JPS62168001A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

Info

Publication number
JPS62168001A
JPS62168001A JP61009569A JP956986A JPS62168001A JP S62168001 A JPS62168001 A JP S62168001A JP 61009569 A JP61009569 A JP 61009569A JP 956986 A JP956986 A JP 956986A JP S62168001 A JPS62168001 A JP S62168001A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
elongated
members
circuit
magnetic flux
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP61009569A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH058962B2 (ja
Inventor
Yoshiaki Fujiwara
嘉朗 藤原
Michiko Endou
みち子 遠藤
Yuji Kojima
雄次 小島
Noboru Wakatsuki
昇 若月
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP61009569A priority Critical patent/JPS62168001A/ja
Priority to KR1019860007048A priority patent/KR900004780B1/ko
Priority to US06/906,027 priority patent/US4810965A/en
Priority to EP86112639A priority patent/EP0215454B1/en
Priority to DE8686112639T priority patent/DE3668692D1/de
Publication of JPS62168001A publication Critical patent/JPS62168001A/ja
Publication of JPH058962B2 publication Critical patent/JPH058962B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [概要] 閉磁気回路内の位置による漏洩磁束の変化を検知して位
置を検出する装置であって、閉磁気回路を位置変化と漏
洩磁束の変化とが直線的となるように構成し、高精度の
位置検出を可能とする。
[産業上の利用分野] 本発明は、位置検出装置に係り、特に並設された二つの
細長磁性部材とこの両端の永久磁石とよりなる閉磁気回
路と、この内側において細長磁性部材の長手方向に移動
可能な磁気検知器とよりなる位は検出装置の改善に関す
る。
[従来の技術] 永久磁石の直接磁界を磁気検知器により測定する構造の
ポテンショメータは、測定可能な距離が短いという問題
点がある。
これらの問題点を解決すべく、本出願人は昭和60年9
月13日付で発明の名称「ポテンショメータ」を特許出
願(特願昭60−202832号)した。このポテンシ
ョメータは、第8図に示す如く、二つの細長の磁性部材
1,2と、これに挟まれて左右端側に配されたフェライ
ト又はアルニコ等の永久磁石3.4とよりなる閉磁気回
路5と、閉磁気回路5内においてその細長磁性部材1の
長手方向へ移動可能な磁気検知器6とよりなる。磁検知
出器6は、例えば強磁性金属(パーマロイ等)の磁気抵
抗を利用した磁気検知素子を収容した構成であり、被測
定物の変位に応じて非磁性のガイド7に案内されつつ移
動する。また閉磁気回路5の細長磁性部材1,2には、
永久磁石3.4のN極からS極に向かって磁束8,9が
通り、閉磁気回路5の内側には、細長磁性部材1,2よ
り漏洩し、永久磁石3,4から離れるにつれて弱まる漏
洩磁束10が流れる。
第9図のライン■は第8図中細長磁性部材1の内側面近
傍における漏洩磁束10による磁界の強さを示す。磁気
検知器6が漏洩磁束を10を検知しつつ第8図中P1を
中心としてP2−P3の問を直線的に移動するとき、磁
気検知器6よりは、第10図中うイン■で示す電圧が出
力される。この出力電圧に基づいて、磁気検知器6、即
ち、被測定物の位置が検出される。
ところで、上記の細長磁性部材1は、その断面積が全長
に亘って一定である形状であるため、上記磁界の強さa
は、上記ラインエで示すように、永久磁石3及び4より
離れるにつれてa=1/4   (ここで2は永久磁石
3.(4)よりの離反距離)の割合で減じ、左右の永久
磁石3゜4の中間位置Plでは零となる如くになり、ラ
インエは曲線となる。従って、磁気検知器6の出力特性
は、上記ライン■に対応したうイン■で示される如くに
なり、ライン■は中心位置P1からの距離に対して略対
数的に変化する曲線となる。
第11図は、第8図のポテンショメータを使用した位置
測定装置の1例を示す。磁気検知器6よりの出力電圧は
、増幅器11により増幅され、P波器12を通してノイ
ズを除去された後、直線化回路13を通り、A/D変換
器15でA/D変換されてマイクロプロセッサユニット
16に供給されて処理される。
[発明が解決しようとする問題点] 磁気検知器6の出力特性はライン■で示す如くに曲線で
あり、永久磁石3(4)よりの離反距離2(第8図参照
)に対して比例関係にない。このため、位置測定装置に
は、高価な直線化回路13が不可欠であり、位置測定装
置がコスト高となるという問題点があった。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、離間対向して配された細長の磁性部材と該細
長磁性部材の両端側に該細長磁性部材により挟まれて配
された永久磁石とよりなる閉磁気回路と、該閉磁気回路
の内側で該細長磁性部材の長手方向へ移動可能な磁気検
知器とよりなる位置検出装置であって、 該細長磁性部材を、その長手方向に直角な断面の面積が
、両端で最大であり、中央部に向かうにつれて減少し、
中央部で最小となる形状としたことを特徴とし、 さらには、前記細長磁性部材は、両端が厚く、中央部に
向かうにつれて厚さが減少し、中央部が最も薄い形状ど
したこと、 前記細長磁性部材は、前記閉磁気回路の内側に向く面が
平面であり、該閉磁気回路の外側に向く面が、中央部が
谷部となるように傾斜した一対の平面で形成されている
こと、 前記閉磁気回路の内側に向く面が平面であり、該閉磁気
回路の外側に向く面が、中央部が谷部となるように湾曲
した曲面で形成されていることを特徴とし構成したもの
である。
[作用] 前記形状の細長磁性部材は、磁束の漏洩状況を変え、漏
洩磁束による磁界の強さが細長磁性部材の長手方向上の
位置に対して比例関係となるようにし、磁気検知器の出
力特性の直線性を改善する。
[実施例] 以下図面と共に本発明の実施例について説明するに、各
図中、第8図及び第11図に示す構成部分と同一部分に
は同一符号を付し、その説明は省略する。
第1図は本発明の第1の実施例による位置検出装置の概
略を示す平面図である。
同図中、20.21はパーマロイ、磁性ステンレス、又
は珪素鋼板等を用いた細長磁性部材であり、左右端で永
久磁石3.4を挾んでいる。細長磁性部材20.21及
び永久磁石3.4が閉磁気回路23を構成する。
細長磁性部材20.21は、夫々閉磁気回路23の内側
に向く面20a、21aが平面であり、外側の面20b
、21bが中央位置P1を谷部20b−+ 、21b−
+ とされた一対の傾斜した平面20b−2,20b−
3,21b−2゜21b−3よりなる形状を有する。換
言すれば、細長磁性部材20.21は、永久磁石3,4
に近い両端部で最も厚い板厚T2を有し、永久磁石3゜
4より離れ゛るにつれて板厚が瀬次減少し、永久磁石3
.4より最も離れた中央位置P1において最も薄い板厚
T1を有し、且つ内側面20a、21aが平面とされた
形状を有する。こ)でT2とT1とは、T2 =T+ 
x (2,0〜5.0)なる関係を満足するように定め
である。なお、閉磁気回路23は、中心点Oを通る横軸
及び縦軸に関して対称な形状となっている。
上記の閉磁気回路23において、細長磁性部材20.2
1には、永久磁石3,4のS極からN極に向かって磁束
24.25が通り、rI!111気回路23の内側には
細長磁性部材20.21より漏洩した漏洩磁束26が流
れる。
こ)で、細長磁性部材20.21は上記のような形状で
あり、長手方向に直角な面での断面積は両端で最大で永
久磁石3.4より遠くなるにつれて減少し、中央位置P
+で最小となる。断面積の減少は磁束の漏洩を促し、永
久磁石3.4より離れても磁束は効果的に漏洩し、前記
従来の場合よりも余分に漏洩する。これにより、細長磁
性部材20の内側面20a近傍における漏洩磁束による
磁界の強さと、m良磁性部材20の長手方向上の各位置
との関係は、第2図中ライン■で示される如くになり、
第9図のライン■に比べて直線性が改善される。
磁気検知器6は、被副定物の動きに応じて、ガイド7に
より案内されつ)、且つ漏洩磁束26を検知しつ)、位
置P1を中心としてP2−P3間をMB的に移動する。
このとき、磁気検知器6より、第3図中ライン■で示ず
電圧が出力される。
ライン■は上記ライン■に略対応し、第10図中のライ
ン■に比べて直線性が改善されている。
直線性が改善されたことにより、第1図の佼行検出器を
使用した位置測定装置は第4図に示す如くになり、前記
の直線化回路13は設けられていず、P波器12の出力
がA/D変換器15に供給される安価な回路構成となっ
ており、測定精度が向上する。
第7図は本発明の第2の実施例になる位置検出装置の概
略を示す平面図である。
同図中、30,31は細長磁性部材であり、永久磁石3
,4と組み合わせて閉磁気回路32を構成している。3
3.34は夫々細長磁性部材内を通る磁束、35は細長
磁性部材30.31より閉磁気回路32の内側に漏洩し
た漏洩磁束である。
細長磁性部材30.31の相対向する内側の面30a、
31aは平面である。Illl班長部材30の外側の面
30bは、中央を原点とするx−y座標においてV=A
X   (Aは定数)の曲線に一致した曲面30b−+
 と、y Ip*に関してこれと対称な曲面30b−2
とが組み合わされた、中央部が谷部30b−3となる湾
曲した曲面となっている。別の細長磁性部材31の外側
の面31bも上記面30bと同じ形状の曲面となってい
る。従って、細長磁性部材30.31は、両端が厚く、
中央部が薄く、断面積が永久磁石3.4より離れるにつ
れて小さくなる形状となっている。なお、y=Ax37
2は、前記した厚さの変化のない細長の磁性部材よりの
漏洩磁束による磁界の強さと磁性部材の長手方向位置と
の関係を考慮して定めである。
細長磁性部U30.31の上記の形状とされていること
により、細長磁性部材30の内側面30a近傍における
漏洩磁束による磁界の強さと、細長磁性部材30の長手
方向の各位置との関係は、第6図中ラインVで示す如く
になり、第2図のライン■に比べて直線性が更に改善さ
れる。
磁気検知器6は、被測定物の動きに応じて、ガイド7に
より案内されつつ、且つ漏洩磁束35を検出しつ)、位
M P +を中心としてP2−P3間を直線的に移動す
る。このとき磁気検知器6よりは、第7図中ライン■で
示す電圧が出力される。
ライン■は上記ラインVに略対応し、第3図のライン■
に比べて更に良い直線性となっている。
このため、第5図の位置検出器を使用することにより、
位置測定装置は第4図に示すと同様に、直線化回路13
を設けずに構成でき、安価となり、しかも、良好な測定
精度を保証しうる。
なお、細長磁性部材の幅寸法を変えても、更には厚さと
併せて幅寸法を変えても、磁気検出装置の特性の直線性
を改善しつる。
U発明の効果] 以上説明した如く、本発明によれば、磁気検知器の移動
位置と磁気検知器の出力電圧との関係で表わされる磁気
検出装置の特性の直線性を改善出来、これにより、従来
は不可欠とされた直線化回路を省略して位置測定装置を
構成出来、位置測定装置のコストの低減を図り得、しか
も、部材を付加することなくして上記直線性の改善を図
り(qる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例になる位置検出装置の概
略を示す平面図、 第2図は第1図中の閉磁気回路の内側への漏洩磁束によ
る磁界の強さの分布を示す図、第3図は前記第1の実施
例になる位置検出装置の特性図、 第4図は前記第1の実施例になる位置検出装置CI+1
i FRI 、 f−1h 嘴i1 + 状w 1rr
−中冶ml ?−、:l−すブロック図、 M5図は本発明の第2の実施例になる位置検出装置の概
略を示す平面図、 第6図は第5図中の閉磁気回路の内側への漏洩磁束によ
る磁界の強さの分布を示す図、第7図は前記第2の実施
例になる位置検出装置の特性図、 第8図は従来技術になるポテンショメータの概略を示す
平面図、 第9図は第8図中のr11磁気回路の内側への漏洩磁束
による磁界の強さの分布を示す図、第10図は前記従来
技術になるポテンショメータの特性図、 第11図は前記従来技術になるポテンショメータを使用
した位置測定装置の1例を示すブロック図、 である。 第1図、第5図において、 3.4は永久磁石、 6はa番例線ケn閃 7はガイド、 13【よ直線化回路、 20.21,30.31は細長磁性部材、20a、21
a、30a、31aは内側面、 20b、21b、30b、31bは外側面、 20b−3,2l b−1,30b−zは谷部、 20b−2,20b  3.21b 2.21b−3は
傾斜平面、 30b−+ 、31j)−+は曲面、 23.32は閉磁気回路、 24.25.33.34は磁束、 26.35.は漏洩磁束である。 第1図 砿界つ強2の分布tホす回 第2図 )11℃qのA11し令ト田漕失1Lの斗呼+支τ日第
3図 茅1国シ横軸出妓デし大川した本l!享軒1茨量:Fl
−世’Jt−泊寸団第4図 令〔戦謹」牟l: r(る、fテンシ曾メー2p早aq
第S図 りV箇f′)強さのも布[木工凹 @9図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)離間対向して配された細長の磁性部材(20、2
    1、30、31)と該細長磁性部材(20、21、30
    、31)の両端側に該細長磁性部材(20、21、30
    、31)により挟まれて配された永久磁石(3、4)と
    よりなる閉磁気回路(23、32)と、該閉磁気回路(
    23、32)の内側で該細長磁性部材(20、21、3
    0、31)の長手方向へ移動可能な磁気検知器(6)と
    よりなる位置検出装置であって、 該細長磁性部材(20、21、30、31)を、その長
    手方向に直角な断面の面積が、両端で最大であり、中央
    部に向かうにつれて減少し、中央部で最小となる形状と
    したことを特徴とする位置検出装置。
  2. (2)前記細長磁性部材(20、21、30、31)は
    、両端が厚く、中央部に向かうにつれて厚さが減少し、
    中央部が最も薄い形状としたことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項記載の位置検出装置。
  3. (3)前記細長磁性部材(20、21)は、前記閉磁気
    回路(23)の内側に向く面(20a、21a)が平面
    であり、該閉磁気回路(23)の外側に向く面(20b
    、21b)が、中央部が谷部 (20b−_1、21b−_1)となるように傾斜した
    一対の平面(20b−_2、20b−_3、21b−_
    2、21b−_3)で形成されていることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の位置検出装置。
  4. (4)前記細長磁性部材(30、31)は、前記閉磁気
    回路(32)の内側に向く面(30a、31a)が平面
    であり、該閉磁気回路(32)の外側に向く面(30b
    、31b)が、中央部が谷部 (30b−_3)となるように湾曲した曲面(30b−
    _1、30b−_2)で形成されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の位置検出装置。
JP61009569A 1985-09-13 1986-01-20 位置検出装置 Granted JPS62168001A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61009569A JPS62168001A (ja) 1986-01-20 1986-01-20 位置検出装置
KR1019860007048A KR900004780B1 (ko) 1985-09-13 1986-08-25 자기(磁氣) 센서를 사용한 위치 검출장치
US06/906,027 US4810965A (en) 1985-09-13 1986-09-11 Position detecting apparatus using a magnetic sensor and a closed magnetic circuit with non-uniform magnetic flux distribution
EP86112639A EP0215454B1 (en) 1985-09-13 1986-09-12 Position detecting apparatus utilizing a magnetic sensor
DE8686112639T DE3668692D1 (de) 1985-09-13 1986-09-12 Positionsdetektor mit magnetischem sensor.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61009569A JPS62168001A (ja) 1986-01-20 1986-01-20 位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62168001A true JPS62168001A (ja) 1987-07-24
JPH058962B2 JPH058962B2 (ja) 1993-02-03

Family

ID=11723928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61009569A Granted JPS62168001A (ja) 1985-09-13 1986-01-20 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62168001A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013500484A (ja) * 2009-07-28 2013-01-07 マーレ インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 位置センサ及びリニアアクチュエータ
CN104215164A (zh) * 2013-06-04 2014-12-17 株式会社电装 位置传感装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013500484A (ja) * 2009-07-28 2013-01-07 マーレ インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 位置センサ及びリニアアクチュエータ
US9057628B2 (en) 2009-07-28 2015-06-16 Mahle International Gmbh Position sensor and linear actuator
CN104215164A (zh) * 2013-06-04 2014-12-17 株式会社电装 位置传感装置
JP2015014591A (ja) * 2013-06-04 2015-01-22 株式会社デンソー 位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH058962B2 (ja) 1993-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3529784B2 (ja) 磁気抵抗素子を利用したセンサ
US8957679B2 (en) Assembly for measuring at least one component of a magnetic field
US5351028A (en) Magnetoresistive proximity sensor
KR100452711B1 (ko) 비접촉식 전류 측정기
KR100671630B1 (ko) 자기 탐상 장치의 누설 자기 검출 센서 및 스트립의온라인 탐상 방법
WO2018185964A1 (ja) 電流センサ
US3609530A (en) Magnetic leakage field flaw detector with compensation for variation in spacing between magnetizer and test piece
CN109655767B (zh) 一种集成磁结构
JPS62168001A (ja) 位置検出装置
JPH11509638A (ja) ホール効果無接触位置センサ
US6236198B1 (en) Method and device for non-contact measurement of electrically conductive material
JPS59168381A (ja) 磁気センサ
US2468154A (en) Permeability determination
US4924181A (en) Device having electromagnet for providing a magnetic field inclined with respect to the transportation direction of a ferromagnetic body for non-destructive, magnetic testing of the body
JPH0529242B2 (ja)
JPH02162276A (ja) 磁気測定方法及び磁気測定装置
JPH0414735B2 (ja)
JPS6153561A (ja) 低透磁率材パイプの評価装置
KR960706064A (ko) 자기신호 검출장치(magnetic signal detection apparatus)
JPS63231201A (ja) 漏洩磁界型リニアポジシヨナ
JPS62215801A (ja) リニア・スケ−ル
JPH10170620A (ja) 磁性検査方法および装置
JPS59168382A (ja) 磁気センサ
JPS5825286Y2 (ja) ジセイソウケンシユツキ
KR101823571B1 (ko) 외부 공통 성분의 방해 자기장을 효과적으로 제거하는 센싱 장치

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term