-01-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process for producing glass preform for optical fiber |
| US6990836B2 (en) * | 2000-02-23 | 2006-01-31 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method of producing fluorine-containing synthetic quartz glass |
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