JPS62201303A - 円周測定装置 - Google Patents

円周測定装置

Info

Publication number
JPS62201303A
JPS62201303A JP4469286A JP4469286A JPS62201303A JP S62201303 A JPS62201303 A JP S62201303A JP 4469286 A JP4469286 A JP 4469286A JP 4469286 A JP4469286 A JP 4469286A JP S62201303 A JPS62201303 A JP S62201303A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
optical axis
refracted
rotating mirror
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4469286A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Miyake
三宅 保雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOYO DENSHI KK
Original Assignee
TOYO DENSHI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TOYO DENSHI KK filed Critical TOYO DENSHI KK
Priority to JP4469286A priority Critical patent/JPS62201303A/ja
Publication of JPS62201303A publication Critical patent/JPS62201303A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業1−の利用分野〉 この発明は、プーリ等に設けられたキーみぞなどの検知
およびみぞ幅の測定を゛IL気光常光学的う円周I!1
1定装置に関する。
〈従来の技術〉 従来1機械加−[および金型等により加にしたプーリ、
フランジ等のキーみぞの有無およびみぞ幅−1法の確認
は、[1視確認をするか、ノギス等の計J[uを用いて
行う方法がとられていた。この方法は作業が煩雑である
ヒに、J1測具の目盛を読みとるため読みとり誤差を生
じ、しかもΔ一定に時間がかかるという欠点があった。
そのため、このようなa一定を高精度で効率よく行うた
め、鋭いビームを検体ヒに走査させて、電気光学的に測
定する装置がある。このような測定装置は、慣用技術と
しては、光源を左右に直線的に移動させそれを順次F方
へ移行させて、ビームの走査面内におかれた検体を通過
したビームを検知して測定を行う構成のものと、光源を
IvI振り運動させて、ビームを検体にに順次走査を行
い、検体を通過したビームを検知してall定を行う構
成のものとがある。
〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし、このような従来構成の電気光学的な3M定装置
は1例えば前書の構成のものにあっては、ビームが直線
的に走査されるため、午−みぞのように円周りに設けら
れたみぞ幅の寸法測定は、検体の位置決め支承が難しく
、みぞのさしわたし方向とビーム走査方向とがずれると
、精度よく測定でさす、更にビーム走査機構が複雑とな
って装置が高価になるという問題があった。
また、後者の構成のものにあっては、ビームが光源を中
心として末広がり状に放射されるため。
厚みの大きい検体では、キーみぞに対しビームが斜めに
入射するため、みぞ幅の6@定が正確にできないという
問題があった。
く問題点を解決するだめの手段〉 この発明は1−記問題点を解決するためになされたもの
であり。
鋭いビームを放射する光源と、1ユ記ビームの光軸I;
に回転自在に支持されるとともにに記ビームを屈折させ
る回転鏡と、1ユ記回転鏡により屈折されたビームを入
射してそのビームをレンズ光軸と′JIL行方向に屈折
させる第1のレンズと、l−記回転鏡により屈折された
ビームがト記第1のレンズの光軸を中心とした周回軌道
を描いて周回するようにI記回転鏡を回転させる回転鏡
WiA動り段と、その光軸をに記第1のレンズの光軸と
ノ(有するとともに」−記第1のレンズから出たビーム
を光電変換器へ向けて屈折する第2のレンズと、1−0
記第2のレンズから出たビームを受光して電気信号に変
換する光電変換器と、[−記第1のレンズと第2のレン
ズとの間に設けられ検体を支承してその測定対象部分を
[―記ビームの周回軌道りに位置決めする検体台と、1
−記光電変換器からの信号を処理して1、記検体の測定
対象部分の長さを求める信号処理装置とからなる円周測
定装置である。
く作用〉 この発明はに記のように構成されたものであり、光源よ
りの鋭いビームは、回転鏡により屈折されて第1のレン
ズに入射するとともに1回転鏡の回転に伴ってビームは
第1のレンズの光軸を中心として周回するように入射さ
れる。
ifのレンズに入射したビームは、第1のレンズの光軸
と平行方向に屈折されて第2のレンズに投射される。こ
のとき周回するビームは、検体台l−の検体を介して第
2のレンズに到達し、第2のレンズによりhi1折され
て光電変換器に入射する。
そして、光電変換器により充電変換された信号は、信り
処理’A;!1に人力され、信り処理装置において測定
対象部分の長さの算出を行うものである〈実施例〉 以ド、この発明の一実施例を第1図ないし第31M l
こJl(づいて説明する。
第1図はこの発明の一実施例の全体構成図、第2図はそ
の要部を示す正面図、第3図は動作説明図である0図に
示すように、円周測定装置1は、その基台を形成する枠
状の枠体3をイfL、その[一部に光源であるレーザ5
が配置没されている。
レーザ5は実施例ではHe−Neレーザからなり、レー
ザ駆動回路6に駆動されて、鋭いビーム8をドカの回転
鏡10へ向けて放射するように形成されている。
回転1Q10は、実施例ではガラス/8石鏡からなり、
にド端部が開口した円筒状の中空軸11の下端部に配設
されている。この回転鏡lOは、入射したビーム8を稍
斜め下方へ屈折させるとともに、ビーム8の屈折角度を
調整回部なように、角度調整′r−没(図示せず)を介
して中空軸11に装備されている。
中空軸11は、その軸心をビーム8の光軸−Lに配し、
ラジアル球軸受13を介して枠体3に回転自在に支持さ
れており、更に、回転鏡駆動−り段15であるモータ1
B、l&1−117.18により駆動されて回転するよ
うに構成されている。
そして、回転鏡10に入射したビーム8は、屈折されて
ビーム8aとして後述する第1のレンズ20に投射され
る。このビーム8aは回転gQ I Oの回転に伴い、
第1のレンズ20の光軸21を中心として周回するよう
に入射される。
第1のレンズ20は、その光軸21をビーム8光軸と共
有して配設されており1回転tD、t oにより屈折さ
れたビーム8aを入射して、光軸21にqi行する方向
に屈折し、珪つ周回軌道22を描いて周回するビーム8
bを形成するように構成されている。第2のレンズ25
は、その光軸を第1のレンズ20の光軸21と共イIし
て配設されており、第1のレンズ20からのビーム8b
をh;折して、光電変換器30へ向うビーム8Cを形成
するように構成されている。
光電変換器30は、実施例ではフォトダイオードからな
り、高さ調整機構31を介して枠体3に配設されている
。この高さ調整機構31の調整により、第2のレンズ2
5と光電変換器30との距離が微調整され、光電変換器
30が感度最良点に固定される。そして、第2のレンズ
25からのビーh8cを受光したとき電気信号が出力さ
れる。
検体台35は、周回するビーム8bが通過11丁能に形
成されるとともに、キーみぞ37を有する袖穴38の軸
心が光軸21ににくるように、検体36をカイトして支
承するように構成されている。
そして、第1のレンズ20.!l:第2のレンズ25と
の間に設けられて、枠体3に固着されている。
信号−処理装置40は、光′−[変換器30よりの電気
信号を増幅する増幅回路41.ビーム8bが検体36を
通過して、ビーム8Cとして光電変換器30に入射して
いる時間tを測定する幅3一定回路42、ビーム8bの
一周期の時間Tを測定する周期測定回路43.ビーム8
bの周回軌道22の直径りにノ、(づいて測定対象部分
の幅を算出するn;1算回路44、その結果を数値表示
する表示・出力回路45とから構成されている。
次に、このように構成された円周ΔI定装置1の動作を
説明する。
先ず1円周測定装置1の電源をオンして、検体台351
−に、検体36の測定対象部分、即ちそのキーみぞ37
をもつ軸穴38の軸心が光軸211−にくるように位置
決めする。
そして、レーザ5からのビーム8は、中空軸ll内を直
進して回転鏡10により屈折され、同時に回転鏡駆動−
L段15による回転鏡10の回転により、屈折されたビ
ーム8aは第1のレンズ20に周回して入射される。そ
して、第1のレンズ20により光軸21と平行したビー
ム8bは、周回軌道22を描いてキーみぞ37を通過す
るとき。
第2のレンズ25に到達する。尚、この周回軌道22の
直径りは、回転鏡lOの角度3I整f段によって調整さ
れ、ビーム8bの周回軌道22がキーみぞ371−を通
過するように調整される。
第2のレンズ25に入射したビーム8bは、屈折されて
光電変換器30に入射し、光電変換器30からビーム8
bがキーみぞ37を通過した時間tだけ信号が出力され
る。そして、信号処理A置40において、ビーム8bの
一周期の時間Tおよび周回軌道22の直径りのデータに
より、πDt/Tの演算を行って、キーみぞ37の有無
およびみぞ幅が算出され、数値表示される。
尚、この発明は1.述の実施例の構成のみに限定される
ものではなく、この発明の技術的思想から逸1悦しない
範囲において、その実施!E;様を変更することができ
る6例えば、光源は白熱1[球またはLED等からの放
射光を、光学的に集束して鋭いビームに形成したもので
もよい、また、信号処理装置は、充電変換器からの電気
信号の立ヒリ部分を微分操作する回路を含むものであっ
てもよい。
更に、−シ測定回路、周期8一定回路はパルスカウント
を行うものであっても同様の効果を奏する。
〈発明の効果〉 この発明の円周測定装置は以1−のような構成なので、
検体をビームの周回軌道[−に位置決めするだけで5円
周にに設けられたみぞ幅の3一定を行うことができる。
従って、操作が極めて簡単であり、円周し−のみぞ幅寸
法を精度よく、短時間で測定することができる。
また、厚みのある検体の測定においても、検体の厚みに
影響されず11:、確に測定を行うことができる。更に
、ビームの走査機構が簡潔に構成できるとともに、信号
処理装置も簡潔に構成できる等の効果がある。
4 図面ノm tn Ar 説II 第1図はこの発明の実施例の円周測定装置の全体構成図
、第2図は同じく要部を示す市面図、第3図は同じく動
作説明図である。
5・・・レーザ。
10・・・回転鏡、 15・・・回転鏡駆動手段、 20・・・第1のレンズ。
25・・・第2のレンズ、 30・・・光゛准変換器、 35・・・検体台。
40・・・信号処理装置。
特  111   出  願  人 東洋電子株式会社 代      理     人           
    1ブr JIl!、 I:   飯10堅太部
)。
ブC理 1:   飯  tit   昭  夫第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 鋭いビームを放射する光源と、前記ビームの光軸上に回
    転自在に支持されるとともに前記ビームを屈折させる回
    転鏡と、前記回転鏡により屈折されたビームを入射して
    そのビームをレンズ光軸と平行方向に屈折させる第1の
    レンズと、前記回転鏡により屈折されたビームが前記第
    1のレンズの光軸を中心とした周回軌道を描いて周回す
    るように前記回転鏡を回転させる回転鏡駆動手段と、そ
    の光軸を前記第1のレンズの光軸と共有するとともに前
    記第1のレンズから出たビームを光電変換器へ向けて屈
    折する第2のレンズと、前記第2のレンズから出たビー
    ムを受光して電気信号に変換する光電変換器と、前記第
    1のレンズと第2のレンズとの間に設けられ検体を支承
    してその測定対象部分を前記ビームの周回軌道上に位置
    決めする検体台と、前記光電変換器からの信号を処理し
    て前記検体の測定対象部分の長さを求める信号処理装置
    とからなることを特徴とする円周測定装置。
JP4469286A 1986-02-28 1986-02-28 円周測定装置 Pending JPS62201303A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4469286A JPS62201303A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 円周測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4469286A JPS62201303A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 円周測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62201303A true JPS62201303A (ja) 1987-09-05

Family

ID=12698470

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4469286A Pending JPS62201303A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 円周測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62201303A (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60111906A (ja) * 1983-11-22 1985-06-18 Nippon Gakki Seizo Kk 角度測定方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60111906A (ja) * 1983-11-22 1985-06-18 Nippon Gakki Seizo Kk 角度測定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4605857A (en) Tensile tester
JP3786697B2 (ja) 直線的寸法を検査するためのオプトエレクトロニック計測装置
JPH1096611A (ja) 形状測定装置
JPS62502216A (ja) 低位のフォ−ム誤差の光学的検出装置
US4600301A (en) Spinning disk calibration method and apparatus for laser Doppler velocimeter
JPH032806Y2 (ja)
JP2008122349A (ja) 測定装置
JP2000230816A (ja) 角度測定装置
JPS62201303A (ja) 円周測定装置
CN108061537A (zh) 非接触式回转体参数测量仪
JPS62147306A (ja) 丸軸状部材の形状測定装置
JPS5616806A (en) Surface roughness measuring unit
JPS62502421A (ja) 二次元の対象物を整向、検査及び/または測定するための装置
JPS60104633A (ja) 錐の位置を定めるための方法と装置
JPH09189545A (ja) 距離測定装置
SU1562691A1 (ru) Способ определени радиусов кривизны сферических поверхностей и устройство дл его осуществлени
JPH1114328A (ja) 回転体の回転精度測定装置
JPS6071903A (ja) 光ディスク検査装置
JPH01502535A (ja) 円筒物体の光学検査システム
SU1682771A1 (ru) Устройство дл определени направлени следов обработки на поверхности деталей
SU1523907A1 (ru) Сферометр
SU934219A2 (ru) Устройство дл контрол качества обработки отверстий деталей
SU945643A2 (ru) Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей
SU1649345A1 (ru) Устройство дл контрол качества объективов
JPS57113342A (en) Eccentricity measurement