JPS62165984A - ガスレ−ザの電源装置 - Google Patents
ガスレ−ザの電源装置Info
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- JPS62165984A JPS62165984A JP722586A JP722586A JPS62165984A JP S62165984 A JPS62165984 A JP S62165984A JP 722586 A JP722586 A JP 722586A JP 722586 A JP722586 A JP 722586A JP S62165984 A JPS62165984 A JP S62165984A
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- power
- inverter
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Links
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、鋼板、特殊鋼、セラミック等の構造材料の加
工に適した高出力交流放電励起型ガスレーザの電源装置
の改良に関する。
工に適した高出力交流放電励起型ガスレーザの電源装置
の改良に関する。
この種のガスレーザの一般的な構成を第２図に例示する
。
。
同図において、気密容器１０１の内部にはレーザ媒質ガ
スが封入されてお）、このレーザ媒質ガスはプロワ１０
２によって数１０〜数１００ ｍ／ｓで矢印方向Ｑ ｔ
Ｒに循環される。放電電極１０３ 、１０４はその間
での放電によってレーデ媒質ガスを励起して反転分布領
域を生じさせ、その際、全反射ミラー１０５と部分透過
ミラー１０６からなる光共振器によって共振光Ｘが形成
され、この共振光Ｘの一部が部分透過ミラー１０６を透
過してレーザ光Ｘ′として取り出される。なお放電によ
って熱せられたレーデ媒質ガスが熱交換器１０７によっ
て冷却される。
スが封入されてお）、このレーザ媒質ガスはプロワ１０
２によって数１０〜数１００ ｍ／ｓで矢印方向Ｑ ｔ
Ｒに循環される。放電電極１０３ 、１０４はその間
での放電によってレーデ媒質ガスを励起して反転分布領
域を生じさせ、その際、全反射ミラー１０５と部分透過
ミラー１０６からなる光共振器によって共振光Ｘが形成
され、この共振光Ｘの一部が部分透過ミラー１０６を透
過してレーザ光Ｘ′として取り出される。なお放電によ
って熱せられたレーデ媒質ガスが熱交換器１０７によっ
て冷却される。
かかるガスレーザを運転するためには、放電電極１０３
，１０４に放電励起用の交流電力（数ｋＨｚ〜数百ｋＨ
ｚ ）を供給する放電用電源部、プロワ１０２に駆動用
の交流電力（数十ｌ（ｚ〜数百Ｈｚ）を供給するプロワ
駆動用電源部およびラジエタ１０７に冷却水を送シ込む
図示されていないコンプレッサに駆動用の交流電力を供
給する冷却系用電源部の３者が必要不可欠である。
，１０４に放電励起用の交流電力（数ｋＨｚ〜数百ｋＨ
ｚ ）を供給する放電用電源部、プロワ１０２に駆動用
の交流電力（数十ｌ（ｚ〜数百Ｈｚ）を供給するプロワ
駆動用電源部およびラジエタ１０７に冷却水を送シ込む
図示されていないコンプレッサに駆動用の交流電力を供
給する冷却系用電源部の３者が必要不可欠である。
上記各電源部は、直流を交流に変換するインバータ回路
をそれぞれ備えているが、従来はそれらのインバータ回
路に各別な整流回路が接続されていたので、電源装置全
体が複雑、大型化するとともに、コストの上昇および信
頼性の低下を招くという問題点があった。
をそれぞれ備えているが、従来はそれらのインバータ回
路に各別な整流回路が接続されていたので、電源装置全
体が複雑、大型化するとともに、コストの上昇および信
頼性の低下を招くという問題点があった。
なお整流回路は、電源装置を構成する要素の中で最も容
積および価格が太きい。
積および価格が太きい。
かかる従来の問題点を解決するため、本発明では、放電
励起手段、レーデガスの循環手段および冷却系等にそれ
ぞれ駆動用の交流電力を供給する各別なインバータ回路
を備えたガスレーザの電源装置において、上記インバー
タ回路のうちの少なくとも２つに共通の直流電力を供給
する整流回路が備えられている。
励起手段、レーデガスの循環手段および冷却系等にそれ
ぞれ駆動用の交流電力を供給する各別なインバータ回路
を備えたガスレーザの電源装置において、上記インバー
タ回路のうちの少なくとも２つに共通の直流電力を供給
する整流回路が備えられている。
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係る電源装置の一実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
同図に示すようにこの実施例では、１つの整流回路１が
使用され、・さこの整流回路１よシ出力され ″る直流
電力を放電用電源部２、ブロワ駆動用電源部３および冷
却系用電源部４にそれぞれ加えている。
使用され、・さこの整流回路１よシ出力され ″る直流
電力を放電用電源部２、ブロワ駆動用電源部３および冷
却系用電源部４にそれぞれ加えている。
なお各電源部２，３および４と整流回路ｌは、レーザ５
についての電源装置を構成している。
についての電源装置を構成している。
上記放電用電源部２は、整流回路１から供給される直流
電力を交流電力（数ｋＨｚ〜数百ｋＨｚ ）に変換する
インバータ回路２１と、センサ２２の出力に基づいて上
記インバータ回路２１の出力が一定となるように該イン
バータを制御する制御回路２３と、上記インバータ回路
２３から出力される交流電力を昇圧する昇圧回路２４と
、この昇圧回路２４とガスレーザ５の放電電極５１．５
２との整合をとる整合回路２５とからなっている。
電力を交流電力（数ｋＨｚ〜数百ｋＨｚ ）に変換する
インバータ回路２１と、センサ２２の出力に基づいて上
記インバータ回路２１の出力が一定となるように該イン
バータを制御する制御回路２３と、上記インバータ回路
２３から出力される交流電力を昇圧する昇圧回路２４と
、この昇圧回路２４とガスレーザ５の放電電極５１．５
２との整合をとる整合回路２５とからなっている。
上記ブロワ駆動用電源部３は、整流回路１より供給され
る直流電力を交流電力（数十Ｈｚ〜数百Ｈｚ）に変換す
るインバータ回路３１と、センサ３２の出力に基づいて
上記インバータ回路３１の出力を変換周波数について一
定に制御する制御回路３３とを備え、該インバータ回路
３１から出力される交流電力をガスレーザ５のブロワ５
３に加電力を交流電力に変換するインバータ回路４１と
、センサ４２の出力に基づいて上記インバータ回路４１
の出力を一定に制御する制御回路４３とからなり、該イ
ンバータ回路４１から出力された交流電力を冷却機６に
おけるコンプレッサ６１に加える。上記コンプレッサ６
１は、水等の冷却媒体をガスレーザ５の熱交換器５４に
圧送する作用をなす。そして上記冷却媒体は熱交換器６
２を循環するクーリングタワー６３からの冷却水によっ
て熱交換される。
る直流電力を交流電力（数十Ｈｚ〜数百Ｈｚ）に変換す
るインバータ回路３１と、センサ３２の出力に基づいて
上記インバータ回路３１の出力を変換周波数について一
定に制御する制御回路３３とを備え、該インバータ回路
３１から出力される交流電力をガスレーザ５のブロワ５
３に加電力を交流電力に変換するインバータ回路４１と
、センサ４２の出力に基づいて上記インバータ回路４１
の出力を一定に制御する制御回路４３とからなり、該イ
ンバータ回路４１から出力された交流電力を冷却機６に
おけるコンプレッサ６１に加える。上記コンプレッサ６
１は、水等の冷却媒体をガスレーザ５の熱交換器５４に
圧送する作用をなす。そして上記冷却媒体は熱交換器６
２を循環するクーリングタワー６３からの冷却水によっ
て熱交換される。
なお、レーザ５内を循環するガス流５５の温度は常時１
度センサ６４で検出されておシ、その検出出力はガス流
の温度を一定化するＩ？ラメータとして制御回路４３に
加えられる。
度センサ６４で検出されておシ、その検出出力はガス流
の温度を一定化するＩ？ラメータとして制御回路４３に
加えられる。
この本実施例に係る電源装置においては、上記するよう
に放電用電源部２、ブロワ１堅動用電諒部３および冷却
系用電源部４に設けられた各インバータ回路２１．３１
および４１に対して共通の整流回路１から直流電力を供
給しているので、それらのインバータに各別な整流回路
を接続するようにした従来の電源装置に比して構成の簡
単化、小型化、コストの低減を図ることができる。
に放電用電源部２、ブロワ１堅動用電諒部３および冷却
系用電源部４に設けられた各インバータ回路２１．３１
および４１に対して共通の整流回路１から直流電力を供
給しているので、それらのインバータに各別な整流回路
を接続するようにした従来の電源装置に比して構成の簡
単化、小型化、コストの低減を図ることができる。
なお、各インバータ回路２１．３１および４１のうちの
いずれか２つに対して共通の整流回路を使用することも
当然可能である。
いずれか２つに対して共通の整流回路を使用することも
当然可能である。
また上記実施例では、冷凍サイクルの蒸発器として熱交
換器５４を使用しているが、ブラインを介してレーザガ
スの熱交換を行ってもよい。
換器５４を使用しているが、ブラインを介してレーザガ
スの熱交換を行ってもよい。
〔発明の効果〕
以上説明した実施例からも明らかなように、本発明に係
るガスレーザの電源装置は、整流回路の個数が従来と比
較して少ないため、構成の簡単化と小型化を図ることが
でき、またコストの低減と信頼性の向上を図ることがで
きる。
るガスレーザの電源装置は、整流回路の個数が従来と比
較して少ないため、構成の簡単化と小型化を図ることが
でき、またコストの低減と信頼性の向上を図ることがで
きる。
第１図は本発明に係る電源装置の一実施例を示すブロッ
ク図、第２図は高出力ガスレーザの−だ的な構成を例示
した斜視図である。 １・・・整流回路、２・・・放電用電源部、３・・・ブ
ロワ駆動用電源部、４・・・冷却系用電源部、５・・・
交流友電励起ガスレーザ、６・・・冷却機、２１，３１
．４：・・・インバータ回路、５１．５２・・・放電電
極、５３・・・プロワ、５４・・・熱交換器、６１・・
・コンプレッヴ６２・・・熱交換器。 出願人代理人 木 村 高 久 ′：・７：５
−５−・ヱ・−°ル
ク図、第２図は高出力ガスレーザの−だ的な構成を例示
した斜視図である。 １・・・整流回路、２・・・放電用電源部、３・・・ブ
ロワ駆動用電源部、４・・・冷却系用電源部、５・・・
交流友電励起ガスレーザ、６・・・冷却機、２１，３１
．４：・・・インバータ回路、５１．５２・・・放電電
極、５３・・・プロワ、５４・・・熱交換器、６１・・
・コンプレッヴ６２・・・熱交換器。 出願人代理人 木 村 高 久 ′：・７：５
−５−・ヱ・−°ル
Claims (1)
- 放電励起手段、レーザガスの循環手段および冷却系等に
それぞれ駆動用の交流電力を供給する各別なインバータ
回路を備えたガスレーザの電源装置において、上記各イ
ンバータ回路のうちの少なくとも２つに共通の直流電力
を供給する整流回路を備えることを特徴とするガスレー
ザの電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP722586A JPS62165984A (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | ガスレ−ザの電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP722586A JPS62165984A (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | ガスレ−ザの電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62165984A true JPS62165984A (ja) | 1987-07-22 |
Family
ID=11660051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP722586A Pending JPS62165984A (ja) | 1986-01-17 | 1986-01-17 | ガスレ−ザの電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62165984A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006810A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
-
1986
- 1986-01-17 JP JP722586A patent/JPS62165984A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006810A1 (en) * | 1987-03-03 | 1988-09-07 | Fanuc Ltd | Device for detecting output voltage of a laser oscillator |
| EP0433266A1 (en) * | 1987-03-03 | 1991-06-19 | Fanuc Ltd. | Output voltage detecting device in a laser oscillator |
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