JPS62205268A - 真空処理槽のクリ−ニング装置 - Google Patents
真空処理槽のクリ−ニング装置Info
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- JPS62205268A JPS62205268A JP4515586A JP4515586A JPS62205268A JP S62205268 A JPS62205268 A JP S62205268A JP 4515586 A JP4515586 A JP 4515586A JP 4515586 A JP4515586 A JP 4515586A JP S62205268 A JPS62205268 A JP S62205268A
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- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 title abstract 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims abstract description 17
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 14
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は真空蒸着、スパッタリングその他の真空処理装
置における真空処１！ｌ！ ４ｆｔ内を所謂エアブ〔ｌ
−によりクリーニングする装置に関りる。
置における真空処１！ｌ！ ４ｆｔ内を所謂エアブ〔ｌ
−によりクリーニングする装置に関りる。
（従来の技術）
本願出願人は、先にこの種装置として、真空ポンプその
他の真空排気系に連なる真空処１１１！槽に、ブロアと
フィルタとを有１°る一側の給気通路と、その他側の１
ｆ気通路とを接続さｕ、１該ブ・［１アの作動にＪ：れ
ば、空気その他の気体が、該給気通路から該処理槽内を
介して該１３１気通路に導かれて、該処理槽内のダスト
粒子がこれに伴われるようにした式のもの、これを換占
づれば、エアブロ一式のクリーニング手段をＵ２Ｘした
。
他の真空排気系に連なる真空処１１１！槽に、ブロアと
フィルタとを有１°る一側の給気通路と、その他側の１
ｆ気通路とを接続さｕ、１該ブ・［１アの作動にＪ：れ
ば、空気その他の気体が、該給気通路から該処理槽内を
介して該１３１気通路に導かれて、該処理槽内のダスト
粒子がこれに伴われるようにした式のもの、これを換占
づれば、エアブロ一式のクリーニング手段をＵ２Ｘした
。
（発明が解決しよ・うとりる問題点）
然し乍ら、かかる乙のでは、該処理槽内の該気体の流れ
が、所謂定常流とな−〕Ｃ壁而ｆ面１近に境界層を生じ
、これがＩＬｌには数１０ミクＣｌンの１１ノさとなり
、かくて、問題とされる１ミクロン以トのダス！・粒子
に対し有効にｆ１川しないことがζえられる。
が、所謂定常流とな−〕Ｃ壁而ｆ面１近に境界層を生じ
、これがＩＬｌには数１０ミクＣｌンの１１ノさとなり
、かくて、問題とされる１ミクロン以トのダス！・粒子
に対し有効にｆ１川しないことがζえられる。
（問題ｊ：Ａを解決するための手段）
本発明はかかる不都合のない装置、Ｉｌｌ ｌう境界層
の発生にＪこる不都合を無くず装置を得ることをその目
的としたもので、真空ポンプその１世の真空排気系に連
ζにるｒＸ空処叩槽に、ブロアとフィルタとを有する一
側の給気通路と、その他側の団気通路とを接続させ、該
層［１アの作動によれば、空気その他の気体が、該給気
通路から該処理槽内を介して該排気通路に導かれて該処
理槽内のダス！・粒子がこれに伴われるようにした式の
ものにおいて、衝撃波又ｔよ圧力波の発でに源を備え、
これを適宜作動させて該処理槽内を導かれる該気体に該
衝撃波又（よ圧力波を作用させるようにして成る。
の発生にＪこる不都合を無くず装置を得ることをその目
的としたもので、真空ポンプその１世の真空排気系に連
ζにるｒＸ空処叩槽に、ブロアとフィルタとを有する一
側の給気通路と、その他側の団気通路とを接続させ、該
層［１アの作動によれば、空気その他の気体が、該給気
通路から該処理槽内を介して該排気通路に導かれて該処
理槽内のダス！・粒子がこれに伴われるようにした式の
ものにおいて、衝撃波又ｔよ圧力波の発でに源を備え、
これを適宜作動させて該処理槽内を導かれる該気体に該
衝撃波又（よ圧力波を作用させるようにして成る。
（実施例）
本発明の実１例を別紙図面に（＝Ｊ説明する。
第１図はその１例を示すｂので、（１）は真空処し！ｐ
装置を構成寸べさ真空処理槽を示し、該処理槽（１）は
真空ポンプその他の真空排気系（２）どり−クバルブ（
３）どを備えると共に、その内部にウェハその他のワー
クを出入自在に収容すべく構成されるしので、この点は
従来のものと１４に異ならない。
装置を構成寸べさ真空処理槽を示し、該処理槽（１）は
真空ポンプその他の真空排気系（２）どり−クバルブ（
３）どを備えると共に、その内部にウェハその他のワー
クを出入自在に収容すべく構成されるしので、この点は
従来のものと１４に異ならない。
先の促゛奈にＪ、れは、これに土アゾロ一式のクリーニ
ング作用を勺えるべり、ｌ洟処理槽（１）にゾ１」ア（
４）と、高性能のフィルタ（５）とをイｊする一側の給
気通路（６）と、その他側の排気通路（７）どを％５え
、かくで該７１Ｎ ？ （４）の作動によれば、外δｌ
ｔｌ／１空気がフィルタ（５）で浄化され′ｒ：該給気
通路（６）から、該処理４ｆ’１（１）内を介しで該朗
気通路（７）に専かれてこれにＷｋ処理槽（１）内のゲ
ス１−粒子が伴われるしので、史に詳細には、該処理槽
（１）内のダスト粒子は、該給気通路（６）から比較的
昌速で導かれる該空気により舞い上りを生じ、次で該空
気に伴われＣ該排気通路（７）から排出されるようにし
、これを換言り“れば、該５Ｉ！１理槽（１）内に所謂
１−アブ１−」一式のクリーニング作用を与えられるＪ
：うにしｌこ。
ング作用を勺えるべり、ｌ洟処理槽（１）にゾ１」ア（
４）と、高性能のフィルタ（５）とをイｊする一側の給
気通路（６）と、その他側の排気通路（７）どを％５え
、かくで該７１Ｎ ？ （４）の作動によれば、外δｌ
ｔｌ／１空気がフィルタ（５）で浄化され′ｒ：該給気
通路（６）から、該処理４ｆ’１（１）内を介しで該朗
気通路（７）に専かれてこれにＷｋ処理槽（１）内のゲ
ス１−粒子が伴われるしので、史に詳細には、該処理槽
（１）内のダスト粒子は、該給気通路（６）から比較的
昌速で導かれる該空気により舞い上りを生じ、次で該空
気に伴われＣ該排気通路（７）から排出されるようにし
、これを換言り“れば、該５Ｉ！１理槽（１）内に所謂
１−アブ１−」一式のクリーニング作用を与えられるＪ
：うにしｌこ。
両通路（６） （７）にはこれを開開する各バルブ（８
） （９）が介入されると共に、１亥＋Ｊｌ気通路（６
）には−ぞの上流端にも高性能のフィルタ（ＩＯｌｆｉ
備えられるようにした。
） （９）が介入されると共に、１亥＋Ｊｌ気通路（６
）には−ぞの上流端にも高性能のフィルタ（ＩＯｌｆｉ
備えられるようにした。
以上は先に提案した乙のと特に異ならないが、本発明に
よれば衝撃波又は圧力波の発生源（Ｉｖを備え、これを
適宜作動させて該処理＃ｆｆ（１）内に導かれる＋Ｖ＋
記した気体に該（支）撃波又は圧力波を作用させるよう
にした。
よれば衝撃波又は圧力波の発生源（Ｉｖを備え、これを
適宜作動させて該処理＃ｆｆ（１）内に導かれる＋Ｖ＋
記した気体に該（支）撃波又は圧力波を作用させるよう
にした。
図示のものでは、該発生源（１１）は間歇的に開開制御
される制御弁（１１ａ）と、該層（１１ａ）を介して前
記した給気通路（６）に連なる比較的高圧のＮ２その曲
の気体の供給源（１１ｂ）とから成り、該ｉ１ｉ＋制御
フ？（Ｉｌａ）の聞弁角にその出力側に該気体の衝撃波
又は圧力波が生ずるようにした。この衝撃波又は圧力波
は詠通路（６）を介して該層Ｌｊｌｊ ｍＷ ＜１）内
に導かれるしので、該層（１）内に前記した２気が定常
流と４１：っでそれによる境界層が存する場合、該衝撃
波又は圧力波は該層を破って（゛の内部の壁面−Ｌのゲ
ス１−粒子に作用してこれを舞い上らせるべく機能する
。
される制御弁（１１ａ）と、該層（１１ａ）を介して前
記した給気通路（６）に連なる比較的高圧のＮ２その曲
の気体の供給源（１１ｂ）とから成り、該ｉ１ｉ＋制御
フ？（Ｉｌａ）の聞弁角にその出力側に該気体の衝撃波
又は圧力波が生ずるようにした。この衝撃波又は圧力波
は詠通路（６）を介して該層Ｌｊｌｊ ｍＷ ＜１）内
に導かれるしので、該層（１）内に前記した２気が定常
流と４１：っでそれによる境界層が存する場合、該衝撃
波又は圧力波は該層を破って（゛の内部の壁面−Ｌのゲ
ス１−粒子に作用してこれを舞い上らせるべく機能する
。
第２図は他の１例を承りもので、該給気通路（６）の上
流端に該ＩＪＩ気通路（７）の上流端を連結して全体と
して循環路とし、これに空気に代えて外部の供給源ａｚ
から導かれるＮ２その池の不活性ガスを循１策さ′せる
を式とするもので、この魚は先に梶案したものど１４に
異ならないが、本発明によれば、これに前記し！ご発生
源０［Ｆ］を備えるようにした３、該発１−源ａυは先
の実施例と略同様に間歇的に開放制御される制御２１１
弁（１１ａ）ど、該層？（１１ａ）を介して該通路（６
）に連なる供給源（１１１））とから成るしのぐ、図示
のものでは該供給源（１２１を前記した供給源（＋２１
と共用させるようにした、。
流端に該ＩＪＩ気通路（７）の上流端を連結して全体と
して循環路とし、これに空気に代えて外部の供給源ａｚ
から導かれるＮ２その池の不活性ガスを循１策さ′せる
を式とするもので、この魚は先に梶案したものど１４に
異ならないが、本発明によれば、これに前記し！ご発生
源０［Ｆ］を備えるようにした３、該発１−源ａυは先
の実施例と略同様に間歇的に開放制御される制御２１１
弁（１１ａ）ど、該層？（１１ａ）を介して該通路（６
）に連なる供給源（１１１））とから成るしのぐ、図示
のものでは該供給源（１２１を前記した供給源（＋２１
と共用させるようにした、。
該供給源０ｚは前記した循環路に開閉自在のバルブ（１
３１を介し１連なるものどじ、更に該惧１８源（ｔｉｂ
） ｉ、を該制御２１１弁（１１ａ）にバルブ（＋４１
とフィルタａ９とを介して連なるようにした。
３１を介し１連なるものどじ、更に該惧１８源（ｔｉｂ
） ｉ、を該制御２１１弁（１１ａ）にバルブ（＋４１
とフィルタａ９とを介して連なるようにした。
尚該発生源０ｖ【よ前記した第１図或は第２図示のムの
に限ること４１：り、例えば第３３図或は第４図示のも
のとりることし可能である。、■１ら第３図１、のしの
では、該発生源０は１浅処理１ｆ’！ （１）内に連な
る全問（１１Ｃ）内の奥部を放物面（１１ｔｌ ）に形
成ざＵると共にその焦点位置に自動車の点火プラグにｒ
ｔ＋ する火花発生器（１１ｃ）を備える型式どし、か
くて該介牛器（１１（りの作！ｔＪＩ毎に（１ｆるＹｔ
力波は該放物面（ｌｌｄｌで反射されて該空間（ＩＩＣ
）内を介して該処理ｆｆｉ （１）内に導かれるもので
略同様の作動を得られる。
に限ること４１：り、例えば第３３図或は第４図示のも
のとりることし可能である。、■１ら第３図１、のしの
では、該発生源０は１浅処理１ｆ’！ （１）内に連な
る全問（１１Ｃ）内の奥部を放物面（１１ｔｌ ）に形
成ざＵると共にその焦点位置に自動車の点火プラグにｒ
ｔ＋ する火花発生器（１１ｃ）を備える型式どし、か
くて該介牛器（１１（りの作！ｔＪＩ毎に（１ｆるＹｔ
力波は該放物面（ｌｌｄｌで反射されて該空間（ＩＩＣ
）内を介して該処理ｆｆｉ （１）内に導かれるもので
略同様の作動を得られる。
更に第４図示のらのでは、該発生源ａｔは該処理＋ｆｆ
ｆ （１）内の抵抗ＦＡ（１１ｆ）と、これに連なる電
源（１１（１）とから成る型式とし、かくて該抵抗線（
１０）は通電にＪ、れば加熱されて断線し、該断線によ
れば圧力波が円筒状に生ずるものｒ略同様の作動を得ら
れる。
ｆ （１）内の抵抗ＦＡ（１１ｆ）と、これに連なる電
源（１１（１）とから成る型式とし、かくて該抵抗線（
１０）は通電にＪ、れば加熱されて断線し、該断線によ
れば圧力波が円筒状に生ずるものｒ略同様の作動を得ら
れる。
（作 用）
その作動を例えば第１図示のにものにつき説明するに、
該ブロア（４）の作動によれば、外部の空気がこれに引
かれ゛Ｃ該給気通路（Ｇ）から該処理槽（１）内を介し
て該団気通路（１）に導かれると共に、部槽（１）内の
ダスト粒子は該空気の流れを作用されて舞い上って該空
気に伴われ（外部に排出されるもので、この点は先に提
案したものと特に異らないが、かかるエアプロ一式の作
ｖＪによれば該空気の流れは部槽（１）内で定常流とな
って壁面付近に境界層を生じその厚さによってはダスト
粒子に対し有効に作用しないことが考えられ、この場合
に佑えて、該発生源０′Ｄを間取的に或は連続的にｆ’
ｌ” Ｉ！＋３さμる。かくて生ずる１４Ｉｊ撃波又は
Ｉｒ力波は該処理槽（１）内の空気に作用して、壁面付
近にその境界層が存Ｊる場合、これを打破ってその内部
のダスト粒子に作用し、これを舞い上らＵることが出来
、これを換言゛ツれば、クリーニング効果を一層ＱＩＥ
にすることが可能である。
該ブロア（４）の作動によれば、外部の空気がこれに引
かれ゛Ｃ該給気通路（Ｇ）から該処理槽（１）内を介し
て該団気通路（１）に導かれると共に、部槽（１）内の
ダスト粒子は該空気の流れを作用されて舞い上って該空
気に伴われ（外部に排出されるもので、この点は先に提
案したものと特に異らないが、かかるエアプロ一式の作
ｖＪによれば該空気の流れは部槽（１）内で定常流とな
って壁面付近に境界層を生じその厚さによってはダスト
粒子に対し有効に作用しないことが考えられ、この場合
に佑えて、該発生源０′Ｄを間取的に或は連続的にｆ’
ｌ” Ｉ！＋３さμる。かくて生ずる１４Ｉｊ撃波又は
Ｉｒ力波は該処理槽（１）内の空気に作用して、壁面付
近にその境界層が存Ｊる場合、これを打破ってその内部
のダスト粒子に作用し、これを舞い上らＵることが出来
、これを換言゛ツれば、クリーニング効果を一層ＱＩＥ
にすることが可能である。
その効果を確認づるため、発明省は次の実験を行った。
即ちゲス１−粒子を付着させたつ１ハを用意し、これを
第１図示の実施例にＪｊ４プるバルブ（８）の個所、（
１１１１５該パルプ（８）を取外してその個所にヒツト
し、この状態からブロア（４）にＪ、る空気流と、該発
生８Ｑ（′Ｉｖによる衝撃波とを作用さぜた。そのＭ果
は、第５図の状態から第６図示の状態となった。図中光
っているのは直径１ミクロンの粒子である。尚空気流の
みでは、該粒子は殆ど除去出来なかった。
第１図示の実施例にＪｊ４プるバルブ（８）の個所、（
１１１１５該パルプ（８）を取外してその個所にヒツト
し、この状態からブロア（４）にＪ、る空気流と、該発
生８Ｑ（′Ｉｖによる衝撃波とを作用さぜた。そのＭ果
は、第５図の状態から第６図示の状態となった。図中光
っているのは直径１ミクロンの粒子である。尚空気流の
みでは、該粒子は殆ど除去出来なかった。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、空気その他の気体を給
気通路から真空処理槽内を介して排気通路に導かせて該
槽内に所謂エア１０一式のクリーニング作用を与える式
のものにおいて、別個にｖ−Ｊ撃波又は圧力波の発生源
を備え、生ずる法被を該槽内の該気体に作用させるもの
で、該槽内の該気体の流れが定常となって壁面付近に境
界層を生ずる場合、法被はこれを打破ってイの内部のダ
スト粒子を舞い上らせるべく有効に作用し、かくてクリ
ーニング効果を著しく向上させ得られ、その構成は単に
発生源を加えるのみで比較的簡単であり、廉価に得られ
る等の効果を右する。
気通路から真空処理槽内を介して排気通路に導かせて該
槽内に所謂エア１０一式のクリーニング作用を与える式
のものにおいて、別個にｖ−Ｊ撃波又は圧力波の発生源
を備え、生ずる法被を該槽内の該気体に作用させるもの
で、該槽内の該気体の流れが定常となって壁面付近に境
界層を生ずる場合、法被はこれを打破ってイの内部のダ
スト粒子を舞い上らせるべく有効に作用し、かくてクリ
ーニング効果を著しく向上させ得られ、その構成は単に
発生源を加えるのみで比較的簡単であり、廉価に得られ
る等の効果を右する。
第１図は本発明装置の１例の説明線図、第２図は伯の１
例の説明線図、第３図及び第４図は衝撃波又は圧ノコ波
の発生源の変形例の説明線図、第５図及び第６図は実験
例を説明するウェハの正面図である。 （１）・・・真空処理槽 （２）・・・真空排気系 （４）・・・ブロア （５）・・・フィルタ （６）・・・給気通路 （７）・・・排気通路
例の説明線図、第３図及び第４図は衝撃波又は圧ノコ波
の発生源の変形例の説明線図、第５図及び第６図は実験
例を説明するウェハの正面図である。 （１）・・・真空処理槽 （２）・・・真空排気系 （４）・・・ブロア （５）・・・フィルタ （６）・・・給気通路 （７）・・・排気通路
Claims (1)
- 真空ポンプその他の真空排気系に連なる真空処理槽に、
ブロアとフィルタとを有する一側の給気通路と、その他
側の排気通路とを接続させ、該ブロアの作動によれば、
空気その他の気体が、該給気通路から該処理槽内を介し
て該排気通路に導かれて該処理槽内のダスト粒子がこれ
に伴われるようにした式のものにおいて、衝撃波又は圧
力波の発生源を備え、これを適宜作動させて該処理槽内
を導かれる該気体に該衝撃波又は圧力波を作用させるよ
うにして成る真空処理槽のクリーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4515586A JPS62205268A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | 真空処理槽のクリ−ニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4515586A JPS62205268A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | 真空処理槽のクリ−ニング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62205268A true JPS62205268A (ja) | 1987-09-09 |
| JPH0582468B2 JPH0582468B2 (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=12711374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4515586A Granted JPS62205268A (ja) | 1986-03-04 | 1986-03-04 | 真空処理槽のクリ−ニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62205268A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6055611A (ja) * | 1983-09-06 | 1985-03-30 | Ulvac Corp | 真空室内クリ−ニング装置 |
| JPS6067664A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-04-18 | Shimadzu Corp | 真空成膜装置 |
-
1986
- 1986-03-04 JP JP4515586A patent/JPS62205268A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6055611A (ja) * | 1983-09-06 | 1985-03-30 | Ulvac Corp | 真空室内クリ−ニング装置 |
| JPS6067664A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-04-18 | Shimadzu Corp | 真空成膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0582468B2 (ja) | 1993-11-19 |
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