JPS62188775U - - Google Patents

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Publication number
JPS62188775U
JPS62188775U JP7641186U JP7641186U JPS62188775U JP S62188775 U JPS62188775 U JP S62188775U JP 7641186 U JP7641186 U JP 7641186U JP 7641186 U JP7641186 U JP 7641186U JP S62188775 U JPS62188775 U JP S62188775U
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JP
Japan
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substrate
original
holding body
exposure apparatus
moving device
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Pending
Application number
JP7641186U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例となる位置合わ
せのための移動装置を、原版２の面方向に対して
直交する方向から示した図である。第２図は、第
１図に示した移動装置を含む露光装置の主要部を
、原版２の面方向に平行な方向から示した図であ
つて、併せて制御系がブロツク図で示されている
。 図において、１は基板、２は原版、３は基板保
持台、４は原版保持台（保持体）、１４はフレー
ム（固定位置）、２５はＸ方向移動機構、２６は
第１のＹ方向移動機構、２７は第２のＹ方向移動
機構、２８，３０，３２はねじシヤフト、２９は
Ｘ―モータ、３１はＹ１―モータ、３３はＹ２―
モータ、３４〜３６は従動体、３８〜４０はロー
ラ、４１〜４３はばね（ばね手段）である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基板と平行に置かれた原版を通して光が照
    射され、その光によつて基板を露光するための露
    光装置において原版と基板との互いの適正な位置
    関係を得るために、原版または基板のいずれか一
    方を、その面内において、縦、横、および回転方
    向に移動させる、移動装置であつて、 前記原版または前記基板のいずれか移動する方
    を保持し、かつ、それ自身が原版または基板の面
    方向に移動可能とされた保持体と、 前記保持体上の第１の点を横方向に移動させる
    Ｘ方向移動機構と、 前記保持体上の第２の点を縦方向に移動させる
    第１のＹ方向移動機構と、 前記第２の点とは横方向にずれて位置する、前
    記保持体上の第３の点を縦方向に移動させる第２
    のＹ方向移動機構と、 を備える、露光装置における位置合わせのための
    移動装置。 (2) 前記保持体は四角形をなし、前記第１の点
    は前記四角形の縦方向に延びる辺に沿う位置にあ
    り、前記第２および第３の点は前記四角形の横方
    向に延びる辺に沿う位置にある、実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の露光装置における位置合わ
    せのための移動装置。 (3) 前記Ｘ方向移動機構ならびに前記第１およ
    び第２のＹ方向移動機構は、モータによつて駆動
    されるねじシヤフトと、前記ねじシヤフトに螺合
    し当該ねじシヤフトの回転により直線運動する従
    動体とをそれぞれ備え、前記各ねじシヤフトが固
    定位置に設けられ、前記各従動体が前記保持体に
    連結される、実用新案登録請求の範囲第２項記載
    の露光装置における位置合わせのための移動装置
    。 (4) 前記第１、第２および第３の点には、それ
    ぞれ、回転自在なローラが設けられ、前記各従動
    体は前記ローラの周面に接触して前記保持体に動
    作を伝達し、さらに、前記各従動体と前記各ロー
    ラとの接触状態を維持する方向に前記保持体を変
    位させるように付勢するばね手段を備える、実用
    新案登録請求の範囲第３項記載の露光装置におけ
    る位置合わせのための移動装置。 (5) 前記保持体は、前記原版を保持する原版保
    持台である、実用新案登録請求の範囲第１項ない
    し第４項のいずれかに記載の露光装置における位
    置合わせのための移動装置。 (6) 前記保持体は、前記基板を保持する基板保
    持台である、実用新案登録請求の範囲第１項ない
    し第４項のいずれかに記載の露光装置における位
    置合わせのための移動装置。
JP7641186U 1986-01-22 1986-05-20 Pending JPS62188775U (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7641186U JPS62188775U (ja) 1986-05-20 1986-05-20
US07/005,858 US4842412A (en) 1986-01-22 1987-01-21 Exposure apparatus employed for fabricating printed circuit boards

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7641186U JPS62188775U (ja) 1986-05-20 1986-05-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62188775U true JPS62188775U (ja) 1987-12-01

Family

ID=30923462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7641186U Pending JPS62188775U (ja) 1986-01-22 1986-05-20

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62188775U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349548U (ja) * 1989-09-19 1991-05-15

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53143877A (en) * 1977-05-21 1978-12-14 Mitsubishi Electric Corp Automatic positioning device of pattern

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53143877A (en) * 1977-05-21 1978-12-14 Mitsubishi Electric Corp Automatic positioning device of pattern

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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