JPS62169040A - プリント基板パタ−ン検査装置 - Google Patents
プリント基板パタ−ン検査装置Info
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- JPS62169040A JPS62169040A JP1015086A JP1015086A JPS62169040A JP S62169040 A JPS62169040 A JP S62169040A JP 1015086 A JP1015086 A JP 1015086A JP 1015086 A JP1015086 A JP 1015086A JP S62169040 A JPS62169040 A JP S62169040A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリント基板の回路パターンの欠陥を検査す
る検査装置に関するものである。
る検査装置に関するものである。
プリント基板の回路パターンの欠陥を検査する場合には
、一般に回路パターンを２次元画像として撮像した後画
像処理を行って特徴を抽出し、この特徴を他の基板或い
は設計上の制約事項と比較してパターンの欠陥を検出す
る方法が採用されている。このような検査方法において
は、欠陥検査装置に機械的振動や電気的ノイズが加わっ
たり、浮遊中のごみ等が検査中のプリント基板の表面に
付着したりすると、これらのものを特徴として捕え欠陥
として誤検出するために、検査結果の信頼性を向上させ
る上で大きな問題であった。特に、一般にプリント基板
の製造、保管環境は、ＩＣやＬＳＩ等の半４本にべべで
悪く、一般室内程度でるることが多いため、ごみ、はこ
り等の付着による誤検出の発生頻度が高かった。
、一般に回路パターンを２次元画像として撮像した後画
像処理を行って特徴を抽出し、この特徴を他の基板或い
は設計上の制約事項と比較してパターンの欠陥を検出す
る方法が採用されている。このような検査方法において
は、欠陥検査装置に機械的振動や電気的ノイズが加わっ
たり、浮遊中のごみ等が検査中のプリント基板の表面に
付着したりすると、これらのものを特徴として捕え欠陥
として誤検出するために、検査結果の信頼性を向上させ
る上で大きな問題であった。特に、一般にプリント基板
の製造、保管環境は、ＩＣやＬＳＩ等の半４本にべべで
悪く、一般室内程度でるることが多いため、ごみ、はこ
り等の付着による誤検出の発生頻度が高かった。
以上の点を配慮して、近年、この種の検査装置を改善し
、プリント基板の検査中に欠陥を検出した場合には、同
じ位置を再検査して欠陥判定を行なうことにぶり、偶発
的に発生する誤検出を低減させる等の対策が講じられて
いる。
、プリント基板の検査中に欠陥を検出した場合には、同
じ位置を再検査して欠陥判定を行なうことにぶり、偶発
的に発生する誤検出を低減させる等の対策が講じられて
いる。
ところで、このような対策を講じた場合でも、検査装置
の異常や設置環境の変化或いはプリント！〆 基板の製造工程・保管環境に劣化が生じている場合には
、誤検出要因となる機械的振動、電気的ノイズが頻繁に
生じたシ、ごみ、はこりが増加して再検査を行なう頻度
が高くなり、検査作業能率が低下をきたすので、早急に
検査装置の修理、設置環境の改善またはプリント基板の
製造工程・保管環境の改善をはかる必要がある。しかし
ながら従来は、プリント基板の検査後に、作業者がプリ
ント基板を目視で確認した後、始めて誤検出が多くなっ
ていることに気が付くため、異常修復の対応が遅くなる
という問題点を有していた。
の異常や設置環境の変化或いはプリント！〆 基板の製造工程・保管環境に劣化が生じている場合には
、誤検出要因となる機械的振動、電気的ノイズが頻繁に
生じたシ、ごみ、はこりが増加して再検査を行なう頻度
が高くなり、検査作業能率が低下をきたすので、早急に
検査装置の修理、設置環境の改善またはプリント基板の
製造工程・保管環境の改善をはかる必要がある。しかし
ながら従来は、プリント基板の検査後に、作業者がプリ
ント基板を目視で確認した後、始めて誤検出が多くなっ
ていることに気が付くため、異常修復の対応が遅くなる
という問題点を有していた。
本発明は、以上の間４点を考慮してなされたものであり
、その目的とするところは、検査装置の異常、プリント
基板の製造・保管環境等の劣化等により欠陥の誤検出が
増加した場合には、その状態を自動的に検出して知らせ
ることができる信頼性の高いプリント基板・ζターン検
査装置を提供することにある。
、その目的とするところは、検査装置の異常、プリント
基板の製造・保管環境等の劣化等により欠陥の誤検出が
増加した場合には、その状態を自動的に検出して知らせ
ることができる信頼性の高いプリント基板・ζターン検
査装置を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、プリント基板の
外観を撮像手段により撮像し、画像処理して基板の回路
パターンを検出し、検査中に欠陥を検出した場合には、
再度同−直所を再検査して欠陥の判定を行なう方式のプ
リント基板パターン検査装置において、検査の結果、冥
の欠陥と偽の欠陥に分類して偽の欠陥と判定したものの
数を計数手段を介して計数しておき、その計数値の度合
が予め定めた基準設定ｌｆｉ以上になった時にはｉ報作
動信号を出力するように設定して、この信号【より警報
手段を作動させる二うにしたものである。
外観を撮像手段により撮像し、画像処理して基板の回路
パターンを検出し、検査中に欠陥を検出した場合には、
再度同−直所を再検査して欠陥の判定を行なう方式のプ
リント基板パターン検査装置において、検査の結果、冥
の欠陥と偽の欠陥に分類して偽の欠陥と判定したものの
数を計数手段を介して計数しておき、その計数値の度合
が予め定めた基準設定ｌｆｉ以上になった時にはｉ報作
動信号を出力するように設定して、この信号【より警報
手段を作動させる二うにしたものである。
このような構成よりなる本発明によれば、プリント基板
の検査中に偽の欠陥の生じる頻度を計数値の度合に基づ
いて自動的に監視することができ、誤検出による偽の欠
陥頻度が許容値以上になると警報を発して検査装置の異
常、プリント基板の製造・保管環境等の劣化を知らせる
ことができる。
の検査中に偽の欠陥の生じる頻度を計数値の度合に基づ
いて自動的に監視することができ、誤検出による偽の欠
陥頻度が許容値以上になると警報を発して検査装置の異
常、プリント基板の製造・保管環境等の劣化を知らせる
ことができる。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づき説
明する。
明する。
・４１図は、本発明の一実施例を示す機能ブロック１図
、第２図は、本実施列の動作順序の一例を示すフローチ
ャートである。
、第２図は、本実施列の動作順序の一例を示すフローチ
ャートである。
第１図において、１．２は比べすべき２次元バｌ−ンを
有する２枚のプリント基板、３はプリンｌ−基板１．２
を固定支持する検査用のテーブルであり、テーブル３は
モータ４．５を介して水平直交軸Ｘ、Ｙ方向に移動可能
に配置されている。
有する２枚のプリント基板、３はプリンｌ−基板１．２
を固定支持する検査用のテーブルであり、テーブル３は
モータ４．５を介して水平直交軸Ｘ、Ｙ方向に移動可能
に配置されている。
６．７りよプリント基板１．２の外観全撮像する撮像装
置であり、撮１象装置６．７ば、プリント等板１．２上
の同一位置を撮像する立１度に固定されている。そして
、撮像装置６．７で撮像された画像の出力信号は２値化
ノイズ除去回路８．９を経てマトリックス状に配置され
た各記憶要素１０．１１に２値化ビデオ信号として記憶
され、これらの２値化ビデオ信号が欠陥判定回路１２に
送られて比較判断され、プリント基板１．２０回路パタ
ーン内の各箇所の断線、短絡、凹凸、ピンホール等の欠
陥の有無が検出される。
置であり、撮１象装置６．７ば、プリント等板１．２上
の同一位置を撮像する立１度に固定されている。そして
、撮像装置６．７で撮像された画像の出力信号は２値化
ノイズ除去回路８．９を経てマトリックス状に配置され
た各記憶要素１０．１１に２値化ビデオ信号として記憶
され、これらの２値化ビデオ信号が欠陥判定回路１２に
送られて比較判断され、プリント基板１．２０回路パタ
ーン内の各箇所の断線、短絡、凹凸、ピンホール等の欠
陥の有無が検出される。
また、欠陥判定回路１２は、検査中にプリント基板の回
路パターンに欠陥を検出した場合に同一箇所を２回再検
査して合計３回の検査を行ないその検査結果を記憶する
制御・記憶機能と、再検査の結果、欠陥検出箇所が真の
欠陥か偽の欠陥かを判定する真偽欠陥判定機能を有する
。このような真偽欠陥判定機能は、撮像装置６．７また
は検査用テーブル３に偶発的な振動が発生した場合や、
撮像装置６．７からの出力信号を２値化し画像処理する
間に偶発的にノイズが重畳した場合、或いはプリント基
板１．２にごみ等が性情した場合等にこれらの要素がパ
ターンとして認識され欠陥として誤検出されるのを考ｔ
・ｉして設けられたものであり、前述した同一箇所の計
３回の検査結果を後Ｑｌする第１表のＩ〜■の形態に分
類して、この分類基準に基づいて欠陥の真偽を判定する
ものである。１３は欠陥判定回路１２のＡ偽欠陥判定機
能に基づいて判定された偽欠陥数を計数する計数回路、
１４は計数回路１３から送られてくる計数データに基づ
いてプリント基板検査中の偽欠陥数の”＞発生頻度の度
合を積算し、この積算結果を予め定７″めた基準設定値
Ｎと比較して検査装置の誤検出が許容範囲であるか否か
を監視する誤検出監視回路である。誤検出監視の判定基
準となる設定値Ｎは経験的に求めた値であり、誤検出頻
度の度合がどの程度であれば検査装置或いはプリント基
板の保管環境等に異常があるか作業者の経験に基づいて
設定されており、設定値Ｎ以上になると警報器１５に出
力信号を送るようにしである。
路パターンに欠陥を検出した場合に同一箇所を２回再検
査して合計３回の検査を行ないその検査結果を記憶する
制御・記憶機能と、再検査の結果、欠陥検出箇所が真の
欠陥か偽の欠陥かを判定する真偽欠陥判定機能を有する
。このような真偽欠陥判定機能は、撮像装置６．７また
は検査用テーブル３に偶発的な振動が発生した場合や、
撮像装置６．７からの出力信号を２値化し画像処理する
間に偶発的にノイズが重畳した場合、或いはプリント基
板１．２にごみ等が性情した場合等にこれらの要素がパ
ターンとして認識され欠陥として誤検出されるのを考ｔ
・ｉして設けられたものであり、前述した同一箇所の計
３回の検査結果を後Ｑｌする第１表のＩ〜■の形態に分
類して、この分類基準に基づいて欠陥の真偽を判定する
ものである。１３は欠陥判定回路１２のＡ偽欠陥判定機
能に基づいて判定された偽欠陥数を計数する計数回路、
１４は計数回路１３から送られてくる計数データに基づ
いてプリント基板検査中の偽欠陥数の”＞発生頻度の度
合を積算し、この積算結果を予め定７″めた基準設定値
Ｎと比較して検査装置の誤検出が許容範囲であるか否か
を監視する誤検出監視回路である。誤検出監視の判定基
準となる設定値Ｎは経験的に求めた値であり、誤検出頻
度の度合がどの程度であれば検査装置或いはプリント基
板の保管環境等に異常があるか作業者の経験に基づいて
設定されており、設定値Ｎ以上になると警報器１５に出
力信号を送るようにしである。
次に、本実施列の作用を第２図の７０−チャートに基づ
き説明する。
き説明する。
ステップ１；プリント基板１．２の回路パターンは、即
述したように撮像、２値化ビデオ信号処理等の画像処理
を経て欠陥判定回路１２で欠陥の判定が行なわれ、欠陥
がない場合には、次の検査位置の欠陥検査に移行する。
述したように撮像、２値化ビデオ信号処理等の画像処理
を経て欠陥判定回路１２で欠陥の判定が行なわれ、欠陥
がない場合には、次の検査位置の欠陥検査に移行する。
ステップ２：検査の結果欠陥を検出した場合には、同位
置の検査箇所を２回再検査して、合計３回の検査を行な
い記憶し、その検査結果を次の４つの場合（第１表参照
）に分類′し欠陥の真偽を判定する。
置の検査箇所を２回再検査して、合計３回の検査を行な
い記憶し、その検査結果を次の４つの場合（第１表参照
）に分類′し欠陥の真偽を判定する。
（第１表）
検査
分 回数 １回目 ２回目 ３回目 判 定類
■ 欠陥有 欠陥有 欠陥有 真欠陥■ 欠陥有
欠陥有 欠陥無 真欠陥■ 欠陥有 欠陥無 欠陥有
真欠陥■ 欠陥有 欠陥無 欠陥無 偽欠陥すなわ
ち、ここでは３回の検査結果から２回以上の欠陥を検出
した場＆には、第１表の分類Ｉ〜■に示す如く真欠陥で
あると判定し、１回しか欠陥を検出しなかった場きは、
分類■に示す如く偽欠陥であると判定する。なお分類■
、■は主として、回路パターンの大きさ、形状等が検出
できる限界に近い欠陥で実際には稀に生じるものである
。
欠陥有 欠陥無 真欠陥■ 欠陥有 欠陥無 欠陥有
真欠陥■ 欠陥有 欠陥無 欠陥無 偽欠陥すなわ
ち、ここでは３回の検査結果から２回以上の欠陥を検出
した場＆には、第１表の分類Ｉ〜■に示す如く真欠陥で
あると判定し、１回しか欠陥を検出しなかった場きは、
分類■に示す如く偽欠陥であると判定する。なお分類■
、■は主として、回路パターンの大きさ、形状等が検出
できる限界に近い欠陥で実際には稀に生じるものである
。
分類■け機械的振動、電気的ノイズ、１ごみ・はこりの
付着等によるもので、通常、１度は欠陥として検出され
たが、その後検出されない場合には誤検出であることが
多く、この経験に基づき偽欠陥としたものである。
付着等によるもので、通常、１度は欠陥として検出され
たが、その後検出されない場合には誤検出であることが
多く、この経験に基づき偽欠陥としたものである。
ステップ３：偽欠陥と判定された場合には、その度に計
数回路１３が欠陥判定回路１２の判定信号に従って偽欠
陥数を計数し、誤検出監視回路１４がこの計数値と設定
値Ｎとを比較演算し、偽欠陥数の計数値が設定値Ｎ以上
になった場合には警報器１５が片軸を出力する。そして
、この警報により、機械的撮動、電気的ノイズ等の検査
装置自体の異常、もしくは検査装置の設置環境、プリン
ト基板の製造・保管環境の劣化等による塵埃増加の異常
状帳再を即座に作業者に知らせることができろ。
数回路１３が欠陥判定回路１２の判定信号に従って偽欠
陥数を計数し、誤検出監視回路１４がこの計数値と設定
値Ｎとを比較演算し、偽欠陥数の計数値が設定値Ｎ以上
になった場合には警報器１５が片軸を出力する。そして
、この警報により、機械的撮動、電気的ノイズ等の検査
装置自体の異常、もしくは検査装置の設置環境、プリン
ト基板の製造・保管環境の劣化等による塵埃増加の異常
状帳再を即座に作業者に知らせることができろ。
従って、本実施例によれば、作業者は警報信号に基づい
て検査装置の点検、プリント基板のチェック等を適当な
時期を見はからって行なうことができ、常時、検査装置
、プリント基板等を良好な状態に管理して、この種欠陥
検査の信頼性を一層向上させることができる。
て検査装置の点検、プリント基板のチェック等を適当な
時期を見はからって行なうことができ、常時、検査装置
、プリント基板等を良好な状態に管理して、この種欠陥
検査の信頼性を一層向上させることができる。
以上のように本発明によれば、機械的振動、゛−嵯気気
的ノイズ塵埃等の増加等偶発的原因による欠陥の誤検出
の増加を即座に自動的に検出して作業者に知らせること
ができるので、検査装置、プリント基板を良好に管理し
てプリント基板の検査作業能率及び検査結果の信頼性を
高めることができる。
的ノイズ塵埃等の増加等偶発的原因による欠陥の誤検出
の増加を即座に自動的に検出して作業者に知らせること
ができるので、検査装置、プリント基板を良好に管理し
てプリント基板の検査作業能率及び検査結果の信頼性を
高めることができる。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図、第２図
は上記実施列の動作状態を示すフローチャートである。 １．２・・・プリント基板、３・・・検査用テーブル、
６．７・・・撮像装置、８．９・・・２値化ノイズ除去
回路、１Ｏ１１１・・・記憶装置、１２・・・欠陥判定
回路、１３・・・計数回路、１４・・・誤検出監視回路
、１５・・・醤報器。
は上記実施列の動作状態を示すフローチャートである。 １．２・・・プリント基板、３・・・検査用テーブル、
６．７・・・撮像装置、８．９・・・２値化ノイズ除去
回路、１Ｏ１１１・・・記憶装置、１２・・・欠陥判定
回路、１３・・・計数回路、１４・・・誤検出監視回路
、１５・・・醤報器。
Claims (1)
- １、プリント基板の外観を撮像する撮像手段と、前記撮
像手段の出力信号を画像処理して前記プリント基板上に
形成された回路パターンの欠陥を検出する画像処理手段
と、前記回路パターンの欠陥を検出した場合にはこの欠
陥検出筒所を再検査し、再検査の結果を予め設定された
判定基準に基づき判断して前記欠陥が真の欠陥か偽の欠
陥か判定する欠陥判定手段とを備えたプリント基板パタ
ーン検査装置において、前記欠陥判定の結果偽の欠陥と
判定されたものの数を計数する計数手段と、前記計数手
段の計数値の度合が予め定めた基準値を超えた時に欠陥
検査の誤検出頻度が高いものと判断して警報作動信号を
出力する誤検出監視手段と、前記警報作動信号に基づい
て警報を出す警報手段とを具備してなることを特徴とす
るプリント基板パターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015086A JPS62169040A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | プリント基板パタ−ン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1015086A JPS62169040A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | プリント基板パタ−ン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169040A true JPS62169040A (ja) | 1987-07-25 |
Family
ID=11742245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1015086A Pending JPS62169040A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | プリント基板パタ−ン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169040A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093455A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Toshiba Corp | パターン描画装置とパターン検査装置及びパターン描画システム |
| JP2010249547A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Denso Corp | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP2011221555A (ja) * | 2011-07-22 | 2011-11-04 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン描画システム |
| CN102937595A (zh) * | 2012-11-13 | 2013-02-20 | 浙江省电力公司电力科学研究院 | 一种pcb板检测方法、装置及系统 |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP1015086A patent/JPS62169040A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006093455A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Toshiba Corp | パターン描画装置とパターン検査装置及びパターン描画システム |
| JP2010249547A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Denso Corp | 外観検査装置及び外観検査方法 |
| JP2011221555A (ja) * | 2011-07-22 | 2011-11-04 | Toshiba Corp | パターン検査装置及びパターン描画システム |
| CN102937595A (zh) * | 2012-11-13 | 2013-02-20 | 浙江省电力公司电力科学研究院 | 一种pcb板检测方法、装置及系统 |
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