JPS62168038A - 表面欠陥検査方法 - Google Patents
表面欠陥検査方法Info
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- JPS62168038A JPS62168038A JP61008390A JP839086A JPS62168038A JP S62168038 A JPS62168038 A JP S62168038A JP 61008390 A JP61008390 A JP 61008390A JP 839086 A JP839086 A JP 839086A JP S62168038 A JPS62168038 A JP S62168038A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は製品の表面欠陥を光学的に高速度で検査するこ
とができる表面欠陥検査方法に関するものである。
とができる表面欠陥検査方法に関するものである。
（従来の技術）
従来の板ガラスや鋼板等の表面欠陥の自動検査方法とし
ては、第３図に示すように製品の移動方向に対して垂直
方向にスキャンされたライン像をレンズ（５０）により
ＣＣＤラインセンサ（５１）上に結像させてその出力信
号をＡ／Ｄ変換回路（５２）により２値化し、これをク
ロック信号発生器（５３）からのクロック信号とアンド
回路（５４）で結んで出力するとともに、ロークリエン
コーダ（５５）等により欠陥の位置情報を出力して両信
号を同時にＲＡＭ（５６）に取り込ませた後にマイクロ
コンピュータ（５７）で演算処理し、良否を判別させる
方法が普通であった。ところがこのようなＣＣＤライン
センサ（５１）のビット数は検査精度及び検査視野の点
から近年では１０２４〜５０００ビツトのものが使用さ
れているので、ＲＡ Ｍ （５６）の各行には第４図に
示されるようにスキャン毎に１０２４〜５０００ビツト
の欠陥ビ・ノド情報と欠陥の位置↑ｎ報が取り込まれる
こととなり、情報量が膨大な°ものとなって通常のマイ
クロコンピュータでは処理時間がかかり過ぎ、工場での
オンライン検査に使用するには大型で処理能力の大きい
高価なコンピュータを用いざるを得ない問題があった。
ては、第３図に示すように製品の移動方向に対して垂直
方向にスキャンされたライン像をレンズ（５０）により
ＣＣＤラインセンサ（５１）上に結像させてその出力信
号をＡ／Ｄ変換回路（５２）により２値化し、これをク
ロック信号発生器（５３）からのクロック信号とアンド
回路（５４）で結んで出力するとともに、ロークリエン
コーダ（５５）等により欠陥の位置情報を出力して両信
号を同時にＲＡＭ（５６）に取り込ませた後にマイクロ
コンピュータ（５７）で演算処理し、良否を判別させる
方法が普通であった。ところがこのようなＣＣＤライン
センサ（５１）のビット数は検査精度及び検査視野の点
から近年では１０２４〜５０００ビツトのものが使用さ
れているので、ＲＡ Ｍ （５６）の各行には第４図に
示されるようにスキャン毎に１０２４〜５０００ビツト
の欠陥ビ・ノド情報と欠陥の位置↑ｎ報が取り込まれる
こととなり、情報量が膨大な°ものとなって通常のマイ
クロコンピュータでは処理時間がかかり過ぎ、工場での
オンライン検査に使用するには大型で処理能力の大きい
高価なコンピュータを用いざるを得ない問題があった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記のような従来の問題点を解決し、通常のマ
イクロコンピュータを用いて、検査精度の低下や検査視
野の減少を生しさせることなく製品の表面欠陥を高速度
でオンライン検査することができる表面欠陥検査方法を
目的として完成されたものである。
イクロコンピュータを用いて、検査精度の低下や検査視
野の減少を生しさせることなく製品の表面欠陥を高速度
でオンライン検査することができる表面欠陥検査方法を
目的として完成されたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は製品の移動方向に対して垂直方向のライン像を
ＣＣＤラインセンサ上に結像させてその出力信号をＡ／
Ｄ変換回路により２値化した後パルス化し、欠陥パルス
の発生の都度最初のパルスの立ち上がりから欠陥許容値
を包含するに十分なビット数のゲート信号を発生させて
３個のゲートを同時に開き、第１のゲートからは欠陥ビ
ット情報を、第２のゲートからは製品の幅方向の位置情
報を、第２のゲートからは製品の移動方向の位置情報を
それぞれＲＡＭに取り込ませた後に演算処理することを
特徴とするものである。
ＣＣＤラインセンサ上に結像させてその出力信号をＡ／
Ｄ変換回路により２値化した後パルス化し、欠陥パルス
の発生の都度最初のパルスの立ち上がりから欠陥許容値
を包含するに十分なビット数のゲート信号を発生させて
３個のゲートを同時に開き、第１のゲートからは欠陥ビ
ット情報を、第２のゲートからは製品の幅方向の位置情
報を、第２のゲートからは製品の移動方向の位置情報を
それぞれＲＡＭに取り込ませた後に演算処理することを
特徴とするものである。
（実施例）
次に本発明を第１図及び第２図により詳細に説明すると
、（１）は検査される板状の製品であり矢印方向に一定
速度で移動されるものである。（２）はカメラの結像レ
ンズであり、製品（１）の移動方向に対して垂直方向の
ライン像をＣＣＤラインセンサ（３）上に結像させる。
、（１）は検査される板状の製品であり矢印方向に一定
速度で移動されるものである。（２）はカメラの結像レ
ンズであり、製品（１）の移動方向に対して垂直方向の
ライン像をＣＣＤラインセンサ（３）上に結像させる。
このＣＣＤラインセンサ（３）により得られたアナログ
ビデオ信号はＡ／Ｄ変換回路（４）により２値化された
後、クロック信号発生器（５）から発生されるＣＣＤ駆
動用のクロック信号とアンド回路（６）により結合され
てパルス化されることは従来の方法と同様である。しか
し従来方法においては第４図に示すようにＣＣＤライン
センサ（３）の全ビットにわたる情報を欠陥ビット情報
としてそのままＲＡＭに取り込んでいたのに対して、本
発明では第２図に示すようにＲＡＭに取り込まれる欠陥
ビット情報は大幅に減少させである。この理由は次のと
おりである。
ビデオ信号はＡ／Ｄ変換回路（４）により２値化された
後、クロック信号発生器（５）から発生されるＣＣＤ駆
動用のクロック信号とアンド回路（６）により結合され
てパルス化されることは従来の方法と同様である。しか
し従来方法においては第４図に示すようにＣＣＤライン
センサ（３）の全ビットにわたる情報を欠陥ビット情報
としてそのままＲＡＭに取り込んでいたのに対して、本
発明では第２図に示すようにＲＡＭに取り込まれる欠陥
ビット情報は大幅に減少させである。この理由は次のと
おりである。
即ち、一般に製品の外観上の欠陥は重欠陥と重欠陥とに
区別され、重欠陥は品質特性に致命的な影響を及ぼす欠
陥と、大きさが欠陥許容値を越える欠陥であり、重欠陥
は大きさが欠陥許容値以下であっても数がその種類毎に
定められた許容個数を越える欠陥である。従って、ＲＡ
Ｍへ取り込んで演算処理すべき欠陥ビット情報は上記の
欠陥許容値を包含するに必要かつ十分なビット数を持て
ば十分であり、この欠陥許容値を越える欠陥ビット情報
は一律に重欠陥を表すものとして処理されてしまうので
あるからＲＡＭに取り込む意味が乏しいことになる。但
し、１木のライン像に複数の重欠陥が存在することがあ
るので、欠陥の個数は正確にカウントする必要がある。
区別され、重欠陥は品質特性に致命的な影響を及ぼす欠
陥と、大きさが欠陥許容値を越える欠陥であり、重欠陥
は大きさが欠陥許容値以下であっても数がその種類毎に
定められた許容個数を越える欠陥である。従って、ＲＡ
Ｍへ取り込んで演算処理すべき欠陥ビット情報は上記の
欠陥許容値を包含するに必要かつ十分なビット数を持て
ば十分であり、この欠陥許容値を越える欠陥ビット情報
は一律に重欠陥を表すものとして処理されてしまうので
あるからＲＡＭに取り込む意味が乏しいことになる。但
し、１木のライン像に複数の重欠陥が存在することがあ
るので、欠陥の個数は正確にカウントする必要がある。
そこで本発明ではアンド回路（６）から欠陥パルスが発
生する都度、華安定回路（７）により最初のパルスの立
ち上がりから上記の欠陥許容値を包含するに必要かつ十
分なビット数のゲート信号を発生させ、３個のゲート（
８）、（９）、００）をゲート信号のビット数だけ同時
に開かせる。そして第１のゲート（８）からは欠陥ビッ
ト情報をＲＡＭ（１１）へ送り、第２のゲート（９）か
らは製品の幅方向の位置情報を、第３のゲートαＯ）か
らは製品の移動方向の位置情報をそれぞれＲＡ Ｍ （
１１）へ送る。この製品の幅方向の位置情報はＣＣＤ駆
動用のクロック信号を分周回路（１２）で例えば１／６
４に分周させたうえカウンタ（１３）で計数して製品（
１）の幅方向を１６程度に区分し、その第何番目の区分
に欠陥が存在するかを示すものである。また製品の移動
方向の位置情報はＣＣＤラインセンサのスキャンスター
トパルス発生器（１４）からのスタートパルスを分周回
路（１５）により必要に応じて分周し、カウンタ（１６
）で計数して欠陥が第何回目あたりのスキャンの際に検
出されたかを示す。このようにしてＲＡ Ｍ （１１）
へ取り込ませる各情報のピノｌ−？は、通常欠陥許容値
の大きさはＣＣＤラインセンサの全ビット数の１／２０
以下であるので、例えば２０４８ビツトのＣＣＤライン
センサ（３）を使用したときには欠陥ビット情報につい
ては１２８ビツトとすれば十分であり、また幅方向の位
置情報は１６区分とすれば２進数で４ビツト、移動方向
の位置１ｎ報も１０ビフト取れば十分であるから全部で
１４２ビツトで済むこととなる。従ってＲＡ Ｍ （１
１）へ取り込ませる情報のビット数は従来方法に比較し
て７／１００程度となり、マイクロコンピュータ（１７
）によっても十分に高速度で演算処理して良否の判別を
行わせることが可能となる。なお、１つのライン像の複
数個所で欠陥パルスが発生したときにはその都度情報の
取り込みが行われることは言うまでもない。また本発明
は板状の製品だけではなく、円形の製品の検査にもその
まま利用できるものである。
生する都度、華安定回路（７）により最初のパルスの立
ち上がりから上記の欠陥許容値を包含するに必要かつ十
分なビット数のゲート信号を発生させ、３個のゲート（
８）、（９）、００）をゲート信号のビット数だけ同時
に開かせる。そして第１のゲート（８）からは欠陥ビッ
ト情報をＲＡＭ（１１）へ送り、第２のゲート（９）か
らは製品の幅方向の位置情報を、第３のゲートαＯ）か
らは製品の移動方向の位置情報をそれぞれＲＡ Ｍ （
１１）へ送る。この製品の幅方向の位置情報はＣＣＤ駆
動用のクロック信号を分周回路（１２）で例えば１／６
４に分周させたうえカウンタ（１３）で計数して製品（
１）の幅方向を１６程度に区分し、その第何番目の区分
に欠陥が存在するかを示すものである。また製品の移動
方向の位置情報はＣＣＤラインセンサのスキャンスター
トパルス発生器（１４）からのスタートパルスを分周回
路（１５）により必要に応じて分周し、カウンタ（１６
）で計数して欠陥が第何回目あたりのスキャンの際に検
出されたかを示す。このようにしてＲＡ Ｍ （１１）
へ取り込ませる各情報のピノｌ−？は、通常欠陥許容値
の大きさはＣＣＤラインセンサの全ビット数の１／２０
以下であるので、例えば２０４８ビツトのＣＣＤライン
センサ（３）を使用したときには欠陥ビット情報につい
ては１２８ビツトとすれば十分であり、また幅方向の位
置情報は１６区分とすれば２進数で４ビツト、移動方向
の位置１ｎ報も１０ビフト取れば十分であるから全部で
１４２ビツトで済むこととなる。従ってＲＡ Ｍ （１
１）へ取り込ませる情報のビット数は従来方法に比較し
て７／１００程度となり、マイクロコンピュータ（１７
）によっても十分に高速度で演算処理して良否の判別を
行わせることが可能となる。なお、１つのライン像の複
数個所で欠陥パルスが発生したときにはその都度情報の
取り込みが行われることは言うまでもない。また本発明
は板状の製品だけではなく、円形の製品の検査にもその
まま利用できるものである。
（発明の効果）
本発明は以上の説明からも明らかなように、ＲＡＭへ取
り込ませる情報のビット数を従来法に比較して大幅に減
少させることができたので、通常のマイクロコンピュー
タによっても工場のオンライン検査に十分利用できる速
度で演算処理を行わせることができ、しかも検査精度や
検査視野の点では従来法と何等変わるところのないもの
である。よって本発明は従来のこの種の表面欠陥検査方
法の問題点を解消したものとして、産業の発展に寄与す
るところは極めて大きいものである。
り込ませる情報のビット数を従来法に比較して大幅に減
少させることができたので、通常のマイクロコンピュー
タによっても工場のオンライン検査に十分利用できる速
度で演算処理を行わせることができ、しかも検査精度や
検査視野の点では従来法と何等変わるところのないもの
である。よって本発明は従来のこの種の表面欠陥検査方
法の問題点を解消したものとして、産業の発展に寄与す
るところは極めて大きいものである。
第１図は本発明の実施に用いられる回路の一例を示すブ
ロック図、第２図はＲＡＭの１行に対するビット情報の
割付は例を示す図、第３図は従来法の実施に用いられる
回路を示すブロック図、第４図はそのＲＡＭへのビット
情報の割付は例を示す図である。 （３１： ＣＣＤラインセンサ、（４１： Ａ ／ Ｄ
変換回路、＋８１ ：第１のゲート、（９）：第２のゲ
ート、ａＯ）：第３のゲート、（１１）： ＲＡ Ｍ
。
ロック図、第２図はＲＡＭの１行に対するビット情報の
割付は例を示す図、第３図は従来法の実施に用いられる
回路を示すブロック図、第４図はそのＲＡＭへのビット
情報の割付は例を示す図である。 （３１： ＣＣＤラインセンサ、（４１： Ａ ／ Ｄ
変換回路、＋８１ ：第１のゲート、（９）：第２のゲ
ート、ａＯ）：第３のゲート、（１１）： ＲＡ Ｍ
。
Claims (1)
- 製品の移動方向に対して垂直方向のライン像をＣＣＤラ
インセンサ上に結像させてその出力信号をＡ／Ｄ変換回
路により２値化した後パルス化し、欠陥パルスの発生の
都度最初のパルスの立ち上がりから欠陥許容値を包含す
るに十分なビット数のゲート信号を発生させて３個のゲ
ートを同時に開き、第１のゲートからは欠陥ビット情報
を、第２のゲートからは製品の幅方向の位置情報を、第
２のゲートからは製品の移動方向の位置情報をそれぞれ
ＲＡＭに取り込ませた後に演算処理することを特徴とす
る表面欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61008390A JPS62168038A (ja) | 1986-01-18 | 1986-01-18 | 表面欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61008390A JPS62168038A (ja) | 1986-01-18 | 1986-01-18 | 表面欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62168038A true JPS62168038A (ja) | 1987-07-24 |
| JPH0458903B2 JPH0458903B2 (ja) | 1992-09-18 |
Family
ID=11691873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61008390A Granted JPS62168038A (ja) | 1986-01-18 | 1986-01-18 | 表面欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62168038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249624A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Jfe Steel Corp | 走行材の表面品質判定装置および表面品質判定方法 |
-
1986
- 1986-01-18 JP JP61008390A patent/JPS62168038A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249624A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Jfe Steel Corp | 走行材の表面品質判定装置および表面品質判定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0458903B2 (ja) | 1992-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |