JPS62205113A - 液状感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業の利用分野〕 本発明は液状感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印
刷配線板製造用のソルダーレジスト（半田マスク）等に
使用しうるパターン形成性液状感光性ｖＦＪ脂組成物に
関する。

〔従来の技術〕

従来、印刷配線板製造業界において印刷配線板の永久保
護被膜として、ソルダーレジスト（半田マスク）が広く
用いられ、ている。ソルダーレジストは半田付は時の半
田ブリッジの防止及び使用時の導体部の腐食防止と電気
絶縁性の保持等を目的として使用されるものである。

この使用目的からも明白なようにソルダーレジストは過
酷な条件下で使用される為、エツチングレジスト等とは
異なり、下記のような性能が豊水される。

（（イ）半田浸漬時（２４０〜２８０℃）に訃ける密着
性の保持 （０）永久的な密着性の保持 ビ→溶剤・薬品等に対する溌れた耐性 に）高湿度条件下での高い電気絶縁性の保持これらの要
求を満たす為、従来は、熱硬化性インクあるいは光硬化
性インクをスクリーン印刷することによりソルダーレジ
ストを形成する方法が広く用いられてきた。しかしなが
ら、近年印刷配線の高密度化の進行に伴ない、厚膜でか
つ精度の高いソルダーレジストが要求されており、スク
リーン印刷方式によるソルダーレジストの形成法では、
精度及び厚みの問題から対応しきれなくなっているのが
現状である。

この高密度化に対応する方式として現像方式によるソル
ダーレジストの形成法が提案されている。現像方式とは
印刷配線板上に感光性樹脂組成物でできた液をコーティ
ングしたシ、感光性フィルムをラミネートしたりした後
、フォトマスク等を通して活性光線により必要部分を硬
化させ、未硬化部分を現像液を用いて洗い流すことによ
シバターンを形成する方法であり、該方式を用いると厚
膜で精度の良いソルダーレジストパターンを形成するこ
とができる。

現像方式用ソルダーレジストには、硬化前の塗膜の形成
法の違いにより、ドライフィルムタイプ、溶剤連敗タイ
プ、無溶剤液状タイプが考えられている。この中で、例
えば、特開昭５４−１０１８号公報で提案されているよ
うなドライフィルムタイプのものでは、すでに配線の形
成された凹凸面に対して密着させる為には、特開昭５２
−５２７０５号公報で提案されているように、減圧下で
の加熱圧着等の特殊な工程を必要とし、さらには、この
ような工程を用いても、完全な密着は保証されない、と
いった問題点を有する。一方、特開昭５１−１５７５５
号公報で提案されているような溶剤揮散タイプのもので
は、配線の形成された凹凸面に対する密着性は優れてい
るものの、液状の感光性樹脂をコーティングした後防爆
型乾燥機等を用いて溶剤を揮散させる工程が必要である
という問題点を有する。従って、ソルダーレジスト用意
光性ｔ！１Ｉ１８組成物としては、無溶剤液状タイプの
ものの開発が強く望まれている。

一方、液状感光性樹脂を現像液の種類によって分類した
場合には、１．１．１−）リクロロエタン等の有機溶剤
を使用するタイプと稀アμカリ水溶液を使用するタイプ
の２種が考えられる。

しかしながら、有機溶剤を使用するタイプでは作業環境
及び廃液の処理等に問題があり、稀アルカリ水溶液を用
いた現像が強く望まれている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的とするところは、優れたアルカリ現像性を
有し、かつ硬化後における高湿度条件下での電気絶縁性
に優れた液状感光性樹脂組成物を提供することにある。

〔問題点を解決する為の手段） 本発明者らは、前記の点に鑑み鋭意検討を進めた結果、 （ａ）力〃ボキＶ／Ｉ／変性物を含む、平均酸価４〜１
５０、数平均分子量ｓ、ｏｏｏ以下の多官能エポキシア
クリレート及び／又はエポキシメタクリレ−計１０〜５
５重量％、 中）エポキシアクリＶ−）及び／又はエポキシメタクリ
レート以外のアクリル系及び／又はメタクリル系架橋形
成性単紘体及び／又はオリゴマー１０〜５５重量％、 （ｅ）アクリル系及び／又はメタクリ〃糸車官能性単量
体５〜５５重量％、 （ｄ）無Ｉ良充填剤４〜３５重蝋チ、及び、（ｅ）光開
始？ａ及び／又は光増感剤０．０５〜２ｏ取漬チ、 を含む液状感光性樹脂組成物が、優れた性能を有するパ
ターン形成性液状感光性樹脂組成物となる、との結論に
至った。

次に、本発明の液状感光性樹脂組成物を溝成する各成分
について説明する。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、カルホキＶ）し変性
物を含“む、平均の酸価４〜１５ｏ１数平均分子１１　
ｓ、　ｏ　ｏ　ｏ以下の多官能エポキシアクリレート及
び／又は多官能エボキＶメタクリレート１０〜５５重量
慢を必須成分として含有する。

従来、フルアルカリ現像タイプの感光性樹脂組成物にｔ
・いて、フルアルカリ現像性を付与する手段として、カ
ルポキＶ／Ｌ／基を有する線状重合体を添加することが
広く用いられてきた。しかＬながら、ソルダーレジスト
用の液状感光性樹脂ｍ酸物に対して、カルボキシル基ヲ
有する線状重合体を添ノルすると次の２つの大きなｊａ
ｉト′−Ｑが発生する。＠１点は、線状重合体は架橋値
造をとり得ない為に、硬化後の塗膜の耐溶剤性が低下す
る点でちる。第２点としては、感光性樹脂組成物を均一
溶液とさせる為には、カルボキシＡ／基含有の線状重合
体を溶解させつるような特殊な反応性希釈剤を使用する
必要がちるが、この反応性希釈剤がソルダーレジストに
要求される電気絶線性を低下させ易い点でちる。これら
の点について、本発明者らは、鋭慧検討を進めたところ
、線状重合体に代って、特定のカルボキシ〃変性物を含
む多官能エボキンアクリレート及び／又は多官能エポキ
シメタクリレートを用いることにより、これらの問題が
解決されることを見い出し九。すなわち、カルポキＶＡ
／変性物を含む多官能エポキシアクリレート及び／又岐
多官能エポキシメタクリＶ−トは、活性光線による硬化
後は、それ自身が架橋宿命中に取り込せれる為に優れた
耐溶剤性を有すことができる。さらに、これらは、線状
重合体と比較して低分子量である為に、一般に併用され
る架橋性単量体等とも均一混合が容易である為に七ツア
ー組成に対する自由度が大きく、電気絶縁性等の優れた
性能を得ることができる。

本発明における多官能エボキＶアクリレート及び／又は
多官能エポキシメタクリレートとは、多官能のエボキＶ
化合−あるいはエボキＶ樹１屑、例えば、「エンジニア
リングデプスチック」（化学工業ト１報社、昭和５８年
３月１５日発行）に記載されているようなエポキシノボ
フック樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂
、異節環型エポキシ樹脂、グリｙジ〜エステμ型樹脂等
の中に存在するエポキシ基にアクリ／Ｌ／酸及び／又は
メタクリル酸を付加させた化合物を示す。

又、本発明に訃ける力ｐボキシｌｖ父性された多官能エ
ポキシアクリレート及び／又は多′ぼ能エポキシメタク
リレートとは、上記多官能エボキンアクリレート及び／
又は多官能エポキシメタクリレート中に存在するＯＨｉ
に無水マレイン酸、無水コハク酸等の二塩基酸無水物を
付加させた化合物、あるいれ、多官能エポキシ化合物又
はエボキＶ樹脂ＩＣアクリＡ／酸及び／又はメタクリル
酸／酸とともに二塩基酸を反応させたりして得られる、
分子内に力〃ポキＶ／Ｌ／基を有する化合物を示す。

このような力〃ボキＶｔｖｖ性された多官能エポキシア
クリレート及び／又は多官能エポキシメタクリレートと
しては多くの柱頬が挙げられるが、その代表例としては
、ビスフェノ−／Ｌ／Ａ−エピクロルヒドリン系エポキ
シ樹脂にアクリル酸を反応させ、さらに無水マレイン酸
を付加させた化合物（エボヤシ基／アク！Ｊ／ｌ／酸／
無水マＶイン酸−１／１／Ｑ、１　（七〜比））やフェ
ノ−μノポフツクエボキＶ樹月旨にアクリレート、メタ
クリル酸、コハク酸を反応させた化合物（エボキＶ基／
アクリル酸／メタクリ／ｌ／酸／コハク酸−１７１１７
／Ｑ、１１０．２　（モアｖ比））等があげられる。

本発明においては、多官能エポキシアクリレート及び／
又は多官能エポキシメタクリレートは、力μホキシル変
性された物単独で使用してもよいし、カルボキシμ変性
されていない物と混合して使用してもよいし、又、前に
示す代表例のように力ｐボキシ／Ｌ’変性された物を合
成する際に未変性物も、残留するような条件で合成し、
混合物のまま使用しても良い。

しかし々ゾベら、カルボキシ／Ｌ’変性物を含む、多官
能エポキシアクリレート及び／又は多官能エポキシメタ
クリレート全体として平均の酸価が４〜１５０となるよ
うにすることが必要である。平均の酸価が４未満の場合
には、アルカリ洗浄性が慄くな抄、感光後の未硬化部の
液状感光性１７材脂組成物を充分子（洗浄することがで
きな（なる。一方、平均の酸価が１５０を越える場合に
は、硬化後の塗膜の吸湿性が大となシ、高湿度条件下に
督いて高い電気絶縁性を保持することができなくなる。

な督、電気絶縁性の面から、平均の酸・曲のより好まし
い範囲は５〜１００でちる。

又、本発明に督ける力ｐボキシ／Ｌ’変性物を含む多官
能エポキシアクリレート及び／又は多官能エポキシメタ
クリＶ−）は数平均分子量が５０００以下であることが
必要である。数平均分子量が５０００を越える場合にお
いては、組成物の粘度が有くなシすイる為に、アルカリ
現像性が悪化した秒、他の単量体、オリゴマ・−銅との
均一溶解性が悪くなる。さらに組成物の取り扱い性の面
から判断すると、数平均分子量３０００以下とすること
がよ抄好ましい。

さらに本発明におけるカルボキシル変性物を含ム多官能
エポキシアクリレート及び／又は多官能エポキシメタク
’）Ｖ−トは、組成物全重量に対し、１０〜５５重量％
、好ましくは１５〜５０重穢−使用される。１０重Ｍ−
未満の使用量の場合にかいては、組成物の解像性及び硬
化後の塗膜の金属面への密着性が低下し、反対に５５重
漬−を越えて使用した場合においては、′Ｉ６Ｈ度条件
下での電気絶縁性が低下するつ本発明の液状感光性樹脂
組成物は、前記多官能エポキシアクリレート及び／又は
多官能エポキシメタアクリレート以外のアクリル系及び
／又はメタクリル系架橋形成性単量体及び／又はオリゴ
マー１０〜５５重量−を含有する必要がある。

架橋形成性の単量体及び／又はオリゴマーは、分子中に
重合性二重結合を２個以上有しているものでちり、前述
のエポキシアクリレート及ヒ／又はエポキシメタクリレ
ートを希釈して液状連成物の粘度を調節するとともに、
硬化反応に加わり、硬化速度の向上及び硬化後の塗膜の
耐溶剤性の向上の役割をになう。この架橋形成性単量体
及び／又はオリゴマーは、活性光線による硬化性、及び
前述のエポキシアクリレート及び／又はエポキシメタク
リレートとの共重合性から判断して、アクリル系及び／
又はメタクリｌし系のものを使用することが必要であり
、液状感光性樹脂組成物に対し、１０重量Ｓ〜５５重量
−の範囲で使用することが必要である。１゜重量−未満
の使用量では、硬化後の塗膜の耐溶剤性が低下し、５５
重量−を越える使用量では、硬化後の塗膜の密着性が低
下する。硬化後の塗膜の耐溶剤性及び密着性から判断し
、架橋性単量体及び／又はオリゴマーのより好ましい使
用量範囲は、１５重量−〜５０重量−である。

さらＫ、ソ〃ダーＶシストとしての各種要求性能を満足
させる為には、エポキシアクリレート及び／又はエポキ
シメタクリレート以外のアクリル系及び／又はメタクリ
ル系架橋形成性単量体及び／又はオリゴマーのうち、５
０重量−以上は、分子内にアクリレート及び／又はメタ
クリレートに関与し・ないエステμ結合を保有し、数平
均分子量が２００〜８００の範囲にあり、かつ、重合性
二重結合１個当りの数平均分子量が１００〜２５０の範
囲に含まれるアクｖｉｖ系及び／又はメタクリル基の架
橋形成性単量体及び／又はオリゴマーを使用することが
好ましい。

上記架橋形成性単量体及び／又はオリゴマーは、適度な
分子量及び二重結合１個当りの分子量を有していること
により、硬化塗膜に対し、適度な架橋密度を付与し、硬
化塗膜の耐溶剤性と密着性を同時に向上させることがで
きる。又、分子内にアクリレート及び／又はメタクリレ
ートに関与しないエステル結合を有していることにより
、特に硬化塗膜の密着性及び耐熱性を向上させ、さらに
、高湿度条件下に訃ける高い電電絶縁性を保持させるこ
とができる。これら化合物の代表例としては、ヒドロキ
シピパリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート（
分子量５１２、示合性２型結合１個当りの分子量１５６
）ヒドロキシピバリン酸ネオペンチ〜グリコールジメタ
クリレート（分子量３４０、Ｔ１合性２重結合１個当り
の分子７１７０）、コハク酸／　トリメチロールエタン
　／　アクリル酸＝＝１／２／４（モル比）の共縮合物
（平均分子量６００、重合性２重結合１個当りの分子ｆ
ｉ１５０）、アジピン酸／トリメチロールプロパン／ア
クリル酸＝１／２／４（モル比）の共縮合物（平均分子
量６８０、重合性２重結合１個当りの分子量１７０）、
東亜合成化学工業ＫＫ製各挿オリゴエステ／Ｌ／（メタ
）アクリレート、アロエックス■Ｍ−６１００（平均分
子量４５０、重合性２重結合１個当りの分子ｔ２２５　
）、アロエックス■Ｍ−６２５０（平均分子量４５０、
重合性２重結合１個当沙の分子［２２５）、アロエック
ス■Ｍ−６５００（平均分子量４４６、重合性２重結合
１個当りの分子量２２３）、アロエックス■Ｍ−７１０
０（平均分子量５６５、重合性２重結合１個当シの分子
量１８Ｂ）、アロエックス■Ｍ−８０５０（平均分子＠
Ｓ９５、重合性２重結合１個当りの分子［１１９）、ア
ロエックス■Ｍ−８０６０（平均分子量４８９、重合性
２重結合１個当りの分子量１３６）、アロエックス■Ｍ
−８１００（平均分子量６１８、重合性２重結合１個当
シの分子量１５５）、アロエックス■Ｍ−６！１００（
平均分子量４７８、重合性２重結合１個当りの分子ｆｉ
１２３９）等が挙げられる。

本発明におけるエポキシアクリレート及び／又はエポキ
シメタクリレート以外の架橋性単量体及び／又社オリゴ
マーのうち５０重量−以上は、上記規定の化合物を使用
することが好ましいが、この場合残りの部分については
、他の架橋性単量体を使用することができる。又、ソル
ダーレジスト用液状感光性樹脂としての要求性能から判
断して、上記規定の化合物は、エボキＶアクリＶ−）及
び／又はエポキシメタクリレート以外の架橋形成性単量
体及び／又はオリゴマーに対して、６０重量％以上使用
することがより好ましい。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、アクリル系及び／又
はメタクリμ糸車官能性単量体５〜５５重量％を必須成
分として含有する。この単官能性単量体は、前述のエポ
キシアクリレート及ヒ／又はエポキシメタクリレートを
稀釈して粘度を低下させるとと、もに、活性光線による
硬化に加わり硬化後の塗膜に柔軟性を付与して、基板に
対する塗膜の密着性を向上させる。

アクリル系及び／又はメタクリル系単官能性の単量体と
しては、既に公知である各種の構造のものが使用できる
が、代表例としては、テトフヒドロフ〃フリ／Ｉ／（メ
タ）アクリレート、エトキシエトキシエチ／ｌ／（メタ
）アクリレート、２−メトキシエチ／Ｌ／（メタ）アク
リＶ−）、ベンジ／Ｌ／（メタ）アクリレート、γクロ
ヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロベンテニルオ
キシエチ１ｖ（メタ）アクリＶ−１−、メチルトリエチ
レングリコ−／Ｌ’（メタコアクリレート、ラウリ／Ｉ
／（メタ）アクリレート等のアクリレート又はメタクリ
レートが挙げられる。

このアクリレート及び／又はメタクリル系単官能性単量
体は、硬化塗膜の耐溶剤性及び密着性の両性能から判断
し、５〜５５重量％の範囲で使用することが必須である
。５重怠慢未満の使用泣においては、硬化塗膜の密着性
が低下し、５５重量％を越える使用墓においては、耐溶
剤性が低下してくる。さらにアクリル系及び／又はメタ
クリル系単官能性単量体のより好ましい使用量は、耐溶
剤性及び密着性から判断して１０〜５０重ｆＩｋチの範
囲である。

本発明の液状１・δ光性樹脂組成物は、無機充填剤４〜
３５重量％を必須成分として含有する。

この無機充填剤は他の樹脂成分と異なり、液状感光性樹
脂組成物中に溶解してはいないが、均一に分散されてお
シ、アμカリ現像液による現像時には、未硬化部分の無
機充填剤は樹脂成分とともに洗浄される為、解像性には
悪い影響を与えない。そして、硬化塗膜の強度を向上さ
せるとともに、重合収縮を緩和して、基板上への密着力
を向上させる。

本発明に使用する無機充填剤としては、各種のものが使
用できるが、代表例としては、炭酸カルシウム、タルク
、マイカ等が挙げられ、特に、タルク、マイカ等の板状
の粒子あるいは針状タルり等の針状のものが、密着性の
向上の効果がすぐれている。さらに、これらの無機充填
剤は、そのままの形でも使用しうるし、又、無機及び／
又は有機物で表面処理あるいは表面コーティングした形
でも使用しうる。

無機充填剤の添加量としては、塗膜の強度、密着性及び
解像性の面から判断して、４〜３５重量％が必要であ）
、好ましい添加量範囲は、５〜３０重ｔチである。

本発明の液状感光性樹脂組成物は光開始剤及び／又は光
増感剤０．０５〜２０重量％を必須成分として含有する
。光開始剤及び／又は光増感剤としては紫外線あるいは
可視光等の活性光線によりラジカルを発生せしめ、重合
反応を引き越こしつるものであれば、いずれのものでも
良い。使用しうる光開始剤及び／又は光増感剤としてハ
、例えば２−エチルアントラキノン、１゜４−ナフトキ
ノン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピル
エーテル、ベンゾフェノン、４．４′−ビスシアルキル
アミノベンゾフェノン、ベンジμジメチＮケタ−μ、４
′−イソプロピル２ヒドロキＶ２−メチμグロピオフエ
ノン、２−ヒドロキシ２−メチルプロピオフェノン、２
−メチ／Ｌ／（４メチμチオ）フエニ／Ｌ／２−モルフ
ォリノ−１−プロパン等が代表例としてあげられる。こ
れら光開始剤及び／又は光増感剤は単独で使用すること
もでき、又、２種以上の組み合せにより、混合系として
も用いうる。光開始剤及び／又は光増感剤は組成物全型
値に対してＱ、０５〜２０重量％添加することが必要で
あシ、硬化速度及び硬化塗膜の物性の点から、ｃＬ１〜
１０ｆ＜ｆｆｉ＊の範囲で使用することが好ましい。

又、本発明の液状感光性樹脂組成物には、目的に応じて
通常の公知の熱重合防止剤、増粘剤、着色用の顔料又は
染料、消泡剤等の各種添加剤を添加することができる。

熱重合防止剤は光硬化させる前の段階において感光性樹
脂組成物が熱により硬化することを防止する目的で添加
されるものであシ、例えば、Ｐ−メトキシフェノ−μ、
ヒドロキノン、Ｐベンゾキノン、ｔ−ブチμカテコーｐ
、ピロガロ−／し、ナフチルアミン、フェノチアジン等
で代表されるようなものが使用できる。この熱重合防止
剤は光硬化性への影響等の点から、好ましくは組成物重
量に対し３重量−以下、より好ましくは１重量−以下の
範囲内で使用しうる。

増粘剤は液状感光性樹脂組成物の粘度、揺変性及びコー
ティング特性を改良する目的で使用される。増粘剤の具
体例としては、例えば、Ａｅｒｏｓｉｌす２００（日本
アエロジ／Ｌ’ＫＫ製）等のシリカ系のもの、あるいは
、Ｂｅｎｔｏｎｅ　５００（ナショナルレッドインダス
トり−ＫＫ製）等の変性ベントナイト系のもの等があげ
られる。

増粘剤は硬化塗膜の物性等の点から、上限を２０重墓チ
とした範囲内で使用される。

本発明は液状組成物に関するものであり、常温において
、実質的に流動性を有しておればいかなる粘度のもので
あってもかまわないが、取シ扱い性特にコーティング特
性等の点から、２５℃においてブルックフィールド型粘
度計で測定した粘度が１．　ＯＯＯ〜１００．０００　
ｃｐｓであることが好ましく、より好ましくは２，００
０〜８　Ｑ、　０００　ｃｐｓの粘度範囲である。

本発明の液状感光性樹脂組成物は公知の各種の方法を用
い−Ｃ使用しうる。最も一般的には、塗布・露光・アル
カリ現像の工程を用いて、硬化塗膜が形成される。

塗布方法としては、公知の各αの方法を用いつる。例え
ば、液状感光性＠脂組酸物を、アプリケーター（例えば
ベーカ一式アプリケーター、バーコーター等）を用いた
り、シルクスクリーンを通して、印刷配線基板上に直接
塗布する「直接塗布法」、液状感光性樹脂組成物を透明
フィルムやシートあるいはアートワークの表面に塗布し
た後、液状感光性樹脂組成物側が印刷配線基板と接する
ように積層させる「間接塗布法」、プリントサーキット
基板表面及び透明フィルムやシートあるいはアートワー
クの表面の両面に液状感光性樹脂組成物を塗布した後、
液状感光性樹脂組成物層同士を重ね合せる「両面塗布法
」等のいずれの方法も用いることができる。

露光方法としては、公知の各種の方法を用いうるが、例
えば、フォトマスクを通じて、可視光線あるいは紫外線
等の活性光線を用すて実施しうる。この場合、液状感光
性樹１１ｔ＃　ｊ！１とフォトマスクは直接接してもよ
いし、透明フィルムや透明シート等を通じて間接的に接
していてもよいし、又、薄い電体の層により、隔てられ
ていても良い。

現像についても、アルカリ現象タイプの感光性樹脂組成
物の現像法として既に公知である各種の方法を用いるこ
とができる。

さらに、硬化塗膜をより完全なものとする目的で、アル
カリ現像後に活性光線及び／又は熱により後処理を実施
することも可能である。

本発明の液状感光性樹脂組成物の用途としては、単にソ
ルダーレジストとしてだけでなく、凸版印刷用等の他の
用途にも広く使用しうる。

以下に実施例を用い本発明をさらに詳しく説明する。尚
、実施例、比較例で用いる評価手段は以下の方法による
。

■硬化用塗膜の調整 銅張υ積層板（住友ベークフイｈＫＫ製ＥＬＣ’４７０
８）を１０瀉Ｘ１５譚に切断した後、？１ｌｒａ、洗浄
、水分除去により前処理を行なう。前処理した銅張り積
層板上に各種条件で調整した液状感光性樹脂組成物を、
ベーカ一式アプリケータを用い、厚さ１００μとなるよ
うにコーティングする。その上から厚さ２５μのポリエ
ステルフィルムで？ｌＨｔ　Ｌ硬化用塗膜金部る。

（なお、以後、本発明に督いて「硬化用塗膜」とは上記
のように作製し、ポリエステルフィルムで彼漬した塗膜
のことを示す） （２）最適−欠露光条件及び現像性の測定＜２）−１−
欠露光 硬化用塗膜上に厚さ１２０μのネガフィルム５ＴＯＵＦ
ＦＥＲＲｅ５ｏｌｕｔｉｏｎ　Ｇｕ：ｔｄｅ　　す１−
’Ｉ’（ＳＴＯＵＦＦｇＲＧｒａｐｈｉｃ　Ａｒｔｓ　
Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｃｏ。

製）をのせ、さらに５　ｍ／ｍ厚のＰｙｒｅｘ■製ガラ
ス板全ガラス板次いで１５α上方より、１００　Ｗ　高
圧水銀灯（ウシオフ！ｒ、機Ｋ　Ｋ製ｕ　Ｈ−１００）
により、露光を行なう。露光時間は１０秒〜１８０秒の
範囲で行なう。又、照射エネルギーの大きさは東京光学
機械ＫＫ製ＵＶＲ−５６５を使用して測定した。

■−２現像 一次露光を終了した塗膜より、２５μのポリエステルフ
ィμムを剥離し、下記条件にてスブＶ−現像を行なう。

その後、流水による洗浄、空気による水分除去、７０℃
、５分の乾燥を行なう。

■−３後硬化 現像終了後の塗膜に対し、下記条件で光硬化及び熱処理
を行なった後、室温まで放冷する。

（Ａ）光硬化 （Ｂ）熱処理（光硬化の後） １６０ＣＸＩＤ分 （′２″ｌ−４最適−欠露光エネルギーの測定−欠露光
時間を変えて実施した塗膜を比較し、「宙記Ｒｅ５ｏｌ
ｕｔｉｏｎ　Ｇｕｉｄｅ　　のパターンを最もよく再現
している塗膜を得るのに必要な照射エネルギーを求める
。（単位はｍ　Ｊ　／ｃＷｒｔ）（２）−５現像性の評
価 最適−次露光二ネ／Ｖギーにて現像したサンプル表面を
３０倍顕微鏡により観察して評価を行なう。

（わ　硬化ｆ１１膜の物性評価 ｒ３）’−１−欠露光 硬化用塗膜上に厚さ１２０　、ｕポリエステルフイルム
をのせ、さらに５　ｍ／ｍ厚のＰｙｒｅｘ［Ｆ］製ガラ
ス板をのせる。次いで、１５備上方より１００Ｗ高圧水
銀灯（ウシオ電機ＫＫ製ＵＨ−１００）により■−４で
求めた最適露光エネルギーに対応する時間だけ露光を行
なう。

１８）　−２現像 （の−２と同手順で実施 （優−３後硬化 ■−３と同手順で実施 （３）−４耐熱性の評価 後硬化終了後の塗膜を、基板ごと２６０℃の半田中に、
１０秒間浸漬し、取り出し後の状態を観察して評価する
。

（３）　−５密着性の評価 後硬化終了後の塗膜について１．ＴｒＳ−Ｄ−０２０２
記載「とばん目試験方法１種」に準拠した方法によシ密
着性を評価する。（ゴバン目の大きさは３醪角） ０・・・欠損部分の面積が全正方面積の１０−未満 ×・・・欠損部分の面積が全正方面積の１０％以上 （優−６耐溶剤性の評価 後硬化終了後の塗膜を基板ごと２５℃トリクロロエタン
中に１５分浸漬した後、取り出し、塗膜の状ＭＷを観察
して評価する。

○・・・変化なし ×、・・フクレ、ハガＶ、溶解等がある（リーフ　体積
抵抗値の測定（電気絶縁性の評価） 後硬化終了後の塗膜を５０℃、相対湿度９０チの状態で
１００時間保存した後、東亜電波工業ＫＫ製、５Ｍ−１
０Ｅ型極超絶縁計を用い、塗膜の体積抵抗値を測定する
。（５００Ｖ、印加１分後の値） 実施例１ ・力μポキシ〃変性エポキシアクリＶ−）（ビスフェノ
−／ｌ／Ａタイプ）　　　　　　２８０ｇＣＫｇ化成Ｋ
Ｋ製、’Ｉ’０ＨＲＡＤ＠５　Ｂ　ＯＯ１平ｅｅ子量５
００、酸価２５〕 ・ヒドロキシピパリン酸ネオベンチ〃グリコ−μエステ
ルジアクリレート　　　　　２８０．ｌｉｔ・ベンジル
アクリＶ−）　　　　　　　　１４０．ｉｉｌ・りμり
〔富士タルクＫＫ製、ＬＭＳ−２００〕１０ｇ ・ペンジルジメチμケタ−／Ｌ／　　　　　　３ａｇ・
無定形シリカ〔日本アエロジ／Ｌ’ＫＫ製、Ａｅｒｏｓ
ｉｌφ２００）　　　　　６０９・フタロシアニングリ
ーン　　　　　　　１ｇを混合し、３本ローμにより混
練りを行ない、液状感光性樹脂組成物Ｅｘ１を作製した
。前述の方法により評価した結果を表１に示す。

実施例２ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８００　（酸価２５）　　　　　
　１００ｐ拳エポキシアクリレート（ビスフェノールＡ
タイプ） 〔東部化成ＫＫ製、ＴＯＨＲＡＤ■３７００酸価；Ｏ〕
　　　　　　　　　　４００ｇ（エポキシアクリレート
の平均の 酸価χ５） ・コハク酸／トリメチロールエグン／アクリル酸−１／
２／４（モル比）の共縮合物 ００ｇ （平均分子量６８０、重合性２直結合１個当りの分子量
１５０） ・ベンジルアクリレート　　　　　　　　８５ｇ・ラウ
リルアクリノート　　　　　　　　８５ｇ・マイカ〔Ｋ
Ｋ山ロ雲母工業所製、Ａ−１１１００ｇ ・ベンジルジメチルケタ−／Ｌ’　　　　　　　５０９
欅フタロシアニングリーン　　　　　　　１ｇを混合し
、３本ロールにより混練りを行ない液状感光性樹脂組成
物ｇｘ２を作製した。前述の方法により評価した結果を
表１に示す。

実施例３ ・力〜ボキＶμ変性フェノーμノボラック型エボギシメ
タクリレート　　　　　　　１５０ｇ〔フェノ−μノボ
フック型エポキシ樹脂にメタクリμ酸を反応させた後、
無水コハク酸を付加したもの〕 （反応比率エポキシ基／メタクリ／Ｌ／酸／無水コハク
酸−１／１１０．３　（モル比）、酸価７２、平均分子
量１０３０　） 一ヒドロキシピパリン酸ネオペンチルグリコ−ｐエステ
／Ｌ／ジメタクリレート　　　　５００ｇ・２メトキシ
エチμメタクリレート　１７５ｇ−タμり〔富士タルク
ＫＫ製ＬＭＳ−２００３０ｇ ・ベンゾインイソプロピｙエーテ／Ｉ／　　１００５’
・無定形シリカ〔日本アエロジ／ｌ／　Ｋ、　Ｋ製Ａｅ
ｒｏｓｉｌ◆２００．３　　　　　　　　　２５　ｇφ
フタロシアニンクリーン　　　　　　　　１ｇを混合し
、３本ロールにより混練シを行ない液状感光性樹脂組成
物Ｂｘ５を作製した。前述の方法によシ評価した結果を
表１に示す。

実施例４ ・カルボキシμ変性フェノールノボラック型エポキシア
クリレ−）　　　　　　　　　１５０９〔フェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂にアクリμ酸を反応させた後、
無水コハク酸を付加したもの〕 （反応比率　エポキシ基／アクリμ酸／無水コハク酸−
１／１１０．５　（モル比）、酸価９８、平均分子量１
３４０） ・アロエックスＭ−６１００２００，１ｉｔ（平均分子
量４５０、重合性２を結合１個当りの分子量２２５） ・シクロヘキシルアクリｖ−ト　　　２５０ｇ拳メチル
トリエチＶングリコールアクリＶ−ト５０ｇ ・タルり〔富士タルりＫＫｆｉｔｌ！、ＬＭＳ−２００
）争炭酸力〃Ｖウム〔白石工業ＫＫＩＩ！！、ホモ力μ
Ｉ）］　　　　　　　　　　　　　　　　］５０９拳ベ
ンジμジメチμケターｆｉ／　　　　　　１．５　ｆｌ
・無定形シリカ〔日本アエロジ／Ｌ’Ｋ　Ｋｍ、Ａｅｒ
ｏｓｉｌす２００）　　　　　　　　　２５ｇ・フタロ
シアニングリーン　　　　　　　　１ｇを混合し、３本
ロールによシ混練シを行ない、液状感光性樹脂組成物Ｗ
ｘ４を作製した。前述の方法により評価した結果を表１
に示す。

実施例５ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８０１１　　　　　　　　　　Ｓ
　ＯＯｌｌ・ヒドロキシピパリン酸ネオベンチμグリコ
ールエステμシアクリＶ−）２５０ｇ −ジベンタエリスリトーμペンタアクリレート−ジンク
ロベンテニ〃オキシエチμアクリレ−）　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　１００　　ｇ争りμり〔富士りμりＫＫ［ＬＭ］−２
００）１０ｇ φベンジμジメチμケター／Ｌ／　　　　　　３重ｇ・
無定形シリカ〔日本Ｖリカ工業ＫＫ製、８Ｂ−５０Ａ）
　　　　　　　　　　　　６０ｇ・フタロシアニンクリ
ーン１ｇ を混合し、３本ロールにょシ混練シを行ない、液状感光
性樹脂組成物Ｅｘ５を作製した。前述の方法によシ評価
した結果を表１に示す。

実施例６ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８００　　　　　　　　２５０　
ｆｉ・アｏニツクスＭ−６５００１５０ｇ （平均分子量４４６、重合性２ＴＲ，結合１個当シの分
子量２２３） ・アロエックスＭ−８１００１００９ （平均分子量６１８、重合性２重結合１個当りの分子量
１５５〕 ｅ　ラ　ウ　リ　ル　ア　り　リ　し　−　ト　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　６０　ｇ・２メトキシ
エチルアクリＶ−ト　　　　６０ｇ・タルり〔富士りＩ
レクＫＫ製ＬＭＳ−２００〕ｏｏｇ −ベンジｐジメチルヶクー／Ｌ’　　　　　　３重ｇ・
無定形シリカ〔日本アエロジ／Ｌ／　Ｋ　Ｋ　ｊｌｔｌ
ｉＡｅｒｏｓｉｌΦ２００１　　　　　　　　５０９・
フタロンアニングリーン　　　　　　　１ｇを混合し、
３本ロールにより混練りを行ない、液状感光性樹脂組成
物Ｅｘ６を作製した。前述の方法により評価した結果を
表１に示す。

比較例１〜４ −　ＴＯＨＲＡＤ■３８００　　　　　　　　　　　　
ａ　ｇψヒドロキシピパリン酸ネオペンチルグリコール
エステルジアクリレートｂｇ ・ベンジルアクリレート　　　　　　　　　ｃｇ・メル
ク〔富士メルクＫＫ製、ＬＭＳ−２００１ｇ ・ベンジルジメチルケタ−／ｌ／　　　　　　　３重ｇ
・無定形シリカ〔日本アエロジルＫＫ製Ａｅｒｏｓｉｌ
　＋　２００１　　　　　　　　　６０１１−フタロシ
アニングリーン　　　　　　　１ｇを下記組成にて混合
し、３本ロールにより混練りを行ない、液状感光性樹脂
組成物Ｒｅｆｌ〜４を作製した。前述の方法により評価
した結果を表１に示す。

（単位ｇ） 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の液状感光性樹脂組成物は
、裔湿度条件下での’ｉＭ、気絶縁気絶優性、かつアル
カリ現像性の良好なソルダーレジスト等として優れた効
果を発揮するものである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）塩素化ポリエチレン；４０〜６０重量％及び、 （ｂ）低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリ
   プロピレン及びポリ塩化ビニルよりなる群から選ばれた
   少なくとも一種類の樹脂；６０〜４０重量％ からなる樹脂組成物１００重量部に対し、炭素系導電性
   粉末を４０〜２００重量部の範囲で添加したことを特徴
   とする導電性シート。