JPS62209877A - 圧電変位素子 - Google Patents

圧電変位素子

Info

Publication number
JPS62209877A
JPS62209877A JP61051825A JP5182586A JPS62209877A JP S62209877 A JPS62209877 A JP S62209877A JP 61051825 A JP61051825 A JP 61051825A JP 5182586 A JP5182586 A JP 5182586A JP S62209877 A JPS62209877 A JP S62209877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
horn
piezoelectric
laminate
displacement
amplitude
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61051825A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0563032B2 (ja
Inventor
Michiyuki Masuda
増田 道幸
Naomasa Wakita
尚正 脇田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP61051825A priority Critical patent/JPS62209877A/ja
Publication of JPS62209877A publication Critical patent/JPS62209877A/ja
Publication of JPH0563032B2 publication Critical patent/JPH0563032B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/503Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
    • H10N30/505Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view the cross-section being annular
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details

Landscapes

  • Impact Printers (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、プリンターの印字ヘッドを駆動したり1点字
練習機等に適用して、被駆動体に変位を与えるために用
いられる圧電変位素子に関する。
〈従来技術〉 複数枚の圧電素子を電気的並列になるように積層一体化
してなる圧電積層体を用いた圧電変位素子は公知である
〈発明が解決しようとする問題点〉 この圧電!a層屠体、その分極方向に従った電圧を印加
することにより伸張し、その印加を解除することにより
復動するものであって、該電圧印加により変位を取出し
得る。ところで、かかる圧電積層体を用いたものは、微
小な変位しか得ることができず、大変位を要する被駆動
体の移動には適用不能であった。
本発明は、かかる圧電積層体を変位発生源としながらも
、大きな変位を取出し得る圧電変位素子の提供を目的と
するものである。
く問題点を解決するための手段〉 本発明は、複数枚の圧電素子を電気的並列になるように
m層一体化してなる圧電積層体の駆動側端面に、振巾増
幅用ホーンを結合し、その共振系で励起できるように、
圧電積層体の長さをn×cs / fに設定し、ホーン
の長さをnXcz/fに設定したことを特徴とする圧電
変位素子。
ここでf;ホーンの共振周波数 n;整数/2 (局、1.1展・・・)C1;圧電積層
体中の音速 c2:ホーン中の音速 く作用〉 前記圧電積層体に、ホーンの共振周波数に一致する交番
電圧を印加すると、該積層体は振動を生じ、その振動は
ホーンで増幅され、その端部で、大きな振巾となる。
このホーンと積層体の接合端部の振動は、みかけ上は、
印加する周波数が高いために、最大伸張量と等しい変位
を生じたとものと同じとなり、前記ホーンの先端を、被
駆動体に連係すれば、実質上類被駆動体は、最大伸張量
と等しい変位が付与されることとなる。しかもこの変位
は、圧電積層体のみの場合に比して数十倍となる。
〈実施例〉 第1〜3図について本発明の一実施例を説明する。
lは、PZT磁器からなる複数枚の圧電素子2を積層し
てなる圧電積層体であって、該圧電素子2を電気的に並
列になるように積層一体化してなるものである。
その結線構成を第2,3図について説明すると、圧電素
子2の夫々の8展層面には電極3a、3bが積層方向へ
交互に形成され、かつその周面には、二条の導体からな
る導電路4a、4bが形成されており、前記電極3aは
導電路4aに、電極3bは導電路4bに夫々接続され、
さらに前記導電路4a、4bはリード線5a、5bによ
り外部に引き出されて発振器6に接続される。また、前
記圧電積層体lの周囲にはエポキシ樹脂、シリコンゴム
等の絶縁層7が形成され、前記導電路4a、4bの絶縁
処理が施される。而て、各圧電素子2は電気的に並列状
態に置かれて発振器6に接続されることとなる。
前記圧電積層体1の駆動側端面には、アルミ合金、ステ
ンレス等の金属製の振巾増幅用ホーン10が結合される
。その結合は、第2図のように、圧電積層体1の端面に
接着剤11により接続することによりなされ得る。また
結合手段の他側としては、第3図のように、圧電素子2
の中心に透孔12を形成とし、かつホーンlOの後端中
心に螺子孔13を形成して、圧電積層体1の後端から螺
子杆14を挿入し、前記螺子孔13に螺合するとともに
、その後端をナツト15で螺合緊締するようにしてもよ
い、前記ナツト15と、最端部の圧電素子2間には1皿
バネ等を介装し、前記ナツト15の締付けにより圧電素
子2に亀裂が生じないようにしてもよい。
第4図は、圧電積層体lの後端部に前記圧電素子2と同
径の金属ブロック17を配設し、ナツト15の締圧が、
圧電素子2の全面に均等にかかるようにしたものである
また第5図は、圧電積層体lの後端部に前記圧電素子2
と同径のアルミナ等の緩衝板18と、金属板19とを順
次配設したものであり、前記緩衝板18により、圧電素
子2と金属板19間の音!インピーダンス、熱膨張係数
の違いを緩和するようしたものである。前記金属板19
は、金属ブロック17と同様の機能を果す。
第1図に示すホーン10は、前記圧電積層体1と同径の
円柱部20と、その端面から段部21を介して突出する
截頭円錐部22とからなる段付コニカルホーンで構成さ
れる。
このホーンlOは、前記構成に限定されるものでは当然
なく、このほか截頭円錐形のみからなる単純コニカルホ
ーン、単純段付ホーン、段付エキスポネンシャルホーン
等種々の形状があり得る。
前記圧電積層体l及びホーンlOにあって、その寸法を
説明する。
前記圧電積層体lは、直径5■−厚さ0.4mmのPZ
T磁器を20枚積層して、約8mmの高さとしている。
この高さは、 f:ホーンの共振周波数 n;整数/2  (3’!、 1 、134・)CI 
;圧電積層体中の音速 とすると、nxc1/f小−・嶋iに適合する。
また、前記ホーン10は、円柱部20の直径が5mmで
あり、截頭円錐部22の先端の直径を1.2m層として
いる。そして、前記円柱部20の長さを7mmとし、截
頭円錐部22の長さを8mmとし、その全長を15mm
としている。
この、ホーン10の全長は、ホーン10中の音速を02
とすると、nxcz/fの式に適合する。また前記段部
21の位置を振巾のメート位置となり、截頭円錐部22
の先端が最大振巾位置となる。而で、前記圧電積層体1
の振巾を増幅するようにしている。
そして、前記発振器6にはホーン10の共振周波数と一
致する周波数の交番電圧が印加される。
かかる構成において、前記発振器6にホーンl’  O
wの入力パワーを与え、かつ駆動周波数を150KH2
とすると、第1図左部の振巾変位曲線に示す振巾を生じ
、截頭円錐部22の先端の振巾は、tOUmとなる。一
方、圧電M屠体のみの場合には、その変位は、0.34
tsであり、前記構成のものは約30倍の変位を取出し
得ることとなる。
かかる構成からなる圧電変位素子は、印字ブリング−に
適用することができる。この場合には、指定ドツト数に
対応して多数集束し、所定圧電変位素子の発振器6にの
み交番電圧を印加し、その先端で印字プリンターのヘッ
ドを駆動させる。
また、同じく多数集束して1点字練習機としても用いる
ことができる。この場合には所定点字を構成するドツト
に対応する箇所の圧電変位素子の発振器6にのみ交番電
圧を印加することにより。
練習者の指先に触圧を与え、点字にされるのと同一の触
覚を得ることができ1点字練習に供し得ることとなる。
前記適用例にあって、截頭円錐部22先端は発振器6の
電圧印加とともに伸縮するものであるが、この伸縮速度
は、周波数に対応して高速であるから、発振器6の電圧
印加中は、継続的変位が生じていると同じ状態となる0
例えば1点字練習機にあっても、その触圧は一定に感じ
る。(例えば蛍光灯の光のようなものである。) 〈発明の効果〉 本発明は、上述のように、圧″FLM1層体の駆動側端
面に振巾増幅用ホーンを結合し、その先端を変位取出し
端としたから、大きな変位を取出すことができる等の優
れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
添付図面は本発明の実施例を示し、第1図は振巾変位曲
線とともに示す、圧電変位素子の一例の側面図、第2図
は圧電積層体1の縦断側面図、第3図は他の圧電積層体
lの固定例を示す縦断側面図、第4.5図は同じく他の
圧電積層体lの固定例を示す一部の縦断側面図である。 l;圧電積層体 2;圧電素子 6:発振器lO:ホー
ン 20;円柱f’ll  21;段部22;截頭円錐
部 第1図 第2図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数枚の圧電素子を電気的並列になるように積層一体化
    してなる圧電積層体の駆動側端面に、振巾増幅用ホーン
    を結合し、その共振系で励起できるように、圧電積層体
    の長さをn×c_1/fに設定し、ホーンの長さをn×
    c_2/fに設定したことを特徴とする圧電変位素子。 ここでf;ホーンの共振周波数 n:整数/2(1/2、1、1(1/2)…) c_1;圧電積層体中の音速 c_2:ホーン中の音速
JP61051825A 1986-03-10 1986-03-10 圧電変位素子 Granted JPS62209877A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61051825A JPS62209877A (ja) 1986-03-10 1986-03-10 圧電変位素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61051825A JPS62209877A (ja) 1986-03-10 1986-03-10 圧電変位素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62209877A true JPS62209877A (ja) 1987-09-16
JPH0563032B2 JPH0563032B2 (ja) 1993-09-09

Family

ID=12897663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61051825A Granted JPS62209877A (ja) 1986-03-10 1986-03-10 圧電変位素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62209877A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02131952A (ja) * 1988-11-14 1990-05-21 Fujitsu Ltd 印字ヘッド
WO1991006429A1 (en) * 1989-11-01 1991-05-16 Oki Electric Industry Co., Ltd. Wire driving mechanism
US5345137A (en) * 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02131952A (ja) * 1988-11-14 1990-05-21 Fujitsu Ltd 印字ヘッド
WO1991006429A1 (en) * 1989-11-01 1991-05-16 Oki Electric Industry Co., Ltd. Wire driving mechanism
US5167458A (en) * 1989-11-01 1992-12-01 Oki Electric Industry Co., Ltd. Wire driving mechanism
US5345137A (en) * 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0563032B2 (ja) 1993-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6068590A (en) Device for diagnosing and treating hearing disorders
US7264597B2 (en) Device and method for producing high-pressure ultrasonic pulses
US11383271B2 (en) Ultrasound transducer
JPH07163162A (ja) 超音波振動子
JPS62209877A (ja) 圧電変位素子
JPS6059900A (ja) 座屈バネを用いた圧電振動子
DE60120179D1 (de) Piezoelektrische Vibratoreinheit
JP2007512703A (ja) 横電気変位型アクチュエータアレイ
JPS5862072A (ja) 打印エレメントを駆動する方法及び装置
JPS61103397A (ja) 圧電ブザ−
JPS61223683A (ja) 超音波素子および超音波素子の駆動方法
JPS61253873A (ja) 圧電セラミツク材料
WO2002066267A3 (de) Piezoelektrischer transducer zur ultraschallerzeugung
JP2002078090A (ja) 超音波発信装置及びアレイ型超音波発信装置
JPH11307835A (ja) 積層構造の剪断型圧電素子の製造方法
JPH01160067A (ja) 圧電トランス
JP3008255B2 (ja) 圧電トランス
JPH10285694A (ja) 超音波探触子
JP2003092796A (ja) 湾曲面を有する超音波振動子
US11756520B2 (en) 2D ultrasound transducer array and methods of making the same
JPH0211079B2 (ja)
JPH01111385A (ja) モノリシック圧電バイモルフおよびその製造法
JPH10336792A (ja) 超音波振動子及びその製造方法
JPS60260297A (ja) 圧電振動発音体
JPS637213Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees