JPH08191167A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
品ないし回路を保護するとともに、装置の小型化・簡易
化をはかる。 [構成]レーザ発振部の励起ランプ10およびYAGロ
ッド(レーザ媒体)12は、チャンバ14の中に配置さ
れている。レーザ電源部において、発熱量の多い電気部
品または素子、たとえば三相全波整流回路24のダイオ
ードD1 〜D6 、IGBT26、GTR30およびドラ
イブ回路34,36の出力トランジスタ等は放熱板46
に取り付けられる。水冷式の冷却装置50は、所定温度
たとえば25〜35℃に温調された純水(冷却水)DW
を配管70,74を介してレーザ発振部のチャンバ14
に供給するとともに、配管72,76を介してレーザ電
源部の放熱板46に供給する。
Description
関する。
本的には、レーザ光を発生するレーザ発振部と、前記レ
ーザ発振部に電力を供給するレーザ電源部とからなる。
て、その光エネルギをYAGロッド等のレーザ媒質に照
射してレーザ発振を起こすように構成されている。一般
に、レーザ発振部においては、レーザの発振効率を高
め、発振動作を安定化させるために、水冷式のクーラよ
り所定温度に温調された冷却水を供給され、励起ランプ
およびレーザ媒質が強制冷却されるようになっている。
り商用交流電圧を直流電圧に変換してコンデンサバンク
を所定電圧に充電し、コンデンサバンクと励起ランプと
の間の放電用スイッチング素子をオンさせることで、コ
ンデンサバンクの電気エネルギを励起ランプ側に放電さ
せるように構成されている。コンデンサ充電回路は整流
素子や充電用スイッチング素子等を有しており、これら
の電気部品または素子から多量の熱が発生する。また、
該放電用スイッチング素子からも多量の熱が出る。この
ため、レーザ電源部も何らかの方法で冷却する必要があ
る。
ット内にファンを設けてレーザ電源部を強制空冷してい
る。しかし、このような強制空冷式は、レーザ出力が大
きいと、ファンを大型にしなければならず、さらにはラ
ジエータを使用しなければならないこともあり、装置ユ
ニットが嵩張るという欠点がある。そこで、最近は、レ
ーザ電源部の電気部品、特に発熱性の電気部品を水冷式
の冷却基板上に取り付け、該冷却基板に市水を供給して
それらの電気部品を強制冷却する水冷方式が採用されて
きている。
レーザ電源部を市水で冷却する従来のレーザ装置におい
ては、周囲温度と市水の水温との温度差が大きいとき
に、レーザ電源部で結露が発生し、それが原因で電気部
品または回路が故障することがある。特に、冬季は、工
場内の空気つまりレーザ装置の周囲の空気が暖房で温め
られる一方で、非常に冷たい市水がレーザ電源部に供給
されるため、レーザ電源部の各部に多量の露が付き、短
絡や漏電等を起こしやすい。
もので、レーザ電源部での結露の発生を防止して電気部
品ないし回路を保護するとともに、装置の小型化・簡易
化にも有利なレーザ装置を提供することを目的とする。
めに、本発明の第1のレーザ装置は、レーザ光を発生す
るレーザ発振部と、前記レーザ発振部に電力を供給する
レーザ電源部と、前記レーザ発振部および前記レーザ電
源部に共通の温調された冷却水を供給する冷却水供給部
とを具備する構成とした。
レーザ装置において、前記冷却水供給部は、一次側の冷
却水と二次側の冷却水との間で熱交換を行って前記二次
側冷却水を所定温度に温調する熱交換器と、前記熱交換
器の二次側と前記レーザ発振部との間および前記熱交換
器の二次側と前記レーザ電源部との間で前記二次側冷却
水を循環させるためのポンプおよび配管とを含む構成と
した。
たは第2のレーザ装置において、前記レーザ電源部は、
発熱性の電気部品が取り付けられた熱伝熱性の放熱板
と、前記放熱板に備えられた流路手段とを有し、前記流
路手段の流路を前記冷却水が流れる構成とした。
た冷却水がレーザ発振部およびレーザ電源部に供給され
る。これにより、レーザ電源部においては、冷却温度が
安定化して周囲温度との温度差が小さいため、結露が発
生するおそれはなく、各部(電気部品または回路)の短
絡や漏電等が防止される。また、レーザ発振部およびレ
ーザ電源部で1つの冷却水供給部を共用するため、配管
の引き回しおよび接続が半減し、装置の小型化・低コス
ト化をはかれる。
明する。
ーザ加工装置の要部の構成を示す。
ザ発振部の励起ランプ10およびYAGロッド(レーザ
媒体)12は、たとえばアクリル樹脂からなるチャンバ
14内の反射鏡筒(図示せず)の中に配置されている。
チャンバ14の外でYAGロッド12の光軸上には、一
対の光共振器ミラー20,22が平行に対向配置されて
いる。
プ電流Iによって励起ランプ10がパルス点灯すると、
その光エネルギによってYAGロッド12が励起されて
レーザ発振し、YAGロッド12の両端面より出射した
光が光共振器ミラー20,22の間で反射を繰り返して
増幅されたのちパルスレーザ光Lとして出力ミラー20
を抜ける。出力ミラー20を抜けたパルスレーザ光L
は、入射ユニット(図示せず)で光ファイバ(図示せ
ず)に入れられ、光ファイバの中を通って出射ユニット
(図示せず)へ送られ、出射ユニットからワーク(被加
工物)の加工ポイントに向けて照射される。
(U,V,W)には商用の三相交流電圧が入力される。
入力された三相交流電圧は6個のダイオードD1 〜D6
からなる三相全波整流回路24で直流の電力に変換さ
れ、この直流電力が充電制御用のIGBT(アイソレー
ト・ゲート・バイポーラ・トランジスタ)26を介して
コンデンサバンク28に供給される。コンデンサバンク
28の一方の端子は放電制御用のGTR(大容量トラン
ジスタ)30および電流平滑用のコイル32を介して励
起ンプ10の一方の端子に接続され、励起ランプ10の
他方の端子はコンデンサバンク28の他方の端子に接続
されている。コンデンサバンク28にいったん蓄積(充
電)された電力(電気エネルギ)は、GTR30がオン
になると、このGTR30およびコイル32を介して励
起ランプ10に供給されるようになっている。
T26および放電制御用のGTR30は、それぞれドラ
イブ回路34,36を介してCPU38によりスイッチ
ング制御される。
各部および全体の動作を制御するレーザ制御部である。
このCPU38には、メモリ40、設定入力部42およ
び表示部44等が接続されている。メモリ40は、CP
U38の動作を規定する各種プログラム、各種入力設定
値、演算データ等を記憶する。設定入力部42は、たと
えばキーボードからなり、各種設定値を入力するために
用いられる。表示部44は、設定入力部42より入力さ
れたデータやCPU38から外部(作業員等)への警
報、メッセージ等を表示する。
ータ、たとえばコンデンサバンク28の充電電圧、励起
ランプ10を流れるランプ電流I、励起ランプ10に印
加される電圧、励起ランプ10に供給される電力等を検
出するためのセンサ、測定回路(図示せず)を設けて、
それらの測定回路より得られる測定値を表示部44が表
示したり、それらの測定値に応じてCPU38がレーザ
電源部のIGBT26およびGTR30をスイッチング
制御するようにしてよい。
は、レーザ電源部を構成する電気部品または素子の中で
発熱量の多いもの、たとえば三相全波整流回路24のダ
イオードD1 〜D6 、IGBT26、GTR30および
ドライブ回路34,36の出力トランジスタ等が後述す
る放熱板46に取り付けられる。一方、水冷式の冷却装
置50が設けられている。この冷却装置50は、所定温
度たとえば25〜35゜Cに温調された純水(冷却水)
DWを配管70,74を介してレーザ発振部のチャンバ
14に供給するとともに、配管72,76を介してレー
ザ電源部の放熱板46に供給する。
における冷却装置50の配置構成を示す略側面図であ
る。また、図3は、冷却装置50の構成を流体回路とし
て示す流体回路図である。
置は、上部ユニット100と下部ユニット102とを一
体結合してなる。上部ユニット100の内部にはレーザ
発振部およびレーザ制御部の回路基板等が収納されてい
る。上部ユニット100の前面パネル104には、表示
部44のディスプレイ、ランプ類や設定入力部42のキ
ースイッチ類等が設けられている。下部ユニット102
は、正面部に開閉扉106が取り付けられ、ユニット内
が直仕切り板108によって正面側からみて左右に分け
られ、左側(図2では垂直仕切り板108の手前側)に
冷却装置50が設けられ、右側(図2で垂直仕切り板1
08の背後)にレーザ電源部が設けられている。
純水DWを貯溜するタンク52の中には、イオン交換樹
脂体54およびフィルタ56が純水DWに水没した状態
で配置されている。イオン交換樹脂体54の入口54a
つまりタンク52の入口52aは配管58を介して熱交
換器60の二次側出口60bに接続され、フィルタ56
の出口56bつまりタンク52の出口52bは配管62
を介してポンプ64の入口64aに接続されている。
は、たとえば30℃付近の水温を有しており、配管6
6、コネクタ68および配管70を介してレーザ発振部
のチャンバ14に供給されるとともに、配管66、コネ
クタ68および配管72を介してレーザ電源部の放熱板
46に供給される。
AGロッド12と励起ランプ10がそれぞれ入ったガラ
スチューブの中および発振器ブロックに内設された所定
の水路を純水DWが流れるようになっている。また、放
熱板46では、後述するように、放熱板46に埋設され
た水冷パイプの中を純水DWが流れるようになってい
る。
ば数℃上昇しており、配管74、コネタ78および配管
80を介して熱交換器60の二次側入口60aに送られ
る。また、放熱板46から出た純水DWはたとえば10
℃ほど上昇しており、配管76、コネクタ78および配
管80を介して熱交換器60の二次側入口60aに送ら
れる。熱交換器60の一次側には、配管78,80を介
して市水または工業用水(一次側冷却水)が供給されて
いる。熱交換器60の二次側に入った純水DWは、そこ
で一次側の市水との熱交換によって熱を奪われ、たとえ
ば25゜Cまで冷やされる。熱交換器60の二次側出口
60bより出た純水DWはタンク52の入口52aつま
りイオン交換樹脂体54の入口54aに送られる。
は、そこでイオン交換樹脂によって不要なイオンを除か
れ、純水度を回復する。イオン交換樹脂体54から出た
純水DWはタンク52内でフィルタ56を通ってゴミや
有機物等を除去(濾過)されてからポンプ64側に汲み
出され、再びチャンバ14および放熱板46へ供給され
るようになっている。
ンバ14または放熱板46に供給される前の純水DWの
温度、圧力および電気伝導度をそれぞれ検出するための
温度センサ86、可変流量制御弁88、圧力センサ90
および電導度センサ92が設けられる。図3において、
94はポンプ64を駆動するためのモータ、96は熱交
換器60に対する市水の供給を制御するための電磁弁、
および98は流量を検出するためのフロースイッチ、9
9はタンク52から純水DWを排出するためのドレンで
ある。
0、導電度センサ92およびフロースイッチ98を省略
している。図2において、仕切り板108には冷却装置
50とレーザ電源部の放熱板46とを接続する配管7
2,76を通すための孔(開口)108a,108bが
形成されている。
る冷却水配管構造を模式的に示す。上記したように、放
熱板46の中に埋設された4本の水冷パイプ110〜1
16が放熱板10の外のジョイント管118,120,
122によって接続されることで、1本の連続(連通)
した冷却水通路が形成されている。この冷却水通路の両
端はコネクタ124,126を介して配管72,76
(図示せず)に接続されている。
て、コネクタ124より水冷パイプ1124の入口(冷
却水導入口)に導入された純水(冷却水)DWは、水冷
パイプ110、ジョイント管118、水冷パイプ11
2、ジョイント管120、水冷パイプ114、ジョイン
ト管122および水冷パイプ116を矢印で示すルート
で流れ、水冷パイプ116の出口(冷却水排出口)から
コネクタ126を通って外へ出る。
埋設された水冷パイプ110〜116を流れることによ
って、放熱板46が全体的に冷却され、ひいては放熱板
46上の電気部品(図示せず)が冷やされる。
造を詳細に示す横断面図である。放熱板46は、上部熱
伝導性板130および下部熱伝導性板132の内側面で
上記した4本の水冷パイプ110〜116を挟着保持し
てなる構成である。両熱伝導性板130,132のいず
れも熱伝導率が高く加工性にすぐれた部材たとえばアル
ミニウムまたは銅からなる。
ーザ電源部の発熱性電気部品または素子つまり充電制御
用のIGBT26および放電制御用のGTR30等が取
付される。また、上部熱伝導性板130の表面(上面)
には、断面逆さT字形の溝GPが所定の間隔を置いて縦
方向に設けられている。GTR1 〜GTR4 の取付ボル
トN1 〜N4 は、この縦溝GPの中に入れられたナット
M1 〜M4 にそれぞれ螺合して締付されている。ボルト
Ni を緩め、または外すことで、GTRi の取付位置を
溝GP上で任意に調整することが可能となっている。
部の構成を示す図で、図6は横断面図、図7は平面図お
よび図8は縦断面図である。なお、図7においては、図
解を容易にするために、上部光反射板154を取り払っ
た状態の構造を示す。
リル製のチャンバ本体150にチャンバ上蓋152をO
リング156、ボルト(図示せず)等によって密着結合
することによって構成されるもので、中央部に励起ラン
プ10およびYAGロッド12を収納するための室15
8を有するとともに、それら10,12に純水(冷却
水)DWを供給するための水路160,162,164
等を有している。
54,154からなる楕円反射鏡筒166内の一方の焦
点位置に励起ランプ10が配置され、他方の焦点位置に
YAGロッド12が配置されている。励起ランプ10お
よびYAGロッド12はそれぞれ耐熱強化ガラス製のチ
ューブ168,170に収められ、これらのガラス・チ
ューブ168,170の内側には純水DWが流されるよ
うになっている。
72および冷却水排出口174は、それぞれ配管70,
74(図示せず)を介して冷却装置50(図示せず)に
接続されている。冷却水取入口172は、チャンバ水路
160を介してガラス・チューブ170内の水路170
aの一端部に通じている。冷却水排出口174は、チャ
ンバ水路162を介してガラス・チューブ168内の水
路168aの一端部に通じている。
168a,170aの他端部は、チャンバ水路164を
介して互いに連絡している。これにより、冷却装置50
(図示せず)からの純水DWは、冷却水取入口172→
チャンバ水路160→ガラス・チューブ水路170a→
チャンバ水路164→ガラス・チューブ水路168a→
チャンバ水路162→冷却水排出口174を流れ、ガラ
ス・チューブ水路170a,168aでYAGロッド1
2、励起ランプ10がそれぞれ純水DWで直接水冷され
るようになっている。なお、176はレーザ発振器取付
ボルト、178はレーザ出射口、10aはランプ端子で
ある。
加工装置では、冷却装置50より温調された冷却水(純
水DW)がレーザ発振部だけでなく、レーザ電源部にも
供給される。これにより、レーザ電源部では、冷却温度
と周囲温度との温度差が小さく、かつ安定しているた
め、いかなる設置環境、特に冬季でも結露が発生するお
それはなく、電気部品ないし回路の故障・破壊が防止さ
れる。また、市水の配管は冷却装置50に1本化して接
続すればよいため、配管構成が簡単であり、装置ユニッ
トの小型化にも有利である。
(市水)配管接続口83,85を装置背面に設けてい
た。しかし、図9に示すように、装置前面に外部(市
水)配管口を設けてもよい。
置において、前面パネル(扉)106を開けて見た下部
ユニット102内の前部の構造である。上記した実施例
のものと同様の構成・機能を有する部分には同一の符号
を付してある。
記実施例と同様に、下部ユニット102の内部は左右に
別れ、左側に冷却装置50が配設され、右側にレーザ電
源部が配設されている。
供給すべき純水DWを貯溜するタンク52が装置前部に
配置される。このタンク52の中には、イオン交換樹脂
体54とフィルタ56とが純水DWの中に水没した状態
で収容されている。
着され、この支持板180に外部配管接続口として市水
供給口182および市水排出口184が設けられる。こ
れらの市水供給口182および市水排出口184は、そ
れぞれ配管82,84を介して内奥の熱交換器60(図
示せず)の一次側入口および一次側出口に接続されてい
る。図示のように、配管82,84はタンク52の前面
および側面に沿って内奥へ延びている。タンク52の側
面には、配管82,84を通す開口を設けた支持板18
6が固着されている。また、配管82の途中に熱交換器
に対する市水の供給を制御するための電磁弁96が設け
られている。
めのドレン口99が設けられ、排水時にはこのドレン口
99に外部配管が接続される。また、上記市水供給口1
82は鎖線で示す外部配管188を介して水道蛇口(図
示せず)に接続され、市水排出口184は鎖線で示す外
部配管190を介して市水用の排水タンクまたは排水溝
(図示せず)に接続される。
は、市水供給口182、市水排出口184およびドレン
口99等の外部配管接続口を装置の前部に設けたので、
保守員は裏側へ回り込んだり装置を移動しなくても、前
からセッティング、点検、修理等の作業を容易に行うこ
とができる。
92に、ブレーカ194、キースイッチ196の外に、
I/Oコネクタ198、制御・外部通信コネクタ200
等の外部接続端子も取付される。また、鎖線で示すよう
に、電力ケーブル202も前面支持板192上でブレー
カ194の一次端子に接続される。これによって、本Y
AGレーザ装置と外部装置とを接続する場合あるいはブ
レーカ194を点検する場合等には、装置の裏側に回り
込まなくても、扉106を開けるだけで、容易に結線作
業を行うことができる。
は、表示部44の液晶ディスプレイ202、ランプ類2
04や設定入力部42のキースイッチ206類等が設け
られている。
てチャンバ14と放熱板46が並列に接続されていた
が、このような接続関係に限るものではなく、他の接続
関係が可能である。たとえば、図10に示すように放熱
板46をポンプ64とタンク52との間に接続する構
成、あるいは図11に示すように放熱板46をチャンバ
14と直列に(望ましくは下流側に)接続することも可
能である。
よび放熱板46のそれぞれの構成は一例にすぎないもの
であり、種々のチャンバ内部構造、放熱板構造を用いる
ことが可能である。
装置に係るものであったが、本発明は他のレーザ装置に
も適用可能である。また、冷却水は純水に限るものでな
く、任意の冷却液が使用可能である。
よれば、レーザ発振部に供給する温調された冷却水をレ
ーザ電源部にも供給することにより、レーザ電源部での
結露の発生を防止し、電気部品ないし回路を保護するこ
とができるとともに、冷却水供給部の共用化により装置
の小型化・簡易化をはかることもできる。
の要部の構成を示すブロック図である。
置の配置構成を示す略側面図である。
流体回路図である。
配管構造を模式的に示す略平面図である。
面図である。
面図である。
図である。
面図である。
成を示す正面図である。
続構成の一変形例を模式的に示す流体回路図である。
続構成の別の変形例を模式的に示す流体回路図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 レーザ光を発生するレーザ発振部と、前
記レーザ発振部に電力を供給するレーザ電源部と、前記
レーザ発振部および前記レーザ電源部に共通の温調され
た冷却水を供給する冷却水供給部とを具備することを特
徴とするレーザ装置。 - 【請求項2】 前記冷却水供給部は、一次側の冷却水と
二次側の冷却水との間で熱交換を行って前記二次側冷却
水を所定温度に温調する熱交換器と、前記熱交換器の二
次側と前記レーザ発振部との間および前記熱交換器の二
次側と前記レーザ電源部との間で前記二次側冷却水を循
環させるためのポンプおよび配管とを含むことを特徴と
する請求項1に記載のレーザ装置。 - 【請求項3】 前記レーザ電源部は、発熱性の電気部品
が取り付けられた熱伝導性の放熱板と、前記放熱板に設
けられた流路手段とを有し、前記流路手段の流路を前記
冷却水が流れるように構成されたことを特徴とする請求
項1または2に記載のレーザ装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6115511A (en) * | 1996-10-28 | 2000-09-05 | Director General Of The 1Th District Port Construction Bureau, Ministry Of Transport | Underwater laser imaging apparatus |
JP2004015939A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Meidensha Corp | コンデンサの充電装置 |
JP2005236030A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光出射方法とその装置 |
JP2006185258A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Komatsu Electronics Inc | 温度調整装置 |
JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
JP2017076751A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 三菱重工業株式会社 | 固体レーザ増幅装置 |
JP2017076750A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 三菱重工業株式会社 | 固体レーザ増幅装置 |
WO2018216274A1 (ja) * | 2017-05-22 | 2018-11-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6765941B2 (en) * | 2001-12-03 | 2004-07-20 | Agfa Corporation | Method and apparatus for cooling a self-contained laser head |
US20050264236A1 (en) * | 2004-05-25 | 2005-12-01 | Purepulse Technologies, Inc | Apparatus and method for use in triggering a flash lamp |
EP1895628B1 (de) * | 2006-08-31 | 2013-06-19 | Gesellschaft für Innovat. Industrieelektronik mbH | Lasermodul |
SI2636108T1 (sl) | 2010-11-03 | 2017-09-29 | Bergmann Messgeraete Entwicklung Kg | Visoko napetostno stikalo s hladilno napravo |
US9039232B2 (en) | 2011-12-30 | 2015-05-26 | Wet | Underwater LED lights |
JP6166310B2 (ja) | 2015-06-11 | 2017-07-19 | ファナック株式会社 | レーザ発振部、空気冷却機、および除湿器を共通の冷却水にて冷却するレーザ装置 |
CN105870764B (zh) * | 2015-11-19 | 2019-05-21 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 激光器循环冷却系统及其控制方法 |
US9627837B1 (en) * | 2016-03-23 | 2017-04-18 | Lymol Medical, Inc. | Medical laser system |
CN117153567A (zh) * | 2017-06-30 | 2023-12-01 | 京瓷Avx元器件公司 | 用于超级电容器模块的平衡电路中的热耗散 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3555449A (en) * | 1966-11-15 | 1971-01-12 | Westinghouse Electric Corp | Liquid cooled laser system |
US3500238A (en) * | 1967-03-06 | 1970-03-10 | American Optical Corp | Laser assemblies and the like |
US3633126A (en) * | 1969-04-17 | 1972-01-04 | Gen Electric | Multiple internal reflection face-pumped laser |
US3619808A (en) * | 1970-07-06 | 1971-11-09 | Union Carbide Corp | Laser head cooling system |
US4207541A (en) * | 1978-02-21 | 1980-06-10 | General Electric Company | Cooling jacket for laser flash lamps |
DE3536770A1 (de) * | 1985-10-16 | 1987-04-16 | Heraeus Gmbh W C | Gaslaser |
US4740983A (en) * | 1987-08-28 | 1988-04-26 | General Electric Company | Laser apparatus for minimizing wavefront distortion |
CA2031445A1 (en) * | 1989-12-06 | 1991-06-07 | Mitsuo Maeda | Laser device |
US5012481A (en) * | 1990-03-09 | 1991-04-30 | Martin Marietta Corporation | Flashlamp line replaceable unit |
US5311528A (en) * | 1991-08-30 | 1994-05-10 | Hoya Corporation | Solid-state laser device capable of stably producing an output laser beam at high power |
US5243615A (en) * | 1991-11-20 | 1993-09-07 | Laserscope | High-powered intracavity non-linear optic laser |
US5253260A (en) * | 1991-12-20 | 1993-10-12 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for passive heat pipe cooling of solid state laser heads |
US5572538A (en) * | 1992-01-20 | 1996-11-05 | Miyachi Technos Corporation | Laser apparatus and accessible, compact cooling system thereof having interchangeable flow restricting members |
US5291504A (en) * | 1992-02-18 | 1994-03-01 | Fibertek, Inc. | Laser pump module |
US5422899A (en) * | 1994-05-10 | 1995-06-06 | Premier Laser Systems, Inc. | High repetition rate mid-infrared laser |
US5471491A (en) * | 1994-11-15 | 1995-11-28 | Hughes Aircraft Company | Method and structure for impingement cooling a laser rod |
JP3300773B2 (ja) * | 1995-02-23 | 2002-07-08 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ装置 |
-
1995
- 1995-01-11 JP JP01873295A patent/JP3338974B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-01-11 US US08/584,691 patent/US5802087A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6115511A (en) * | 1996-10-28 | 2000-09-05 | Director General Of The 1Th District Port Construction Bureau, Ministry Of Transport | Underwater laser imaging apparatus |
JP2004015939A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Meidensha Corp | コンデンサの充電装置 |
JP2005236030A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ光出射方法とその装置 |
JP2006185258A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Komatsu Electronics Inc | 温度調整装置 |
US7748435B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-07-06 | Kelk Ltd. | Temperature regulator |
JP2006324321A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Miyachi Technos Corp | 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置 |
JP2017076751A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 三菱重工業株式会社 | 固体レーザ増幅装置 |
JP2017076750A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 三菱重工業株式会社 | 固体レーザ増幅装置 |
WO2017064880A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 三菱重工業株式会社 | 固体レーザ増幅装置 |
US10236655B2 (en) | 2015-10-16 | 2019-03-19 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Solid laser amplification device |
US10290991B2 (en) | 2015-10-16 | 2019-05-14 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Solid laser amplification device |
WO2018216274A1 (ja) * | 2017-05-22 | 2018-11-29 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工装置 |
JPWO2018216274A1 (ja) * | 2017-05-22 | 2020-03-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ発振装置およびレーザ加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5802087A (en) | 1998-09-01 |
JP3338974B2 (ja) | 2002-10-28 |
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