JPS62188672A - 研磨液供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は研磨機に研磨液を供給する装置の改良に関す
るものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来の研磨液供給装置の構成図で、（１）は研
磨液（２）が入っ九円筒状の研諮液タンク、（３）はマ
グネットポンプ（４）の吸入側と研磨液タンク（１）の
下部に接続された吸込パイプ、（５）はマグネットポン
プ（４）の吐出側に接続された吐出パイプで、途中で研
磨１ｍ（６）側の供給パイプ（５ａ）と研磨液タンク（
１）内へ戻る戻りパイプ（５ｂ）とに分岐さ１．ている
。

従来の研磨液供給装置は上記のように構成さ１゜ている
ので、マグネットポンプ（υを運転することにより、研
磨液タンク（υ内の研磨液【２）は吸込パイプ（３）を
介してマグネットポンプ（４）の吸入側に入り、吐出側
より吐出された研→Ｍ　液（２３は吐出パイプ（５）、
供給バイブ（６ａ）を介して研磨機（６）へ供給される
。

同時に戻りパイプ（６ｂ）へも分岐して研磨液（２目ｊ
流れ、戻りパイプ（５ｂ）の先端開口部よりタンク底部
へ研磨液が吐出し、研磨液タンク（１）内の研磨液（２
）を攪拌混合するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の研ＩＩＩ液共給装置は、動力にマグネットポンブ
を使用しているため、研磨液中の微粉により、スピンド
ル、軸受等の回転摺動部の摩耗が著しく、短寿命でメイ
ンテナンス費用がかさむばかりでなり、マた１台のポン
プで送液と攪拌１こ使用していたため容量的に送液容量
の約２倍の容量ポンプを使用する必要がある等の問題点
があった。

この発明は上記のような問題点を解消する・ためになさ
れたもので、研磨液に耐える長寿命のポンプを寿ること
ができ、圭た送液と攪拌を容量アップせずに１台のポン
プで実施できる研磨液供給装置を碍ることを目的とする
。

東たこの発明の他の目的は、研瞥液のｌンブ本体への逆
流を防止でき、しかも、タンク内研磨液の攪拌度合を調
節できる研磨液供給装置を潜ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明における第１の発明の研ｌ！！液供給装置はダ
イヤプラムポンプの排気を研磨液タンク内に導入する排
気管を設けたものである。

圭た、この発明の第２の発明の研磨液供給装置は、排気
パイプの途中に配置され、研磨液タンク内の研磨液の逆
流を防止する逆止弁と、排気パイプの排気廼を調節する
調節弁とを設けたものである。

〔作　用〕

この発明の第１の発明である研磨液供給装置は、研磨液
タンク内の研磨液をダイヤフラムポンプで研磨機へ供給
し、ダイヤプラムポンプの排気は排気パイプによって研
磨液タンク内へ導入され、排気圧により研磨液が攪拌混
合される。

また、第２の発明の研磨液供給装置は、排気パイプの途
中に配置された逆止弁によって研磨液タンク内の液の逆
流が防止され、排気パイプの排気處が調節コックで調節
さ１．る。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図について説明する。

第１図において、（ｌ）は研磨液（２）が入った円筒状
の研磨液タンク、（３）はダイヤフラムポンプ（４）の
吸入側と研磨液タンク田の下部に接続さ１．た吸込パイ
プ、（５）はダイヤフラムポンプ（４）の吐出側に接続
された吐出パイプで、他端は研磨機（６）に配管されて
いる。（７）はダイヤプラムポンプ（４）の排気口に一
端が接続さ１．た排気パイプで、他端は研磨液（２）中
の低部、に位置している。（８）は排気パイプ（７）途
中に設けられた逆止弁、（９）は排気パイプ（７）の逆
止弁（８）より研１９３　ｆｅ！Ｌ（２Ｊ側空中に排気
孔を備えた排気パイプ、αＱは排気パイプ（９）に取付
けられた調節弁である。

上記のような構成において、ダイヤフラムポンプ（４）
を運転すると、研磨液タンク（１）内に研磨液（２）は
吸込バイブ（３）を介してダイヤフラムポンプ（４）の
吸入側に入り、吐出側より吐出され吐出パイプ（５）を
介して研磨機（６）へ供給される。同時にダイヤフラム
ポンプ（４）の排気口より出た排気は、排気パイプ（７
）を通って研磨液（２］中に排出され、研磨液（２］を
攪拌混合する。逆止弁（８）はダイヤフラムポンプ（４
）より研磨液タンク（１）内の研磨液（２］が逆流する
のを防止している。調節弁頭は研＊　Ｈ（２３中へ排出
される排気危を調節するだめのもので、調節弁（１０を
開くことに誹りパイプ（９）を介して一部空中に排出さ
れ、その分研磨液（２）中への排出環が減少し撹拌度が
調節できる。

東た、ダイヤプラムポンプ（４）の排気パイプ（７）に
は、空気が排気される仁とになるが、一端が研磨液タン
ク（１）の下部に位置されているので、排気音が全く外
部へ洩れることがな（、騒音が極めて低減され、また、
研磨液がエアで攪拌されるため、エアのと昇により、下
部からと部へと充分に攪拌され、研磨液タンク（１）内
の全体が充分に攪拌される。

また上記実施例では研磨液について説明したが、送液と
攪拌が同時に必要な装置であれば上記実施例と同様の効
果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように第１の発明によれば、ダイヤプラムポンプ
の排気を研磨液タンク内に導入する排気管を設けたので
、その排気される空気をタンク内の研＋１４　ｇの攪拌
に併用でき省エネが可能となり、また排気口が研磨液中
にあるため液で排気音が吸音され、騒音ｌ！ｌ！極めて
低減でき、しかも、回転、摺動部がないので、従来のマ
グネットポンプに比ペ長寿命化が計れ、メンテナンス頻
度も減少する効果がある。

第２の発明では排気パイプに逆止弁を取付けたので、ダ
イヤプラムポンプをタンク液面より下方に位置させるこ
とができポンプの取付位置を自由督こ選択でき、また排
気パイプに調節弁を設けることにより、タンク内研磨液
の撹拌混合度を調節できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による研磨液供給装置を示
す側面構成図、第２図は従来の研磨液供給装置！８−示
す側面構成図である。 図中、（ｌ）は研磨液タンク、（４）はダイヤフラムポ
ンプ、（６）は研磨機、（７）は排気パイプ、（８）は
逆止弁、（９）は調節弁である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）研磨液タンク、この研磨液タンク内の研磨液を研
   磨機へ供給するダイヤフラムポンプ、及びこのダイヤフ
   ラムポンプの排気を研磨液タンク内へ導入する排気管を
   備えた研磨液供給装置。
2. （２）研磨液タンク、この研磨液タンク内の研磨液を研
   磨機へ供給するダイヤフラムポンプ、このダイヤフラム
   ポンプの排気を研磨液タンク内へ導入する排気管、この
   排気管の途中に配置され、上記研磨液タンク内の研磨液
   の逆流を防止する逆止弁、及び上記排気管に設けられ上
   記ダイヤフラムポンプの排気量を調節する調節弁を備え
   た研磨液供給装置。