Изобретениеотноситс к контрольно-измерительной технике и может быт испрльзсэвано, в частности, дл контрол качества оптических поверхностей ., По основному авт.св. If 700778 известен интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей , содержащий источник света и расположенные по ходу светового луча коллиматор, зеркало, пластину с образцовой поверхностью, на которую нанесено отражающее покрытие, юс тйровочный столик, измерительный сто лик, контрольную сетку, выполненную 8 виде двух пр мых взаимно параллель ных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, матовый экран, микровинт, фотоприемники, электронный блок обра бртки и светоиндикаторы, причем фо топриемники расположены один против д зугого под штрихами и попарно соеди нены по дифференциальной схеме в электройном блоке обработки, к выходам которого подключены светоиндикаторы pj Недостатком известного интерферометра вл етс невысока точность измерени вследствие неравномерности светового пол , получаемого с помощью лазера при его работе, особенно в многомодовом режиме генерации. Цель изобретени - повышение точности измерени . Поставленна цель достигаетс тем, что интерферометр снабжен матовым диском с регул рно расположенными непрозрачными секторами, установленным в промежуточном фокусе коллиматора с возможностью вращени , направление этого вращени в плоскости поперечного сечени луча совпадает .с направлением перемещени измерительного столика. На фиг.1 изображен предлагаемый интерферометр, разрез; на фиг.2 вид А на фиг.1; на фиг.З - вид Б H3i фиг1. Интерферометр содержит источник Iсвета, коллиматор 2, матовый диск 3 с регул рно расположенными непрозрачными секторами 4 (фиг.ЗЬ зеркало 5, пластину 6 с образцовой поверхностью 7| на которую нанесено отражающее покрытие, юстировочный столик 8, измерительный столик 9, контрольную сетку 10, выполненную в виде двух пр мых взаимно параллельных прозрачных штрихов 11 (фиг,2 на зеркальном покрытии,фотоприемники 12, установленные один против, другого под разными штрихами IIконтрольной сетки 10 и попарно включенные по дифференц алъной схеме в электронном блоке 13, матовый экран 14, микровинт 15 и светоиндика- торы .16. . Пластина 6 с образцовой поверхностью 7 и контролируема поверхност 17 издели 18 образуют интерференционную пару. Источник 1 света должен быть монохроматичным и с малой расходимость луча, например газовый лазер. Устройство работает следующим образом . Луч от источника 1 света фокусиру етс в промежуточном фокусе коллиматора 2 на краю вращающегос матового диска 3. Ось вращени матового диска 3 рас положена строго под лумом, размер сфокусированного луча мал и не превы шает 50 нкм в диаметре, так что, практически, перемещение освещенной поверхности матового диска происходит по направлению координатной оси X. Таким образом устран етс неравномерность светового пол источника 1 света. А наличие непрозрачных сек торов создает модул цию светового потока. После коллиматора 2 параллельный пучок света направл етс зеркалом 5 в интерференциальный зазор, образуемый образцовой поверхностью 7 пластины 6 и контролируемой поверхностью 17 издели 18. Интерференционна кар тина в виде полос 19 (фиг.2) благодар малой расходимости луча передаетс без искажений на контрольную сетку 10 и матовый экран 1А. Свет, прошедший сквозь штрихи 11, попадает на фотоприемники 12. Посредством юстировочного столика В оператор обеспечивает примерную параллельность интерференционных полос 19 штрихами 11. При перемещении измерительного столика 9 с помощью микровинта 15 наблюда картину на матоаом экране И, по светоиндикаторам 16 определ ют моменты симметричного положени фотоприемников 12 относительно интерференционной полосы дл каждой пары фотоприемников по соответствующим им направлением I, II, III и т.д. Снимают показани микровинта 15 в эти моменты и вычисл ют наибо{1ьшёе искривление интерференционных полос Д X и рассто ние между интерференционными полосами X. Величина неплоскостности контролируемой поверхности 17 Д в дол х длины волны излучени Л определ етс по формуле Перемещение измерительного столика 9 осуществл етс по оси X, в этом же направлении расположены один относительно другого фотоприемники 1 :г в ларе, а поскольку, в этом же направлении создана, наилучша равномерность освещени , все это способствует повышению точности измерений. Этому же способствует возможность использовать синхронный принцип обработки сигналов в электронном блоке, обеспечиваема благодар модул ции излучени от источника света. Формула изобретени Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей по авт.св. V 700778, отличающийс тем, что, с повышени точности измерени ,он снабжен матовым диском с регул рно расположенными непрозрачными секторами , установленным в промежуточном фокусе коллиматора с возможностью вращени , направление этого вращени в плоскости поперечного сечени луча совпадает с направлением перемещени измерительного столика. И сточники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР P 700778, кл. G 01 В 11/30, 1978 (прототип).