SU945643A2 - Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей - Google Patents

Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей Download PDF

Info

Publication number
SU945643A2
SU945643A2 SU802982599A SU2982599A SU945643A2 SU 945643 A2 SU945643 A2 SU 945643A2 SU 802982599 A SU802982599 A SU 802982599A SU 2982599 A SU2982599 A SU 2982599A SU 945643 A2 SU945643 A2 SU 945643A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
light
photodetectors
collimator
measuring
matte
Prior art date
Application number
SU802982599A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Петрович Андреев
Александр Егорович Кравченко
Михаил Александрович Лебедев
Николай Васильевич Мазаев
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физики Ан Бсср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физики Ан Бсср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Физики Ан Бсср
Priority to SU802982599A priority Critical patent/SU945643A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU945643A2 publication Critical patent/SU945643A2/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(5) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НЕПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Claims (1)

  1. Изобретениеотноситс  к контрольно-измерительной технике и может быт испрльзсэвано, в частности, дл  контрол  качества оптических поверхностей ., По основному авт.св. If 700778 известен интерферометр дл  измерени  неплоскостности оптических поверхностей , содержащий источник света и расположенные по ходу светового луча коллиматор, зеркало, пластину с образцовой поверхностью, на которую нанесено отражающее покрытие, юс тйровочный столик, измерительный сто лик, контрольную сетку, выполненную 8 виде двух пр мых взаимно параллель ных прозрачных штрихов на зеркальном покрытии, матовый экран, микровинт, фотоприемники, электронный блок обра бртки и светоиндикаторы, причем фо топриемники расположены один против д зугого под штрихами и попарно соеди нены по дифференциальной схеме в электройном блоке обработки, к выходам которого подключены светоиндикаторы pj Недостатком известного интерферометра  вл етс  невысока  точность измерени  вследствие неравномерности светового пол , получаемого с помощью лазера при его работе, особенно в многомодовом режиме генерации. Цель изобретени  - повышение точности измерени . Поставленна  цель достигаетс  тем, что интерферометр снабжен матовым диском с регул рно расположенными непрозрачными секторами, установленным в промежуточном фокусе коллиматора с возможностью вращени , направление этого вращени  в плоскости поперечного сечени  луча совпадает .с направлением перемещени  измерительного столика. На фиг.1 изображен предлагаемый интерферометр, разрез; на фиг.2 вид А на фиг.1; на фиг.З - вид Б H3i фиг1. Интерферометр содержит источник Iсвета, коллиматор 2, матовый диск 3 с регул рно расположенными непрозрачными секторами 4 (фиг.ЗЬ зеркало 5, пластину 6 с образцовой поверхностью 7| на которую нанесено отражающее покрытие, юстировочный столик 8, измерительный столик 9, контрольную сетку 10, выполненную в виде двух пр мых взаимно параллельных прозрачных штрихов 11 (фиг,2 на зеркальном покрытии,фотоприемники 12, установленные один против, другого под разными штрихами IIконтрольной сетки 10 и попарно включенные по дифференц алъной схеме в электронном блоке 13, матовый экран 14, микровинт 15 и светоиндика- торы .16. . Пластина 6 с образцовой поверхностью 7 и контролируема  поверхност 17 издели  18 образуют интерференционную пару. Источник 1 света должен быть монохроматичным и с малой расходимость луча, например газовый лазер. Устройство работает следующим образом . Луч от источника 1 света фокусиру етс  в промежуточном фокусе коллиматора 2 на краю вращающегос  матового диска 3. Ось вращени  матового диска 3 рас положена строго под лумом, размер сфокусированного луча мал и не превы шает 50 нкм в диаметре, так что, практически, перемещение освещенной поверхности матового диска происходит по направлению координатной оси X. Таким образом устран етс неравномерность светового пол  источника 1 света. А наличие непрозрачных сек торов создает модул цию светового потока. После коллиматора 2 параллельный пучок света направл етс  зеркалом 5 в интерференциальный зазор, образуемый образцовой поверхностью 7 пластины 6 и контролируемой поверхностью 17 издели  18. Интерференционна  кар тина в виде полос 19 (фиг.2) благодар  малой расходимости луча передаетс  без искажений на контрольную сетку 10 и матовый экран 1А. Свет, прошедший сквозь штрихи 11, попадает на фотоприемники 12. Посредством юстировочного столика В оператор обеспечивает примерную параллельность интерференционных полос 19 штрихами 11. При перемещении измерительного столика 9 с помощью микровинта 15 наблюда  картину на матоаом экране И, по светоиндикаторам 16 определ ют моменты симметричного положени  фотоприемников 12 относительно интерференционной полосы дл  каждой пары фотоприемников по соответствующим им направлением I, II, III и т.д. Снимают показани  микровинта 15 в эти моменты и вычисл ют наибо{1ьшёе искривление интерференционных полос Д X и рассто ние между интерференционными полосами X. Величина неплоскостности контролируемой поверхности 17 Д в дол х длины волны излучени  Л определ етс  по формуле Перемещение измерительного столика 9 осуществл етс  по оси X, в этом же направлении расположены один относительно другого фотоприемники 1 :г в ларе, а поскольку, в этом же направлении создана, наилучша  равномерность освещени , все это способствует повышению точности измерений. Этому же способствует возможность использовать синхронный принцип обработки сигналов в электронном блоке, обеспечиваема  благодар  модул ции излучени  от источника света. Формула изобретени  Интерферометр дл  измерени  неплоскостности оптических поверхностей по авт.св. V 700778, отличающийс  тем, что, с повышени  точности измерени ,он снабжен матовым диском с регул рно расположенными непрозрачными секторами , установленным в промежуточном фокусе коллиматора с возможностью вращени , направление этого вращени  в плоскости поперечного сечени  луча совпадает с направлением перемещени  измерительного столика. И сточники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР P 700778, кл. G 01 В 11/30, 1978 (прототип).
SU802982599A 1980-09-15 1980-09-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей SU945643A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802982599A SU945643A2 (ru) 1980-09-15 1980-09-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802982599A SU945643A2 (ru) 1980-09-15 1980-09-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU700778 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU945643A2 true SU945643A2 (ru) 1982-07-23

Family

ID=20917936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802982599A SU945643A2 (ru) 1980-09-15 1980-09-15 Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU945643A2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL8502679A (nl) Optisch omzetelement en verplaatsingsmeter voorzien van dit element.
JPS62182628A (ja) 干渉計
US3345120A (en) Light spot apparatus
US3888589A (en) Reflection grating optical odometer
JPS6045805B2 (ja) 運動する物体の移動量および/または速度を測定する装置
US3738754A (en) Optical contacting systems for positioning and metrology systems
SU945643A2 (ru) Интерферометр дл измерени неплоскостности оптических поверхностей
US3652165A (en) Relative back focus monitoring method and apparatus
US4395123A (en) Interferometric angle monitor
JPS588444B2 (ja) 変位測定装置
JPS56160631A (en) Measuring apparatus for thickness and eccentricity of lens or the like
US4256958A (en) Apparatus for monitoring the optical quality of a beam of radiation
JPH01176914A (ja) レーザー干渉式エンコーダ
JPS57199909A (en) Distance measuring device
SU868346A1 (ru) Способ контрол угловой ориентации объекта
SU796658A1 (ru) Устройство дл контрол формы зеркал
SU1582039A1 (ru) Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива
RU2008615C1 (ru) Устройство для контроля отклонений от прямолинейности
SU815491A1 (ru) Устройство дл измерени клиновид-НОСТи ОпТичЕСКи пРОзРАчНыХ плАСТиН
SU1046606A1 (ru) Интерферометр дл измерени неплоскостности и непр молинейности поверхностей
JPH07503547A (ja) 距離測定用干渉型プローブ
SU624272A2 (ru) Устройство дл контрол параметров скольжени плавающей магнитной головки
SU1548663A1 (ru) Интерферометр дл контрол оптических поверхностей вращени
US3614454A (en) Machine for measuring geometrical parameters of a transparency, such as masks for integrated circuits
SU619889A1 (ru) Измерительное устройство