JPS622168A - 信号処理装置 - Google Patents
信号処理装置Info
- Publication number
- JPS622168A JPS622168A JP60141640A JP14164085A JPS622168A JP S622168 A JPS622168 A JP S622168A JP 60141640 A JP60141640 A JP 60141640A JP 14164085 A JP14164085 A JP 14164085A JP S622168 A JPS622168 A JP S622168A
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- signal
- synchronous
- distribution
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
Ｓ／Ｎ比が低い信号の測定等においては同期加算か多く
用いられているが、複数回数の加算を行なうために時間
を多く必要とする。本発明は必要とするＳ／Ｎ比に入る
ように同期加算の回数を制御し、効率のよいＳ／Ｎの改
善を行なう。
用いられているが、複数回数の加算を行なうために時間
を多く必要とする。本発明は必要とするＳ／Ｎ比に入る
ように同期加算の回数を制御し、効率のよいＳ／Ｎの改
善を行なう。
本発明は白色雑音等を多量に含みＳ／Ｎ比が低い信号の
Ｓ／Ｎ比を改善する装置に係り、特に同期加算を行なっ
て信号のＳ／Ｎ比を改善する信号処理装置に関する。
Ｓ／Ｎ比を改善する装置に係り、特に同期加算を行なっ
て信号のＳ／Ｎ比を改善する信号処理装置に関する。
白色雑音等を多量に含み、Ｓ／Ｎ比が低下している信号
のＳ／Ｎ比を高（する方式として同期加算方式がある。
のＳ／Ｎ比を高（する方式として同期加算方式がある。
この方式の原理は信号に同期して加算することによって
信号レベルのみを高め、雑音は同期加算してもそのレベ
ルは高くならないことを応用したものである。たとえば
、電子ビームを用いた電圧測定装置は測、定に用いる２
次電子信号強度は非常に低く多くの雑音成分を有してい
る。
信号レベルのみを高め、雑音は同期加算してもそのレベ
ルは高くならないことを応用したものである。たとえば
、電子ビームを用いた電圧測定装置は測、定に用いる２
次電子信号強度は非常に低く多くの雑音成分を有してい
る。
この電圧測定装置は、一般的に被測定点における繰り返
し信号に同期したクロックで測定を行ない加算している
。そしてそのクロックの位相すなわち時間の遅れを変化
させて１周期の波形を測定している。
し信号に同期したクロックで測定を行ない加算している
。そしてそのクロックの位相すなわち時間の遅れを変化
させて１周期の波形を測定している。
従来、前述した電子ビームを用いた電圧測定装置は測定
する前に同期加算回数を入力していた。
する前に同期加算回数を入力していた。
このため、入力信号のＳ／Ｎ比がきわめて低下していた
場合には同期加算した結果も目的のＳ／Ｎ比にならない
ことがあった。このような問題があるので、最も低いＳ
／Ｎ比の信号であると仮定して多数回の同期加算を行な
い、目的のＳ／Ｎ比以上になるようにしている。しかし
ながら、 Ｓ／Ｎ比が比較的に高い信号であっても同
様な回数の同期加算を行なっているので、測定に多（の
時間を有するという問題を有していた。
場合には同期加算した結果も目的のＳ／Ｎ比にならない
ことがあった。このような問題があるので、最も低いＳ
／Ｎ比の信号であると仮定して多数回の同期加算を行な
い、目的のＳ／Ｎ比以上になるようにしている。しかし
ながら、 Ｓ／Ｎ比が比較的に高い信号であっても同
様な回数の同期加算を行なっているので、測定に多（の
時間を有するという問題を有していた。
本発明は前記問題点を解決するものであり、その特徴と
するところは、入力信号の信号強度分布を測定して同期
加算の回数を出力する分布測定手段と。
するところは、入力信号の信号強度分布を測定して同期
加算の回数を出力する分布測定手段と。
該分布測定手段の結果が加わり、該結果によって加算回
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置にある。
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置にある。
入力信号を同期加算する前に入力信号の信号強度分布を
分布測定手段によって求める。求めた信号強度分布と、
あらかじめ入力され必要とする信号強度分布すなわちＳ
／Ｎ比とより同期加算回数を前記分布測定手段によって
求め、同期加算手段に加える。そして前記同期加算手段
によって加わった回数の同期加算を行ない、目的のＳ／
Ｎ比となった信号を出力する。
分布測定手段によって求める。求めた信号強度分布と、
あらかじめ入力され必要とする信号強度分布すなわちＳ
／Ｎ比とより同期加算回数を前記分布測定手段によって
求め、同期加算手段に加える。そして前記同期加算手段
によって加わった回数の同期加算を行ない、目的のＳ／
Ｎ比となった信号を出力する。
以下１図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例の回路構成図である。
図示しない装置たとえば電子ビームによる電圧測定装置
の信号出力端子に一端が接続された信号線１０３ならび
に一端が同期トリガ端子に接続された同期加算トリガ線
のそれぞれの他端はスイッチ４−１．４−２のコモン端
子に接続される。動作開始直後はスイッチ４−１．４−
２は制御回路の制御によってａ側に接続されている。よ
って信号線１０３ならびに同期加算トリガ線１０６を介
して加わった出力信号並びに同期加算トリガ信号は信号
線１０５．同期加算トリガ線１０８を介して信号処理装
置３に入力する。信号処理装置３は加わる信号を同期加
算トリガ信号でサンプリングする。信号処理装置３にお
けるサンプリングは特定トリガ数なされる。特定トリガ
数サンプリングが終了すると、信号処理装置３は得られ
たサンプリングデータの分布を求める。
の信号出力端子に一端が接続された信号線１０３ならび
に一端が同期トリガ端子に接続された同期加算トリガ線
のそれぞれの他端はスイッチ４−１．４−２のコモン端
子に接続される。動作開始直後はスイッチ４−１．４−
２は制御回路の制御によってａ側に接続されている。よ
って信号線１０３ならびに同期加算トリガ線１０６を介
して加わった出力信号並びに同期加算トリガ信号は信号
線１０５．同期加算トリガ線１０８を介して信号処理装
置３に入力する。信号処理装置３は加わる信号を同期加
算トリガ信号でサンプリングする。信号処理装置３にお
けるサンプリングは特定トリガ数なされる。特定トリガ
数サンプリングが終了すると、信号処理装置３は得られ
たサンプリングデータの分布を求める。
第２図は入力信号の分布特性図である。Ｘ軸の信号強度
は２次電子信号量であり、ｙ軸の信号強度分布は同一の
信号量となったサンプルの回数である。白色雑音が信号
に加わった場合には、この分布は正規分布であり、信号
処理装置３はこの分布より信号強度ピーク値Ｓ、と信号
強度半値幅Ｓ’Ａを求める。なお、信号強度ピーク値と
は測定したサンプルの回数が最大である点の信号量であ
り。
は２次電子信号量であり、ｙ軸の信号強度分布は同一の
信号量となったサンプルの回数である。白色雑音が信号
に加わった場合には、この分布は正規分布であり、信号
処理装置３はこの分布より信号強度ピーク値Ｓ、と信号
強度半値幅Ｓ’Ａを求める。なお、信号強度ピーク値と
は測定したサンプルの回数が最大である点の信号量であ
り。
信号強度半値幅Ｓ４ とはサンプルの回数の最大の２と
なる上下方向の信号量の幅である。
なる上下方向の信号量の幅である。
さらに信号処理装置３は、求めた値Ｓｐ ＋ ＳＫで
ありＳ／Ｎ比を改善した信号のＳｉ／Ｓｐを表している
。尚、この値ＸはＳ／Ｎに関係した値であり、特にＳ％
／ Ｓ ｅが小となればＳ／Ｎが大となる関係を有し
ている。
ありＳ／Ｎ比を改善した信号のＳｉ／Ｓｐを表している
。尚、この値ＸはＳ／Ｎに関係した値であり、特にＳ％
／ Ｓ ｅが小となればＳ／Ｎが大となる関係を有し
ている。
そして、演算した結果すなわち加算回数ＡＶＮは信号処
理装置３より出力され制御信号線１０９を介して同期加
算装置２に加わる。制御装置１は同期加算装置に加算回
数ＡＶＮが加わり取り込まれたことを確認後、スイッチ
４−１．４−２を切り換える。この切り換えによって信
号線１０３並びに同期トリガ線１０６より加わる入力信
号と同期加算トリガ信号はスイッチ４−１．４−２より
信号線１０４．同期加算トリガ線１０７を介して同期加
算装置２に加わる。同期加算装置２は同期加算トリガ信
号に同期して入力する信号を同期加算する。この同期加
算の回数は前述した信号処理装置３より加わる値ＡＶＮ
である。ＡＶＮで指定された回数分同期加算を行なった
後、同期加算装置２は同期加算結果出力線１０２を介し
て制御装置１に出力する。そして制御装置１は図示しな
い装置たとえば表示装置に出力する。
理装置３より出力され制御信号線１０９を介して同期加
算装置２に加わる。制御装置１は同期加算装置に加算回
数ＡＶＮが加わり取り込まれたことを確認後、スイッチ
４−１．４−２を切り換える。この切り換えによって信
号線１０３並びに同期トリガ線１０６より加わる入力信
号と同期加算トリガ信号はスイッチ４−１．４−２より
信号線１０４．同期加算トリガ線１０７を介して同期加
算装置２に加わる。同期加算装置２は同期加算トリガ信
号に同期して入力する信号を同期加算する。この同期加
算の回数は前述した信号処理装置３より加わる値ＡＶＮ
である。ＡＶＮで指定された回数分同期加算を行なった
後、同期加算装置２は同期加算結果出力線１０２を介し
て制御装置１に出力する。そして制御装置１は図示しな
い装置たとえば表示装置に出力する。
第３図は本発明の実施例より出力された結果の分布特性
図である。第２図と同様にＸ軸の信号強度は２次電子信
号量であり、ｙ軸の信号強度分布は同一の信号量となっ
たサンプルの回数である。
図である。第２図と同様にＸ軸の信号強度は２次電子信
号量であり、ｙ軸の信号強度分布は同一の信号量となっ
たサンプルの回数である。
尚、第３図は同期加算した結果を加算回数で割った平均
値でありＸ軸の信号強度は第２図と同一スケールである
。
値でありＸ軸の信号強度は第２図と同一スケールである
。
同期加算を行なう前の信号の分布すなわち３′Ａ／ Ｓ
ｐは約０．３９であるが９本発明の実施例の出力では
Ｓり／ Ｓ ｐは０．１２となっている。前述したＸと
は目的とするＳ’ｙａ ／ Ｓ 、の値を表した値であ
り、第３図はｘ−０，１とした時の結果であり。
ｐは約０．３９であるが９本発明の実施例の出力では
Ｓり／ Ｓ ｐは０．１２となっている。前述したＸと
は目的とするＳ’ｙａ ／ Ｓ 、の値を表した値であ
り、第３図はｘ−０，１とした時の結果であり。
それらの値はほぼ一致している。
以上述べたように本発明はあらかじめ入力信号Ｓ／Ｎに
関係する値すなわちＳＸ／Ｓ、を求め。
関係する値すなわちＳＸ／Ｓ、を求め。
その値と目標とするＳ ′／２／ Ｓ ｐの値Ｘより同
期加算回数を算出し、同期加算処理を行なっているので
、不必要な同期加算を行なう必要がない。よって本発明
によれば最小限の同期加算で目的のＳ／Ｎ比の信号を出
力する信号処理装置を得ることができる。
期加算回数を算出し、同期加算処理を行なっているので
、不必要な同期加算を行なう必要がない。よって本発明
によれば最小限の同期加算で目的のＳ／Ｎ比の信号を出
力する信号処理装置を得ることができる。
第１図は本発明の実施例の回路構成図。
第２図は入力信号の分布特性図。
第３図は本発明の実施例の出力信号の分布特性図である
。 １・・・制御装置。 ２・・・同期加算装置。 ３・・・信号処理装置。 １−・−制積ｐ表装置 １０６−−−−円期
加算トリが彩Ｌ２−＝−Ｆ”１ＭｆｌＤ：ｌｉ＄置
ＪＯ７−−−−− り３・・・・・店う丸理表直
１０８−−−− ＝４−１．４−２−・−スイ
ッチ ＋０９−−−一制着ｐ４【尋珠１０
１−−−−１１ｙ＋Ｉ＄イｇＪｔ＆＋０２−＝ ＰＩ”
呵加１！結果エカ、＆＋０３−・・・Ａｇ号簾 ＋０４・−・・ ゆ １０５−・・ ７ 肩虻号強＆（゛粁意１喀立）Ｓ吟／Ｓｐ口０．３９第２
図 第３図
。 １・・・制御装置。 ２・・・同期加算装置。 ３・・・信号処理装置。 １−・−制積ｐ表装置 １０６−−−−円期
加算トリが彩Ｌ２−＝−Ｆ”１ＭｆｌＤ：ｌｉ＄置
ＪＯ７−−−−− り３・・・・・店う丸理表直
１０８−−−− ＝４−１．４−２−・−スイ
ッチ ＋０９−−−一制着ｐ４【尋珠１０
１−−−−１１ｙ＋Ｉ＄イｇＪｔ＆＋０２−＝ ＰＩ”
呵加１！結果エカ、＆＋０３−・・・Ａｇ号簾 ＋０４・−・・ ゆ １０５−・・ ７ 肩虻号強＆（゛粁意１喀立）Ｓ吟／Ｓｐ口０．３９第２
図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 入力信号の信号強度分布を測定して同期加算の回数を出
力する分布測定手段と、 該分布測定手段の結果が加わり、該結果によって加算回
数を可変して入力信号を同期加算する同期加算手段とを
有すること を特徴とした信号処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141640A JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60141640A JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622168A true JPS622168A (ja) | 1987-01-08 |
| JPH0756495B2 JPH0756495B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=15296746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60141640A Expired - Lifetime JPH0756495B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 信号処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0756495B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63166731U (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | ||
| JPH04122496U (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-04 | 正晴 大滝 | 管受装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5829846A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-22 | Kuraray Co Ltd | 吸水性複合体 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60141640A patent/JPH0756495B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5829846A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-02-22 | Kuraray Co Ltd | 吸水性複合体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63166731U (ja) * | 1987-04-20 | 1988-10-31 | ||
| JPH04122496U (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-04 | 正晴 大滝 | 管受装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0756495B2 (ja) | 1995-06-14 |
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