JPH10336792A - 超音波振動子及びその製造方法 - Google Patents
超音波振動子及びその製造方法Info
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- JPH10336792A JPH10336792A JP13945097A JP13945097A JPH10336792A JP H10336792 A JPH10336792 A JP H10336792A JP 13945097 A JP13945097 A JP 13945097A JP 13945097 A JP13945097 A JP 13945097A JP H10336792 A JPH10336792 A JP H10336792A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の積層型の超音波振動子においては、圧
電体の個数が偶数になる場合に、積層体の上面電極と下
面電極との極性が一致してしまい信号線の接続が困難で
あった。 【解決手段】 偶数個の圧電体に加えてダミー体として
のバッキング層４０あるいはバッキング側音響整合層を
加えて積層体１０４を構成する。積層体１０４の上面及
び下面並びに各部材間に設けられた中間電極のそれぞれ
の面電極の極性を交互に異ならせ、上面及び下面に一対
の信号線を接続することができる。ダミー体としてはバ
ッキング層の他、整合層を利用できる。
電体の個数が偶数になる場合に、積層体の上面電極と下
面電極との極性が一致してしまい信号線の接続が困難で
あった。 【解決手段】 偶数個の圧電体に加えてダミー体として
のバッキング層４０あるいはバッキング側音響整合層を
加えて積層体１０４を構成する。積層体１０４の上面及
び下面並びに各部材間に設けられた中間電極のそれぞれ
の面電極の極性を交互に異ならせ、上面及び下面に一対
の信号線を接続することができる。ダミー体としてはバ
ッキング層の他、整合層を利用できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超音波振動子及びそ
の製造方法、特に積層型の超音波振動子の構造に関す
る。
の製造方法、特に積層型の超音波振動子の構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】超音波振動子を低インピーダンスにする
ため、圧電体を積層することが行われる。そのような積
層型の超音波振動子は、図７に模式的に示すように、複
数の圧電体１０、１２を積層させてなるものであり、積
層体の上面及び下面にはそれぞれ上面電極１４及び下面
電極１８が形成され、各圧電体１０、１２の間には中間
電極２６が形成される。上面電極１４から下面電極１８
までの複数個の電極を１つ置きに互い違いに接続するこ
とによって正極及び負極が形成される。具体的には、上
面電極１４と下面電極１８は回り込み電極２２によって
相互接続され、更にそれらには信号線２４が接続され
る。中間電極１６にははんだ付け２６などによってリー
ドとしての信号線２０が接続される。信号線２０及び２
６間に電圧を印加すると超音波が発生される。
ため、圧電体を積層することが行われる。そのような積
層型の超音波振動子は、図７に模式的に示すように、複
数の圧電体１０、１２を積層させてなるものであり、積
層体の上面及び下面にはそれぞれ上面電極１４及び下面
電極１８が形成され、各圧電体１０、１２の間には中間
電極２６が形成される。上面電極１４から下面電極１８
までの複数個の電極を１つ置きに互い違いに接続するこ
とによって正極及び負極が形成される。具体的には、上
面電極１４と下面電極１８は回り込み電極２２によって
相互接続され、更にそれらには信号線２４が接続され
る。中間電極１６にははんだ付け２６などによってリー
ドとしての信号線２０が接続される。信号線２０及び２
６間に電圧を印加すると超音波が発生される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかる積層
型の超音波振動子については、その製造が困難であるこ
とが指摘されている。特に、図７に示すように、中間電
極１６端部へのリード接続には熟練を要する。この場
合、積層体の側面を利用して信号線の接続を行うことも
可能であるが、圧電体が薄いような場合にはその接続も
困難である。
型の超音波振動子については、その製造が困難であるこ
とが指摘されている。特に、図７に示すように、中間電
極１６端部へのリード接続には熟練を要する。この場
合、積層体の側面を利用して信号線の接続を行うことも
可能であるが、圧電体が薄いような場合にはその接続も
困難である。
【０００４】上記問題は、特に、積層体が偶数個の圧電
素子で構成される場合に生じる。つまり、面電極の個数
が奇数個になり、上面電極と下面電極の極性が同じにな
る結果、それらと異なる極性についてはどうしても積層
体の側面で信号線の接続をしなければならない。
素子で構成される場合に生じる。つまり、面電極の個数
が奇数個になり、上面電極と下面電極の極性が同じにな
る結果、それらと異なる極性についてはどうしても積層
体の側面で信号線の接続をしなければならない。
【０００５】本発明は、上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、その目的は、積層型の超音波振動子の製造
を容易にすることにあり、特にリードの接続を容易にす
ることにある。
ものであり、その目的は、積層型の超音波振動子の製造
を容易にすることにあり、特にリードの接続を容易にす
ることにある。
【０００６】また、本発明の他の目的は、偶数個の圧電
体を含む積層型の超音波振動子において、積層体の上面
電極と下面電極の極性が異なるようにし、リードの接続
を容易にすることにある。
体を含む積層型の超音波振動子において、積層体の上面
電極と下面電極の極性が異なるようにし、リードの接続
を容易にすることにある。
【０００７】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、積層され
る複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対し追加積層さ
れるダミー体と、前記複数の圧電体及び前記ダミー体か
らなる積層体の上下面及び部材間に形成された複数の面
電極と、前記積層体の一方側面及び他方側面を用いて、
複数の面電極を１つ置きに互い違い接続する一方及び他
方の回り込み電極と、を含むことを特徴とする。
る複数の圧電体と、前記複数の圧電体に対し追加積層さ
れるダミー体と、前記複数の圧電体及び前記ダミー体か
らなる積層体の上下面及び部材間に形成された複数の面
電極と、前記積層体の一方側面及び他方側面を用いて、
複数の面電極を１つ置きに互い違い接続する一方及び他
方の回り込み電極と、を含むことを特徴とする。
【０００８】上記構成によれば、上段又は下段にダミー
体を取り込んで積層体を形成でき、その結果、積層体を
構成する部材の個数を調整して、上面電極と下面電極と
の極性関係を自在に設定できる。よって、上面電極と下
面電極の極性を異ならせることも容易であるので、それ
ゆえリード接続時の問題を解消できる。
体を取り込んで積層体を形成でき、その結果、積層体を
構成する部材の個数を調整して、上面電極と下面電極と
の極性関係を自在に設定できる。よって、上面電極と下
面電極の極性を異ならせることも容易であるので、それ
ゆえリード接続時の問題を解消できる。
【０００９】本発明の好適な態様では、前記積層体は偶
数個の圧電体と１個のダミー体からなり、前記積層体の
上面電極と下面電極は互いに極性が異なる。例えば、前
記ダミー体は最上段に設けられ、音響整合層として機能
し、あるいは、前記ダミー体は最下段に設けられ、バッ
キング層としてあるいは、バッキング側音響整合層とし
て機能する。ここで、バッキング側音響整合層は圧電体
とバッキング層との間で音響インピーダンスの整合を図
る部材である。
数個の圧電体と１個のダミー体からなり、前記積層体の
上面電極と下面電極は互いに極性が異なる。例えば、前
記ダミー体は最上段に設けられ、音響整合層として機能
し、あるいは、前記ダミー体は最下段に設けられ、バッ
キング層としてあるいは、バッキング側音響整合層とし
て機能する。ここで、バッキング側音響整合層は圧電体
とバッキング層との間で音響インピーダンスの整合を図
る部材である。
【００１０】（２）上記目的を達成するために、本発明
は、複数の圧電体及びダミー体の各部材間に面電極を形
成する第１の電極形成工程と、前記面電極が形成された
後に、複数の圧電体及びダミー体を積層させて積層体を
形成する積層工程と、前記積層体を取り囲むように電極
を形成する第２電極工程と、前記積層体の上面電極から
下面電極までの複数の面電極を交互に正極及び負極に振
り分けるための絶縁処理を行う後処理工程と、を含むこ
とを特徴とする。
は、複数の圧電体及びダミー体の各部材間に面電極を形
成する第１の電極形成工程と、前記面電極が形成された
後に、複数の圧電体及びダミー体を積層させて積層体を
形成する積層工程と、前記積層体を取り囲むように電極
を形成する第２電極工程と、前記積層体の上面電極から
下面電極までの複数の面電極を交互に正極及び負極に振
り分けるための絶縁処理を行う後処理工程と、を含むこ
とを特徴とする。
【００１１】上記構成によれば、中間電極としての面電
極が形成された圧電体をダミー体を含めて積層させて積
層体を形成すると、次に、その積層体を取り囲むように
して周囲に電極が形成され、その後、必要な絶縁処理を
経て積層型の超音波振動子が製造される。各電極の形成
に当たっては、スパッタ法や蒸着法などを採用可能であ
る。積層工程では部材間の接合に例えば接着剤が利用さ
れる。
極が形成された圧電体をダミー体を含めて積層させて積
層体を形成すると、次に、その積層体を取り囲むように
して周囲に電極が形成され、その後、必要な絶縁処理を
経て積層型の超音波振動子が製造される。各電極の形成
に当たっては、スパッタ法や蒸着法などを採用可能であ
る。積層工程では部材間の接合に例えば接着剤が利用さ
れる。
【００１２】本発明の好適な態様では、前記絶縁処理工
程には、前記積層工程の前に部材間の面電極の一方端部
を絶縁処理する前処理工程と、前記第２の電極形成工程
の後に前記積層体の上面電極及び下面電極の一方端部を
絶縁処理する後処理工程と、が含まれる。
程には、前記積層工程の前に部材間の面電極の一方端部
を絶縁処理する前処理工程と、前記第２の電極形成工程
の後に前記積層体の上面電極及び下面電極の一方端部を
絶縁処理する後処理工程と、が含まれる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１４】図１には、本発明に係る超音波探触子の製
造方法が示されている。本実施形態の製造方法を図２〜
図５を参照しながら図１に基づいて説明する。
造方法が示されている。本実施形態の製造方法を図２〜
図５を参照しながら図１に基づいて説明する。
【００１５】図１に示すＳ１０１では、図２に示すよう
に各圧電体の両面に電極が形成される。すなわち、圧電
体１０には面電極としての電極３０，３２が形成され、
圧電体１２には面電極としての電極３４，３６が形成さ
れる。ここで、圧電体１０及び１２の間に位置する電極
３２及び３４の一方端部（左端部）はそれぞれカットさ
れ、絶縁部３２Ａ，３４Ａが形成されている。また、圧
電体１２の下側の電極３６の一方端部（右端部）もカッ
トされ、絶縁部３６Ａが形成されている。これら絶縁部
の形成によって後に説明するように各面電極を互い違い
に正極及び負極に振り分けることが可能となる。したが
って、絶縁部は積層される順番で交互に形成されること
になる。各面電極の形成に当たっては例えば公知のスパ
ッタ法などを適用できる。絶縁部の形成に当たってはエ
ッチングなどによって除去できる。図２において符号１
００，１０２は積層要素を示している。
に各圧電体の両面に電極が形成される。すなわち、圧電
体１０には面電極としての電極３０，３２が形成され、
圧電体１２には面電極としての電極３４，３６が形成さ
れる。ここで、圧電体１０及び１２の間に位置する電極
３２及び３４の一方端部（左端部）はそれぞれカットさ
れ、絶縁部３２Ａ，３４Ａが形成されている。また、圧
電体１２の下側の電極３６の一方端部（右端部）もカッ
トされ、絶縁部３６Ａが形成されている。これら絶縁部
の形成によって後に説明するように各面電極を互い違い
に正極及び負極に振り分けることが可能となる。したが
って、絶縁部は積層される順番で交互に形成されること
になる。各面電極の形成に当たっては例えば公知のスパ
ッタ法などを適用できる。絶縁部の形成に当たってはエ
ッチングなどによって除去できる。図２において符号１
００，１０２は積層要素を示している。
【００１６】図１に示すＳ１０２においては、図３に示
すように積層要素１００及び１０２に加えてさらにダミ
ー体としてのバッキング層４０を含めて各部材が相互に
接着される。この場合、例えば接着剤などが利用され
る。図３における符号１０４は積層体を示している。バ
ッキング層４０はこの実施形態では圧電体１０，１２と
同様の厚さを有するが、必ずしもそのような厚さには限
定されない。バッキング層４０はダミー体として機能
し、すなわち、面電極を一つ追加する働きを有する。そ
れゆえ、必要に応じてその厚さを適宜調整可能である。
図３に示す例ではダミー体が下側に設けられていたが、
もちろん積層体の上段にダミー体を設けることができ、
これについては後に図６を用いて説明する。バッキング
層４０は周知のように後方へ放射される超音波を吸収す
る役割を有する。
すように積層要素１００及び１０２に加えてさらにダミ
ー体としてのバッキング層４０を含めて各部材が相互に
接着される。この場合、例えば接着剤などが利用され
る。図３における符号１０４は積層体を示している。バ
ッキング層４０はこの実施形態では圧電体１０，１２と
同様の厚さを有するが、必ずしもそのような厚さには限
定されない。バッキング層４０はダミー体として機能
し、すなわち、面電極を一つ追加する働きを有する。そ
れゆえ、必要に応じてその厚さを適宜調整可能である。
図３に示す例ではダミー体が下側に設けられていたが、
もちろん積層体の上段にダミー体を設けることができ、
これについては後に図６を用いて説明する。バッキング
層４０は周知のように後方へ放射される超音波を吸収す
る役割を有する。
【００１７】図１に示すＳ１０３では積層体１０４の周
囲に電極が形成される。この場合もスパッタ法などが利
用される。図４にはそのようにして形成された周囲電極
４２が示されており、この周囲電極４２は一方の回り込
み電極４２ａ、他方の回り込み電極４２ｂ及び面電極４
２ｃからなる。なお、積層体１０４の上面に相当する電
極はすでに形成されているため、この実施形態において
この時点では積層体１０４の上面電極を形成する必要は
ない。もちろん、Ｓ１０１の工程で上面電極に相当する
面電極が形成されていない場合には、このＳ１０３にお
いてそのような上面電極を形成する。また、Ｓ１０１の
工程においてバッキング層４０の下側に面電極が形成さ
れている場合、このＳ１０３においてはバッキング層４
０の下側に面電極を形成する必要がなくなる。
囲に電極が形成される。この場合もスパッタ法などが利
用される。図４にはそのようにして形成された周囲電極
４２が示されており、この周囲電極４２は一方の回り込
み電極４２ａ、他方の回り込み電極４２ｂ及び面電極４
２ｃからなる。なお、積層体１０４の上面に相当する電
極はすでに形成されているため、この実施形態において
この時点では積層体１０４の上面電極を形成する必要は
ない。もちろん、Ｓ１０１の工程で上面電極に相当する
面電極が形成されていない場合には、このＳ１０３にお
いてそのような上面電極を形成する。また、Ｓ１０１の
工程においてバッキング層４０の下側に面電極が形成さ
れている場合、このＳ１０３においてはバッキング層４
０の下側に面電極を形成する必要がなくなる。
【００１８】いずれにしても、積層体１０４の上面、下
面及び側周囲面を取り囲むようにして電極が形成され
る。積層体１０４の側面は４つあるが、そのうちの互い
に対向する２つの面を利用して回り込み電極４２ａ，４
２ｂが形成される。
面及び側周囲面を取り囲むようにして電極が形成され
る。積層体１０４の側面は４つあるが、そのうちの互い
に対向する２つの面を利用して回り込み電極４２ａ，４
２ｂが形成される。
【００１９】このように積層体１０４の周囲に電極を形
成すると、圧電体１０及び１２の間に存在する電極３
２，３４すなわち中間電極はこの端部において回り込み
電極４２ｂに接続されることになる。その中間電極の他
方の端部には上述のように絶縁処理がなされているため
他方の端部における回り込み電極４２ａへの接続は防止
される。これと同様に、圧電体１２とバッキング層４０
との間に位置する面電極すなわち中間電極の一方端部は
回り込み電極４２ａに接続され、その他方端部は上述し
た絶縁処理によって回り込み電極４２ｂから絶縁され
る。
成すると、圧電体１０及び１２の間に存在する電極３
２，３４すなわち中間電極はこの端部において回り込み
電極４２ｂに接続されることになる。その中間電極の他
方の端部には上述のように絶縁処理がなされているため
他方の端部における回り込み電極４２ａへの接続は防止
される。これと同様に、圧電体１２とバッキング層４０
との間に位置する面電極すなわち中間電極の一方端部は
回り込み電極４２ａに接続され、その他方端部は上述し
た絶縁処理によって回り込み電極４２ｂから絶縁され
る。
【００２０】Ｓ１０４の工程では、図４に示すように、
積層体１０４の角部分の２カ所において電極の切断がな
される。これが符号４４Ａ，４４Ｂで示されており、こ
のような処理によって各面電極を互い違いに正極及び負
極に振り分けることが可能になる。
積層体１０４の角部分の２カ所において電極の切断がな
される。これが符号４４Ａ，４４Ｂで示されており、こ
のような処理によって各面電極を互い違いに正極及び負
極に振り分けることが可能になる。
【００２１】図１に示すＳ１０５では、図５に示すよう
に正極に相当する電極に対してシグナルＦＰＣ（フレキ
シブルプリント基板）５８が接続され、負極あるいはグ
ランドに相当する電極にはグランドリード５６が接続さ
れる。なお、図１のＳ１０６においては圧電体に対する
分極処理が実行され、Ｓ１０７においては図５に示すよ
うに超音波振動子が組み立てられる。積層体１０４の上
部には整合層５０，５２が設けられ、積層体１０４の下
側にはバッキング層５４が設けられる。バッキング層４
０及びバッキング層５４の両者が共同して後方への超音
波の吸収を行う。
に正極に相当する電極に対してシグナルＦＰＣ（フレキ
シブルプリント基板）５８が接続され、負極あるいはグ
ランドに相当する電極にはグランドリード５６が接続さ
れる。なお、図１のＳ１０６においては圧電体に対する
分極処理が実行され、Ｓ１０７においては図５に示すよ
うに超音波振動子が組み立てられる。積層体１０４の上
部には整合層５０，５２が設けられ、積層体１０４の下
側にはバッキング層５４が設けられる。バッキング層４
０及びバッキング層５４の両者が共同して後方への超音
波の吸収を行う。
【００２２】図５に示すように、各面電極は互い違いに
２つの極性に振り分けられ、それらの各極に対する信号
線の接続も容易である。このような信号線の接続によれ
ばたとえはんだ付けなどによってその接続を行う場合に
おいても、その作業を極めて簡易化できるという利点が
ある。
２つの極性に振り分けられ、それらの各極に対する信号
線の接続も容易である。このような信号線の接続によれ
ばたとえはんだ付けなどによってその接続を行う場合に
おいても、その作業を極めて簡易化できるという利点が
ある。
【００２３】以上のように、上記実施形態によれば、ダ
ミー体を加えることによって積層体１０４を構成する要
素の個数を奇数個にでき、その結果、積層体の上面電極
と下面電極の極性を異ならせて信号線の接続を従来より
も容易に行うことができる。上記実施形態では圧電体が
２つの場合についてのものであったが、もちろん３つ以
上の圧電体を用いる場合にも本発明を適用できる。
ミー体を加えることによって積層体１０４を構成する要
素の個数を奇数個にでき、その結果、積層体の上面電極
と下面電極の極性を異ならせて信号線の接続を従来より
も容易に行うことができる。上記実施形態では圧電体が
２つの場合についてのものであったが、もちろん３つ以
上の圧電体を用いる場合にも本発明を適用できる。
【００２４】図６には、積層体１０４の上段にダミー体
としての整合層６０を設けた実施形態が示されている。
整合層６０の上側には整合層６２が設けられており、積
層体１０４の下側にはバッキング層６４が設けられてい
る。このような実施形態によっても結果として積層体１
０４の上面電極と下面電極の極性を異ならせて信号線の
接続を容易に行うことができる。
としての整合層６０を設けた実施形態が示されている。
整合層６０の上側には整合層６２が設けられており、積
層体１０４の下側にはバッキング層６４が設けられてい
る。このような実施形態によっても結果として積層体１
０４の上面電極と下面電極の極性を異ならせて信号線の
接続を容易に行うことができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば積
層型の超音波探触子の製造を容易化でき、特にリードの
接続を簡単に行うことができる。また、本発明によれば
偶数個の圧電体を含む積層型の超音波探触子において、
積層体の上面電極と下面電極の極性を異ならせることが
でき、その結果、それらの電極への信号線への接続を簡
単に行えるという利点がある。
層型の超音波探触子の製造を容易化でき、特にリードの
接続を簡単に行うことができる。また、本発明によれば
偶数個の圧電体を含む積層型の超音波探触子において、
積層体の上面電極と下面電極の極性を異ならせることが
でき、その結果、それらの電極への信号線への接続を簡
単に行えるという利点がある。
【図１】 本発明に係る超音波振動子の製造方法を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図２】 ２つの圧電体に対する電極の形成を示す図で
ある。
ある。
【図３】 積層体の形成を示す図である。
【図４】 積層体に対して周囲に電極を形成した状態を
示す図である。
示す図である。
【図５】 本発明に係る超音波振動子の模式図を示す図
である。
である。
【図６】 他の実施形態を示す模式図である。
【図７】 従来の超音波振動子の模式図である。
１０，１２ 圧電体、３０，３２，３４，３６ 電極
（面電極）、３２Ａ，３４Ａ，３６Ａ 絶縁部、４０
バッキング層（ダミー体）、４２ 周囲電極、４２ａ，
４２ｂ 回り込み電極、１０４ 積層体。
（面電極）、３２Ａ，３４Ａ，３６Ａ 絶縁部、４０
バッキング層（ダミー体）、４２ 周囲電極、４２ａ，
４２ｂ 回り込み電極、１０４ 積層体。
Claims (6)
- 【請求項１】 積層される複数の圧電体と、 前記複数の圧電体に対し追加積層されるダミー体と、 前記複数の圧電体及び前記ダミー体からなる積層体の上
下面及び部材間に形成された複数の面電極と、 前記積層体の一方側面及び他方側面を用いて、複数の面
電極を１つ置きに互い違い接続する一方及び他方の回り
込み電極と、 を含むことを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項２】 請求項１記載の超音波振動子において、 前記積層体は偶数個の圧電体と１個のダミー体からな
り、 前記積層体の上面電極と下面電極は互いに極性が異なる
ことを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項３】 請求項１記載の超音波振動子において、 前記ダミー体は最上段に設けられ、そのダミー体は音響
整合層として機能することを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項４】 請求項１記載の超音波振動子において、 前記ダミー体は最下段に設けられ、そのダミー体はバッ
キング層としてあるいはバッキング側音響整合層とし
て、機能することを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項５】 複数の圧電体及びダミー体の各部材間に
面電極を形成する第１の電極形成工程と、 前記面電極が形成された後に、複数の圧電体及びダミー
体を積層させて積層体を形成する積層工程と、 前記積層体を取り囲むように電極を形成する第２の電極
形成工程と、 前記積層体の上面電極から下面電極までの複数の面電極
を交互に正極及び負極に振り分けるための絶縁処理を行
う絶縁処理工程と、 を含むことを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 【請求項６】 請求項５記載の装置において、 前記絶縁処理工程には、前記積層工程の前に部材間の面
電極の一方端部を絶縁処理する前処理工程と、前記第２
の電極形成工程の後に前記積層体の上面電極及び下面電
極の一方端部を絶縁処理する後処理工程と、が含まれる
ことを特徴とする超音波振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13945097A JP3722950B2 (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 超音波振動子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13945097A JP3722950B2 (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 超音波振動子及びその製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1997
- 1997-05-29 JP JP13945097A patent/JP3722950B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002536858A (ja) * | 1999-01-28 | 2002-10-29 | パラレル デザイン， インコーポレイテッド | 医療画像化のための多重圧電層超音波変換器 |
| KR100413597B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2004-01-03 | 강상배 | 진동발생장치 |
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