JPS6221066Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6221066Y2 JPS6221066Y2 JP1985162307U JP16230785U JPS6221066Y2 JP S6221066 Y2 JPS6221066 Y2 JP S6221066Y2 JP 1985162307 U JP1985162307 U JP 1985162307U JP 16230785 U JP16230785 U JP 16230785U JP S6221066 Y2 JPS6221066 Y2 JP S6221066Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- fixed
- vibrating
- connecting arm
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 239000006258 conductive agent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はたてモードで振動する圧電振動子に関
する。本考案の目的は高いＱ値の振動子を得るこ
とである。
する。本考案の目的は高いＱ値の振動子を得るこ
とである。
第１図は従来のたて振動子であり、寸法はｌ＝
５mm、ｗ＝１mm、ｔ＝0.2mmの寸法である。この
振動子１は、厚み方向から振動の節点を吊り線
２，２′をハンダ付け(3)して吊つている。本例に
おいては、支持部からの振動もれを防ぐため支持
位置を正確に節に合に合せなくてはならない。そ
のため吊り線のハンダ付け作業が面倒であり、量
産向きではないし、ハンダの量やバネの長さで性
能が変るため品質が一定しないなど多くの欠点が
ある。
５mm、ｗ＝１mm、ｔ＝0.2mmの寸法である。この
振動子１は、厚み方向から振動の節点を吊り線
２，２′をハンダ付け(3)して吊つている。本例に
おいては、支持部からの振動もれを防ぐため支持
位置を正確に節に合に合せなくてはならない。そ
のため吊り線のハンダ付け作業が面倒であり、量
産向きではないし、ハンダの量やバネの長さで性
能が変るため品質が一定しないなど多くの欠点が
ある。
第２図はこの欠点を除く目的で開発された振動
子である。４は振動節、５，５′は支持腕、６，
６′は固定部であり、４，４′、５，５′、６，
６′は１枚の水晶板からフオトエツチング法を用
いて一体的に形成される。この場合、支持固定
は、固定台７，７′に固定部６，６′をハンダなど
の導電剤ではりつければよいので、前記第１例よ
り量産に適している。しかしながら、本法による
振動子は以下に述べる理由により、低いＱ値しか
得られない。
子である。４は振動節、５，５′は支持腕、６，
６′は固定部であり、４，４′、５，５′、６，
６′は１枚の水晶板からフオトエツチング法を用
いて一体的に形成される。この場合、支持固定
は、固定台７，７′に固定部６，６′をハンダなど
の導電剤ではりつければよいので、前記第１例よ
り量産に適している。しかしながら、本法による
振動子は以下に述べる理由により、低いＱ値しか
得られない。
第３図は縦振動子の振動の様子を説明するため
の図であり、振動子８の寸法は、ｌ＝５mm、ｗ＝
１mm、ｔ（厚み）＝0.1mmである。この場合長手方
向の主振動にともなつて、これとは直角の、幅方
向のひずみが生ずるが、この様子を破線によつて
描いてある。このひずみの大きさは結晶のポワソ
ン比で決まる。このためにもしこの振動子の固定
部分９，９′を固定するなら、水晶内部には大き
な応力が生じ、大きなエネルギーロスが生ずる。
このため、本振動子のＱ値は低く実用に供すこと
はできない。
の図であり、振動子８の寸法は、ｌ＝５mm、ｗ＝
１mm、ｔ（厚み）＝0.1mmである。この場合長手方
向の主振動にともなつて、これとは直角の、幅方
向のひずみが生ずるが、この様子を破線によつて
描いてある。このひずみの大きさは結晶のポワソ
ン比で決まる。このためにもしこの振動子の固定
部分９，９′を固定するなら、水晶内部には大き
な応力が生じ、大きなエネルギーロスが生ずる。
このため、本振動子のＱ値は低く実用に供すこと
はできない。
本考案はこれらの欠点をとり除くためのもので
あり、以下図を用いて説明する。第４図において
振動部１０は固定部１１，１１′と曲つた腕１
２，１２′でつながつており、これらはフオトエ
ツチング法により一体的に作られている。曲がつ
た接続腕１２，１２′は振動部１０の幅方向に伸
長する第１部分と、振動部の長手方向の一方のみ
に伸長する第２部分を有し、第２部分に固定部１
１，１１′が接続される。破線は振動時のひずみ
の様子を誇張して描いてある。図からわかるよう
に、支持部１１，１１′は振動子１０の縦振動部
の節の延長線１３，１３′より距離ｍだけ隔つて
いる。接続腕の第２部分の長さｍを振動子の振動
部の幅ｗの1/3より長くとるならば、破線で見る
ように振動子の幅方向のひずみは支持腕１２，１
２′の屈曲変形によつて吸収あるいは反射され、
エネルギー損失を生じない。第５図は本考案の振
動子１０を固定台１３にとりつけた状態を表して
いる。この場合、支持腕１２，１２′の寸法形状
を適切にとることにより、真空中で100000以上の
Ｑ値が得られ、実用上十分な性能が得られた。
あり、以下図を用いて説明する。第４図において
振動部１０は固定部１１，１１′と曲つた腕１
２，１２′でつながつており、これらはフオトエ
ツチング法により一体的に作られている。曲がつ
た接続腕１２，１２′は振動部１０の幅方向に伸
長する第１部分と、振動部の長手方向の一方のみ
に伸長する第２部分を有し、第２部分に固定部１
１，１１′が接続される。破線は振動時のひずみ
の様子を誇張して描いてある。図からわかるよう
に、支持部１１，１１′は振動子１０の縦振動部
の節の延長線１３，１３′より距離ｍだけ隔つて
いる。接続腕の第２部分の長さｍを振動子の振動
部の幅ｗの1/3より長くとるならば、破線で見る
ように振動子の幅方向のひずみは支持腕１２，１
２′の屈曲変形によつて吸収あるいは反射され、
エネルギー損失を生じない。第５図は本考案の振
動子１０を固定台１３にとりつけた状態を表して
いる。この場合、支持腕１２，１２′の寸法形状
を適切にとることにより、真空中で100000以上の
Ｑ値が得られ、実用上十分な性能が得られた。
以上本考案によれば、縦振動子が節部から連結
する接続腕とさらにそれに連続する固定部とがエ
ツチング加工によつて１体に形成されるととも
に、接続腕はＬ字状に形成され節部から幅方向に
伸長する第１部分と、その端部から接続され長手
方向の一方のみに伸長する第２部分とから形成さ
れ、第２部分の先端に接続腕より幅広に構成され
固定台に支持される支持部を有し、特に接続腕は
縦振動子が振動するのに伴つて第２部分が屈曲変
形できる寸法形状に設定したものなので、固定部
と振動部が接続腕第２部分の屈曲変形によつて振
動的に分離され、固定支持の影響が振動に及ぶこ
とがない。又、第２部分を一方のみに伸長し、支
持部を略Ｌ字形にしたので、小型化に対応でき、
且つ縦振動子の振動に対する追従性を高めること
ができる。このため振動子のＱ値が高くなるばか
りでなく、固定作業も容易になり、量産に適して
いる。
する接続腕とさらにそれに連続する固定部とがエ
ツチング加工によつて１体に形成されるととも
に、接続腕はＬ字状に形成され節部から幅方向に
伸長する第１部分と、その端部から接続され長手
方向の一方のみに伸長する第２部分とから形成さ
れ、第２部分の先端に接続腕より幅広に構成され
固定台に支持される支持部を有し、特に接続腕は
縦振動子が振動するのに伴つて第２部分が屈曲変
形できる寸法形状に設定したものなので、固定部
と振動部が接続腕第２部分の屈曲変形によつて振
動的に分離され、固定支持の影響が振動に及ぶこ
とがない。又、第２部分を一方のみに伸長し、支
持部を略Ｌ字形にしたので、小型化に対応でき、
且つ縦振動子の振動に対する追従性を高めること
ができる。このため振動子のＱ値が高くなるばか
りでなく、固定作業も容易になり、量産に適して
いる。
第１図は従来の縦振動子である。第２図は別の
従来の縦振動子であり、フオトエツチング法によ
り作られている。第３図は振動子の振動の様子を
示す図である。第４図は本考案に関する振動子の
図であり、振動部１０と固定部１１，１１′は曲
つた腕１２，１２′でつながつている。第５図は
本発明に関する振動子１０を台に固定した状態を
表している。
従来の縦振動子であり、フオトエツチング法によ
り作られている。第３図は振動子の振動の様子を
示す図である。第４図は本考案に関する振動子の
図であり、振動部１０と固定部１１，１１′は曲
つた腕１２，１２′でつながつている。第５図は
本発明に関する振動子１０を台に固定した状態を
表している。
Claims (1)
- 振動部と固定部及び前記振動部と前記固定部を
つなぐ２本の接続腕とを一枚の圧電性薄板よりエ
ツチング加工により一体的に形成した縦振動子に
おいて、前記２本の接続腕は各々対向して前記振
動部の節部に接合されるとともに、前記振動部の
幅方向に伸長する第１部分と、前記第１部分の端
部から前記振動部の長手方向の一方のみに伸長し
前記振動部の振動に応じて屈曲変形し得る寸法形
状に設定される第２部分とからなり、前記接続腕
の第２部分の先端が前記固定部に接続されるとと
もに、前記接続腕より幅広に構成された前記固定
部を固定台に支持したことを特徴とする縦振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985162307U JPS6221066Y2 (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985162307U JPS6221066Y2 (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6181217U JPS6181217U (ja) | 1986-05-29 |
| JPS6221066Y2 true JPS6221066Y2 (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=30720195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985162307U Expired JPS6221066Y2 (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6221066Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291672A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Longer side piezoelectric vibrator |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP1985162307U patent/JPS6221066Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291672A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Longer side piezoelectric vibrator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6181217U (ja) | 1986-05-29 |
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