SU796658A1 - Устройство дл контрол формы зеркал - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ЗЕРКАЛ

1

Изобретение относитс  к измерительной технике , в частности к средствам контрол  формы поверхности асферических зеркал малой кривизны .

Известны устройства дл  контрол  формы зеркал - сферометры, включающие трехточечную опору и измерительный стержень, св занный со шкалой, наблюдаемой в измерительный микроскоп. Опора и j измерительный стержень привод тс  в соприкосновение с поверхностью зеркала. По линейному смешению измерительного стержн  относительно плоскости, проход щей через точки касани  опоры с зеркалом, вычисл етс  радиус кривизны контролируемого зеркала 1.

Известное устройство имеет низкую гочиость контрол .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  устройство дл  контрол  формы зеркал, содержащее источник когерентного света в виде лазера и объектива и расположенные на одной оптической осн зталонное зеркало и схему регистрации. Рбль эталонного зеркала вьшаин ет сферическа  отражающа  поверхность компенсатора, а схема регистрации состоит из объектива, полупрозрачной пластины и зкрана. Задний фокус объекти-. ва, в котором фокусируетс  излучение лазера, совмещен с центром кривизны сферической поверхности компенсатора. Лучи, отраженные от этой,  вл ющейс  зталонмш, поверхности, проход  в обратном направлении через объектив , создают эталонный фронт сравнени  2.

Недостатком известното устройства  вл етс  низка  точность измерени .

Цель изобретени  - повыщение точности контрол .

Claims (2)

1. Цель достигаетс  тем, что устройство снабжено располагаемыми между эталонным и контролируемым зеркалами по крайней мере п тью активными оптическими элементами, один из которых установлен на оптической оси устройства, а остальные - попарно в вертикальной н горизонтальной плоскост х, проход щих через оптическую ось устрсжства, а схема регистрации выполнена в виде двухканальиого фотоприемника и реверсивного счетчика. На фиг.1 изображена оптическа  схема устройства дл  контрол  формы зеркал; на фиг.2 схема регистраципи устройства. Устройство содержит активные элементы 1, эталонное зеркало 2, диафрагму 3 и схему 4 регистрации. Схема 4 регистрации содержит светопроводы 5, фотоприемники-6, в совокупности образующие двухканальный фотоприемник. и реверсивный счетчик 7. Диафрагма 3 в центре и на периферии имее отверсти , механически св зайа со схемой 4 регистрации и может устанавливатьс  в четырех иопожени х при повороте вокруг оси. Тыльна  сторона прозрачной подложки эталонного зеркала 2 выполнена в виде трехгранной усеченной пирамидь. Один из активных оптических элементов 1 расположен по оптической оси 0-0 устройства, а остальные, в предлагаемом исполнении четыре , попарно установлены в горизонтальной и вертикальной плоскост х, проход щих через оптическую ось 0-0 устройства, симметрично вокруг первого. Устройство работает следующим образом. После предварительной юстировки устройств относительно контролируемого зеркала 8 лазер образованные эталонным зеркалом 2, активными элементаищ 1 и контролируемым зеркалом 8, начинают генерировать. Частота генерации каждого лазера определ етс  длиной его резонатора, т. е. фактическим рассто нием между соответствующими точками А и Б на эталонном 2 и контролируемом 8 зеркалах. Лучи лазеров, отклон  сь пирамидальной подложкой зеркала 3, падают на вход схемы регистрации.. Диафрагма 3 может прсетускать лучи тольк попарно. При этом на входе схемы 4 регистрации образуетс  интерференционна  картина, интенсивность 3 которой измен етс  по синусоидаль ному закону с пространственным периодом d. Если длины резонаторов центрального из периферийных лазеров равны, интерференционна  картина неподвижна. Если длинь указашшх лазеров отличаютс , интерференционна  картина иачнет перемещатьс в нащ авлении, соответствующем знаку разност со скоростью, определ ющейс  величиной разости . Торцы светопроводов 5 пространственно азнесены на четверть периода интерференционной артины, поэтому сигналы с фотопрнемников 6 будут сдаинуты по фазе относительно друг друа на 90°. Знак фазового сдвига, завис щий от аправлени  перемещени , т. е. знака разности лин соответствующих резонаторов, использутс  дл  коммутации направлени  счета реверивного счетчика 7. Числа биений М, Nj, N5 и Мл, зарегистриованные с учетом знака реверсивным счетиком 7, позвол ют вычислить R-радиус кривизы контролируемого зеркала на участке контро  в вертикальной и горизонтальной плоскост х m(NзV.,N,) где к - посто нна  прибора. Использование в предлагаемом устройстве зависимости частоты генерации лазера от длинь его резонатора и последующа  регистраци  числа биений их излучений позвол ет, выбира  достаточно большое врем  регистрации, увеличить точность измерени  радиусов кривизны зеркал. Формула изобретени  Устройство дл  контрол  формы зеркал, содержащее расположенные на одной оптической оси эталонное зеркало и схему регистрации, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  точности контрол , оно снабжено располагаемыми между эталонным и контролируемым зеркалами по крайней мере п тью активными оптическими элементами, один из которых установлен на оптической оси устройства, а остальные - попарно в вертикальной и горизонтальной плоскост х, проход щих через оптическую ось устршства, а схема регистрации выполнена в виде двухканального фотоприемника и реверсивного счетчика. Источники информапии, прин тые во внимание при экспертизе 1. Данилович Ф. М. Сборка и юстировка оптических контрольно-измерительных приборов. Л., Мащиностроение, .Ленинградское отделение, 1976. с.209-213.
2. 2. Авторское свидетельство СССР № 373518, кл. G 01 В 11/27, 1973 (прототип).