JPS62210684A - 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ - Google Patents
双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タInfo
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- JPS62210684A JPS62210684A JP61053887A JP5388786A JPS62210684A JP S62210684 A JPS62210684 A JP S62210684A JP 61053887 A JP61053887 A JP 61053887A JP 5388786 A JP5388786 A JP 5388786A JP S62210684 A JPS62210684 A JP S62210684A
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- Japan
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- center
- piezoelectric bimorph
- actuator
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- piezoelectric
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 8
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Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電横効果を利用し電気的入力エネルギを変
位や力の機械エネルギに変換する圧電バイモルフアクチ
ュエータに関し、特に１素子中に２箇所の変位部を有す
る双動作型アクチュエータに関するものである。
位や力の機械エネルギに変換する圧電バイモルフアクチ
ュエータに関し、特に１素子中に２箇所の変位部を有す
る双動作型アクチュエータに関するものである。
従来のバイモルフ型圧電アクチュエータは、片端固定、
片持ち梁の曲げ変位を利用するのが一般的である。とこ
ろが、最近の電子機器やメカトロニクスデバイスの小型
化、高精度化に伴ない、限られた空間内に複数の７クチ
ユエータを収納し、それらを別個独立に駆動させるよう
な要求が強よりつつある。
片持ち梁の曲げ変位を利用するのが一般的である。とこ
ろが、最近の電子機器やメカトロニクスデバイスの小型
化、高精度化に伴ない、限られた空間内に複数の７クチ
ユエータを収納し、それらを別個独立に駆動させるよう
な要求が強よりつつある。
しかしながら、従来の片持ち梁壁のバイモルフアクチュ
エータを限られた空間内に複数収納するには、アクチュ
エータの性能劣化をきたすという問題点がある また、アクチュエータを組み込んだ装置自体を高速で回
転させるような要求に対して、回転中心軸の取り付けが
必要であるが、従来の片持ち梁壁のバイモル７アクチエ
エータでは、点又は線対照の構造でないので、結局、ア
クチュエータ白木を小型せざるを得す、前述と同様にバ
イモルフ性能の劣化をきたすという問題点がある。
エータを限られた空間内に複数収納するには、アクチュ
エータの性能劣化をきたすという問題点がある また、アクチュエータを組み込んだ装置自体を高速で回
転させるような要求に対して、回転中心軸の取り付けが
必要であるが、従来の片持ち梁壁のバイモル７アクチエ
エータでは、点又は線対照の構造でないので、結局、ア
クチュエータ白木を小型せざるを得す、前述と同様にバ
イモルフ性能の劣化をきたすという問題点がある。
本発明はかかる点に鑑み、限られた空間内に複数の圧電
バイモルフアクチュエータを収納する必要がなく、デバ
イス自体が高速で回転し得、変位や発生力の性能劣化の
少ない双動作型圧電バイモルフアクチュエータを提案す
ることを主たる目的とする。
バイモルフアクチュエータを収納する必要がなく、デバ
イス自体が高速で回転し得、変位や発生力の性能劣化の
少ない双動作型圧電バイモルフアクチュエータを提案す
ることを主たる目的とする。
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第１図及び第２図は本発明の一例を示す平面図及び断面
図である。図中、１０は圧電バイモルフ素子を示し、長
さ方向の中間位置で支持板１１により固定されており、
支持板１１を中心として素子１０の長さ方向の両端が第
２図中矢印の方向に夫々独立して変位することができる
ようにしている。１２は支持板１１の固定用ねし孔を、
１３は回転中心軸取り付は孔を夫々示す。
図である。図中、１０は圧電バイモルフ素子を示し、長
さ方向の中間位置で支持板１１により固定されており、
支持板１１を中心として素子１０の長さ方向の両端が第
２図中矢印の方向に夫々独立して変位することができる
ようにしている。１２は支持板１１の固定用ねし孔を、
１３は回転中心軸取り付は孔を夫々示す。
すなわち、第３図及び第４図に示す如く、表裏面に銀１
７をメタライズした厚み１５０μｍ、幅１０ ｍｍ、長
さ９０１ＩＩ１１１の圧電性セラミック板１４を２枚、
幅・長さの等しい黄銅板１５に接着し、長さ方向の中心
に幅１０ｍｍ、長さ２０ｍｍの支持板１′１を取り付け
、中心固定の圧電バイモルフアクチュエータ２０とし、
更に支持板１１の中心に直径５ｍｍの孔１３を穿設して
、回転中心軸を取り付は得るようにしている。表裏面に
メタライズした銀電極１７は、第３図に示す如く、長さ
方向に２分割されており、素子１０の両端は支持板を１
１を固定端として夫々独立して変位することが可能とな
る。
７をメタライズした厚み１５０μｍ、幅１０ ｍｍ、長
さ９０１ＩＩ１１１の圧電性セラミック板１４を２枚、
幅・長さの等しい黄銅板１５に接着し、長さ方向の中心
に幅１０ｍｍ、長さ２０ｍｍの支持板１′１を取り付け
、中心固定の圧電バイモルフアクチュエータ２０とし、
更に支持板１１の中心に直径５ｍｍの孔１３を穿設して
、回転中心軸を取り付は得るようにしている。表裏面に
メタライズした銀電極１７は、第３図に示す如く、長さ
方向に２分割されており、素子１０の両端は支持板を１
１を固定端として夫々独立して変位することが可能とな
る。
池方、厚膜積層の技術を用い、圧電性セラミックスの未
焼成生シートに銀パラジウム系の電極ペーストを印刷後
１０枚積層し、熱圧着することにより、未焼成バイモル
フの積層体とし、この生シートの厚みを７０μｍとし、
次に、長さ方向の中心に回転中心軸用の孔を穿設した後
、１１２０℃で焼結し、しかる後に長さ方向の中心に回
転中心軸用の孔を有する支持板を取り付けて構成するこ
ともできる。この場合、積層型圧電バイモルフの寸法は
長さ４０ｍｍ、幅１０ＩＩＩＩ１１１厚み０．６１であ
る。
焼成生シートに銀パラジウム系の電極ペーストを印刷後
１０枚積層し、熱圧着することにより、未焼成バイモル
フの積層体とし、この生シートの厚みを７０μｍとし、
次に、長さ方向の中心に回転中心軸用の孔を穿設した後
、１１２０℃で焼結し、しかる後に長さ方向の中心に回
転中心軸用の孔を有する支持板を取り付けて構成するこ
ともできる。この場合、積層型圧電バイモルフの寸法は
長さ４０ｍｍ、幅１０ＩＩＩＩ１１１厚み０．６１であ
る。
この積層型圧電バイモルフアクチュエータの性能を第１
表に示す。尚、点及び線対照なので夫々左右での性能測
定結果を示す。
表に示す。尚、点及び線対照なので夫々左右での性能測
定結果を示す。
〈以下空白〉
第１表
以上述べたごとく本考案によれば、長さ方向の中央位置
を固定部としたバイモルフ素子において、該素子の長さ
方向の両端を夫々独立して変位させる２組の対向電極が
点又は線対照に形成され、上記固定部を中心に回転させ
るための貫通孔が上記バイモルフ素子の厚み方向に穿設
されるように構成したので、 １素子中に２箇所の独立した変位点を有することになり
し、かつ回転可能に固定するようにすることにより、回
転しながらバイモルフ素子の両端で作用し得る圧電バイ
モルフアクチュエータが得られる。したがって、従来の
片持ち梁壁の圧電バイモルフ素子に比較して、中心軸固
定部を基準として両端の２１ｉ所に変位部を有し、かつ
点又は線対照で回転可能な圧電バイモルフアクチュエー
タを得ることができるので、狭い空間に設置して好適で
ある。
を固定部としたバイモルフ素子において、該素子の長さ
方向の両端を夫々独立して変位させる２組の対向電極が
点又は線対照に形成され、上記固定部を中心に回転させ
るための貫通孔が上記バイモルフ素子の厚み方向に穿設
されるように構成したので、 １素子中に２箇所の独立した変位点を有することになり
し、かつ回転可能に固定するようにすることにより、回
転しながらバイモルフ素子の両端で作用し得る圧電バイ
モルフアクチュエータが得られる。したがって、従来の
片持ち梁壁の圧電バイモルフ素子に比較して、中心軸固
定部を基準として両端の２１ｉ所に変位部を有し、かつ
点又は線対照で回転可能な圧電バイモルフアクチュエー
タを得ることができるので、狭い空間に設置して好適で
ある。
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す平面図及び
断面図、第３図及び第４図は同じく一実施例を示す平面
図及び断面図である。 １０・・・圧電バイモルフ素子、１１・・・支持板、１
２・・・固定用ねじ孔、１３・・・回転中心軸取り付は
孔、１４・・・圧電性セラミック板、１５・・・黄銅板
、１７・・・銀電極、２０・・・双動作型圧電バイモル
フアクチュエータ。
断面図、第３図及び第４図は同じく一実施例を示す平面
図及び断面図である。 １０・・・圧電バイモルフ素子、１１・・・支持板、１
２・・・固定用ねじ孔、１３・・・回転中心軸取り付は
孔、１４・・・圧電性セラミック板、１５・・・黄銅板
、１７・・・銀電極、２０・・・双動作型圧電バイモル
フアクチュエータ。
Claims (1)
- 長さ方向の中央位置を固定部としたバイモルフ素子に
おいて、該素子の長さ方向の両端を夫々独立して変位さ
せる２組の対向電極が点又は線対照に形成され、上記固
定部を中心に回転させるための貫通孔が上記バイモルフ
素子の厚み方向に穿設されるように構成したことを特徴
とする双動作型圧電バイモルフアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053887A JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053887A JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62210684A true JPS62210684A (ja) | 1987-09-16 |
| JPH0785507B2 JPH0785507B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=12955239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61053887A Expired - Lifetime JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785507B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07131285A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Yamaichi Electron Co Ltd | 圧電振動ユニット |
| KR100309084B1 (ko) * | 1993-09-28 | 2001-12-15 | 요트.게.아. 롤페즈 | 비틀림액추에이터및그제조방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117263U (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-24 |
-
1986
- 1986-03-12 JP JP61053887A patent/JPH0785507B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117263U (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-24 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100309084B1 (ko) * | 1993-09-28 | 2001-12-15 | 요트.게.아. 롤페즈 | 비틀림액추에이터및그제조방법 |
| JPH07131285A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Yamaichi Electron Co Ltd | 圧電振動ユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0785507B2 (ja) | 1995-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |