JPS62171472A - 微小回転モ−タ - Google Patents
微小回転モ−タInfo
- Publication number
- JPS62171472A JPS62171472A JP61011353A JP1135386A JPS62171472A JP S62171472 A JPS62171472 A JP S62171472A JP 61011353 A JP61011353 A JP 61011353A JP 1135386 A JP1135386 A JP 1135386A JP S62171472 A JPS62171472 A JP S62171472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- actuator
- rotor
- claw
- micro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 26
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 241000087799 Koma Species 0.000 description 1
- 206010041235 Snoring Diseases 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は微小回転モータ、特に微小な回転運動を伝動す
る微小回転モータに関する。
る微小回転モータに関する。
情報処理分野などにおいて使用される各種の機器では精
密にして微小な回転運動を必要とするものが多い。たと
えばドツトプリント方式のプリンタにおける用紙送り機
構やプリントヘッドの送シ機構、また磁気ディスク装置
における磁気ヘッドのアクセス機構などがある。
密にして微小な回転運動を必要とするものが多い。たと
えばドツトプリント方式のプリンタにおける用紙送り機
構やプリントヘッドの送シ機構、また磁気ディスク装置
における磁気ヘッドのアクセス機構などがある。
従来、このような用途では一般にパルスモータが使用さ
れることが多い。すなわちパルスモータでは複雑なサー
ボ機構を必要としないので、比較的単純か機構を採用し
て上記のような機器を構成できるという利点がある。
れることが多い。すなわちパルスモータでは複雑なサー
ボ機構を必要としないので、比較的単純か機構を採用し
て上記のような機器を構成できるという利点がある。
しかしながらこのようなパルスモータの分解能はロータ
の一回転につき１／４００程度が構造上の限界であり、
これ以上の微小の回転を必要とする場合には歯車列など
を介して変速しなければならないという欠点がある。
の一回転につき１／４００程度が構造上の限界であり、
これ以上の微小の回転を必要とする場合には歯車列など
を介して変速しなければならないという欠点がある。
また上記のように歯車列などを必要とするため部品点数
が増加するのみでなく、それらのバックラッシュなどに
よって発生する機械的な精度の劣化も避けられないとい
う欠点もある。
が増加するのみでなく、それらのバックラッシュなどに
よって発生する機械的な精度の劣化も避けられないとい
う欠点もある。
本発明が解決しようとする問題点、換言すれば本発明の
目的は微細な歯形を有するロータを直接微小回転させる
ことによって上記の欠点を回避した微小回転モータを提
供することにある。
目的は微細な歯形を有するロータを直接微小回転させる
ことによって上記の欠点を回避した微小回転モータを提
供することにある。
本発明の微小回転モータは、回転軸に直結され、周辺に
微細な歯形を一様に有するロータと、前記歯形に嵌合す
る爪を固定したアクチェータと、前記アクチェータを支
持し、前記歯形に前記爪を嵌合する方向に前記アクチェ
ータを移動させる第一の圧電素子と、前記アクチェータ
を支持し、前記方向゛に直交して前記歯形を前記爪が押
す方向に前記アクチェータを移動させる第二の圧電素子
と、前記アクチェータを互いに直交する前記二方向に移
動させる前記第一の圧電素子および前記第二の圧電素子
の各伸縮方向を自在にして前記第一の圧電素子および前
記第二の圧電素子をそれぞれ支持する手段と、を有して
前記回転軸を微小に回転させるようにして構成される。
微細な歯形を一様に有するロータと、前記歯形に嵌合す
る爪を固定したアクチェータと、前記アクチェータを支
持し、前記歯形に前記爪を嵌合する方向に前記アクチェ
ータを移動させる第一の圧電素子と、前記アクチェータ
を支持し、前記方向゛に直交して前記歯形を前記爪が押
す方向に前記アクチェータを移動させる第二の圧電素子
と、前記アクチェータを互いに直交する前記二方向に移
動させる前記第一の圧電素子および前記第二の圧電素子
の各伸縮方向を自在にして前記第一の圧電素子および前
記第二の圧電素子をそれぞれ支持する手段と、を有して
前記回転軸を微小に回転させるようにして構成される。
以下、本発明による微小回転モータについて図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す部分側面図である。同
図において微小回転モータの回転軸６はＸ圧電素子２の
変位ΔＸおよびＸ圧電素子３の変位ΔＹを組合せて作動
させることによって微小回転する。
図において微小回転モータの回転軸６はＸ圧電素子２の
変位ΔＸおよびＸ圧電素子３の変位ΔＹを組合せて作動
させることによって微小回転する。
フレーム１は微小回転モータの機構的構成を保持する枠
組を形成している。
組を形成している。
Ｘ圧電素子２は一端をフレーム１に固定し、他端はＸヒ
ンジ２ａを介してアクチェータ４を支持している。また
Ｘ圧電素子３はその伸縮の方向がＸ圧電素子２の伸縮の
方向と直交するように、その一端をフレーム１に固定し
、他端はＸヒンジ３ａを介してアクチェータ４を支持し
ている。
ンジ２ａを介してアクチェータ４を支持している。また
Ｘ圧電素子３はその伸縮の方向がＸ圧電素子２の伸縮の
方向と直交するように、その一端をフレーム１に固定し
、他端はＸヒンジ３ａを介してアクチェータ４を支持し
ている。
アクチェータ４は上記のＸヒンジ２ａおよびＸヒンジ３
ａＫよって支持され、Ｘ圧電素子２およびＸ圧電素子３
のそれぞれ互いに直交する伸縮方向に自在に移動できる
。そしてＸ圧電素子２が伸縮する方向に先端を向けて爪
４ａを固定する。
ａＫよって支持され、Ｘ圧電素子２およびＸ圧電素子３
のそれぞれ互いに直交する伸縮方向に自在に移動できる
。そしてＸ圧電素子２が伸縮する方向に先端を向けて爪
４ａを固定する。
回転軸６はフレーム１に固定された軸受５に嵌合して回
転できるように支持されている。そして周辺に歯７ａを
刻んだロータ７を直結している。
転できるように支持されている。そして周辺に歯７ａを
刻んだロータ７を直結している。
さらにロータ７の法線方向が常に上記の爪４ａと歯７ａ
が嵌合する方向に在るように構成する。
が嵌合する方向に在るように構成する。
第２図（ａ）および（ｂ）は第１図においてロータ７を
Ａ方向に回転させるときの動作を示す説明図である。
Ａ方向に回転させるときの動作を示す説明図である。
第２図（ａ）は爪４ａの先端の移動順序を示す。同図に
おいて最初の状態（圧電素子がいずれも付勢されていな
い状態、すなわち印加電圧がＯＦＦの状態）の爪４ａの
先端の座標を（０，０）とし、Ｘ圧電素子２の印加電圧
がＯＮになったとき△Ｘ、 Ｘ圧電素子３の印加電圧が
ＯＮになったときΔＹだけ爪４ａの先端が移動する。数
字および矢印はその移動順序を示している。すなわちＸ
圧電素子２をＯＮにすれば爪４ａの先端は（ΔＸ、０）
に移動し、ロータ７の歯７ａに嵌合する。つづいてＸ圧
電素子３をＯＮにすると爪４ａは歯７ａをＡ方向に押し
てその先端は（ΔＸ、ΔＹ）へ移動する。つぎにＸ圧電
素子２をＯＦＦにすれば爪４ａの先端は（０゜△Ｙ）に
移動して歯７ａとの嵌合を脱する。さらにＸ圧電素子３
をＯＦＦにすると爪４ａの先端は（０，０）に戻って最
初の状態に復帰する。このようにしてロータ７を直結し
た回転軸６は歯７ａの１ピツチだけＡ方向に微小回転す
る。
おいて最初の状態（圧電素子がいずれも付勢されていな
い状態、すなわち印加電圧がＯＦＦの状態）の爪４ａの
先端の座標を（０，０）とし、Ｘ圧電素子２の印加電圧
がＯＮになったとき△Ｘ、 Ｘ圧電素子３の印加電圧が
ＯＮになったときΔＹだけ爪４ａの先端が移動する。数
字および矢印はその移動順序を示している。すなわちＸ
圧電素子２をＯＮにすれば爪４ａの先端は（ΔＸ、０）
に移動し、ロータ７の歯７ａに嵌合する。つづいてＸ圧
電素子３をＯＮにすると爪４ａは歯７ａをＡ方向に押し
てその先端は（ΔＸ、ΔＹ）へ移動する。つぎにＸ圧電
素子２をＯＦＦにすれば爪４ａの先端は（０゜△Ｙ）に
移動して歯７ａとの嵌合を脱する。さらにＸ圧電素子３
をＯＦＦにすると爪４ａの先端は（０，０）に戻って最
初の状態に復帰する。このようにしてロータ７を直結し
た回転軸６は歯７ａの１ピツチだけＡ方向に微小回転す
る。
第２図（ｂ）は上記の爪４ａの先端の位置と各圧電素子
２および３の付勢状態の関係の推移を示す。
２および３の付勢状態の関係の推移を示す。
すなわち動作１では爪先は（ΔＸ、Ｏ）に位置し、Ｘ圧
電素子２はＯＮ、Ｘ圧電素子３はＯＦＦである。
電素子２はＯＮ、Ｘ圧電素子３はＯＦＦである。
このとき爪４ａと歯７ａとが嵌合している・動作２では
爪先は（ΔＸ、ΔＹ）に位置し、Ｘ圧電素子２およびＸ
圧電素子３は共にＯＮである。このとき爪４ａは歯７ａ
を押して（ΔＸ、Ｏ）から（Ａ、Ｘ。
爪先は（ΔＸ、ΔＹ）に位置し、Ｘ圧電素子２およびＸ
圧電素子３は共にＯＮである。このとき爪４ａは歯７ａ
を押して（ΔＸ、Ｏ）から（Ａ、Ｘ。
ΔＹ）へ移動する。動作３では爪先（０，ΔＹ）に位置
し、Ｘ圧電素子２はＯＦＦ、 Ｘ圧電素子３はＯＮであ
る。このとき爪４ａは歯７ａから脱する。
し、Ｘ圧電素子２はＯＦＦ、 Ｘ圧電素子３はＯＮであ
る。このとき爪４ａは歯７ａから脱する。
動作４では爪先は（０，０）に位置し、Ｘ圧電素子２お
よびＸ圧電素子３は共にＯＦＦである。すなわち最初の
状態に復帰する。
よびＸ圧電素子３は共にＯＦＦである。すなわち最初の
状態に復帰する。
なお上記において動作３および４を同時に実行すれば爪
先は（ΔＸ、ΔＹ）から（０，０）へ直ちに移動できる
ので位置（０，０）への復帰の時間を短縮できる。この
とき爪４ａと歯７ａが嵌合しているので、回転軸６をＢ
方向に逆転する力が働くが、爪４ａが歯７ａから脱する
方向に移動していることと同時にヒンジ２ａおよび３ａ
によってその力の影響は除去される。
先は（ΔＸ、ΔＹ）から（０，０）へ直ちに移動できる
ので位置（０，０）への復帰の時間を短縮できる。この
とき爪４ａと歯７ａが嵌合しているので、回転軸６をＢ
方向に逆転する力が働くが、爪４ａが歯７ａから脱する
方向に移動していることと同時にヒンジ２ａおよび３ａ
によってその力の影響は除去される。
第３図（ａ）および（ｂ）は第１図においてロータ７を
Ｂ方向に回転させるときの動作を示す説明図である。
Ｂ方向に回転させるときの動作を示す説明図である。
第°３図（ａ）は爪４ａの先端の移動順序を示す。最初
に爪先が（０，０）に位置しているときＸ圧電素子３を
ＯＮにすれば爪４ａの先端は（０，ΔＹ）移動する。つ
づいてＸ圧電素子２をＯＮにすると爪４ａの先端は（Δ
Ｘ、△Ｙ）に移動して歯７ａに嵌合する。つぎにＸ圧電
素子３をＯＦＦにすれば爪４ａは歯７ａをＢ方向に押し
てその先端は（△＼Ｏ）に移動する。さらにＸ圧電素子
２をＯＦＦにすると爪先は（０，０）に移動して歯７ａ
から脱する。このようにしてロータ７を直結した回転軸
６は歯７ａの１ピツチだけＢ方向に微小回転する。
に爪先が（０，０）に位置しているときＸ圧電素子３を
ＯＮにすれば爪４ａの先端は（０，ΔＹ）移動する。つ
づいてＸ圧電素子２をＯＮにすると爪４ａの先端は（Δ
Ｘ、△Ｙ）に移動して歯７ａに嵌合する。つぎにＸ圧電
素子３をＯＦＦにすれば爪４ａは歯７ａをＢ方向に押し
てその先端は（△＼Ｏ）に移動する。さらにＸ圧電素子
２をＯＦＦにすると爪先は（０，０）に移動して歯７ａ
から脱する。このようにしてロータ７を直結した回転軸
６は歯７ａの１ピツチだけＢ方向に微小回転する。
第３図（ｂ）は第３図（ａ）における爪４ａの先端の位
置と各圧電素子２および３の付勢状態の関係の推移を示
す。すなわち動作１では爪先は（０，ΔＹ）に位置し、
Ｘ圧電素子２は０ＦＦ１Ｙ圧電素子３はＯＮである。こ
のとき爪４ａはＢ方向に押すべき歯７ａと対向している
が嵌合していない。動作２では爪先は（ΔＸ、△Ｙ）に
位置し、Ｘ圧電素子２およびＸ圧電素子３は共にＯＮで
ある。このとき爪４ａは歯７ａに嵌合する。動作３では
爪先は（ΔＸ、 Ｏ）に位置し、Ｘ圧電素子２はＯＮ、
Ｘ圧電素子３はＯＦＦである。このとき爪４ａは歯７ａ
を押し、爪先は（ΔＸ、△Ｙ）から（ΔＸ、Ｏ）に移動
する。動作４では爪先は（０，０）に位置し、Ｘ圧電素
子２およびＸ圧電素子３はＯＦＦである。このとき爪４
ａは歯７ａから脱する。
置と各圧電素子２および３の付勢状態の関係の推移を示
す。すなわち動作１では爪先は（０，ΔＹ）に位置し、
Ｘ圧電素子２は０ＦＦ１Ｙ圧電素子３はＯＮである。こ
のとき爪４ａはＢ方向に押すべき歯７ａと対向している
が嵌合していない。動作２では爪先は（ΔＸ、△Ｙ）に
位置し、Ｘ圧電素子２およびＸ圧電素子３は共にＯＮで
ある。このとき爪４ａは歯７ａに嵌合する。動作３では
爪先は（ΔＸ、 Ｏ）に位置し、Ｘ圧電素子２はＯＮ、
Ｘ圧電素子３はＯＦＦである。このとき爪４ａは歯７ａ
を押し、爪先は（ΔＸ、△Ｙ）から（ΔＸ、Ｏ）に移動
する。動作４では爪先は（０，０）に位置し、Ｘ圧電素
子２およびＸ圧電素子３はＯＦＦである。このとき爪４
ａは歯７ａから脱する。
なお上記のＢ方向回転においては爪先の初期位置を（０
，△Ｙ）に設定すれば上記の動作１を省いて回転動作を
開始できるので、それだけ動作のタイミングを早くする
ことができる。また動作１と動作４を同時に実行すれば
爪先は（ΔＸ、Ｏ）から（０゜ΔＹ）へ直ちに移行でき
るので、入方向回転の場合と同様に初期位置への復帰の
時間を短縮することができる。
，△Ｙ）に設定すれば上記の動作１を省いて回転動作を
開始できるので、それだけ動作のタイミングを早くする
ことができる。また動作１と動作４を同時に実行すれば
爪先は（ΔＸ、Ｏ）から（０゜ΔＹ）へ直ちに移行でき
るので、入方向回転の場合と同様に初期位置への復帰の
時間を短縮することができる。
上記のようにしてＸ圧電素子２およびＸ圧電素子３を付
勢する動作を繰返えすことによって回転軸６は微小回転
を継続することができる。またＸ圧電素子２のＯＮ状態
を保持すれば、回転軸６の回転をロックすることもでき
る。
勢する動作を繰返えすことによって回転軸６は微小回転
を継続することができる。またＸ圧電素子２のＯＮ状態
を保持すれば、回転軸６の回転をロックすることもでき
る。
上記の実施例ではＸヒンジ２ａはＸ圧電素子２とアクチ
ェ−タ４を接続し、Ｘヒンジ３ａはＹ圧電素子とアクチ
ェータ４を接続しているが、各圧電素子とフレーム１の
間をヒンジによって接続し、各圧電素子をアクチェータ
４に直接固定してもよい。この場合は各圧電素子にか＼
る負荷が増加するが各ヒンジの歪を小さくすることがで
きるという利点がある。
ェ−タ４を接続し、Ｘヒンジ３ａはＹ圧電素子とアクチ
ェータ４を接続しているが、各圧電素子とフレーム１の
間をヒンジによって接続し、各圧電素子をアクチェータ
４に直接固定してもよい。この場合は各圧電素子にか＼
る負荷が増加するが各ヒンジの歪を小さくすることがで
きるという利点がある。
また上記の実施例においてはアクチェータ４が１個の場
合について説明したが、具体的には複数個のアクチェー
タがロータ７の周辺を囲むように配設され、それらが連
動して高速・精密な微小回転を実現する。
合について説明したが、具体的には複数個のアクチェー
タがロータ７の周辺を囲むように配設され、それらが連
動して高速・精密な微小回転を実現する。
以上、詳細に説明したように本発明の微小回転モータに
よれば圧電素子の微小な伸縮を利用して微細な歯形と爪
によってロータを回転させているので、歯車列などを介
さずに高精度にして分解能が優れた微小回転を得ること
ができるという効果がある。具体的には積層型圧電素子
の伸縮量を歯形のピッチとし、１／１０００程度の分解
能の微小回転モータを実現できる。さらにロータの径を
大きくすれば分解能は向上する。
よれば圧電素子の微小な伸縮を利用して微細な歯形と爪
によってロータを回転させているので、歯車列などを介
さずに高精度にして分解能が優れた微小回転を得ること
ができるという効果がある。具体的には積層型圧電素子
の伸縮量を歯形のピッチとし、１／１０００程度の分解
能の微小回転モータを実現できる。さらにロータの径を
大きくすれば分解能は向上する。
また歯車列などを介して微小回転を得る必要がないので
、部品点数を増加せずに単純な構造にして機械的精度が
優れた各種の機器を構成することができるという効果も
ある。
、部品点数を増加せずに単純な構造にして機械的精度が
優れた各種の機器を構成することができるという効果も
ある。
さらに圧電素子は電気機械的変換効率が優れた素子であ
るので、小形・軽量の微小回転モータを実現できるとい
う効果がある。したがりてこれを採用した各種の機器も
小形・軽量化されることが期待できる。
るので、小形・軽量の微小回転モータを実現できるとい
う効果がある。したがりてこれを採用した各種の機器も
小形・軽量化されることが期待できる。
第１図は本発明による微小回転モータの一実施例の主要
部を示す部分側面図、第２図および第３図は第１図の実
施例の動作を示す説明図である。 １・・・・・・フレーム、２，３・・・・・・圧電素子
、２ａ、 ３ａ・・・・・・ヒンジ、４・・・・・・
アクチェータ、４ａ・・・・・・爪、５・・・・・・軸
受、６・・・・・・回転軸、７・・・・・・ロータ、７
ａ・・・・・・歯、である。 狛１図 ａ ルー−−フし−ハ ５−−一軸受２−−
−−×圧電・系） Δ−−−−回申ム
中山２久−−Ｘヒじ・° ７−−−ローゲ
３−−−−躇電鼾 ７ｔｘ−肴 ３久−−−了しニン゛ ４−−−−アクチェータ ４八−−−−６ｓ チ ２ 配
部を示す部分側面図、第２図および第３図は第１図の実
施例の動作を示す説明図である。 １・・・・・・フレーム、２，３・・・・・・圧電素子
、２ａ、 ３ａ・・・・・・ヒンジ、４・・・・・・
アクチェータ、４ａ・・・・・・爪、５・・・・・・軸
受、６・・・・・・回転軸、７・・・・・・ロータ、７
ａ・・・・・・歯、である。 狛１図 ａ ルー−−フし−ハ ５−−一軸受２−−
−−×圧電・系） Δ−−−−回申ム
中山２久−−Ｘヒじ・° ７−−−ローゲ
３−−−−躇電鼾 ７ｔｘ−肴 ３久−−−了しニン゛ ４−−−−アクチェータ ４八−−−−６ｓ チ ２ 配
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微小な回転運動を伝動する回転軸を有する微小回転モー
タにおいて、 前記回転軸に直結され、周辺に微細な歯形を一様に有す
るロータと、 前記歯形に嵌合する爪を固定したアクチェータと、 前記アクチェータを支持し、前記歯形に前記爪を嵌合す
る方向に前記アクチェータを移動させる第一の圧電素子
と、 前記アクチェータを支持し、前記方向に直交して前記歯
形を前記爪が押す方向に前記アクチェータを移動させる
第二の圧電素子と、 前記アクチェータを互いに直交する前記二方向に移動さ
せる前記第一の圧電素子および前記第二の圧電素子の各
伸縮方向を自在にして前記第一の圧電素子および前記第
二の圧電素子をそれぞれ支持する手段と、 を有して前記回転軸を微小に回転することを特徴とする
微小回転モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61011353A JPS62171472A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 微小回転モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61011353A JPS62171472A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 微小回転モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62171472A true JPS62171472A (ja) | 1987-07-28 |
Family
ID=11775668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61011353A Pending JPS62171472A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 微小回転モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62171472A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4133108A1 (de) * | 1991-10-05 | 1993-04-08 | Philips Patentverwaltung | Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird |
-
1986
- 1986-01-21 JP JP61011353A patent/JPS62171472A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4133108A1 (de) * | 1991-10-05 | 1993-04-08 | Philips Patentverwaltung | Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4597963B2 (ja) | セルフ・アセンブリ・デバイス | |
| GB2088645A (en) | High speed, high response drive | |
| US4600854A (en) | Piezoelectric stepping rotator | |
| JPS62171472A (ja) | 微小回転モ−タ | |
| US8363342B2 (en) | Piezoelectric actuator, lens barrel and camera | |
| JP4744989B2 (ja) | 波動歯車装置および摩擦係合式波動装置 | |
| JP6802868B2 (ja) | 歯車を回転させるための機器 | |
| JPH0382379A (ja) | 微小回転モータ | |
| JP5668683B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラ | |
| JP2007124790A (ja) | 回転駆動装置の駆動回路 | |
| JPS61159349A (ja) | 微小変位移動装置 | |
| JPH05199775A (ja) | 圧電ステッピングモータ | |
| US11112597B2 (en) | Dual-drive device for sequential scanning, and associated method | |
| JPS61142979A (ja) | 圧電素子を用いたモ−タ | |
| JPH03117380A (ja) | 回転機 | |
| JPS6188771A (ja) | 回転駆動装置 | |
| JPH0630570A (ja) | 圧電モータ | |
| JPH02142365A (ja) | バイモルフモータ | |
| JP5423157B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラ | |
| JPH11157690A (ja) | 圧電素子駆動機構 | |
| JPS61270044A (ja) | ３軸移動ステ−ジ | |
| JP2729968B2 (ja) | 内接遊星歯車装置 | |
| JPS59226734A (ja) | 減速装置 | |
| JPH011481A (ja) | 圧電アクチュエ−タ− | |
| JP2001129740A (ja) | ３自由度位置決め機構 |