JP4597963B2 - セルフ・アセンブリ・デバイス - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
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- G04C—ELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES
- G04C3/00—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means
- G04C3/08—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically
- G04C3/12—Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically driven by piezoelectric means; driven by magneto-strictive means
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Description
歯の付いた被駆動要素と、
歯の付いた被駆動要素と順次に噛み合うことができる駆動要素と、
駆動要素が被駆動要素の連続する歯と噛み合うように、駆動要素をヒステリシス・タイプの動作で動かすことができるアクチュエータとを含み、
アクチュエータは、少なくとも1つの、固定コーム(fixed comb)および可動コーム(mobile comb)をそれ自身が備える作動モジュールを備え、各コームは一連のフィンガを備え、可動コームは、固定コームのフィンガと可動コームのフィンガが互いに噛み合うように固定コームに対向して配置され、
可動コームは、駆動要素を対応する方向に動かすように、固定コームと可動コームの間に電位差を与える間、コームのフィンガに平行な方向に沿って固定コームに対して移動できることを特徴とする。
歯車と順次に噛み合うことができる照合要素と、
ホイールを定位置に保つために駆動要素がホイールの歯と噛み合わないとき、照合要素がホイールの歯と噛み合うように、駆動要素のヒステリシス動作と同期した動きを伴う照合要素を動かすことができるアクチュエータとを備える。
2 シリコン酸化層
3 シリコン層
4、7 樹脂層
5 窒化物層
6 第1堆積物
10 歯車
20、30、40 駆動アクチュエータ
50 照合アクチュエータ
201 基本径方向作動モジュール
202 基本接線方向作動モジュール
250、550 駆動歯
501 径方向作動モジュール
Claims (14)
- 半導体材料のブロックをエッチングすることによって形成され、前記エッチングが10μmより大きい厚さで行われるセルフ・アセンブリ・デバイスであって、
歯の付いた被駆動要素(10)と、
前記歯の付いた被駆動要素(10)と順次に噛み合うことができる駆動要素(250)と、
前記駆動要素(250)が前記歯の付いた被駆動要素(10)の連続する歯(11、12、13)と噛み合うように、前記駆動要素(250)を周期的運動で動かすことができる駆動アクチュエータ(20)とを備え、
前記駆動アクチュエータ(20)が、少なくとも1つの固定コームおよび可動コーム(235、236)をそれ自身が備える作動モジュール(201、202)を備え、各コームが一連のフィンガを備え、前記可動コーム(235、236)が、前記固定コーム(225、226)のフィンガおよび前記可動コーム(235、236)のフィンガが互いに噛み合うように前記固定コーム(225、226)に対向して配置され、
前記可動コーム(235、236)が、前記駆動要素(250)を対応する方向に動かすために前記固定コーム(225、226)と前記可動コームの間に電位差を与える間、前記コームの前記フィンガに平行な方向に前記固定コームに対して移動されることができ、
前記セルフ・アセンブリ・デバイスは、
前記歯の付いた被駆動要素(10)を定位置に保つために、前記駆動要素(250)が前記歯の付いた被駆動要素(10)の歯と噛み合っていないとき、照合要素(550)が前記歯の付いた被駆動要素(10)の歯と噛み合うように、
前記歯の付いた被駆動要素(10)と順次に噛み合うことができる前記照合要素(550)と、
前記駆動要素(250)の周期的動作と同期された運動で前記照合要素(550)を動かすことができる照合アクチュエータ(50)とをさらに備えることを特徴とするセルフ・アセンブリ・デバイス。 - 前記駆動アクチュエータ(20)が、前記駆動要素(250)を第1の方向に動かすことができる第1の作動モジュール(201)と、前記駆動要素(250)を第2の方向に動かすことができる第2の作動モジュール(202)とを備え、前記作動モジュール(201、202)が、前記駆動要素(250)の組み合わされた周期的動作を発生させるために、同時に制御されることができる、請求項1に記載のデバイス。
- 前記第1の作動モジュール(201)が、前記駆動要素(250)を前記歯の付いた被駆動要素(10)に対して径方向に動かすことができ、前記第2の作動モジュール(202)が、前記駆動要素(250)を前記歯の付いた被駆動要素(10)に対して接線方向に動かすことができる、請求項2に記載のデバイス。
- 前記駆動要素(250)が、径方向の可撓性ロッド(211)によって前記第1の作動モジュール(201)に連結され、接線方向の可撓性ロッド(212)によって前記第2の作動モジュール(202)に連結され、前記可撓性のロッド(211,212)が、前記作動モジュール(250)のうちのどちらかの作用の下で前記駆動要素(201、202)を独立に動くことができるようにする、請求項2または3のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記第1及び第2のモジュール(201、202)が、0と半周期の間で相対的に移相されている周期的な信号によって制御されている、請求項2から4のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記周期的な信号が互いに対して1周期の4分の1だけ移相されている、請求項5に記載のデバイス。
- 前記駆動アクチュエータ(20)に信号がまったく与えられていないとき、前記駆動要素(250)が前記歯の付いた被駆動要素(10)と噛み合った位置にあるように、前記デバイスがエッチングされる、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記照合アクチュエータ(50)が、それ自身が少なくとも1つの固定コーム(525)および1つの可動コーム(535)を備える照合モジュール(501)を備え、各コームが一連のフィンガを備え、前記固定コーム(535)の前記フィンガおよび前記可動コーム(535)の前記フィンガが互いに噛み合うように、前記可動コーム(535)が前記固定コーム(535)に対向して配置され、前記可動コームが、前記照合要素(550)を対応する方向に動かすように、前記固定コームと前記可動コームの間に電位差を与える間、前記コームの前記フィンガに平行な方向に前記固定コームに対して移動されることができる、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記照合モジュール(501)が、前記駆動アクチュエータ(20)の前記制御信号と同期されている周期的な信号によって制御されている、請求項8に記載のデバイス。
- 前記デバイスがSOIエッチング技術によって得られる、請求項1乃至9のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記デバイスがHARPSSエッチング技術によって得られる、請求項1乃至9のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、半導体材料のブロック内で多数の基本クロック・デバイスを同時にエッチングすることからなる集合的な過程によって得られる、前記請求項1乃至11のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記歯の付いた被駆動要素(10)が歯車である、請求項1乃至12のいずれか一項に記載のデバイス。
- 前記歯の付いた被駆動要素(10)が、駆動されるべき針に直接取り付けられている、請求項13に記載のデバイス。
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